JPS601741A - 電界放射型電子銃 - Google Patents
電界放射型電子銃Info
- Publication number
- JPS601741A JPS601741A JP58108890A JP10889083A JPS601741A JP S601741 A JPS601741 A JP S601741A JP 58108890 A JP58108890 A JP 58108890A JP 10889083 A JP10889083 A JP 10889083A JP S601741 A JPS601741 A JP S601741A
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- JP
- Japan
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- anode
- filament
- field emission
- electron gun
- emission type
- Prior art date
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/073—Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子ビーム露光機、高輝度電子ビーム利用機器
等に使用する電界放射型電子銃に関する。
等に使用する電界放射型電子銃に関する。
−従来技術
第１＠極２のガス出し用フィラメント４を第１＠極２の
前方にそのまま配置すると電場の乱れが生するので、第
１陽極２の斜め上方に配置されている。図中、１は陰極
、３は第２陽極、５は真空容器、６はフィラメント４の
加熱用電源、７は電子衝撃用電流源を示す。
前方にそのまま配置すると電場の乱れが生するので、第
１陽極２の斜め上方に配置されている。図中、１は陰極
、３は第２陽極、５は真空容器、６はフィラメント４の
加熱用電源、７は電子衝撃用電流源を示す。
このような電子銃は第１＠極２をその斜め上方、ｌＫｉ
配置されたフィラメント（約２５ｏｏ℃に加熱４により
加熱するだめ、第１陽極２の表面温度は数百度と低くな
る。従って、結合エネルギーの小さい吸着分子（例えば
水）は取除きえられるが、結合力の強い酸素原子等は、
第１陽極２の表面に取り残される。そのだめ、放射電流
が大きくなると、電子励起による吸着ガスの脱離やイオ
ン化の確率が増加し、これらの脱離した分子、原子、イ
オンなどが、陰極１の表面に吸着したり、また衝撃し、
−Ｍ＋すすることにより、電子放射面の仕事関数を変−
１，４１ 発明の目的 本発明の目的は従来の電子銃における前記欠点を解消し
、放射電流の安定な電界放射型電子銃を提供するにある
。
配置されたフィラメント（約２５ｏｏ℃に加熱４により
加熱するだめ、第１陽極２の表面温度は数百度と低くな
る。従って、結合エネルギーの小さい吸着分子（例えば
水）は取除きえられるが、結合力の強い酸素原子等は、
第１陽極２の表面に取り残される。そのだめ、放射電流
が大きくなると、電子励起による吸着ガスの脱離やイオ
ン化の確率が増加し、これらの脱離した分子、原子、イ
オンなどが、陰極１の表面に吸着したり、また衝撃し、
−Ｍ＋すすることにより、電子放射面の仕事関数を変−
１，４１ 発明の目的 本発明の目的は従来の電子銃における前記欠点を解消し
、放射電流の安定な電界放射型電子銃を提供するにある
。
発明の構成
本発明は第１陽極の直前にガス出し用フィラメントを対
称に配置すると共に、該フィラメントを陽極としても作
用するように構成した電界放射型電子銃である。
称に配置すると共に、該フィラメントを陽極としても作
用するように構成した電界放射型電子銃である。
本発明を図面に基いて説明すると、第２図は本発明の実
施態様を示す断面図である。図中、２は第１陽極で、４
はフィラメント、例えばタングステン、タンタル等のフ
ィラメントで、第１陽極２のガス出し用として、また、
電子放射の際は第１陽極２とフィラメント４との間に電
源８を設けて正電位を与え、陽極としても作用させる。
施態様を示す断面図である。図中、２は第１陽極で、４
はフィラメント、例えばタングステン、タンタル等のフ
ィラメントで、第１陽極２のガス出し用として、また、
電子放射の際は第１陽極２とフィラメント４との間に電
源８を設けて正電位を与え、陽極としても作用させる。
１は陰極、３は第２＠極、５は真空容器、６はフィラメ
ントの効果 本発明の電界放射型電子銃にはフィラメント４を第１電
極２の直前に対称に配置し、且つ該フィラメント４に第
１陽極に近い電位をかけ、陽極としても作用させるため
、第１＠極２を高温均一に加熱し得られ、第１陽極から
のガス出しが極めて容易で、且つ十分なガス出しを行う
ことができる。
ントの効果 本発明の電界放射型電子銃にはフィラメント４を第１電
極２の直前に対称に配置し、且つ該フィラメント４に第
１陽極に近い電位をかけ、陽極としても作用させるため
、第１＠極２を高温均一に加熱し得られ、第１陽極から
のガス出しが極めて容易で、且つ十分なガス出しを行う
ことができる。
そして、放射電子はフィラメントを先ず衝撃するがζフ
ィラメントはガス出しの際に２５００℃近い温度に加熱
されているので、吸着分子は殆んど存在しないため脱離
する原子やイオンは殆んどない。
ィラメントはガス出しの際に２５００℃近い温度に加熱
されているので、吸着分子は殆んど存在しないため脱離
する原子やイオンは殆んどない。
しかもフィラメントは陽極として作用するだめ、第１陽
極から発生したイオンは陽極側に押し戻すので、これに
