JPH1088322A - リチウム用蒸着源 - Google Patents
リチウム用蒸着源Info
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- JPH1088322A JPH1088322A JP26794896A JP26794896A JPH1088322A JP H1088322 A JPH1088322 A JP H1088322A JP 26794896 A JP26794896 A JP 26794896A JP 26794896 A JP26794896 A JP 26794896A JP H1088322 A JPH1088322 A JP H1088322A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 リチウムと反応しない素材からなり、しかも
製造が容易な坩堝を備えたリチウム用蒸着源を提供す
る。 【解決手段】 リチウム用蒸着源１０は、リチウムＬを
内側に収容するステンレス鋼製の坩堝１２と、坩堝１２
の外側からリチウムＬを加熱するヒータ９４とを備えた
ものである。坩堝１２は、ステンレス鋼製であるので、
リチウムと反応せず、しかも金型によって簡単かつ大量
に生産できる。
製造が容易な坩堝を備えたリチウム用蒸着源を提供す
る。 【解決手段】 リチウム用蒸着源１０は、リチウムＬを
内側に収容するステンレス鋼製の坩堝１２と、坩堝１２
の外側からリチウムＬを加熱するヒータ９４とを備えた
ものである。坩堝１２は、ステンレス鋼製であるので、
リチウムと反応せず、しかも金型によって簡単かつ大量
に生産できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、リチウムを薄膜状
に形成する際に用いるリチウム用蒸着源に関する。
に形成する際に用いるリチウム用蒸着源に関する。
【０００２】
【従来の技術】リチウムは、原子番号３、元素記号Ｌｉ
で表され、原子量6.941 、アルカリ金属、固体の単体中
で最も軽い等の性質を有し、近年は電池の電極材料や半
導体材料として用いられている。
で表され、原子量6.941 、アルカリ金属、固体の単体中
で最も軽い等の性質を有し、近年は電池の電極材料や半
導体材料として用いられている。
【０００３】図６は、従来のリチウム用蒸着源を示す概
略断面図である。以下、この図面に基づき説明する。
略断面図である。以下、この図面に基づき説明する。
【０００４】従来のリチウム用蒸着源９０は、リチウム
Ｌを内側に収容する石英製の坩堝９２と、坩堝９２の外
側からリチウムＬを加熱するヒータ９４とを備えたもの
である。坩堝９２は、全体として有底円筒状を呈してい
る。ヒータ９４は、石英製の円筒体９４１と、円筒体９
４１の外周に螺旋状に巻回された発熱抵抗線９４２とか
ら構成されている。
Ｌを内側に収容する石英製の坩堝９２と、坩堝９２の外
側からリチウムＬを加熱するヒータ９４とを備えたもの
である。坩堝９２は、全体として有底円筒状を呈してい
る。ヒータ９４は、石英製の円筒体９４１と、円筒体９
４１の外周に螺旋状に巻回された発熱抵抗線９４２とか
ら構成されている。
【０００５】リチウム用蒸着源９０は、真空チャンバ
（図示せず）内に設置される。真空チャンバ内では、リ
チウム用蒸着源９０の上方に被蒸着物（図示せず）が支
持される。ここで、発熱抵抗線９４２に通電すると、発
熱抵抗線９４２で発生した熱が、円筒体９４１及び坩堝
９２を通してリチウムＬに伝わる。こうして加熱された
リチウムＬは、溶融して蒸気となって被蒸着物に付着す
る。その結果、被蒸着物表面にリチウム薄膜が形成され
る。
（図示せず）内に設置される。真空チャンバ内では、リ
チウム用蒸着源９０の上方に被蒸着物（図示せず）が支
持される。ここで、発熱抵抗線９４２に通電すると、発
熱抵抗線９４２で発生した熱が、円筒体９４１及び坩堝
９２を通してリチウムＬに伝わる。こうして加熱された
