JPS6018003B2 - デジタル測定器 - Google Patents
デジタル測定器Info
- Publication number
- JPS6018003B2 JPS6018003B2 JP12980681A JP12980681A JPS6018003B2 JP S6018003 B2 JPS6018003 B2 JP S6018003B2 JP 12980681 A JP12980681 A JP 12980681A JP 12980681 A JP12980681 A JP 12980681A JP S6018003 B2 JPS6018003 B2 JP S6018003B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- moving
- fixed
- measuring instrument
- elastic member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、枠体に設けられた固定スケールと移動体に
設けられ固定スケールと対向する移動スケールと、この
一対のスケールを挟むように対向配置された発光素子と
発光素子を有し、移動体の移動量を電気的に検出し測定
するようなデジタル測定器に関するもので、とくに固定
スケールと移動スケールとの平行度をより正確に保つた
めに設けられたスベーサの改良に関するものである。
設けられ固定スケールと対向する移動スケールと、この
一対のスケールを挟むように対向配置された発光素子と
発光素子を有し、移動体の移動量を電気的に検出し測定
するようなデジタル測定器に関するもので、とくに固定
スケールと移動スケールとの平行度をより正確に保つた
めに設けられたスベーサの改良に関するものである。
デジタルダイヤルゲージ、デジタルマイクロメータ、デ
ジタル／・ィトゲージ、鰭子ハカリ、などのデジタル測
定器における固定スケールと移動スケールとの平行度を
正確に保つためにスべ−サを採用するための構造につい
ては、すでに本発明者らによって第１図乃至第７図に示
す構造が提案されているところである。以下、第１図乃
至第７図に示された、すでに本発明者らによって提案さ
れた従来礎造について、デジタルダイヤルゲージを例に
とり説明する。
ジタル／・ィトゲージ、鰭子ハカリ、などのデジタル測
定器における固定スケールと移動スケールとの平行度を
正確に保つためにスべ−サを採用するための構造につい
ては、すでに本発明者らによって第１図乃至第７図に示
す構造が提案されているところである。以下、第１図乃
至第７図に示された、すでに本発明者らによって提案さ
れた従来礎造について、デジタルダイヤルゲージを例に
とり説明する。
図において、１は枠体、２はアッパーブッシュ３及びス
テム４により上下に沼敷自在に支持されるスピンドル、
５はコイルバネで一端を枠体１に他端をスピンドル２に
固着されたバネ掛けピン６に取付けられている。スピン
ドル２はこのコイルバネ５により常時下方へ附勢されて
いる。７はガイド棒であり、その一端はスピンドル２に
固着され、他端は枠体１に設けられたガイド綾ｌａ内に
挿入されている。
テム４により上下に沼敷自在に支持されるスピンドル、
５はコイルバネで一端を枠体１に他端をスピンドル２に
固着されたバネ掛けピン６に取付けられている。スピン
ドル２はこのコイルバネ５により常時下方へ附勢されて
いる。７はガイド棒であり、その一端はスピンドル２に
固着され、他端は枠体１に設けられたガイド綾ｌａ内に
挿入されている。
８は、スピンドル２の下端に設けられた測定端子である
。
。
９はスピンドル２にネジ止めあるいは接着固定（図では
ネジ１０によりネジ止め）された移動スケール取付板、
１１は移動スケール取付板９に接着固定された公知の格
子状パターンを有する移動スケール、１２は公知の格子
状パターンと印刷により形成されたスベーサ１３を有す
る固定スケールである。
ネジ１０によりネジ止め）された移動スケール取付板、
１１は移動スケール取付板９に接着固定された公知の格
子状パターンを有する移動スケール、１２は公知の格子
状パターンと印刷により形成されたスベーサ１３を有す
る固定スケールである。
この固定スケール１２は、枠体１に固定された板バネ等
の弾性部材ｇ４に接着されており「板バネ竃４を介して
片持ち状態で支持れている。
の弾性部材ｇ４に接着されており「板バネ竃４を介して
片持ち状態で支持れている。
亀覇は枠体川こネジ止めされ、固定スケール翼２の下方
にのびてバネ等の押圧用弾性部材３６を保持する受体「
鷺す‘ま発光素子君蟹を支持する発光素子取付板、亀
ｇは発光素子２頚を支持しも受体翼篤とともに枠体川こ
ネジ止めされた発光黍子取付板である。発光素子再８と
発光素子２肌まスケールを挟むように対向配置されてい
る。
にのびてバネ等の押圧用弾性部材３６を保持する受体「
鷺す‘ま発光素子君蟹を支持する発光素子取付板、亀
ｇは発光素子２頚を支持しも受体翼篤とともに枠体川こ
ネジ止めされた発光黍子取付板である。発光素子再８と
