JPS6017002A - 複合微小金属球の製造方法 - Google Patents
複合微小金属球の製造方法Info
- Publication number
- JPS6017002A JPS6017002A JP58125694A JP12569483A JPS6017002A JP S6017002 A JPS6017002 A JP S6017002A JP 58125694 A JP58125694 A JP 58125694A JP 12569483 A JP12569483 A JP 12569483A JP S6017002 A JPS6017002 A JP S6017002A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ball
- balls
- grain size
- metal
- particle size
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、粒径のそろった複合微小金属球の製造方法に
関する。
関する。
半導体工業の発展により半導体チップと基板との接合に
複合微小金属球が使用されたり、種々の微細な部品のろ
う接、はんだ付にも複合微小金属球の使用が急激に増加
している。
複合微小金属球が使用されたり、種々の微細な部品のろ
う接、はんだ付にも複合微小金属球の使用が急激に増加
している。
（１）
従来、複合微小金属球を製造するには、アトマイズ法に
より粒度分布の広い粉末を製造し、所望の粒径に分級後
Ｉ浅域加工により整粒したり、金属線を所望の重量に切
断後機械加工若しくは再溶解したりすることにより、略
均−な粒径の微小金属球を作り、然る１多無電ＩＷめっ
き又は電気めっきにより外表面に所要の金属膜を形成し
て複合微小金属球を作っていた。
より粒度分布の広い粉末を製造し、所望の粒径に分級後
Ｉ浅域加工により整粒したり、金属線を所望の重量に切
断後機械加工若しくは再溶解したりすることにより、略
均−な粒径の微小金属球を作り、然る１多無電ＩＷめっ
き又は電気めっきにより外表面に所要の金属膜を形成し
て複合微小金属球を作っていた。
然し乍ら、斯かる製造方法では微小金属球の外表面に金
属膜を形成する為の無電解めっき又は電気めっきに於い
ては合金めっきが難しく、無電解めっきに於いてはさら
にめっきの種類が限定されるという問題があった。
属膜を形成する為の無電解めっき又は電気めっきに於い
ては合金めっきが難しく、無電解めっきに於いてはさら
にめっきの種類が限定されるという問題があった。
本発明は斯かる諸事情に鑑みなされたもので、微小金属
球の外表面に形成する金属膜の種類に限定されることが
無く、広い粒度範囲にわたって粒径のそろった複合微小
金属球を効率良く容易且つ確実に作ることのできる製造
方法を提供せんとするものである。
球の外表面に形成する金属膜の種類に限定されることが
無く、広い粒度範囲にわたって粒径のそろった複合微小
金属球を効率良く容易且つ確実に作ることのできる製造
方法を提供せんとするものである。
本発明の複合微小金属球の製造方法は、黒鉛板（２）
又はセラミックス板上に芯となる粒径０．１〜３闘の微
小金属球を置き、次にこの−にに粒径４４ ｔｔ以下の
金属の単体若しくは混合粉末又は合金粉末とその重量の
１〜５０％の有機バインダー例えばアクリル酸、エチレ
ングリコール、エポキシ樹用１とをン昆練した混練物を
定量供給機にて所望の膜厚となる量を滴下し、次いで混
練物中の金属の融点よりも０〜１００℃高い温度で非酸
化性雰囲気中で加熱保持した後冷却して複合微小金属球
を得ることを特徴とするものである。
小金属球を置き、次にこの−にに粒径４４ ｔｔ以下の
金属の単体若しくは混合粉末又は合金粉末とその重量の
１〜５０％の有機バインダー例えばアクリル酸、エチレ
ングリコール、エポキシ樹用１とをン昆練した混練物を
定量供給機にて所望の膜厚となる量を滴下し、次いで混
練物中の金属の融点よりも０〜１００℃高い温度で非酸
化性雰囲気中で加熱保持した後冷却して複合微小金属球
を得ることを特徴とするものである。
本発明の複合微小金属球の製造方法に於いて用いる金属
の混合粉末又は合金わ）末の粒径を４４ｐ以下とした理
由は、４４！ｌを超えると微小金属球の外表面に形成す
る金属膜の膜厚を薄くできないからである。また金属の
単体若しくは混合粉末又は合金粉末に対する有機バイン
ダーの混入割合をその粉末重量の１〜５０％とした理由
は、１％未満では定量供給機で供給滴下するに必要な粘
性を持たーｌることができず、５０％を超えると加熱時
粉末が十分に凝集せず、所望の膜厚が得られないからで
あ（３） る。さらに微小金属球を置いて混練物を滴下する台とし
て、黒鉛板又はセラミックス板を用いる理由は、金属膜
を形成する混練物中の金属との濡れ性が小さいからであ
る。また加熱温度を混練物中の金属の融点よりも０〜１
００°Ｃ高くした理由は、融点以下では固相が介在して