リチウムＬは、溶融して蒸気となって被蒸着物に付着す
る。その結果、被蒸着物表面にリチウム薄膜が形成され
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
リチウム用蒸着源９０では、次のような問題があった。
リチウム用蒸着源９０では、次のような問題があった。
【０００７】リチウムＬは、化学反応しやすい物質であ
るため、石英とも反応する。そのため、リチウム用蒸着
源９０では、石英が浸食されることにより発熱抵抗線９
４２とリチウムＬとの短絡等を引き起こすので、坩堝９
２や円筒体９４１を頻繁に交換しなければならなかっ
た。また、坩堝９２等を交換するまでの間にも、石英の
浸食が進むことにより、リチウムＬに対する熱伝導が変
化するので、再現性のよいリチウム薄膜が得られなかっ
た。さらに、石英は金型による大量生産には向かない素
材であるため、坩堝９２の製造工程の簡略化及び製造費
の低減を図ることは困難であった。
るため、石英とも反応する。そのため、リチウム用蒸着
源９０では、石英が浸食されることにより発熱抵抗線９
４２とリチウムＬとの短絡等を引き起こすので、坩堝９
２や円筒体９４１を頻繁に交換しなければならなかっ
た。また、坩堝９２等を交換するまでの間にも、石英の
浸食が進むことにより、リチウムＬに対する熱伝導が変
化するので、再現性のよいリチウム薄膜が得られなかっ
た。さらに、石英は金型による大量生産には向かない素
材であるため、坩堝９２の製造工程の簡略化及び製造費
の低減を図ることは困難であった。
【０００８】
【発明の目的】そこで、本発明の目的は、リチウムと反
応しない素材からなり、しかも製造が容易な坩堝を備え
たリチウム用蒸着源を提供することにある。
応しない素材からなり、しかも製造が容易な坩堝を備え
たリチウム用蒸着源を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者は、種々の素材
について検討を重ねた結果、ステンレス鋼が上記目的に
合致することを見い出した。本発明は、この知見に基づ
きなされたものである。すなわち、本発明は、リチウム
を内側に収容する坩堝と、この坩堝の外側からリチウム
を加熱するヒータとを備えたリチウム用蒸着源を改良し
たものである。その改良点は、第一の発明では坩堝をス
テンレス鋼製としたことであり、第二の発明では、坩堝
を側壁部と底板部とから構成し、側壁部をステンレス鋼
製、底板部を雲母製としたことである。
について検討を重ねた結果、ステンレス鋼が上記目的に
合致することを見い出した。本発明は、この知見に基づ
きなされたものである。すなわち、本発明は、リチウム
を内側に収容する坩堝と、この坩堝の外側からリチウム
を加熱するヒータとを備えたリチウム用蒸着源を改良し
たものである。その改良点は、第一の発明では坩堝をス
テンレス鋼製としたことであり、第二の発明では、坩堝
を側壁部と底板部とから構成し、側壁部をステンレス鋼
製、底板部を雲母製としたことである。
【００１０】ステンレス鋼とは、耐食性を向上させる目
的で、クロムとニッケルを含有させた合金鋼をいう。十
分な耐食性を得るために、クロムの含有量は11％以上と
することが好ましい。
的で、クロムとニッケルを含有させた合金鋼をいう。十
分な耐食性を得るために、クロムの含有量は11％以上と
することが好ましい。
【００１１】また、本発明は、名称を「リチウム用…」
としているが、リチウムに限らずリチウムに化学的性質
の似ている物質にも適用可能である。そのような物質と
しては、マグネシウム、ナトリウム、カリウム等が挙げ
られる。
としているが、リチウムに限らずリチウムに化学的性質
の似ている物質にも適用可能である。そのような物質と
しては、マグネシウム、ナトリウム、カリウム等が挙げ
られる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係るリチウム用
蒸着源の第一実施形態を示す概略断面図である。以下、
