JPS6017043B2 - 平行２平面の間隔測定方法 - Google Patents
平行２平面の間隔測定方法Info
- Publication number
- JPS6017043B2 JPS6017043B2 JP14995479A JP14995479A JPS6017043B2 JP S6017043 B2 JPS6017043 B2 JP S6017043B2 JP 14995479 A JP14995479 A JP 14995479A JP 14995479 A JP14995479 A JP 14995479A JP S6017043 B2 JPS6017043 B2 JP S6017043B2
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- Japan
- Prior art keywords
- planes
- parallel
- light
- distance
- measurement
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は離間対向した平行２平面をもった物品．の測定
、検査に好適な平行２平面の間隔測定方法に関する。
、検査に好適な平行２平面の間隔測定方法に関する。
従来２個の物品の間隔を光学的に測定する方法として第
１図および第２図に示すものが知られている。
１図および第２図に示すものが知られている。
第１図に示す方法は、物品１，２の間に測定光３として
平行なしーザ光を投射し、その通過光４の光量を光電変
換体などからなるセンサで検出する。そしてこの電気信
号に変換された光童が間隔Ｗに対応することを利用して
間隔Ｗを知る方法である。また第２図に示す方法は、測
定光３を細い平行なしーザ光からなる走査光とし、これ
を矢印５方向に平行移動させて物品１および物品２の間
を走査し、両物品１，２間を通過した通過光４を後方に
設けたセンサで受光し、その一走査毎の受光時間が間隔
Ｗに比例することにより間隔Ｗを知る方法である。上述
の方法は測定光３としてレーザ光を使用した場合は特に
高精度な測定ができる。しかるにこれらの方法を平行な
２平面の間隔の測定に利用する場合には種々な不都合が
生じるのである。
平行なしーザ光を投射し、その通過光４の光量を光電変
換体などからなるセンサで検出する。そしてこの電気信
号に変換された光童が間隔Ｗに対応することを利用して
間隔Ｗを知る方法である。また第２図に示す方法は、測
定光３を細い平行なしーザ光からなる走査光とし、これ
を矢印５方向に平行移動させて物品１および物品２の間
を走査し、両物品１，２間を通過した通過光４を後方に
設けたセンサで受光し、その一走査毎の受光時間が間隔
Ｗに比例することにより間隔Ｗを知る方法である。上述
の方法は測定光３としてレーザ光を使用した場合は特に
高精度な測定ができる。しかるにこれらの方法を平行な
２平面の間隔の測定に利用する場合には種々な不都合が
生じるのである。
これをブラウン管の電子銃の製造工程における場合を例
に説明する。第３図は電子銃１１の要部を示すもので、
複数個の板状のグリツド１２，・・・が離間対向して平
行に設けられていて、間隔Ｗが所定の値に保たれている
かどうかは厳密に測定される。この測定に上述の光学的
方法を適用する場合は、グリッド１２，１２を正確に測
定光３と平行に設置しなければならない。すなわち、第
４図において、平行な一対のグリツド１２，１２の対向
した平行２面１３，１４の間隔Ｗを第１図に示す方法で
測定する場合に、グリッド１２，１２が若干でも測定光
３に対して煩斜した状態で測定したとすると、結局Ｗで
なくこれより小さいＷ′が得られることになる。従って
電子銃のように平坦な基準面のないものは、測定に際し
て所定の位置に固定するのが面頚で、作業能率が悪く、
しかも正確を期し難いなどのため一般にシックネスゲー
ジに頼っているのが現状で、精度、能率がともに悪く、
しかもグリッドを傷付ける事故も起きるなどの不都合が
あった。本発明は上述の事情にかんがみてなされたもの
で、測定される物品の平行２面が測定光に平行になる所
定の位置を通るように物品を回動させながら通過光を光
電変換体で受光して測定し、その側定値の最大値を検出
して間隔とする平行２平面の間隔測定方法であって、測
定される平行２平面が測定光に対して煩斜して設置され
ても精度を悪くすることなく測定でき、作業能率を著し
く向上させたものである。
に説明する。第３図は電子銃１１の要部を示すもので、
複数個の板状のグリツド１２，・・・が離間対向して平
行に設けられていて、間隔Ｗが所定の値に保たれている
かどうかは厳密に測定される。この測定に上述の光学的
方法を適用する場合は、グリッド１２，１２を正確に測
定光３と平行に設置しなければならない。すなわち、第
