JPS601840A - プロ−ブカ−ドの固定装置 - Google Patents
プロ−ブカ−ドの固定装置Info
- Publication number
- JPS601840A JPS601840A JP58110584A JP11058483A JPS601840A JP S601840 A JPS601840 A JP S601840A JP 58110584 A JP58110584 A JP 58110584A JP 11058483 A JP11058483 A JP 11058483A JP S601840 A JPS601840 A JP S601840A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- jig
- pins
- prober
- pogo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
定装置に係り、プロープカードの固定を簡単に行えるよ
うにした装置に関するものである。
うにした装置に関するものである。
ウエハ内の半導体素子（以下チップという）の電気的特
性を測定するためには、チップに電気信号を与え、その
応答を判断し良品と不良品を判別するテスタと、ウェハ
内のチップを順次グローブカード上のグローブと接触を
とるプローバと、チップ内の電極と電気信号を送受する
ために接触するプローブとを有するグローブカードが必
要であり、一般的にグローブカードはブローバに機械的
に取り付けられ、テスタと電気的に結合される。
性を測定するためには、チップに電気信号を与え、その
応答を判断し良品と不良品を判別するテスタと、ウェハ
内のチップを順次グローブカード上のグローブと接触を
とるプローバと、チップ内の電極と電気信号を送受する
ために接触するプローブとを有するグローブカードが必
要であり、一般的にグローブカードはブローバに機械的
に取り付けられ、テスタと電気的に結合される。
特に高周波測定を行う場合はテスタの信号入出力部テす
るテストステーションがプローバのすぐ上方に設置され
、さらにプローブカードとは極めて短い測定用ケーブル
で接続されている。近年ではこの測定用ケーブルをなく
シ、直接テストステーションの電極子をグローブカード
に接触させるものが開発されている。
るテストステーションがプローバのすぐ上方に設置され
、さらにプローブカードとは極めて短い測定用ケーブル
で接続されている。近年ではこの測定用ケーブルをなく
シ、直接テストステーションの電極子をグローブカード
に接触させるものが開発されている。
従来これらに用いるプローブカードは円板形をしており
、現在では１枚のグローブカード上に約３００本ものグ
ローブを実装したものが実用化されている。一般的にこ
れらのグローブカード上面には複数のターミナルピンと
呼ばれるものが外周部の内側の同一円周上に設けてあり
、テストステーションと中継をとるためのブ′ロープカ
ードソケットなるものに差し込まれる。
、現在では１枚のグローブカード上に約３００本ものグ
ローブを実装したものが実用化されている。一般的にこ
れらのグローブカード上面には複数のターミナルピンと
呼ばれるものが外周部の内側の同一円周上に設けてあり
、テストステーションと中継をとるためのブ′ロープカ
ードソケットなるものに差し込まれる。
この方法によると、ターミナルビンの数カ多くなればな
るほど、グローブカードソケット間とのまさつ力が大き
く、なり、取シ付け、取り外しが困難になυがちである
。
るほど、グローブカードソケット間とのまさつ力が大き
く、なり、取シ付け、取り外しが困難になυがちである
。
最近になって前記ターミナルピンをなくし、グローブカ
ードソケットの代りにプローバ本体、もしくはプローバ
本体に取付けられた中継ボードにテストステーションと
電気的な中継をとるばね式の接触子（以下ポゴピンとい
う）を取シ付け、前記まさつ力をなくすようにしたプロ
ーブカードが開発されている。
ードソケットの代りにプローバ本体、もしくはプローバ
本体に取付けられた中継ボードにテストステーションと
電気的な中継をとるばね式の接触子（以下ポゴピンとい
う）を取シ付け、前記まさつ力をなくすようにしたプロ
ーブカードが開発されている。
しかしながら、前記ポゴピンを利用したプローブカード
をプローバに固定するためにねし止めをするのであるが
、多数のポゴピンの反作用力によりねじ止めの作業が難
しいという欠点がある。
をプローバに固定するためにねし止めをするのであるが
、多数のポゴピンの反作用力によりねじ止めの作業が難
しいという欠点がある。
本発明の目的は前記ポゴピン形式のプローブカードの取
り付けにおいてねし止め作業をなくし、するものである
。
り付けにおいてねし止め作業をなくし、するものである
。
以下図面をもって本発明の詳細な説明する。
第１図、第２図および第３図は本発明の一実施例を示す
ものである。
ものである。
第１図はグローブカードを取り付けたときのプローブカ
ード周辺部の断面模式図である。第２図は第１図におけ
るリング５、係止片としてのピン６、リング状のプロー
ブカード固定用ジグ７の取り付けを説明する斜視図であ
る。第３図は第２図におけるピン６、ジグ７、弧状の保
合孔１３の部分模式図である。
ード周辺部の断面模式図である。第２図は第１図におけ
るリング５、係止片としてのピン６、リング状のプロー
ブカード固定用ジグ７の取り付けを説明する斜視図であ
る。第３図は第２図におけるピン６、ジグ７、弧状の保
合孔１３の部分模式図である。
テストステーション１に設けられたポゴピン２は中継ボ
ード１２に接触され、中継ボード１２はプローバヘッド
プレート３に数句けられている。中継ボード１２にはさ
らにプローブカード８と接触をとるだめのポゴピン４が
設けられている。ヘッドプレート３の下面にはリング５
が固定されており、さらにリング５には複数のグローブ
カード固定用ビン６．６が同一円周上に固定されている
。プローブカード８の外周径はリング状のプローブカー
ド固定用ジグ７の内周径より少し大きくなっており、グ
ローブカード８はジグ７の内周側段部７ａに嵌合保持さ
れる。ジグ７の外周縁の鍔部７ｂには第２図および第３
図（イ）、仲）のようにピン６と位置的に合致するよう
