JPS60181272A - 真空蒸着用マンドレル - Google Patents
真空蒸着用マンドレルInfo
- Publication number
- JPS60181272A JPS60181272A JP3419684A JP3419684A JPS60181272A JP S60181272 A JPS60181272 A JP S60181272A JP 3419684 A JP3419684 A JP 3419684A JP 3419684 A JP3419684 A JP 3419684A JP S60181272 A JPS60181272 A JP S60181272A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mandrel
- substrate
- vapor
- vacuum deposition
- rubber sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/541—Heating or cooling of the substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は真空蒸着時、被蒸有体を支持する真空脈着用
マンドレルに関する。
マンドレルに関する。
砲子写真装置等に使用される感光体ドラム等にあっては
、製造時、アルミ等からなる基板に感光材を真空蒸着す
るため基板を支持するものとして、従来第１図に示すよ
うなものが用いられている。
、製造時、アルミ等からなる基板に感光材を真空蒸着す
るため基板を支持するものとして、従来第１図に示すよ
うなものが用いられている。
この装置は、感光体ドラムの基板素管である円筒状のア
ルミ基板Ｑｌの内径より少し小さい外径を有する金属製
の芯棒であるいわゆるマンドレルａυにアルミ基板（１
１を挿通し、固定部材ａ４によりアルミ基板翰を固定し
た後、蒸着装置（図示せず）中でマンドレル（１１）表
面を加熱する手によりアルミ基板（１１の温度調整を図
りつつ感光材の真空蒸着を行なうものである。
ルミ基板Ｑｌの内径より少し小さい外径を有する金属製
の芯棒であるいわゆるマンドレルａυにアルミ基板（１
１を挿通し、固定部材ａ４によりアルミ基板翰を固定し
た後、蒸着装置（図示せず）中でマンドレル（１１）表
面を加熱する手によりアルミ基板（１１の温度調整を図
りつつ感光材の真空蒸着を行なうものである。
しかしながらこの装置ではその構造上マンドレルαυと
アルミ基板０〔の間に間隙（１３１’＆生じ、蒸着装置
内にあってはこの間隙ａ（２）も真空となるため、マン
ドレル００表面の熱がアルミ基板←〔に伝導されに＜＜
、例えは第２因に示すようにマンドレル００表面を６０
（’Ｃ）に加熱しても、アルミ基板００）は１０分後で
あっても４０（’Ｃ）迄も到達されない。このため必要
な蒸着温度を得るためにはマンドレルαｌ）の表面ＩＱ
度を高くしなければならず加熱効率が著しく悪い上に、
間隙（１３がアルミ基板ＱＯＩ全長に り均一で無い場
合、熱伝導が不均一となり、アルミ基板００の表面温度
にはらつきを生じ、表面温度の安定化に時間を要すると
いう欠点を有している。
アルミ基板０〔の間に間隙（１３１’＆生じ、蒸着装置
内にあってはこの間隙ａ（２）も真空となるため、マン
ドレル００表面の熱がアルミ基板←〔に伝導されに＜＜
、例えは第２因に示すようにマンドレル００表面を６０
（’Ｃ）に加熱しても、アルミ基板００）は１０分後で
あっても４０（’Ｃ）迄も到達されない。このため必要
な蒸着温度を得るためにはマンドレルαｌ）の表面ＩＱ
度を高くしなければならず加熱効率が著しく悪い上に、
間隙（１３がアルミ基板ＱＯＩ全長に り均一で無い場
合、熱伝導が不均一となり、アルミ基板００の表面温度
にはらつきを生じ、表面温度の安定化に時間を要すると
いう欠点を有している。
この発明は上記事情にもとづいてなされたもので、蒸着
時の基板素管の加熱効率を向上し、均一かつ迅速に基板
素管を加熱して、安定な蒸着を行なう事が出来る真空蒸
着用マンドレルを提供することを目的とする。
時の基板素管の加熱効率を向上し、均一かつ迅速に基板
素管を加熱して、安定な蒸着を行なう事が出来る真空蒸
着用マンドレルを提供することを目的とする。
この発明は上記目的を達成するために、基板素管とこれ
を支持する金属体の間に熱伝導部材を設ける事により、
基板素管の加熱効率の向」二を図り、ひいては蒸着の安
定化を図るようにしたものである。
を支持する金属体の間に熱伝導部材を設ける事により、
基板素管の加熱効率の向」二を図り、ひいては蒸着の安
定化を図るようにしたものである。
以下この発明の実施例を第３図ないし第５図を参照しな
がら説明する。被蒸着体である円筒状のアルミ基板−の
内径より小さい外径を有する金属体ａ力の周囲には熱伝
尋部材賭を形成する弾性膜であるゴムシー） （１８ａ
）が被覆され、このゴムシート（１８ａ）内には熱伝導
体であるチッ素ガス（１８ｂ）が封入されている。そし
てゴムシート（１８ａ）の両側端は封印部材として真空
グリース（図示せず）が塗布されると共に押え部材（２