４図において、平行な一対のグリツド１２，１２の対向
した平行２面１３，１４の間隔Ｗを第１図に示す方法で
測定する場合に、グリッド１２，１２が若干でも測定光
３に対して煩斜した状態で測定したとすると、結局Ｗで
なくこれより小さいＷ′が得られることになる。従って
電子銃のように平坦な基準面のないものは、測定に際し
て所定の位置に固定するのが面頚で、作業能率が悪く、
しかも正確を期し難いなどのため一般にシックネスゲー
ジに頼っているのが現状で、精度、能率がともに悪く、
しかもグリッドを傷付ける事故も起きるなどの不都合が
あった。本発明は上述の事情にかんがみてなされたもの
で、測定される物品の平行２面が測定光に平行になる所
定の位置を通るように物品を回動させながら通過光を光
電変換体で受光して測定し、その側定値の最大値を検出
して間隔とする平行２平面の間隔測定方法であって、測
定される平行２平面が測定光に対して煩斜して設置され
ても精度を悪くすることなく測定でき、作業能率を著し
く向上させたものである。
以下本発明の詳細を実施例により説明する。
第５図に示す装置は第１の実施例に使用したもので、第
１図に示した測定方法を改良したものであって、測定さ
れるものはブラウン管の電子銃１１である。レーザ発振
装置２１から送出された測定光３としてのレーザ光は、
コリメータレンズ体２２により直径を拡大されて、その
直径は電子銃１１の測定される２平面１３，１４の間隔
Ｗよりわずかに大きい状態で２平面１３，１４の間に投
射される。電子銃１１は測定体２３に着脱自在に固定さ
れていて、この測定体２３はピン２４により回動自在に
軸支されている。このピン２４と同心の円弧をもった外
端面２５は、モータ２６の健濠ローラ２７に接していて
、測定体２３はモータ２６の正逆回転により礎漆ローラ
２７を介して左右に角度８の間回動する。この回動の中
間において、ある瞬間に平行２面１３，１４は測定光３
に平行となり、所定の位置を通る。この平行２平面１３
，１４の回動により、この間を通過するレーザ光３の光
量は２平面１３，１４がレーザ光３に平行な位置すなわ
ち所定の位置において最大となり、その前後はいずれも
これより小となる。測定体２３の後方には光電変換体と
してのセンサ３０が設けられていて、レーザ光３の通過
光４は、すべてセンサ３川こ入射する。センサ３川ま入
射光量に応じて変化する出力を出し、これはセンサ３灘
猿笑窪露毒害鱒腿後濠示装置３２・に入り、電気信号が
間隔Ｗに換算されて表示される。
１図に示した測定方法を改良したものであって、測定さ
れるものはブラウン管の電子銃１１である。レーザ発振
装置２１から送出された測定光３としてのレーザ光は、
コリメータレンズ体２２により直径を拡大されて、その
直径は電子銃１１の測定される２平面１３，１４の間隔
Ｗよりわずかに大きい状態で２平面１３，１４の間に投
射される。電子銃１１は測定体２３に着脱自在に固定さ
れていて、この測定体２３はピン２４により回動自在に
軸支されている。このピン２４と同心の円弧をもった外
端面２５は、モータ２６の健濠ローラ２７に接していて
、測定体２３はモータ２６の正逆回転により礎漆ローラ
２７を介して左右に角度８の間回動する。この回動の中
間において、ある瞬間に平行２面１３，１４は測定光３
に平行となり、所定の位置を通る。この平行２平面１３
，１４の回動により、この間を通過するレーザ光３の光
量は２平面１３，１４がレーザ光３に平行な位置すなわ
ち所定の位置において最大となり、その前後はいずれも
これより小となる。測定体２３の後方には光電変換体と
してのセンサ３０が設けられていて、レーザ光３の通過
光４は、すべてセンサ３川こ入射する。センサ３川ま入
射光量に応じて変化する出力を出し、これはセンサ３灘
猿笑窪露毒害鱒腿後濠示装置３２・に入り、電気信号が
間隔Ｗに換算されて表示される。
次に第６図を参照して第２の実施例につき説明する。
本実施例は第２図に示した測定方法を改良したものであ
る。レーザ発振装置２１から送出された測定光３として
のレーザ光は、集東レンズ３５に入り、これの，焦点位
置に回動中心３６を置いた振動ミラー３７で反射し、こ
の回動中心３６に焦点を置いた走査レンズ３８に入射す
る。このレーザ光３は走査レンズ３８により走査レンズ
３８の光軸に平行な細いレーザ光となるが、振動ミラ‐
３７の回動によりレーザ光３は実線で示したレーザ光３
の位置３ａと破線で示したレーザ光３の位置３ｂとの間
を矢印５の方向に往復勤しながら後方に置かれた測定す
べき電子銃１１に入射する。なお築東レンズ３５、振動
ミラー３７、走査レンズ３８でスキャナ−４０を構成し
ている。電子銃１１は第１の実施例におけると同様に測
定体２３に着脱自在に固定されている。なお測定体２３
は第１の実施例と同様に構成されているので、詳細な説
明は省略する。第６図においては２平面１３，１４が走