この図面に基づき説明する。ただし、図６と同一部分は
同一符号を付すことにより重複説明を省略する。
蒸着源の第一実施形態を示す概略断面図である。以下、
この図面に基づき説明する。ただし、図６と同一部分は
同一符号を付すことにより重複説明を省略する。
【００１３】リチウム用蒸着源１０は、リチウムＬを内
側に収容するステンレス鋼製の坩堝１２と、坩堝１２の
外側からリチウムＬを加熱するヒータ９４とを備えたも
のである。坩堝１２は、全体として有底円筒状を呈して
おり、やや径大とした開口部１２１が形成されている。
ヒータ９４は、従来と同じように、石英製の円筒体９４
１と、円筒体９４１の外周に螺旋状に巻回された発熱抵
抗線９４２とから構成されている。
側に収容するステンレス鋼製の坩堝１２と、坩堝１２の
外側からリチウムＬを加熱するヒータ９４とを備えたも
のである。坩堝１２は、全体として有底円筒状を呈して
おり、やや径大とした開口部１２１が形成されている。
ヒータ９４は、従来と同じように、石英製の円筒体９４
１と、円筒体９４１の外周に螺旋状に巻回された発熱抵
抗線９４２とから構成されている。
【００１４】坩堝１２は、ステンレス鋼製であるので、
従来の石英製に比べて次のような利点がある。．リチ
ウムと反応しないので、長寿命である。したがって、交
換の手間が不要であり、使用による熱伝導の変化もない
ので再現性の良いリチウム薄膜が得られる。．金型に
よって簡単かつ大量に生産できる。例えば、絞り型を作
成し、この絞り型をステンレス鋼板にプレスすることに
より、継ぎ目のない容器状の坩堝を簡単に成形できる。
．変形しにくく割れにくいので薄くでき、薄くできる
のでヒータの熱がリチウムに伝わりやすくなる。しか
も、熱伝導率も石英よりは大きい。
従来の石英製に比べて次のような利点がある。．リチ
ウムと反応しないので、長寿命である。したがって、交
換の手間が不要であり、使用による熱伝導の変化もない
ので再現性の良いリチウム薄膜が得られる。．金型に
よって簡単かつ大量に生産できる。例えば、絞り型を作
成し、この絞り型をステンレス鋼板にプレスすることに
より、継ぎ目のない容器状の坩堝を簡単に成形できる。
．変形しにくく割れにくいので薄くでき、薄くできる
のでヒータの熱がリチウムに伝わりやすくなる。しか
も、熱伝導率も石英よりは大きい。
【００１５】次に、リチウム用蒸着源１０の動作を説明
する。
する。
【００１６】リチウム用蒸着源１０は、真空チャンバ
（図示せず）内に設置される。真空チャンバ内では、リ
チウム用蒸着源１０の上方に被蒸着物（図示せず）が支
持される。ここで、発熱抵抗線９４２に通電すると、発
熱抵抗線９４２で発生した熱が、円筒体９４１及び坩堝
１２を通してリチウムＬに伝わる。このとき、坩堝１２
は、リチウムＬと反応しないので長寿命であり、また熱
伝導性も良いのでリチウムＬを速く加熱できる。こうし
て加熱されたリチウムＬは、溶融して蒸気となって被蒸
着物に付着する。その結果、被蒸着物表面にリチウム薄
膜が形成される。このとき、使用により坩堝１２の熱伝
導が変化しないので、再現性の良いリチウム薄膜が得ら
れる。
（図示せず）内に設置される。真空チャンバ内では、リ
チウム用蒸着源１０の上方に被蒸着物（図示せず）が支
持される。ここで、発熱抵抗線９４２に通電すると、発
熱抵抗線９４２で発生した熱が、円筒体９４１及び坩堝
１２を通してリチウムＬに伝わる。このとき、坩堝１２
は、リチウムＬと反応しないので長寿命であり、また熱
伝導性も良いのでリチウムＬを速く加熱できる。こうし
て加熱されたリチウムＬは、溶融して蒸気となって被蒸
着物に付着する。その結果、被蒸着物表面にリチウム薄
膜が形成される。このとき、使用により坩堝１２の熱伝
導が変化しないので、再現性の良いリチウム薄膜が得ら
れる。
【００１７】図２は、本発明に係るリチウム用蒸着源の
第二実施形態を示す概略断面図である。以下、この図面
に基づき説明する。ただし、図１と同一部分は同一符号
を付すことにより重複説明を省略する。