よる障害もない。従って、これらの両件用の相乗的な効
果により、極めて安定な放射電流が得られる。
極から発生したイオンは陽極側に押し戻すので、これに
よる障害もない。従って、これらの両件用の相乗的な効
果により、極めて安定な放射電流が得られる。
なお、本発明を実施するに当っては、第１陽極の形状を
、中心の穴が盛り上ったラッパ状板状体シ とｉすることが好ましい。
、中心の穴が盛り上ったラッパ状板状体シ とｉすることが好ましい。
□に空間が生じ、この空間において、第１陽極とフィラ
メント間に正電位を与えることにより、第１陽極で放出
したイオンを陽極側へ押し戻すことが容易となり、電位
分布を変えることが少なくなること、また第１陽極がラ
ッパ状であるため、第３図に示すように、第１陽極から
放出するガスの方向が中心軌道軸Ｘ−Ｙから外れた方向
になり、電子ビームとの衝突確率が小さくなり、電界放
射電流を安定化し得ること。更にまた、板状であるだめ
熱容量ならびに熱伝導量も小さくなり、フィラメントに
よる高温加熱が容易となるからである。
メント間に正電位を与えることにより、第１陽極で放出
したイオンを陽極側へ押し戻すことが容易となり、電位
分布を変えることが少なくなること、また第１陽極がラ
ッパ状であるため、第３図に示すように、第１陽極から
放出するガスの方向が中心軌道軸Ｘ−Ｙから外れた方向
になり、電子ビームとの衝突確率が小さくなり、電界放
射電流を安定化し得ること。更にまた、板状であるだめ
熱容量ならびに熱伝導量も小さくなり、フィラメントに
よる高温加熱が容易となるからである。
第１図は従来の電界放射型電子銃の概略断面図、第２図
は本発明の電界放射型電子銃の概略断面図、第３図は本
発明の電界放射型電子銃の第１陽極における脱離ガス方
向を示す説明図である。 １：陰極、 ２：第１陽極、 □ｌ’、：、−ａｌ・第２陽極・ ；、・’４へ：ガス出し兼陽極用フィラメント、１ｊ・
５１：真空容器、 ６：加熱交流電源、７：電子衝撃用
電源、 ８：フィラメントと第１陽極間の電源。 １ ２ノ （５） 第３図 ￥ １９１−
は本発明の電界放射型電子銃の概略断面図、第３図は本
発明の電界放射型電子銃の第１陽極における脱離ガス方
向を示す説明図である。 １：陰極、 ２：第１陽極、 □ｌ’、：、−ａｌ・第２陽極・ ；、・’４へ：ガス出し兼陽極用フィラメント、１ｊ・
５１：真空容器、 ６：加熱交流電源、７：電子衝撃用
電源、 ８：フィラメントと第１陽極間の電源。 １ ２ノ （５） 第３図 ￥ １９１−
Claims (1)
- 第１＠極の直前例ガス出し兼陽極として作用するフィラ
メントを対称に配置したことを特徴とする電界放射型電
子銃。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58108890A JPS601741A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 電界放射型電子銃 |
| US06/579,950 US4596942A (en) | 1983-06-17 | 1984-02-14 | Field emission type electron gun |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58108890A JPS601741A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 電界放射型電子銃 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS601741A true JPS601741A (ja) | 1985-01-07 |
Family
ID=14496194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58108890A Pending JPS601741A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 電界放射型電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS601741A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5969467A (en) * | 1996-03-29 | 1999-10-19 | Nec Corporation | Field emission cathode and cleaning method therefor |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5218058U (ja) * | 1976-06-10 | 1977-02-08 |
-
1983
- 1983-06-17 JP JP58108890A patent/JPS601741A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5218058U (ja) * | 1976-06-10 | 1977-02-08 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5969467A (en) * | 1996-03-29 | 1999-10-19 | Nec Corporation | Field emission cathode and cleaning method therefor |
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