０ａ） 、 （２０ｂ）によりしめ付けられている。
がら説明する。被蒸着体である円筒状のアルミ基板−の
内径より小さい外径を有する金属体ａ力の周囲には熱伝
尋部材賭を形成する弾性膜であるゴムシー） （１８ａ
）が被覆され、このゴムシート（１８ａ）内には熱伝導
体であるチッ素ガス（１８ｂ）が封入されている。そし
てゴムシート（１８ａ）の両側端は封印部材として真空
グリース（図示せず）が塗布されると共に押え部材（２
０ａ） 、 （２０ｂ）によりしめ付けられている。
しかして真空蒸着時、第３図に示すようにアルミ基板（
ＩＱに金属体←りのゴムシー） （１８ａ）に被覆され
た部分を挿通してアルミ基板Ｑｆ９をゆるやかに支持し
た状態で蒸着工程を開始する。そして金属体（Ｉ７）表
面を、図示しないヒータにより約６０ （’Ｃ）に加熱
すると共に蒸着装置（図示せず）の空気を抜いて行くと
、ゴムシー） （１，８ａ）はチッ素ガス（１８ｂ）の
圧力により徐々に膨張され、第４図に示すようにアルミ
基板（１Ｇ＋内径に密着されて、アルミ基板（１６）は
確実に固定支持される。又、これと同時にアルミ基板（
ＩＱは、チツ累ガス（１８ｂ）及びゴムシート（１８８
）による熱伝導作用により金属体（１７）表面の温度を
伝導され、第５図に示すように数分後には約ω（’Ｃ）
に温度」−昇される。そしてこの様な状態で蒸着が行な
われた後、蒸着装置（図示せず）内に再び空気が入れら
れると、ゴムシー ） （１８ａ）が第３図に示すよう
に収縮される事から、表面処理されたアルミ基板Ｑ６）
は金属体α７）から容易に取り外され、蒸着工程を終了
する。
ＩＱに金属体←りのゴムシー） （１８ａ）に被覆され
た部分を挿通してアルミ基板Ｑｆ９をゆるやかに支持し
た状態で蒸着工程を開始する。そして金属体（Ｉ７）表
面を、図示しないヒータにより約６０ （’Ｃ）に加熱
すると共に蒸着装置（図示せず）の空気を抜いて行くと
、ゴムシー） （１，８ａ）はチッ素ガス（１８ｂ）の
圧力により徐々に膨張され、第４図に示すようにアルミ
基板（１Ｇ＋内径に密着されて、アルミ基板（１６）は
確実に固定支持される。又、これと同時にアルミ基板（
ＩＱは、チツ累ガス（１８ｂ）及びゴムシート（１８８
）による熱伝導作用により金属体（１７）表面の温度を
伝導され、第５図に示すように数分後には約ω（’Ｃ）
に温度」−昇される。そしてこの様な状態で蒸着が行な
われた後、蒸着装置（図示せず）内に再び空気が入れら
れると、ゴムシー ） （１８ａ）が第３図に示すよう
に収縮される事から、表面処理されたアルミ基板Ｑ６）
は金属体α７）から容易に取り外され、蒸着工程を終了
する。
このように構成すれば、アルミ基板００が熱伝導部材０
団を介し金属体（１７）により効率的に加熱される事か
ら、従来に比し小さな熱源によりアルミ基板０６）が迅
速かつ均一に温度調節され、ひいては迅速かつ安定に蒸
着を行なう事が出来る。
団を介し金属体（１７）により効率的に加熱される事か
ら、従来に比し小さな熱源によりアルミ基板０６）が迅
速かつ均一に温度調節され、ひいては迅速かつ安定に蒸
着を行なう事が出来る。
尚この発明は上記実施例に限定されず種々設計変更可能
であり、例えば真空蒸着される材負は感光部材に限定さ
れないし、弾性膜もポリエチレンシートやビニルあるい
はポリエチレンでコーティングしたゴムシートやビニー
ルでコーチインクシたゴムシート等であっても良く、熱
伝導体も弾性膜やマンドレル表面に化学変化を起さない
ものであれば良く、アルゴン等も適している。更に金属
体の加熱温度もω（℃）に限定されない。又、熱伝導体
は気体のみでなく熱伝導性を有する気体と液体の混合体
、あるいは気体と固体の混合体、更には気体と液体と固
体の混合体であっても良い。尚この時使用される液体と
しては水銀やオイル等が適しているが特には金属体の加
熱温度付近に沸点のある物質が適当であるし、固体とし
てはスチールウール等連している。そしてこのように熱
伝導体として混合体を使用した場合は気体のみの場合に
比し、熱伝導性及び熱容量をより大きくする事が出来、
従って被蒸着体温度をより迅速かつ安定に最適温度に調
整する事が出来る。
であり、例えば真空蒸着される材負は感光部材に限定さ
れないし、弾性膜もポリエチレンシートやビニルあるい
はポリエチレンでコーティングしたゴムシートやビニー
ルでコーチインクシたゴムシート等であっても良く、熱
伝導体も弾性膜やマンドレル表面に化学変化を起さない
ものであれば良く、アルゴン等も適している。更に金属
体の加熱温度もω（℃）に限定されない。又、熱伝導体
は気体のみでなく熱伝導性を有する気体と液体の混合体
、あるいは気体と固体の混合体、更には気体と液体と固
体の混合体であっても良い。尚この時使用される液体と
しては水銀やオイル等が適しているが特には金属体の加
熱温度付近に沸点のある物質が適当であるし、固体とし
てはスチールウール等連している。そしてこのように熱
伝導体として混合体を使用した場合は気体のみの場合に
比し、熱伝導性及び熱容量をより大きくする事が出来、
従って被蒸着体温度をより迅速かつ安定に最適温度に調
整する事が出来る。
以上説明したようにこの発明によれば、蒸着時被蒸着体