第二実施形態を示す概略断面図である。以下、この図面
に基づき説明する。ただし、図１と同一部分は同一符号
を付すことにより重複説明を省略する。
【００１８】リチウム用蒸着源２０は、リチウムＬを内
側に収容するステンレス鋼製の坩堝１２と、坩堝１２の
外側からリチウムＬを加熱するヒータ２４とを備えたも
のである。ヒータ２４は、シリコンカーバイト製であ
り、螺旋状に成形されている。リチウム用蒸着源２０
も、リチウム用蒸着源１０（図１）と同様の作用・効果
を奏する。
側に収容するステンレス鋼製の坩堝１２と、坩堝１２の
外側からリチウムＬを加熱するヒータ２４とを備えたも
のである。ヒータ２４は、シリコンカーバイト製であ
り、螺旋状に成形されている。リチウム用蒸着源２０
も、リチウム用蒸着源１０（図１）と同様の作用・効果
を奏する。
【００１９】図３は、本発明に係るリチウム用蒸着源の
第三実施形態を示す概略断面図である。以下、この図面
に基づき説明する。
第三実施形態を示す概略断面図である。以下、この図面
に基づき説明する。
【００２０】リチウム用蒸着源３０は、リチウムＬを内
側に収容するステンレス鋼製の坩堝３２と、坩堝１２の
外側からリチウムＬを加熱するヒータ３４とを備えたも
のである。坩堝３２は、全体として皿状を呈している。
ヒータ３４は、坩堝３２を支持する雲母板３４１と、坩
堝３２及び雲母板３４１に非接触で坩堝３２を加熱する
発熱抵抗線３４２とから構成されている。雲母板３４１
の坩堝３２を載置する部分には、透孔３４３が形成され
ている。発熱抵抗線３４２から発生した輻射熱は、透孔
３４３を素通りして、坩堝３２に非接触で伝わる。雲母
は、耐食性、耐熱性及び絶縁性に優れた素材である。リ
チウム用蒸着源３０も、リチウム用蒸着源１０（図１）
と同様の作用・効果を奏する。また、坩堝３２は、径に
比べて底が浅いので、絞り加工において一回のプレスに
よる成形が可能である。
側に収容するステンレス鋼製の坩堝３２と、坩堝１２の
外側からリチウムＬを加熱するヒータ３４とを備えたも
のである。坩堝３２は、全体として皿状を呈している。
ヒータ３４は、坩堝３２を支持する雲母板３４１と、坩
堝３２及び雲母板３４１に非接触で坩堝３２を加熱する
発熱抵抗線３４２とから構成されている。雲母板３４１
の坩堝３２を載置する部分には、透孔３４３が形成され
ている。発熱抵抗線３４２から発生した輻射熱は、透孔
３４３を素通りして、坩堝３２に非接触で伝わる。雲母
は、耐食性、耐熱性及び絶縁性に優れた素材である。リ
チウム用蒸着源３０も、リチウム用蒸着源１０（図１）
と同様の作用・効果を奏する。また、坩堝３２は、径に
比べて底が浅いので、絞り加工において一回のプレスに
よる成形が可能である。
【００２１】図４は、本発明に係るリチウム用蒸着源の
第四実施形態を示す概略断面図である。以下、この図面
に基づき説明する。ただし、図３と同一部分は同一符号
を付すことにより重複説明を省略する。
第四実施形態を示す概略断面図である。以下、この図面
に基づき説明する。ただし、図３と同一部分は同一符号
を付すことにより重複説明を省略する。
【００２２】リチウム用蒸着源４０は、リチウムＬを内
側に収容する坩堝４２と、坩堝４２の外側からリチウム
Ｌを加熱するヒータ３４とを備えたものである。坩堝４
２は、ステンレス鋼製の側壁部４２１と雲母製の底板部
４２２とからなる。側壁部４２１は、全体として円筒状
を呈している。底板部４２２は、全体として円板状を呈
している。雲母は結晶水を有するが、リチウムＬの蒸発
温度が低いので、通常の使用状態では底板部４２２が加
水分解することはない。リチウム用蒸着源４０も、リチ
ウム用蒸着源１０（図１）と同様の作用・効果を奏す
る。また、雲母は、絶縁性に優れるが、層状に剥がれや
すいため板状にしか加工できない。一方、ステンレス鋼
は、加工性に優れるが、金属であるため絶縁性に劣る。
そこで、坩堝４２のような構造を採ることにより、これ
らの欠点を補い長所を生かすようにしている。その結