発光素子２肌まスケールを挟むように対向配置されてい
る。
このように固定スケール亀２は弾性部村亀母と押圧用弾
性部村亀翁の働きにより常時移動スケール富葛をこ弾性
により押圧されているので「固定スケール宵２は移動ス
ケール軍１の移動行程中に生ずるあらゆる動きに追従す
るような構造になっている。上記横成において移動スケ
〜ル軍鶴と固定スケール亀２とはスベーサ亀３の働きに
より平行に保たれている。
性部村亀翁の働きにより常時移動スケール富葛をこ弾性
により押圧されているので「固定スケール宵２は移動ス
ケール軍１の移動行程中に生ずるあらゆる動きに追従す
るような構造になっている。上記横成において移動スケ
〜ル軍鶴と固定スケール亀２とはスベーサ亀３の働きに
より平行に保たれている。
第３図は第２図に示す要部断面図のＢ−Ｂ断面図である
。
。
弾性部材富亀さまＵ字形をしており「腕部軍＆ａで固定
スケール貴２を保持している。
スケール貴２を保持している。
またスベーサ１３はち固定スケール貴２の表面上に４つ
設けられている。第４図は第２図に示す要部断面図のＣ
−Ｃ断面図である。
設けられている。第４図は第２図に示す要部断面図のＣ
−Ｃ断面図である。
固定スケール翼２を支持する弾性部材１亀の腕部１４ａ
の下には弾性部材】亀と固定スケール宵２を下から上へ
押圧するための押圧用弾性部村亀６が受体１５の溝首５
ａ内でピソ２１で固定されている。
の下には弾性部材】亀と固定スケール宵２を下から上へ
押圧するための押圧用弾性部村亀６が受体１５の溝首５
ａ内でピソ２１で固定されている。
この押圧用弾性部材亀６の形状は第５図に示されている
。
。
第６図及び簾を図は印刷された複数のスベーサ１３を有
する従来の固定スケールを示す図である。
する従来の固定スケールを示す図である。
Ｐは格子状パターンであり、その外周部にスベーサ１３
が四つ設けられている。
が四つ設けられている。
このスベーサ量３は、セメダイン１５６５「エピコート
８２蟹「あるいはアラルダイト（商標名）といったヱポ
キシ系接着剤をベースとした有機質インキ〜又は低融点
ガラスペーストをベースとした無機質インキを印刷し焼
成することにより形成されている。このように、有機質
インキ「又は無機質インキを嵐定スケール１２の移動ス
ケール亀電との対向面側に四ケ所印刷焼成することによ
り（５〜２０ｒ程度の厚さを有する）スベーサ富３を形
成し「固定スケール亀２を弾性部材亀亀と押圧用弾性部
村軍噂とにより常時移動スケール畳川と弾性により押圧
させるようになした従来構造は〜移動スケール翼電の種
々な動きに対して「スケールギャップＥを常に一定に保
ちながら〜固定スケール１２をその動に追従して勺 ス
ケール相互の平行度を確保するため〜極めて高精度の測
定器を得ることが出来た。本発明者らは、この従来構造
を採用したデジタルダイヤルゲージにおいてト耐久試験
を実施したところ、初期精度はすこぶる満足する結果が
得られたが、４００万回を経過したころから〜 スベー
サ電３の摩耗が発生しだし次第に〜所期したところのス
ケールギャップＥが得られなくなり、耐久性すなわちス
ベーサ包３の耐摩耗性の点でいま一歩といった結果にな
ってしまった。
８２蟹「あるいはアラルダイト（商標名）といったヱポ
キシ系接着剤をベースとした有機質インキ〜又は低融点
ガラスペーストをベースとした無機質インキを印刷し焼
成することにより形成されている。このように、有機質
インキ「又は無機質インキを嵐定スケール１２の移動ス
ケール亀電との対向面側に四ケ所印刷焼成することによ
り（５〜２０ｒ程度の厚さを有する）スベーサ富３を形
成し「固定スケール亀２を弾性部材亀亀と押圧用弾性部
村軍噂とにより常時移動スケール畳川と弾性により押圧
させるようになした従来構造は〜移動スケール翼電の種
々な動きに対して「スケールギャップＥを常に一定に保
ちながら〜固定スケール１２をその動に追従して勺 ス
ケール相互の平行度を確保するため〜極めて高精度の測
定器を得ることが出来た。本発明者らは、この従来構造
を採用したデジタルダイヤルゲージにおいてト耐久試験
を実施したところ、初期精度はすこぶる満足する結果が
得られたが、４００万回を経過したころから〜 スベー
サ電３の摩耗が発生しだし次第に〜所期したところのス
ケールギャップＥが得られなくなり、耐久性すなわちス
ベーサ包３の耐摩耗性の点でいま一歩といった結果にな
ってしまった。
そこで〜本発明者らは〜 さらに鋭意研究を重ねること
によりトスべ−サの耐摩耗性を向上する構造を得ること
が出来た。
によりトスべ−サの耐摩耗性を向上する構造を得ること
が出来た。
以下〜本発明の姿部である改良されたスベーサの構造に
ついて「第蟹図「第９図を参照して詳細に説明する。
ついて「第蟹図「第９図を参照して詳細に説明する。
第蟹図も第ｇ図において〜 亀２茸ま前述の固定スケー
ル、軍３は同じく、固定スケール亀２の四隅に有機質イ
ンキ、又は無機質インキにより印刷焼成されたスベーサ
である。
ル、軍３は同じく、固定スケール亀２の四隅に有機質イ
