JPS60182728A - 縦型炉 - Google Patents
縦型炉Info
- Publication number
- JPS60182728A JPS60182728A JP59037922A JP3792284A JPS60182728A JP S60182728 A JPS60182728 A JP S60182728A JP 59037922 A JP59037922 A JP 59037922A JP 3792284 A JP3792284 A JP 3792284A JP S60182728 A JPS60182728 A JP S60182728A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- partition
- heating element
- furnace
- outer cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
- H10P95/90—Thermal treatments, e.g. annealing or sintering
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１１発明の技術分野
本発明は縦型炉、詳しくは炉芯管に沿って流体を積極的
に対流させ炉内温度が均一化された縦型炉に関する。
に対流させ炉内温度が均一化された縦型炉に関する。
（２）技術の背景
シリコンウェハの熱拡散などのために従来は主に横型炉
が用いられてきたが、最近縦型炉が注目されるようにな
った。その理由は、石英の摺動による石英粒子の発生が
ないので無塵化が実現され、自動化が容易かつ安価にで
き、省スペースと省エネルギーが達成され、また大口径
ウェハの処理を可能にするからである。
が用いられてきたが、最近縦型炉が注目されるようにな
った。その理由は、石英の摺動による石英粒子の発生が
ないので無塵化が実現され、自動化が容易かつ安価にで
き、省スペースと省エネルギーが達成され、また大口径
ウェハの処理を可能にするからである。
第１図に縦型炉の一例が断面図で示され、同図において
、１は炉芯管（石英管）、２はヒータ、３は電気炉、４
はウェハ、５は石英ボート、６はボートローダ、７はテ
ーブル面、８はフランジを示ず。ヒータ２は炉芯￥ｉ−
１を囲むよう配置され、これらが電気炉３内に収納され
、ウェハ４が入れられた石英ボート５ばボートローダ６
により上下方向にｕＪ動であり、操作においてフランジ
８は炉芯管１にふたをする機能を果し、またウェハ処理
に用いられるガスはガス導入孔９から供給される。
、１は炉芯管（石英管）、２はヒータ、３は電気炉、４
はウェハ、５は石英ボート、６はボートローダ、７はテ
ーブル面、８はフランジを示ず。ヒータ２は炉芯￥ｉ−
１を囲むよう配置され、これらが電気炉３内に収納され
、ウェハ４が入れられた石英ボート５ばボートローダ６
により上下方向にｕＪ動であり、操作においてフランジ
８は炉芯管１にふたをする機能を果し、またウェハ処理
に用いられるガスはガス導入孔９から供給される。
（３）従来技術と問題点
第１図に示す縦型炉においては、流体が炉芯管ｌとヒー
タ２との間の空隙を自然対流によって上方に動き、一方
電気炉３の上方はテーブル面７とフランジ８によってふ
たをされた構造になっているので電気炉３の上方に熱せ
られた流体がたまる。
タ２との間の空隙を自然対流によって上方に動き、一方
電気炉３の上方はテーブル面７とフランジ８によってふ
たをされた構造になっているので電気炉３の上方に熱せ
られた流体がたまる。
その結果、炉芯管内の温度分布は第２図の線図に示され
る如くになる。なお第２図で、縦軸Ｈは炉芯管の高さを
、横軸Ｔは炉芯管内の温度を表す。
る如くになる。なお第２図で、縦軸Ｈは炉芯管の高さを
、横軸Ｔは炉芯管内の温度を表す。
炉芯管内の温度が上記の如くであると、ウェハに加えら
れる例えばアニールの如き処理が不均一になり、ウェハ
から作られる半導体装置の特性にバラツキが発η二する
問題がある。
れる例えばアニールの如き処理が不均一になり、ウェハ
から作られる半導体装置の特性にバラツキが発η二する
問題がある。
（４）発明の目的
本発明は上記従来の問題に鑑み、ウェハ熱処理用の縦型
炉におい一部、炉芯管内の温度が均一化された本従型炉
を提供することを目的とする。
炉におい一部、炉芯管内の温度が均一化された本従型炉
を提供することを目的とする。
（５）発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、縦長の炉芯管とその
まわりに配置された発熱体が電気炉内に収納された炉に
おいて、炉芯管の軸に沿って発熱体を少なくとも一部が
平行になるように配置し、該発熱体とそれに隣接する空
間との間に仕切りを炉芯管の軸方向に配置し、発熱体表
面近傍では上昇気流を、また発熱体に隣接する空間では
下降気流を発生させることを特徴とする縦型炉を提供す
ることによって達成される。
まわりに配置された発熱体が電気炉内に収納された炉に
おいて、炉芯管の軸に沿って発熱体を少なくとも一部が
平行になるように配置し、該発熱体とそれに隣接する空
間との間に仕切りを炉芯管の軸方向に配置し、発熱体表
面近傍では上昇気流を、また発熱体に隣接する空間では
下降気流を発生させることを特徴とする縦型炉を提供す
ることによって達成される。
（６）発明の実施例
以下本発明実施例を図面によって詳説する。
本発明においては、ヒータ線１２（例えばカンタル線と
呼称される発熱体）を第３図に示される如く炉芯管１１
の軸と平行に配置する。
呼称される発熱体）を第３図に示される如く炉芯管１１
の軸と平行に配置する。
そして第４図（ａｌの平面図と同図Ｂ−Ｂ線に沿う断面
を示すｆｂ）の断面図に示される如く、炉芯管１１の外
壁外方にヒータ線１２を配置しヒータ線１２の外方に仕
切り１４を炉芯管の軸方向に配置し、これらを外筒１３
で囲む。そして炉芯管１１は石英で、また外筒１３と仕
切り１４とはアルミナで作る。縦型炉のその他の部分は
第１図に示したものと同じに作る。
を示すｆｂ）の断面図に示される如く、炉芯管１１の外