果、坩堝４２に発熱抵抗線３４２を極めて接近させるこ
とができるので、加熱の迅速化及び低消費電力化をより
達成できる。
側に収容する坩堝４２と、坩堝４２の外側からリチウム
Ｌを加熱するヒータ３４とを備えたものである。坩堝４
２は、ステンレス鋼製の側壁部４２１と雲母製の底板部
４２２とからなる。側壁部４２１は、全体として円筒状
を呈している。底板部４２２は、全体として円板状を呈
している。雲母は結晶水を有するが、リチウムＬの蒸発
温度が低いので、通常の使用状態では底板部４２２が加
水分解することはない。リチウム用蒸着源４０も、リチ
ウム用蒸着源１０（図１）と同様の作用・効果を奏す
る。また、雲母は、絶縁性に優れるが、層状に剥がれや
すいため板状にしか加工できない。一方、ステンレス鋼
は、加工性に優れるが、金属であるため絶縁性に劣る。
そこで、坩堝４２のような構造を採ることにより、これ
らの欠点を補い長所を生かすようにしている。その結
果、坩堝４２に発熱抵抗線３４２を極めて接近させるこ
とができるので、加熱の迅速化及び低消費電力化をより
達成できる。
【００２３】図５は、本発明に係るリチウム用蒸着源を
用いたホットウォールエピタキシャル装置の一例を示す
概略断面図である。以下、この図面に基づき説明する。
用いたホットウォールエピタキシャル装置の一例を示す
概略断面図である。以下、この図面に基づき説明する。
【００２４】ホットウォールエピタキシャル装置５０
は、真空チャンバ５２内に設けられた、ヘッド部５４、
ウォール部５６及びソース部５８から構成されている。
は、真空チャンバ５２内に設けられた、ヘッド部５４、
ウォール部５６及びソース部５８から構成されている。
【００２５】ウォール部５６及びソース部５８は、本発
明に係るリチウム用蒸着源６０によって一体的に実現さ
れている。リチウム用蒸着源６０は、リチウム用蒸着源
１０（図１）とほぼ同じ構造を有しており、リチウムＬ
を内側に収容するステンレス鋼製の坩堝６２と、坩堝６
２の外側からリチウムＬを加熱するヒータ６４とを備え
たものである。坩堝６２は、全体として有底円筒状を呈
している。ヒータ６４は、石英製の円筒体６４１と、円
筒体６４１の外周に螺旋状に巻回された発熱抵抗線６４
２とから構成されている。
明に係るリチウム用蒸着源６０によって一体的に実現さ
れている。リチウム用蒸着源６０は、リチウム用蒸着源
１０（図１）とほぼ同じ構造を有しており、リチウムＬ
を内側に収容するステンレス鋼製の坩堝６２と、坩堝６
２の外側からリチウムＬを加熱するヒータ６４とを備え
たものである。坩堝６２は、全体として有底円筒状を呈
している。ヒータ６４は、石英製の円筒体６４１と、円
筒体６４１の外周に螺旋状に巻回された発熱抵抗線６４
２とから構成されている。
【００２６】ヘッド部５４は、基板５４１を載置する載
置台５４２と、載置台５４２の透孔５４３と坩堝６２の
開口端６２１との間に介挿されたシャッタ５４４と、基
板５４１を加熱するハロゲンランプ５４５とから構成さ
れている。載置台５４２は、支持棒５４６，５４７によ
って、真空チャンバ５２に固定されている。
置台５４２と、載置台５４２の透孔５４３と坩堝６２の
開口端６２１との間に介挿されたシャッタ５４４と、基
板５４１を加熱するハロゲンランプ５４５とから構成さ
れている。載置台５４２は、支持棒５４６，５４７によ
って、真空チャンバ５２に固定されている。
【００２７】一般的なホットウォールエピタキシャル装
置の特長は、熱平衡に近い状態でのエピタキシャル成長
が可能であるので良質の薄膜が形成でき、しかも蒸着材
料の損失を必要最小限に抑えることができる点にある。
ウォール部５６は、ソース部５８と基板５４１との間に
あって、リチウムＬの蒸気を均一温度に保つとともに、
リチウムＬの蒸気の輸送管の役目をする。ソース部５８
から基板５４１まではほぼ密閉状態にあるので、蒸気の
外部への散逸を防止できるとともに、蒸気圧を一定に制
御できる。ソース部５８、ウォール部５６及び基板５４