芯である微小金属球との濡れが悪く、融点よりも１００
℃超えると芯で微小金属球と合金化するようになるから
である。
の混合粉末又は合金わ）末の粒径を４４ｐ以下とした理
由は、４４！ｌを超えると微小金属球の外表面に形成す
る金属膜の膜厚を薄くできないからである。また金属の
単体若しくは混合粉末又は合金粉末に対する有機バイン
ダーの混入割合をその粉末重量の１〜５０％とした理由
は、１％未満では定量供給機で供給滴下するに必要な粘
性を持たーｌることができず、５０％を超えると加熱時
粉末が十分に凝集せず、所望の膜厚が得られないからで
あ（３） る。さらに微小金属球を置いて混練物を滴下する台とし
て、黒鉛板又はセラミックス板を用いる理由は、金属膜
を形成する混練物中の金属との濡れ性が小さいからであ
る。また加熱温度を混練物中の金属の融点よりも０〜１
００°Ｃ高くした理由は、融点以下では固相が介在して
芯である微小金属球との濡れが悪く、融点よりも１００
℃超えると芯で微小金属球と合金化するようになるから
である。
さらにまた加熱雰囲気を還元性、不活性等の非酸化性の
雰囲気とした理由は、芯である微小金属球の外表面に酸
化膜が形成されて金属膜との濡れ性がり［（くなるのを
防ぐ為である。
雰囲気とした理由は、芯である微小金属球の外表面に酸
化膜が形成されて金属膜との濡れ性がり［（くなるのを
防ぐ為である。
次に本発明による複合微小金属球の製造方法の具体的な
実施例について説明する。
実施例について説明する。
〔実施例１〕
黒鉛板上に芯となる粒径１■の鉄球を２００個置き、次
に１〜５μの粒度分布を有する還元銀粉７２重量％と１
〜５ Ｉｔの粒度分布を有する電解銅粉２８重惜％との
混合粉末を該混合粉末の重量の５０％にあたるアクリル
酸から成る有機バインダーと共に（４） 混練した後、この混練物を定量供給機により前記黒鉛板
−１ユの鉄球各１０（ｌ （ｌＸ＋に、夫々計算粒径１
．ｏ３鰭。
に１〜５μの粒度分布を有する還元銀粉７２重量％と１
〜５ Ｉｔの粒度分布を有する電解銅粉２８重惜％との
混合粉末を該混合粉末の重量の５０％にあたるアクリル
酸から成る有機バインダーと共に（４） 混練した後、この混練物を定量供給機により前記黒鉛板
−１ユの鉄球各１０（ｌ （ｌＸ＋に、夫々計算粒径１
．ｏ３鰭。
計算膜厚０．０１５罪と計算粒径１．２５幽ｍ、計算膜
厚０．１２５ｍ１ｌの複合微小金属球を得るべく１■、
１０■を供給滴下し、次いで８００℃、５分間窒素ガス
雰囲気中で加熱保持した後、冷却してサイズの異なる２
種類の複合微小金属球を得た。この２種類の複合微小金
属球の粒径を測定した処、第１図ａ、ｂのグラフに示す
如き粒度分布で、大部分のものは計算粒径と同じで、そ
の前後の近似粒径のものは僅かで、粒径のそろった複合
微小金属球であった。またその２種類の複合微小金属球
の外表面の金属膜の膜厚を測定した処、第２図ａ、ｂの
グラフに示す如き膜厚分布で、大部分のものは計算膜厚
と同じで、残りはその前後の近似膜厚であった。
厚０．１２５ｍ１ｌの複合微小金属球を得るべく１■、
１０■を供給滴下し、次いで８００℃、５分間窒素ガス
雰囲気中で加熱保持した後、冷却してサイズの異なる２
種類の複合微小金属球を得た。この２種類の複合微小金
属球の粒径を測定した処、第１図ａ、ｂのグラフに示す
如き粒度分布で、大部分のものは計算粒径と同じで、そ
の前後の近似粒径のものは僅かで、粒径のそろった複合
微小金属球であった。またその２種類の複合微小金属球
の外表面の金属膜の膜厚を測定した処、第２図ａ、ｂの
グラフに示す如き膜厚分布で、大部分のものは計算膜厚
と同じで、残りはその前後の近似膜厚であった。
〔実施例２〕
セラミックス板上に粒径０．５龍の銅球を２００個置き
、次に３０〜４４μの粒度分布を有する５ｎ−Ｐｂ４０
重量％合金のア１−マイズ粉を該アトマイズ粉の重量の
２０％にあたるエチレングリコールから成る（５） 有機バインダーと共に混練した後、この混練物を定量供
給機により前記セラミックス板上の銅球各１０ （Ｈ［
ＦＡニ、夫々計算粒径０．７ｍ、計算膜厚０．ｈｍと計
算粒径１．２６ｍｍ、計算膜厚０．３８ｆｌの複合微小
金属球を得るべく１ｍｇ、１０■を供給滴下し、次いで
２５０℃、３分間窒素ガス雰囲気中で加熱保持した後、
冷却してサイズの異なる２種類の複合微小金属球を得た
。この２種類の複合微小金属球の粒径を測定した処、第
３図ａ、ｂのグラフに示す如き粒度分布で、大部分のも
のは 計算粒径と同じで、その前後の近似粒径のものは
僅がで、粒径のそろった複合微小金属球であった。また
その２種類の複合微小金属球の外表面の金属膜の膜厚を
測定した処、第４図ａ、ｂのグラフに示す如き膜厚分布
で、大部分のものは計算膜厚と同じで、その残りはその
前後の近似膜厚であった。
、次に３０〜４４μの粒度分布を有する５ｎ−Ｐｂ４０
重量％合金のア１−マイズ粉を該アトマイズ粉の重量の
２０％にあたるエチレングリコールから成る（５） 有機バインダーと共に混練した後、この混練物を定量供
