JPS601742A - 電界放射型電子銃 - Google Patents
電界放射型電子銃Info
- Publication number
- JPS601742A JPS601742A JP58108891A JP10889183A JPS601742A JP S601742 A JPS601742 A JP S601742A JP 58108891 A JP58108891 A JP 58108891A JP 10889183 A JP10889183 A JP 10889183A JP S601742 A JPS601742 A JP S601742A
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- JP
- Japan
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- anode
- field emission
- electron gun
- filament
- emission electron
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/073—Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は電子ビーム露光機、高輝度電子ビーム利用機器
等に使用する電界放射型電子銃に関する。
等に使用する電界放射型電子銃に関する。
従来技術
従来の電界放射型電子銃の典型的なものは、第１図に示
すように、陽極はバト、ラー型陽極を用い、第１陽極２
のガス出し用フィラメント４を第１陽（１） る。図中、１は陰極、３は第２陽極、５は真空容器、６
はフィラメント４の加熱用電源、７は電子衝撃用電源を
示す。
すように、陽極はバト、ラー型陽極を用い、第１陽極２
のガス出し用フィラメント４を第１陽（１） る。図中、１は陰極、３は第２陽極、５は真空容器、６
はフィラメント４の加熱用電源、７は電子衝撃用電源を
示す。
このような電子銃は第１陽極２をその斜め上方に配置さ
れたフィラメント（約２５００℃に加熱）４により加熱
するため、第１＠極２の表面温度は数百度と低くなる。
れたフィラメント（約２５００℃に加熱）４により加熱
するため、第１＠極２の表面温度は数百度と低くなる。
従って、結合エネルギーの小”、−５，−一
□−さ、′必吸着分子（例えば水）は取除きえられるが
、結槽力の強い酸素原子等は、第１陽極２の表面にを少
残される。そのため、放射電流が大きくなると、電子励
起による吸着ガスの脱離やイオン化の確率が増加し、こ
れらの脱離した分子、原子、イオンなどが、陰極１の表
面に吸着したり、また衝撃したりするととにより、電子
放射面の仕事関数を変え、結果として放射電流を不安定
にする欠点があった。
、結槽力の強い酸素原子等は、第１陽極２の表面にを少
残される。そのため、放射電流が大きくなると、電子励
起による吸着ガスの脱離やイオン化の確率が増加し、こ
れらの脱離した分子、原子、イオンなどが、陰極１の表
面に吸着したり、また衝撃したりするととにより、電子
放射面の仕事関数を変え、結果として放射電流を不安定
にする欠点があった。
発明の目的
本発明の目的は従来の電子銃における前記欠点９ Ｘ
を解消し、放射電流の極めて安定な電界放射型室゛子銃
を提供するにある。
を提供するにある。
発明の構成
本発明は第１陽極２の形状を従来のパトラ−型に代え、
中心の穴が盛り上ったラッパ状板状体としたことを特徴
とする電界放射型電子銃、また該ラッパ状板状体からな
る第１陽極の直前にガス出し兼陽極として作用するフィ
ラメントを対称に配置したことを特徴とする電界放射型
電子銃にある。
中心の穴が盛り上ったラッパ状板状体としたことを特徴
とする電界放射型電子銃、また該ラッパ状板状体からな
る第１陽極の直前にガス出し兼陽極として作用するフィ
ラメントを対称に配置したことを特徴とする電界放射型
電子銃にある。
・１に訃ける脱ガスの方向を示す説明図である。図中、
１＋−１− ２は第１陽極で、これは中心の穴が盛り上ったラッパ状
の板状体から寿っている。４はフィラメント例えばタン
グステン、タンタル等のフィラメントで、第１陽極２の
ガス出し用と陽極としても作用する。１は陰極、３は第
２＠極、５は真空容器、６はフィラメント４の加熱交流
電源、７は電子衝撃用電源、８は電子放射の際の第１＠
極２とフィラメント４間の電源を示す。なお、電界放射
電子発明の効果 本発明の電界放射型電子銃においては、第１陽極２の形
状を中心の穴が盛り上ったラッパ状の板状体に形成した
ため、第１陽極とフィラメントの間に間隙が生ずるので
、フィラメントを第１陽極に接触させることなく、容易
に対称近接して設けることができ、また第１陽極とフィ
ラメントとの間龜正電位を与えると、この空隙を通して
放出し１ リ１１ またイオンを第１陽極側へ戻すのに好都合である。
１＋−１− ２は第１陽極で、これは中心の穴が盛り上ったラッパ状
の板状体から寿っている。４はフィラメント例えばタン
グステン、タンタル等のフィラメントで、第１陽極２の
ガス出し用と陽極としても作用する。１は陰極、３は第
２＠極、５は真空容器、６はフィラメント４の加熱交流
電源、７は電子衝撃用電源、８は電子放射の際の第１＠
極２とフィラメント４間の電源を示す。なお、電界放射
電子発明の効果 本発明の電界放射型電子銃においては、第１陽極２の形
状を中心の穴が盛り上ったラッパ状の板状体に形成した
ため、第１陽極とフィラメントの間に間隙が生ずるので