に複数の弧状保合孔１３．１３はピン６の頭部６ａを貫
筋させる大径部１３ａ、１３ａと、ピン６の軸部６ｂを
誘導する小径部１３ｂ 、 １３ｂとピン６の頭部６ａ
を掛止させる係止部１３ｃ＋１３ｃとからなり、しかも
大径部１３ａから係止部１３ｃにかけて取付孔１３０周
縁部がテーパ状に上傾している。まだ１１はウェハステ
ージで、該ウェハステージ１１上にウエノ１１０が設置
され、プローブカード８のプローブ９がウェハ１０に接
触される。
ード１２に接触され、中継ボード１２はプローバヘッド
プレート３に数句けられている。中継ボード１２にはさ
らにプローブカード８と接触をとるだめのポゴピン４が
設けられている。ヘッドプレート３の下面にはリング５
が固定されており、さらにリング５には複数のグローブ
カード固定用ビン６．６が同一円周上に固定されている
。プローブカード８の外周径はリング状のプローブカー
ド固定用ジグ７の内周径より少し大きくなっており、グ
ローブカード８はジグ７の内周側段部７ａに嵌合保持さ
れる。ジグ７の外周縁の鍔部７ｂには第２図および第３
図（イ）、仲）のようにピン６と位置的に合致するよう
に複数の弧状保合孔１３．１３はピン６の頭部６ａを貫
筋させる大径部１３ａ、１３ａと、ピン６の軸部６ｂを
誘導する小径部１３ｂ 、 １３ｂとピン６の頭部６ａ
を掛止させる係止部１３ｃ＋１３ｃとからなり、しかも
大径部１３ａから係止部１３ｃにかけて取付孔１３０周
縁部がテーパ状に上傾している。まだ１１はウェハステ
ージで、該ウェハステージ１１上にウエノ１１０が設置
され、プローブカード８のプローブ９がウェハ１０に接
触される。
プローブカード８を取付けるには、まずプローブカード
８をジグ７の段部７ａＫ嵌合保持させ、中継ボード１２
のポゴピン４に押しつりるようにプローブカード８の上
面を接触させる。このときピン６の頭部６ａは第３図の
ように保合孔１３の大径部１３ａに嵌合されている。
８をジグ７の段部７ａＫ嵌合保持させ、中継ボード１２
のポゴピン４に押しつりるようにプローブカード８の上
面を接触させる。このときピン６の頭部６ａは第３図の
ように保合孔１３の大径部１３ａに嵌合されている。
次にジグ７を第２図のへ方向に回転させると、第３図の
ようにピン６はＢ方向へ相対的に移動する。ジグ７の保
合孔１３の周縁部は第３図（イ）、（ロ）のようにテー
パ状になっており、Ｂ方向へピン６が移動すると、ジグ
７はＢ′方向、つまりグローブカード８がポゴピン４の
方向へ押圧されるようになる。テーパ終端の係止部１３
ｃは平坦になっており、ピン６がここに到達すると、ピ
ン６の頭部６ａにジグ７が掛止され、ジグは安定し、ポ
ゴピン４の反作用力によシ該シダ７はプローバ本体に固
定されるＯ 前記のように、プローブカード８はポゴピン４と接触し
、結果的にはテストステーション１と結合されることに
なる。
ようにピン６はＢ方向へ相対的に移動する。ジグ７の保
合孔１３の周縁部は第３図（イ）、（ロ）のようにテー
パ状になっており、Ｂ方向へピン６が移動すると、ジグ
７はＢ′方向、つまりグローブカード８がポゴピン４の
方向へ押圧されるようになる。テーパ終端の係止部１３
ｃは平坦になっており、ピン６がここに到達すると、ピ
ン６の頭部６ａにジグ７が掛止され、ジグは安定し、ポ
ゴピン４の反作用力によシ該シダ７はプローバ本体に固
定されるＯ 前記のように、プローブカード８はポゴピン４と接触し
、結果的にはテストステーション１と結合されることに
なる。
当然ながら、第２図でジグ７をＡ′方向へ逆回転させれ
ば、ポゴピン４の反作用も手伝ってジグ７はヘッドプレ
ート３から外れることになる。
ば、ポゴピン４の反作用も手伝ってジグ７はヘッドプレ
ート３から外れることになる。
以上のように本発明によれば、プローブカードの固定の
際、従来のねじ止め作業がなくなるため、非常に簡単な
作業でプローブカードを装着することができ、作業効率
を高めることができる効果を有するものである。
際、従来のねじ止め作業がなくなるため、非常に簡単な
作業でプローブカードを装着することができ、作業効率
を高めることができる効果を有するものである。
第１図は本発明の一実施例のプローブカード取り付は部
周辺の断面図、第２図はプローブカードの取り付は状態
を示しだ斜視図、第３図（イ）、（ロ）はプローブカー
ドの固定方法を説明する図で、第３図（イ）は平面図、
第３図（ロ）は正面図である。 １・・・テストステーション、２・・・テスタ側ポゴピ
ン、３・・・プローバのヘッドプレート、４・・・中継
ボード側ポゴピン、５・・・グローブカード固定用リン
グ、６・・・プローブカード固定用ピン（係止片）、７
°°。 プローブカード固定用ジグ、８・・・グローブカード、
９・・・グローブ、１０・・・ウェハ、１１・・・ウェ
ハステージ、１２・・・中継ボード、１３・・・係合孔
特許出願人 日本電気株式会社 第２図 第３図 （イ） （ロ）
周辺の断面図、第２図はプローブカードの取り付は状態
を示しだ斜視図、第３図（イ）、（ロ）はプローブカー
ドの固定方法を説明する図で、第３図（イ）は平面図、
第３図（ロ）は正面図である。 １・・・テストステーション、２・・・テスタ側ポゴピ
ン、３・・・プローバのヘッドプレート、４・・・中継
ボード側ポゴピン、５・・・グローブカード固定用リン
グ、６・・・プローブカード固定用ピン（係止片）、７
°°。 プローブカード固定用ジグ、８・・・グローブカード、
９・・・グローブ、１０・・・ウェハ、１１・・・ウェ
ハステージ、１２・・・中継ボード、１３・・・係合孔
特許出願人 日本電気株式会社 第２図 第３図 （イ） （ロ）
Claims (1)
- （１）プローバ本体又は中継ボードに取付けたばね式接
触子にプローブカードを圧接させて該カードを装着する
プローバにおいて、前記プローブカードの外周縁を支持
するリング状のプローブカード固定用ジグを備え、該ジ
グの周縁に複数の弧状係合孔を同一円周上に穿設し、前
記プローバ本体にジグの保合孔に掛止させる複数の係止
片を設け、プローブカードを支えたジグを接触子に圧接
すると共に、回転操作に上り係止片を保合孔に掛止させ
てプローバ本体に装着するようにしたことを特徴とする