に密接される熱伝導部材を介して金属体の温度が被蒸着
体に効率的に伝導される事から、被蒸着体が迅速かつ均
一に温度調節されるので、被蒸着体への蒸着も迅速かつ
安定に行なう事が出来ると共に、従来に比し金属体表面
を加熱するための熱源を小さく１−る事が出来、′重力
の節減も可能となる。
に密接される熱伝導部材を介して金属体の温度が被蒸着
体に効率的に伝導される事から、被蒸着体が迅速かつ均
一に温度調節されるので、被蒸着体への蒸着も迅速かつ
安定に行なう事が出来ると共に、従来に比し金属体表面
を加熱するための熱源を小さく１−る事が出来、′重力
の節減も可能となる。
第１図及び第２図は従来の装置を示し、第１図はその一
部省略断面図、第２図はそのマンドレルの温度に対する
アルミ基板の温度をボすグラフ、第３図ないし第５図は
この発明の一実施例を示し第３図はそのアルミ基板挿通
時を示す一部省略断面図、第４図はその；＃着時を示す
一部省略断面図、第５図はその金属体の温度に対するア
ルミ基板の温度を示すグラフである。 １６・・・アルミ基板、 １７・・・金属体１８・・・
熱伝導部材、 １８ａ・・・ゴムシート１８ｂ・・・チ
ッ素ガス、 ２０ａ 、 ２０ｂ・・・押え部材第 １
図 Ａ（１つ
部省略断面図、第２図はそのマンドレルの温度に対する
アルミ基板の温度をボすグラフ、第３図ないし第５図は
この発明の一実施例を示し第３図はそのアルミ基板挿通
時を示す一部省略断面図、第４図はその；＃着時を示す
一部省略断面図、第５図はその金属体の温度に対するア
ルミ基板の温度を示すグラフである。 １６・・・アルミ基板、 １７・・・金属体１８・・・
熱伝導部材、 １８ａ・・・ゴムシート１８ｂ・・・チ
ッ素ガス、 ２０ａ 、 ２０ｂ・・・押え部材第 １
図 Ａ（１つ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被蒸着体を支持する金属体と、この金属体及び前記
被蒸着体の間に挿入される変形可能の熱伝導部材とを具
備する事を特徴とする真空蒸着用マンドレル。 ２ 熱伝導部材が、金属体周囲を被覆する弾性膜及びこ
の弾性膜内に封入される熱伝導体である事を特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の真空蒸着用マンドレル。 ３、熱伝導体が気体である事を特徴とする特許請求の範
囲第２項記載の真空蒸着用マンドレル。 ４、熱伝導体が気体及び固体の混合体である事を特徴と
する特許請求の範囲第２項記載の真空蒸着用マンドレル
。 ５、熱伝導体が気体及び液体の混合体である事を特徴と
する特許請求の範囲第２項記載の真空蒸着用マンドレル
。 ６、熱伝導体が気体及び液体並びに固体の混合体である
事を特徴とする特許請求の範囲第２項記載の真空１１Ｎ
用マンドレル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3419684A JPS60181272A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 真空蒸着用マンドレル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3419684A JPS60181272A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 真空蒸着用マンドレル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60181272A true JPS60181272A (ja) | 1985-09-14 |
Family
ID=12407412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3419684A Pending JPS60181272A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 真空蒸着用マンドレル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60181272A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63157854A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-06-30 | Fuji Electric Co Ltd | 電子写真用感光体製造装置 |
-
1984
- 1984-02-27 JP JP3419684A patent/JPS60181272A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63157854A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-06-30 | Fuji Electric Co Ltd | 電子写真用感光体製造装置 |
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