、フィラメントを第１陽極に接触させることなく、容易
に対称近接して設けることができ、また第１陽極とフィ
ラメントとの間龜正電位を与えると、この空隙を通して
放出し１ リ１１ またイオンを第１陽極側へ戻すのに好都合である。
・）（
、、（１）ｉ：ｊ・１該フイラメントを第１陽極２のガ
ス出し用として約２５００℃に加熱すると、第１陽極２
を近接して均一に加熱し得られ、且つ第１陽極が板状体
であるだめ、熱容量ならびに熱伝導量も小さいことと相
俟って第１陽極を１５００℃以上に加熱することが容易
である。従って、第１陽極のガス出しを効率的且つ徹底
的に行うことができ、電子銃作動中の放出ガスを著しく
減少し得られる。
ス出し用として約２５００℃に加熱すると、第１陽極２
を近接して均一に加熱し得られ、且つ第１陽極が板状体
であるだめ、熱容量ならびに熱伝導量も小さいことと相
俟って第１陽極を１５００℃以上に加熱することが容易
である。従って、第１陽極のガス出しを効率的且つ徹底
的に行うことができ、電子銃作動中の放出ガスを著しく
減少し得られる。
に加熱されているため、吸着分子が殆んど存在しないの
で、脱離する原子やイオンが殆んどない。
で、脱離する原子やイオンが殆んどない。
（５） フィラメント４と第１陽極間に小さい正電位を
与えることにより、第１陽極で放出したイオンを第１陽
極側に戻すことができるので放射室とがある。
与えることにより、第１陽極で放出したイオンを第１陽
極側に戻すことができるので放射室とがある。
前者については前記したようにガス出しと陽極側への押
し戻しによって著しく減少できる。
し戻しによって著しく減少できる。
後者についても、第３図に示すように、第１陽極２の形
状が中心の穴が盛り上ったラッパ状の板状体であるため
、第１陽極２から放出するガスの方向は、中心軌道軸Ｘ
−Ｙから外れる方向になり、電子ビームとの衝突する確
率が下が（５） の側上方のものより遠くなるので、脱ガスの際発生した
電子やイオンの陰極への衝撃が少くなる０ 等の従来の電界放射型電子銃では得られない優れた効果
を奏し得られる。
状が中心の穴が盛り上ったラッパ状の板状体であるため
、第１陽極２から放出するガスの方向は、中心軌道軸Ｘ
−Ｙから外れる方向になり、電子ビームとの衝突する確
率が下が（５） の側上方のものより遠くなるので、脱ガスの際発生した
電子やイオンの陰極への衝撃が少くなる０ 等の従来の電界放射型電子銃では得られない優れた効果
を奏し得られる。
１：陰極、 ２：第１陽極、
３：第２陽極、 ４：ガス出し兼陽極用フィラメント、
５：真空容器、 ６：加熱交流電源、
７：電子衝撃用電源、
８：第１陽極とフィラメント間の電源。
（６）
第３図
エ
１９５−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 第１陽極を中心の穴が盛り上ったラッパ状板状体
に形成したことを特徴とする電界放射型電子銃。 ２、 第１陽極を中心の穴が盛り上ったラッパ状板状体
に形成し、該第１陽極の直前にガス出
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58108891A JPS601742A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 電界放射型電子銃 |
| US06/579,950 US4596942A (en) | 1983-06-17 | 1984-02-14 | Field emission type electron gun |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58108891A JPS601742A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 電界放射型電子銃 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS601742A true JPS601742A (ja) | 1985-01-07 |
Family
ID=14496223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58108891A Pending JPS601742A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 電界放射型電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS601742A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS495565A (ja) * | 1972-05-02 | 1974-01-18 | ||
| JPS5218058U (ja) * | 1976-06-10 | 1977-02-08 |
-
1983
- 1983-06-17 JP JP58108891A patent/JPS601742A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS495565A (ja) * | 1972-05-02 | 1974-01-18 | ||
| JPS5218058U (ja) * | 1976-06-10 | 1977-02-08 |
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