ンキ、又は無機質インキにより印刷焼成されたスベーサ
である。
３Ｑ‘まスベーサ暫３の上履にもクロム、ィンジュウム
、ステンレス、ＴＩＮＴａＮＴａＣなどの硬質金属をス
パッタリング、燕着〜イオンプレーティング〜電子ビー
ム法などによって数千オングストロームから数ミクロン
程度の厚さに形成した保護薄膜層である。
、ステンレス、ＴＩＮＴａＮＴａＣなどの硬質金属をス
パッタリング、燕着〜イオンプレーティング〜電子ビー
ム法などによって数千オングストロームから数ミクロン
程度の厚さに形成した保護薄膜層である。
（図では保護薄膜層３８の厚さを誇張して示してある）
尚〜保護薄膜層３鰍ふ第９図に示すようにパターンＰを
除いた部分に形成されることは勿論である。このように
、固定スケール１蟹の四隅の四カ所にスべ−サ１３を印
刷焼成することによって設けた後も硬質金属よりなる保
護薄膜層３０をスベーサ亀３の表面に形成した本発明の
固定スケールを用いて、耐久試験を行なった結果、移動
スケール電亀との摺動によるスベーサの耐摩耗性が「従
来のものと比べて、はるかに向上し、極めて満足な結果
が得られた。
尚〜保護薄膜層３鰍ふ第９図に示すようにパターンＰを
除いた部分に形成されることは勿論である。このように
、固定スケール１蟹の四隅の四カ所にスべ−サ１３を印
刷焼成することによって設けた後も硬質金属よりなる保
護薄膜層３０をスベーサ亀３の表面に形成した本発明の
固定スケールを用いて、耐久試験を行なった結果、移動
スケール電亀との摺動によるスベーサの耐摩耗性が「従
来のものと比べて、はるかに向上し、極めて満足な結果
が得られた。
尚、本発明者らの行なった結果によれば、有機質インキ
又は無機質インキを印刷焼成してスべ−サ１３を形成し
ないで「直接硬質金属によりスべ−サ１３を形成するこ
とも不可能ではなかったが、１０仏或いはそれ以上の厚
さを直接硬質金属で形成するためには非常に時間がかか
り、コストアップとなってしまうことは勿論、四カ所の
厚さのバラッキが本発明の構造に比べて大きくなってし
まい、移動スケールと固定スケールの正確な平行度が得
がたかった。以上詳細に説明したように、本発明は、移
動スケールと固定スケールとのスケールギャップを得る
ためのスベーサを有機質インキ又は無機質インキにより
印刷焼成したあとその表面を硬質金属による保護薄膜層
で被覆したため、移動スケールとの摺動に対して、スべ
−サの耐摩耗性を向上することが出来、極めて長期間に
渡って、高精度のデジタル測定器を得ることが出来、そ
の実用的効果は極めて大なるものである。
又は無機質インキを印刷焼成してスべ−サ１３を形成し
ないで「直接硬質金属によりスべ−サ１３を形成するこ
とも不可能ではなかったが、１０仏或いはそれ以上の厚
さを直接硬質金属で形成するためには非常に時間がかか
り、コストアップとなってしまうことは勿論、四カ所の
厚さのバラッキが本発明の構造に比べて大きくなってし
まい、移動スケールと固定スケールの正確な平行度が得
がたかった。以上詳細に説明したように、本発明は、移
動スケールと固定スケールとのスケールギャップを得る
ためのスベーサを有機質インキ又は無機質インキにより
印刷焼成したあとその表面を硬質金属による保護薄膜層
で被覆したため、移動スケールとの摺動に対して、スべ
−サの耐摩耗性を向上することが出来、極めて長期間に
渡って、高精度のデジタル測定器を得ることが出来、そ
の実用的効果は極めて大なるものである。
第１図は〜従来のデジタルダイヤルゲージの要都税額図
、第２図は第竃図に示す説明図のＡ−Ａ断面拡大図、第
３図は第２図のＢ−Ｂ断面図、第４図は第２図のＣ−Ｃ
断面図〜第５図は押圧用弾性部材の形状を示す斜視図、
第６図乃至第７図は固定スケールを示す図、舞藷図及び
第９図は本発明の実施例図でも第８図は断面図「第９図
は斜視図である。 １……枠体、孝……スピンドル〜 亀首……移動スケー
ル「 ｉ２……固定スケール、蔓３……スべ−サ「 富
亀・…・・弾性部材、貴５…・・・受体、亀６・・。 …押圧用弾性部村、１８……発光素子、２ひ…Ｗ受光素
子、３８・・・・・・保護薄膜層。菱↑図 豪Ｚ図 矛３図 才４隣 多５図 界６図 努ワ肉 多８図 多ｑ函
、第２図は第竃図に示す説明図のＡ−Ａ断面拡大図、第
３図は第２図のＢ−Ｂ断面図、第４図は第２図のＣ−Ｃ
断面図〜第５図は押圧用弾性部材の形状を示す斜視図、
第６図乃至第７図は固定スケールを示す図、舞藷図及び
第９図は本発明の実施例図でも第８図は断面図「第９図
は斜視図である。 １……枠体、孝……スピンドル〜 亀首……移動スケー
ル「 ｉ２……固定スケール、蔓３……スべ−サ「 富
亀・…・・弾性部材、貴５…・・・受体、亀６・・。 …押圧用弾性部村、１８……発光素子、２ひ…Ｗ受光素
子、３８・・・・・・保護薄膜層。菱↑図 豪Ｚ図 矛３図 才４隣 多５図 界６図 努ワ肉 多８図 多ｑ函
Claims (1)
- １ 枠体に設けた固定スケールと、移動体に設けた移動
スケールと、この一対のスケールを挾むように対向配置
された発光素子と発光素子とを有し前期移動体の移動量