壁外方にヒータ線１２を配置しヒータ線１２の外方に仕
切り１４を炉芯管の軸方向に配置し、これらを外筒１３
で囲む。そして炉芯管１１は石英で、また外筒１３と仕
切り１４とはアルミナで作る。縦型炉のその他の部分は
第１図に示したものと同じに作る。
かかる構造により、ヒータ線１２の表面近傍では上昇気
流が、また仕切り１４と外筒１３の間では下降気流が生
じ、対流が積極的に発生する。上昇気流は第４図ｆｂｌ
に矢印で示す。
流が、また仕切り１４と外筒１３の間では下降気流が生
じ、対流が積極的に発生する。上昇気流は第４図ｆｂｌ
に矢印で示す。
そして電気炉はそれを例えば３区域に分割し、各区域に
第４図に示す炉芯管を配置し、各区域で上記した対流を
発生させると、炉芯管内の温度の均一化は更に高められ
る。
第４図に示す炉芯管を配置し、各区域で上記した対流を
発生させると、炉芯管内の温度の均一化は更に高められ
る。
なおヒータ線はカンタル線に限られるものではなく、タ
ングステンの如き酸化され難いその他の材料で作った発
熱体であればよく、また外筒および仕切りも絶縁性と耐
熱性をもったその他の材料を用いて作ることができる。
ングステンの如き酸化され難いその他の材料で作った発
熱体であればよく、また外筒および仕切りも絶縁性と耐
熱性をもったその他の材料を用いて作ることができる。
（７）発明の効果
以上詳細に説明した如く本発明によれば、縦型炉におい
て炉芯管に沿って流体を積極的に対流させ、ヒートパイ
プの原理で炉芯管内の温度が均一化されるので、ウェハ
アニールにおける信頼性向上に効果大である。
て炉芯管に沿って流体を積極的に対流させ、ヒートパイ
プの原理で炉芯管内の温度が均一化されるので、ウェハ
アニールにおける信頼性向上に効果大である。
第１図は従来の縦型炉の断面図、第２図は第１図の縦型
炉の炉芯管内の温度分布を示す線図、第３図は本実施例
におけるヒータ線の配置を示す斜視図、第４図ｆａｌと
ｆｂ）は本実施例の平面図と断面図である。 １１−炉芯管、１２− ヒータ線、 １３−外筒、１４−仕切り 第１図 第３図 第４図 １り
炉の炉芯管内の温度分布を示す線図、第３図は本実施例
におけるヒータ線の配置を示す斜視図、第４図ｆａｌと
ｆｂ）は本実施例の平面図と断面図である。 １１−炉芯管、１２− ヒータ線、 １３−外筒、１４−仕切り 第１図 第３図 第４図 １り
Claims (1)
- 縦長の炉芯管とそのまわりに配置された発熱体が電気炉
内に収納された炉において、炉芯管の軸に沿って発熱体
を少なくとも一部が平行になるように配置し、該発熱体
とそれに隣接する空間との間に仕切りを炉芯管の軸方向
に配置し、発熱体表面近傍では上昇気流を、また発熱体
に隣接する空＋７４７では下降気流を発生させることを
特徴とする縦型炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59037922A JPS60182728A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 縦型炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59037922A JPS60182728A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 縦型炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60182728A true JPS60182728A (ja) | 1985-09-18 |
Family
ID=12511034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59037922A Pending JPS60182728A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 縦型炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60182728A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6382932U (ja) * | 1986-11-19 | 1988-05-31 | ||
| CN103243393A (zh) * | 2013-05-06 | 2013-08-14 | 上海煦康电子科技有限公司 | 一种气体预热装置、扩散炉及进气预热的方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4963668A (ja) * | 1972-10-20 | 1974-06-20 | ||
| JPS56165317A (en) * | 1980-05-26 | 1981-12-18 | Fujitsu Ltd | Manufacture of semiconductor device |
-
1984
- 1984-02-29 JP JP59037922A patent/JPS60182728A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4963668A (ja) * | 1972-10-20 | 1974-06-20 | ||
| JPS56165317A (en) * | 1980-05-26 | 1981-12-18 | Fujitsu Ltd | Manufacture of semiconductor device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6382932U (ja) * | 1986-11-19 | 1988-05-31 | ||
| CN103243393A (zh) * | 2013-05-06 | 2013-08-14 | 上海煦康电子科技有限公司 | 一种气体预热装置、扩散炉及进气预热的方法 |
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