査レンズ３８の光軸に平行な位置つまり所定の位置にあ
る瞬間が示されている。振動ミラー３７の回動によりレ
ーザ光３は２平面１３，１４の間を走査するが、この２
平面１３，１４の間を通過した通過光４は、後方に置か
れた光電変換体であるセンサ４０‘こ入り、このセンサ
４０‘ま通過光４が入射中にのみ電気信号を出力する。
そして振動ミラー３７が振動中、すなわちレーザ光３が
走査中は測定体２３はパルスモータ２６により角度８の
範囲の回動が与えられているので、２平面１３，１４は
しーザ光３の方向に対し、第４図に示すような煩斜した
位置か別項次完全に平行な所定位置となり、これを過ぎ
て反射側に懐いた位置になる。この間高速で走査が行な
われているので、２平面１．３，１４が、例えば第４図
に示すように懐いている場合は間隔Ｗ′を走査している
間だけセンサ４０からの出力がセンサ４０１こ接続され
た信号処理装贋４１に送られ、丁度２平面１３，１４が
走査レーザ光３の方向と平行になったとき間隔Ｗを走査
し、それに応じた時間だけセンサ４０から信号処理装置
４１に出力が送られる。このように往動または復動の都
度出される信号送出時間の長さは、その走査レーザ光３
の方向と２平面が平行のとき最大となる。信号処理袋贋
４１は一定時間内に送られて来る複数個の信号の中から
最大受光時間値を検出し、これを表示装置４２に送る。
ここでこの値を間隔Ｗに換算して表示する。以上詳述し
たように本発明の平行２平面の間隔測定方法は、離間対
向した平行２平面間に、これら平面と平行な測定光を投
射して２平面間の間を通過した通過光を光電変換体で検
出して２平面間の間隔を測定するに際し、平行２平面が
測定光と平行になる所定位置を通過する回動を平行２平
面に与えながら測定するように構成したので、回鰯中に
得られる測定値の中に所定の位置における測定値が必ら
ず含まれているのでこれを検出すればよいから、測定に
際しての２平面の固定は所定の位置近傍でよく、固定が
簡単となり、さらにまた光電変換体により間隔を電気信
号で処理するのと相まって、精度を維持したまま高能率
に測定することができる。
る。レーザ発振装置２１から送出された測定光３として
のレーザ光は、集東レンズ３５に入り、これの，焦点位
置に回動中心３６を置いた振動ミラー３７で反射し、こ
の回動中心３６に焦点を置いた走査レンズ３８に入射す
る。このレーザ光３は走査レンズ３８により走査レンズ
３８の光軸に平行な細いレーザ光となるが、振動ミラ‐
３７の回動によりレーザ光３は実線で示したレーザ光３
の位置３ａと破線で示したレーザ光３の位置３ｂとの間
を矢印５の方向に往復勤しながら後方に置かれた測定す
べき電子銃１１に入射する。なお築東レンズ３５、振動
ミラー３７、走査レンズ３８でスキャナ−４０を構成し
ている。電子銃１１は第１の実施例におけると同様に測
定体２３に着脱自在に固定されている。なお測定体２３
は第１の実施例と同様に構成されているので、詳細な説
明は省略する。第６図においては２平面１３，１４が走
査レンズ３８の光軸に平行な位置つまり所定の位置にあ
る瞬間が示されている。振動ミラー３７の回動によりレ
ーザ光３は２平面１３，１４の間を走査するが、この２
平面１３，１４の間を通過した通過光４は、後方に置か
れた光電変換体であるセンサ４０‘こ入り、このセンサ
４０‘ま通過光４が入射中にのみ電気信号を出力する。
そして振動ミラー３７が振動中、すなわちレーザ光３が
走査中は測定体２３はパルスモータ２６により角度８の
範囲の回動が与えられているので、２平面１３，１４は
しーザ光３の方向に対し、第４図に示すような煩斜した
位置か別項次完全に平行な所定位置となり、これを過ぎ
て反射側に懐いた位置になる。この間高速で走査が行な
われているので、２平面１．３，１４が、例えば第４図
に示すように懐いている場合は間隔Ｗ′を走査している
間だけセンサ４０からの出力がセンサ４０１こ接続され
た信号処理装贋４１に送られ、丁度２平面１３，１４が
走査レーザ光３の方向と平行になったとき間隔Ｗを走査
し、それに応じた時間だけセンサ４０から信号処理装置
４１に出力が送られる。このように往動または復動の都
度出される信号送出時間の長さは、その走査レーザ光３
の方向と２平面が平行のとき最大となる。信号処理袋贋
４１は一定時間内に送られて来る複数個の信号の中から
最大受光時間値を検出し、これを表示装置４２に送る。
ここでこの値を間隔Ｗに換算して表示する。以上詳述し
たように本発明の平行２平面の間隔測定方法は、離間対
向した平行２平面間に、これら平面と平行な測定光を投
射して２平面間の間を通過した通過光を光電変換体で検
出して２平面間の間隔を測定するに際し、平行２平面が
測定光と平行になる所定位置を通過する回動を平行２平
面に与えながら測定するように構成したので、回鰯中に
得られる測定値の中に所定の位置における測定値が必ら