１は、熱的に弱く結合しているので、ある範囲で温度を
独立に制御できる。
置の特長は、熱平衡に近い状態でのエピタキシャル成長
が可能であるので良質の薄膜が形成でき、しかも蒸着材
料の損失を必要最小限に抑えることができる点にある。
ウォール部５６は、ソース部５８と基板５４１との間に
あって、リチウムＬの蒸気を均一温度に保つとともに、
リチウムＬの蒸気の輸送管の役目をする。ソース部５８
から基板５４１まではほぼ密閉状態にあるので、蒸気の
外部への散逸を防止できるとともに、蒸気圧を一定に制
御できる。ソース部５８、ウォール部５６及び基板５４
１は、熱的に弱く結合しているので、ある範囲で温度を
独立に制御できる。
【００２８】次に、ホットウォールエピタキシャル装置
５０の動作を説明する。
５０の動作を説明する。
【００２９】まず、真空チャンバ５２を大気圧に開放し
た後、真空チャンバ５２内に基板５４１及びリチウムＬ
をセットする。続いて、図示しない真空ポンプによっ
て、真空チャンバ５２内を所定の真空度にする。ここ
で、発熱抵抗線６４２に通電するとともに、ハロゲンラ
ンプ５４５を点灯させる。すると、発熱抵抗線６４２が
ウォール部５６及びソース部５８を加熱し、ハロゲンラ
ンプ５４５が基板５４１を加熱する。こうして加熱され
たリチウムＬは、溶融して蒸気となってソース部５８か
ら離脱し、ウォール部５６の内壁と衝突を繰り返すこと
によりウォール部５６の温度とほぼ等しくなり、さらに
ヘッド部５４の方へ移動する。シャッタ５４４を開く
と、リチウムＬは、基板５４１との間で再蒸発及び再付
着も生じながら、ほぼ熱平衡に近い状態で結晶成長す
る。その結果、基板５４１にリチウム薄膜（図示せず）
が形成される。
た後、真空チャンバ５２内に基板５４１及びリチウムＬ
をセットする。続いて、図示しない真空ポンプによっ
て、真空チャンバ５２内を所定の真空度にする。ここ
で、発熱抵抗線６４２に通電するとともに、ハロゲンラ
ンプ５４５を点灯させる。すると、発熱抵抗線６４２が
ウォール部５６及びソース部５８を加熱し、ハロゲンラ
ンプ５４５が基板５４１を加熱する。こうして加熱され
たリチウムＬは、溶融して蒸気となってソース部５８か
ら離脱し、ウォール部５６の内壁と衝突を繰り返すこと
によりウォール部５６の温度とほぼ等しくなり、さらに
ヘッド部５４の方へ移動する。シャッタ５４４を開く
と、リチウムＬは、基板５４１との間で再蒸発及び再付
着も生じながら、ほぼ熱平衡に近い状態で結晶成長す
る。その結果、基板５４１にリチウム薄膜（図示せず）
が形成される。
【００３０】ホットウォールエピタキシャル装置５０に
よれば、本発明に係るリチウム用蒸着源６０によって得
られる効果をそのまま生かすことができる。例えば、使
用により坩堝６２の熱伝導が変化しないので、良質のリ
チウム薄膜を再現性良く何回でも得ることができる。ま
た、坩堝６２の交換が不要であるので、保守・点検作業
を簡略化できる。
よれば、本発明に係るリチウム用蒸着源６０によって得
られる効果をそのまま生かすことができる。例えば、使
用により坩堝６２の熱伝導が変化しないので、良質のリ
チウム薄膜を再現性良く何回でも得ることができる。ま
た、坩堝６２の交換が不要であるので、保守・点検作業
を簡略化できる。
【００３１】なお、ホットウォールエピタキシャル装置
５０には、必要に応じリザーバ部を付設してもよい。
５０には、必要に応じリザーバ部を付設してもよい。
【００３２】
【発明の効果】請求項１又は２記載のリチウム用蒸着源
によれば、坩堝の全部又は一部をステンレス鋼製とした
ことにより、次の効果を奏する。
によれば、坩堝の全部又は一部をステンレス鋼製とした
ことにより、次の効果を奏する。
【００３３】（１）リチウムと反応しないので長寿命で
ある。したがって、交換の手間が不要であるので保守及
び点検作業を簡略化できるとともに、使用による熱伝導
の変化もないのでリチウム薄膜の再現性を向上できる。
ある。したがって、交換の手間が不要であるので保守及