給機により前記セラミックス板上の銅球各１０ （Ｈ［
ＦＡニ、夫々計算粒径０．７ｍ、計算膜厚０．ｈｍと計
算粒径１．２６ｍｍ、計算膜厚０．３８ｆｌの複合微小
金属球を得るべく１ｍｇ、１０■を供給滴下し、次いで
２５０℃、３分間窒素ガス雰囲気中で加熱保持した後、
冷却してサイズの異なる２種類の複合微小金属球を得た
。この２種類の複合微小金属球の粒径を測定した処、第
３図ａ、ｂのグラフに示す如き粒度分布で、大部分のも
のは 計算粒径と同じで、その前後の近似粒径のものは
僅がで、粒径のそろった複合微小金属球であった。また
その２種類の複合微小金属球の外表面の金属膜の膜厚を
測定した処、第４図ａ、ｂのグラフに示す如き膜厚分布
で、大部分のものは計算膜厚と同じで、その残りはその
前後の近似膜厚であった。
以上の説明で判るように本発明の複合微小金属球の製造
方法によれば、芯となる微小金属球の外表面に形成する
金属膜の種類に限定されることが無く、広い粒度範囲に
わたって適宜所要の膜厚の（６） 金属膜を有し且つ所要の粒径のそろった複合微小金属球
を、スクラップを生じさせること無く、効率良く容易口
４つ６′ＩＣ実に製造することができるという優れた効
果がある。
方法によれば、芯となる微小金属球の外表面に形成する
金属膜の種類に限定されることが無く、広い粒度範囲に
わたって適宜所要の膜厚の（６） 金属膜を有し且つ所要の粒径のそろった複合微小金属球
を、スクラップを生じさせること無く、効率良く容易口
４つ６′ＩＣ実に製造することができるという優れた効
果がある。
第１図ａ、ｂ４；ｊ、夫々本発明の複合微小金属球の製
造方法の具体的な一実施例によって得られた複合微小金
属球の粒度分布を示すグラフ、第２図ａ、ｂば夫々その
複合微小金属球の外表面の金属膜の膜厚分布を示すグラ
フ、第３図ａ、ｂば夫々本発明の複合微小金属球の製造
方法の具体的な他の実施例によって得られた複合微小金
属球の粒度分布を示すグラフ、第４図ａ、ｂは夫々その
複合微小金属球の外表面の金属膜の膜厚分布を示すグラ
フである。 出願人 Ｈ１中貴金属＝Ｃ業株式会社 （７） 第１図 （Ｑ） （ｂ） 粒径（ｍｍ） 第２図 （（１） （ｂ） 膜厚（ｍｍ） 第３図 （Ｑ） 粒径（ｍｍ） （ｂ） 粒 イ予（ｍｍ）
造方法の具体的な一実施例によって得られた複合微小金
属球の粒度分布を示すグラフ、第２図ａ、ｂば夫々その
複合微小金属球の外表面の金属膜の膜厚分布を示すグラ
フ、第３図ａ、ｂば夫々本発明の複合微小金属球の製造
方法の具体的な他の実施例によって得られた複合微小金
属球の粒度分布を示すグラフ、第４図ａ、ｂは夫々その
複合微小金属球の外表面の金属膜の膜厚分布を示すグラ
フである。 出願人 Ｈ１中貴金属＝Ｃ業株式会社 （７） 第１図 （Ｑ） （ｂ） 粒径（ｍｍ） 第２図 （（１） （ｂ） 膜厚（ｍｍ） 第３図 （Ｑ） 粒径（ｍｍ） （ｂ） 粒 イ予（ｍｍ）
Claims (1)
- 黒鉛板又は９？ラミンクス板上に芯となる粒径０．１〜
３１謙の微小金属球を置き、次にこの−１−に粒径４４
μ以下の金属の単体若しくは混合粉末又は合金粉末とそ
の重量の１〜５０％の有機バインダーとをン昆練した混
練物を定量供給機にて所望の膜厚となる量を滴下し、次
いで混練物中の金属の融点よりも０〜１００℃高い温度
で非酸化性雰囲気中で加熱保持した後冷却して複合微小
金属球を得ることを特徴とする複合微小金属球の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58125694A JPS6017002A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 複合微小金属球の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58125694A JPS6017002A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 複合微小金属球の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6017002A true JPS6017002A (ja) | 1985-01-28 |
Family
ID=14916386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58125694A Pending JPS6017002A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 複合微小金属球の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6017002A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012170998A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 金属球成形用治具、これを用いた金属球の成形方法およびこの成形方法で得られる金属球 |