に電気的に検出するようにしたデジタル測定器において
、前期固定スケールは、前期移動スケールとのスケール
ギヤツプを得るための印刷焼成によつて形成されたスペ
ーサを有し、前記枠体に弾性部材を介して弾性保持され
、かつ前記枠体に支持された受体に配置された押圧用弾
性部材により常時前記移動スケール側に附勢されており
、しかも前記スペーサは、その表面を硬質金属よりなる
保護薄膜層によつて被覆されていることを特徴とするデ
ジタル測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12980681A JPS6018003B2 (ja) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | デジタル測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12980681A JPS6018003B2 (ja) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | デジタル測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5832115A JPS5832115A (ja) | 1983-02-25 |
| JPS6018003B2 true JPS6018003B2 (ja) | 1985-05-08 |
Family
ID=15018677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12980681A Expired JPS6018003B2 (ja) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | デジタル測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6018003B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0364230U (ja) * | 1989-10-26 | 1991-06-24 |
-
1981
- 1981-08-19 JP JP12980681A patent/JPS6018003B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5832115A (ja) | 1983-02-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH07260553A (ja) | 一体構成の薄型重量センサ | |
| EP0673498A4 (en) | PROBE ASSEMBLY FOR VIBRATION INSENSITIVE PROFILOMETERS. | |
| EP0884556A2 (en) | Measuring instrument | |
| CN101000249B (zh) | 柔性铰链电容传感器机芯及使用该机芯的传感器 | |
| JPH08254420A (ja) | 線形測定装置及びこの装置を調整する方法 | |
| US6269687B1 (en) | Force sensing slider | |
| CN110320548B (zh) | 一种用于回旋加速器悬臂梁式探针直线运动的标定方法 | |
| JPS5832115A (ja) | デジタル測定器 | |
| JPH0413615Y2 (ja) | ||
| JPS6310485Y2 (ja) | ||
| US4166998A (en) | Force transducer | |
| CN204667203U (zh) | 力平衡加速度计悬挂式角度调节机构 | |
| JPS5942645Y2 (ja) | 静電容量型粗度計の測定子 | |
| SU1283526A1 (ru) | Измеритель кривизны | |
| US4828057A (en) | Leaf spring | |
| CN212620514U (zh) | 一种面差规及归零治具 | |
| Puddington | A simple surface pressure balance | |
| JPH0124563Y2 (ja) | ||
| CN117804321A (zh) | 一种曲面外形对缝阶差测量工具及测量方法 | |
| US4869331A (en) | Leaf Spring | |
| JPS5973705A (ja) | 平面度測定器 | |
| JPH043205Y2 (ja) | ||
| JPH0532825Y2 (ja) | ||
| SU1442809A1 (ru) | Контактный толщиномер движущегос материала,преимущественно металлической ленты | |
| JPH0734323Y2 (ja) | 撓み荷重測定具 |