び点検作業を簡略化できるとともに、使用による熱伝導
の変化もないのでリチウム薄膜の再現性を向上できる。
【００３４】（２）金型によって簡単かつ大量に生産で
きるので、製造工程の簡略化及び製造費の低減化を図る
ことができる。
きるので、製造工程の簡略化及び製造費の低減化を図る
ことができる。
【００３５】（３）変形及び割れに強いので薄くでき、
しかも熱伝導率も石英よりは大きい。したがって、加熱
の迅速化及び低消費電力化を図ることができる。
しかも熱伝導率も石英よりは大きい。したがって、加熱
の迅速化及び低消費電力化を図ることができる。
【００３６】請求項２記載のリチウム用蒸着源によれ
ば、坩堝の側壁部をステンレス鋼製とし、坩堝の底板部
を雲母製としたことにより、次の効果を奏する。
ば、坩堝の側壁部をステンレス鋼製とし、坩堝の底板部
を雲母製としたことにより、次の効果を奏する。
【００３７】（１）ステンレス鋼製の側壁部は単なる筒
状でよく、雲母製の底板部は単なる板状でよいので、加
工が極めて容易である。したがって、製造工程の簡略化
及び製造費の低減化をさらに図ることができる。
状でよく、雲母製の底板部は単なる板状でよいので、加
工が極めて容易である。したがって、製造工程の簡略化
及び製造費の低減化をさらに図ることができる。
【００３８】（２）雲母製の底板部を介してリチウムを
加熱することにより、底板部に剥き出しの発熱抵抗線を
極めて接近させることができ、加熱の迅速化及び低消費
電力化をさらに図ることができる。
加熱することにより、底板部に剥き出しの発熱抵抗線を
極めて接近させることができ、加熱の迅速化及び低消費
電力化をさらに図ることができる。
【図１】本発明に係るリチウム用蒸着源の第一実施形態
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図２】本発明に係るリチウム用蒸着源の第二実施形態
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図３】本発明に係るリチウム用蒸着源の第三実施形態
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図４】本発明に係るリチウム用蒸着源の第四実施形態
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図５】本発明に係るリチウム用蒸着源を用いたホット
ウォールエピタキシャル装置の一例を示す概略断面図で
ある。
ウォールエピタキシャル装置の一例を示す概略断面図で
ある。
【図６】従来のリチウム用蒸着源を示す概略断面図であ
る。
る。
１０，２０，３０，４０，６０ リチウム用蒸着源 １２，３２，４２，６２ 坩堝 ２４，３４，６４，９４ ヒータ ５０ ホットウォールエピタキシャル装置 ４２１ 側壁部 ４２２ 底板部 Ｌ リチウム
Claims (2)
- 【請求項１】 リチウムを内側に収容する坩堝と、この
坩堝の外側から前記リチウムを加熱するヒータとを備え
たリチウム用蒸着源において、 前記坩堝がステンレス鋼製であることを特徴とするリチ
ウム用蒸着源。 - 【請求項２】 リチウムを内側に収容する坩堝と、この
坩堝の外側から前記リチウムを加熱するヒータとを備え
たリチウム用蒸着源において、 前記坩堝がステンレス鋼製の側壁部と雲母製の底板部と
からなることを特徴とするリチウム用蒸着源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26794896A JP3758253B2 (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | リチウム用蒸着源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26794896A JP3758253B2 (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | リチウム用蒸着源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1088322A true JPH1088322A (ja) | 1998-04-07 |