ず含まれているのでこれを検出すればよいから、測定に
際しての２平面の固定は所定の位置近傍でよく、固定が
簡単となり、さらにまた光電変換体により間隔を電気信
号で処理するのと相まって、精度を維持したまま高能率
に測定することができる。
なお実施例においては測定光としてレーザ光を使用した
が、これに限定されず平行な光であればよい。
が、これに限定されず平行な光であればよい。
また測定される物品も電子銃に限定されなし、。
第１図および第２図は従釆例の説明図、第３図は本発明
の各実施例において測定される物品の要部を示す説明斜
視図、第４図は従来例の測定誤差説明図、第５図は本発
明の第１の実施例を実施するための装置の構成説明図、
第６図は本発明の第２の実施例を実施するための装置の
構成説明図である。 ３，３′・・・・・・測定光、レーザ光、１３，１４・
・・・・・２平面、３０，４０・・・・・・光電変換体
。 第１図第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
の各実施例において測定される物品の要部を示す説明斜
視図、第４図は従来例の測定誤差説明図、第５図は本発
明の第１の実施例を実施するための装置の構成説明図、
第６図は本発明の第２の実施例を実施するための装置の
構成説明図である。 ３，３′・・・・・・測定光、レーザ光、１３，１４・
・・・・・２平面、３０，４０・・・・・・光電変換体
。 第１図第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
Claims (1)
- １ 離間対向した平行２平面間に上記２平面と平行な測
定光を投射し上記２平面間を通過した上記測定光を光電
変換体で検出して上記２平面の間隔を測定する平行２平
面の間隔測定方法において、上記２平面に上記２平面が
上記測定光に対し平行となる所定位置を通る回動を与え
ながら測定することを特徴とする平行２平面の間隔測定
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14995479A JPS6017043B2 (ja) | 1979-11-21 | 1979-11-21 | 平行２平面の間隔測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14995479A JPS6017043B2 (ja) | 1979-11-21 | 1979-11-21 | 平行２平面の間隔測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5673308A JPS5673308A (en) | 1981-06-18 |
| JPS6017043B2 true JPS6017043B2 (ja) | 1985-04-30 |
Family
ID=15486217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14995479A Expired JPS6017043B2 (ja) | 1979-11-21 | 1979-11-21 | 平行２平面の間隔測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6017043B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63267019A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 音響装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58139007A (ja) * | 1982-02-13 | 1983-08-18 | Toshiba Corp | 平行２平面の間隔測定方法 |
| JPS58161809A (ja) * | 1982-03-19 | 1983-09-26 | Toshiba Corp | 平行２平面の間隔測定装置 |
| JPS61123912U (ja) * | 1985-01-24 | 1986-08-04 |
-
1979
- 1979-11-21 JP JP14995479A patent/JPS6017043B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63267019A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 音響装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5673308A (en) | 1981-06-18 |
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