| CN108015274A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-05-11 | 洛阳神佳窑业有限公司 | 一种新型粉末冶金材料 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5414587A (en) * | 1977-07-06 | 1979-02-02 | Sekisui Chem Co Ltd | Preparation of bacterial cells |
-
1983
- 1983-07-11 JP JP58125694A patent/JPS6017002A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5414587A (en) * | 1977-07-06 | 1979-02-02 | Sekisui Chem Co Ltd | Preparation of bacterial cells |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012170998A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 金属球成形用治具、これを用いた金属球の成形方法およびこの成形方法で得られる金属球 |
| CN108015274A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-05-11 | 洛阳神佳窑业有限公司 | 一种新型粉末冶金材料 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI597241B (zh) | 金屬粒子及其製造方法、經被覆之金屬粒子、金屬粉體 | |
| WO2016119558A1 (zh) | 一种用于直接3d打印金属零件的合金粉及其制备方法 | |
| JPH0387301A (ja) | 材料の処理および制造方法 | |
| WO2020013300A1 (ja) | 金属－炭化珪素質複合体、及び金属－炭化珪素質複合体の製造方法 | |
| JP2005161338A (ja) | はんだシート | |
| JPS6017002A (ja) | 複合微小金属球の製造方法 | |
| CA1334132C (en) | Manufacture of low expansion composites having high electrical and heat conductivity | |
| US10906099B2 (en) | Preparation method of high purity and densified tungsten-titanium metal | |
| US4380479A (en) | Foils of brittle alloys | |
| US5878322A (en) | Heat-dissipating substrate for micro-electronic devices and fabrication method | |
| JP2743090B2 (ja) | 金属射出品の炭素量コントロール方法 | |
| CN116837265A (zh) | 一种液态金属导热材料及其涂层与制备方法和应用 | |
| JPH10270836A (ja) | 微小球のハンダめっき法 | |
| JPH0456702A (ja) | 粉末冶金用原料粉およびその製造方法 | |
| US6290746B1 (en) | Method of producing metal ball and semiconductor package | |
| JP2607254B2 (ja) | 炭素分析用高炭素鉄鋼標準試料の製造方法 | |
| JPS605802A (ja) | 微小金属球の製造方法 | |
| JPH06128609A (ja) | Ａｇ−Ｃｕ系合金粉の製造方法 | |
| JP2004124259A (ja) | Ｗ−Ｃｕ複合材料薄板の製造方法 | |
| JP2973390B2 (ja) | 金属あるいは金属酸化物微粒子を分散させた金属の製造方法 | |
| TWI906238B (zh) | 預製銲料的製造方法 | |
| JP3087254B2 (ja) | サイズの均一な微細金属球の製造方法 | |
| CN108080645B (zh) | 一种降低316l不锈钢球形粉末空心率的方法 | |
| JP2559085B2 (ja) | 複合焼結材及びその製造方法 | |
| JPS613805A (ja) | 金属焼結体用原料シ−トおよびその製造方法 |