| JP3758253B2 JP3758253B2 (ja) | 2006-03-22 |
Family
ID=17451830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26794896A Expired - Fee Related JP3758253B2 (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | リチウム用蒸着源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3758253B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100410416C (zh) * | 2006-05-31 | 2008-08-13 | 中国科学院物理研究所 | 用于真空系统的可移动、万向蒸发源装置 |
| JP2010519017A (ja) * | 2007-02-16 | 2010-06-03 | サエス ゲッターズ ソチエタ ペル アツィオニ | 空気中で安定なアルカリまたはアルカリ土類金属供給装置 |
| JP4871878B2 (ja) * | 2004-11-24 | 2012-02-08 | サエス ゲッターズ ソチエタ ペル アツィオニ | 多量の金属を放出できるアルカリ金属の分配システム |
| JP2014169501A (ja) * | 2008-05-30 | 2014-09-18 | Applied Materials Inc | 基板をコーティングするための装置 |
| WO2016011687A1 (zh) * | 2014-07-22 | 2016-01-28 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 用于oled材料蒸镀的加热装置 |
-
1996
- 1996-09-18 JP JP26794896A patent/JP3758253B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
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| JP4871878B2 (ja) * | 2004-11-24 | 2012-02-08 | サエス ゲッターズ ソチエタ ペル アツィオニ | 多量の金属を放出できるアルカリ金属の分配システム |
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| US10109446B2 (en) | 2007-02-16 | 2018-10-23 | Saes Getters S.P.A. | Air-stable alkali or alkaline-earth metal dispensers |
| JP2014169501A (ja) * | 2008-05-30 | 2014-09-18 | Applied Materials Inc | 基板をコーティングするための装置 |
| WO2016011687A1 (zh) * | 2014-07-22 | 2016-01-28 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 用于oled材料蒸镀的加热装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3758253B2 (ja) | 2006-03-22 |
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