グローブカードの固定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58110584A JPS601840A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | プロ−ブカ−ドの固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58110584A JPS601840A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | プロ−ブカ−ドの固定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS601840A true JPS601840A (ja) | 1985-01-08 |
| JPH0247858B2 JPH0247858B2 (ja) | 1990-10-23 |
Family
ID=14539548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58110584A Granted JPS601840A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | プロ−ブカ−ドの固定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS601840A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61125902A (ja) * | 1984-11-21 | 1986-06-13 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | 空気入りタイヤ |
| JPS6294635U (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-17 | ||
| US4721198A (en) * | 1985-11-13 | 1988-01-26 | Ando Electric Co., Ltd. | Probe card clamping and changing mechanism |
| JPS6424437A (en) * | 1987-07-20 | 1989-01-26 | Tokyo Electron Ltd | Probe device |
| US6924654B2 (en) | 2003-03-12 | 2005-08-02 | Celerity Research, Inc. | Structures for testing circuits and methods for fabricating the structures |
| US6946859B2 (en) | 2003-03-12 | 2005-09-20 | Celerity Research, Inc. | Probe structures using clamped substrates with compliant interconnectors |
| US7170306B2 (en) | 2003-03-12 | 2007-01-30 | Celerity Research, Inc. | Connecting a probe card and an interposer using a compliant connector |
-
1983
- 1983-06-20 JP JP58110584A patent/JPS601840A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61125902A (ja) * | 1984-11-21 | 1986-06-13 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | 空気入りタイヤ |
| US4721198A (en) * | 1985-11-13 | 1988-01-26 | Ando Electric Co., Ltd. | Probe card clamping and changing mechanism |
| JPS6294635U (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-17 | ||
| JPS6424437A (en) * | 1987-07-20 | 1989-01-26 | Tokyo Electron Ltd | Probe device |
| US6924654B2 (en) | 2003-03-12 | 2005-08-02 | Celerity Research, Inc. | Structures for testing circuits and methods for fabricating the structures |
| US6946859B2 (en) | 2003-03-12 | 2005-09-20 | Celerity Research, Inc. | Probe structures using clamped substrates with compliant interconnectors |
| US6998864B2 (en) | 2003-03-12 | 2006-02-14 | Celerity Research, Inc. | Structures for testing circuits and methods for fabricating the structures |
| US7170306B2 (en) | 2003-03-12 | 2007-01-30 | Celerity Research, Inc. | Connecting a probe card and an interposer using a compliant connector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0247858B2 (ja) | 1990-10-23 |
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