JPS60183434U - 集積回路形成用ウエハ - Google Patents

集積回路形成用ウエハ

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JPS60183434U
JPS60183434U JP7110284U JP7110284U JPS60183434U JP S60183434 U JPS60183434 U JP S60183434U JP 7110284 U JP7110284 U JP 7110284U JP 7110284 U JP7110284 U JP 7110284U JP S60183434 U JPS60183434 U JP S60183434U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
integrated circuit
substrate
fixed
forming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7110284U
Other languages
English (en)
Inventor
忠雄 山田
Original Assignee
大洋電産株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 大洋電産株式会社 filed Critical 大洋電産株式会社
Priority to JP7110284U priority Critical patent/JPS60183434U/ja
Publication of JPS60183434U publication Critical patent/JPS60183434U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１実施例を示す斜視図、第２図はそ
の一部断面図、第３図はチップ形ＬＳＩの　−実装態様
を示す斜視図、第４図はその■−■矢視断面図、第５図
□はフルウェハ形ＬＳＩの実装態様を示す斜視図、第６
図は本考案の第２実施例を示す斜視図、第７図はその一
部断面図、第８図は本考案の第３実施例を示す斜視図、
第９図はその一部断面図である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　基板１ａの上面に集積回路形成層１ｂを設けてなる
    集積回路形成用ウェハにおいて、ウェハ１を固定台上に
    磁力で固定するに足りる質量の磁性材料２を基板１ａに
    固着し、固定台側に設けた電磁石と基板１ａに固着した
    磁性材料２との間に生ずる磁力により固定台上にウェハ
    １を固定できるように構成した事を特徴とする集積回路
    形成用ウェハ。 ２　基板１ａの裏面３のほぼ全面に亘って磁性材料２を
    固着した事を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
    に記載した集積回路形成用ウエノ１゜
JP7110284U 1984-05-15 1984-05-15 集積回路形成用ウエハ Pending JPS60183434U (ja)

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JP7110284U JPS60183434U (ja) 1984-05-15 1984-05-15 集積回路形成用ウエハ

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JP7110284U JPS60183434U (ja) 1984-05-15 1984-05-15 集積回路形成用ウエハ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60183434U true JPS60183434U (ja) 1985-12-05

Family

ID=30608292

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7110284U Pending JPS60183434U (ja) 1984-05-15 1984-05-15 集積回路形成用ウエハ

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JP (1) JPS60183434U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6351244A (ja) * 1986-08-20 1988-03-04 Disco Abrasive Syst Ltd マグネツト式テ−プフレ−ム位置決め装置
WO2003054943A1 (en) * 2001-12-21 2003-07-03 Disco Corporation Support substrate for thin-sheet work

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5844848B2 (ja) * 1976-05-25 1983-10-05 株式会社デンソー エンジンの排気ガス浄化装置
JPS594654B2 (ja) * 1975-04-11 1984-01-31 ベックマン・インストルメンツ・インコ−ポレ−テツド キユウコウコウドブンセキソウチ

Patent Citations (2)

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