JPS60186742A - 湿度測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、湿度測定装置に関する。特に通常の室内外の
湿度測定は勿論、例えば表内湿度の如き測定しにくい小
空間における湿度に対しても、正確・迅速にその′Ａ％
（１定を行うことができる汎用性に富む湿度測定装置に
関する。

従来、湿度測定装置としては、乾湿球湿度計、毛髪湿度
計、露点湿度計等が用いられている。乾湿法湿度計は現
在でも広く用いられているが、湿球の保守が面倒で、か
つ湿度測定空間に軟球と湿球とを配置する必要があり、
よって小空間での測定例えば表内湿度つまり人が衣服を
着ている状態でのその衣服内の湿度を測定する場合など
には、使用しにくく、その場合の湿度測定装置としては
まず使用不可能である。毛髪湿度計その他膨潤性フィル
ムなどを用いる湿度計は、精度的に問題があるほか、同
様に、測定しにくい小空間において１使用不可能である
。露点湿度計も、やはり同様な問題を有する。このよう
に、従来の一般的な湿度測定装置は少なくとも汎用性に
欠けるという点で問題がある。

一方、近年、水分吸脱着型センサの開発や、その他湿度
を電気的に測定する試みがなされている。水分吸脱着型
センサは、水分を吸着・脱着する際のセンサの物性値の
変化に基づき湿度を測定するもので、電解質系センサ、
高分子系センサ、セラミックスセンサなどがある。電解
質系センサは例えば塩化リチウムなどの電解質を繊維状
材質に担持させ、吸脱溝に伴う抵抗変化により、湿度を
測定する。しかしこれは、応答時間が５分程度と長く、
経時変化も大きく、ヒステリシス（加湿過程と除湿過程
の特性の差）が大きいという問題をもつ。高分子センサ
、セラミックスセンサｌれいずれも、吸脱溝での抵抗の
変化を利用するもので、やはりヒステリシスによる特性
変化が避けられず、かつ応答時間も１〜１０分位かがる
。このように応答時間の長いセンサは、例えば人の表内
湿度の測定の場合、被検者は相当長時間測定されている
ように感じ、心理的圧迫が大きい。セラミックスセンサ
には、センサ素子をクリーニングしなければならないも
のもある。

上記電解質センサ、高分子系センサ、セラミックスセン
サは、いずれも原理的には吸湿の際に生じるイオン性キ
ャリアによるイオン伝導を利用するものと考えられるが
、いずれも特性の経時安定性に問題があると思われる。

その他湿度を電気的に測定する試みとして、飼犬ば特開
昭５６−６４８号公報には、温度−抵抗特性を右する感
熱素子に電流を流して外気以上に発熱させ、これを外気
中に保持してその抵抗値の変化を検出することにより、
外気の湿度を測定する方法が提案されている。この方法
は成程小空間の湿度測定にも使用できるが、なお次のよ
うな問題点を残している。

第１に、この方法は感熱素子を２００°Ｃ位の高温まで
温度−Ｌｘさせる必要があり、しかもその高温状態で保
＋８シておかなければならない。原理的には必ずしも高
温にしなくてもよいのではないかとも思われるが、ｌ二
記公報における２つの実施例の記載はいずれも２００’
Ｏに感熱素子を自己加熱するようになっている。同じ発
明について記したものと考えられる「サーミスタ湿度セ
ンサとその応用」　（電子材料　１９８０年５月　１２
６頁〜）においても、使用するビード状サーミスタは自
己加熱で２００°Ｃにしく１２７頁左欄）、同じく「サ
ーミスタを使った絶対湿度測定」　（電子通信学会技（
１トｉ研究報告　１９８０年　１頁〜）においても動作
温度は２００°Ｃ〜２３０°Ｃで実験がなされており（
７頁左欄以下）、「湿度センサの出力特性」　（第２０
１可５ＩＣＥｆ術講演会　１９８１年　６８７頁〜）に
おいても、約２００℃に自己加熱されることになってい
る（６８７頁）。

（いずれの論文も、内容及び執筆渚が１−記公報記載の
発明者を含むところから、同−発□明についての記述と
考えられる。）従ってこの発明の実施に当っては、２０
０℃程度にすることが、好結果を得るために必須と判断
せざるを得ない。このように２００℃というかなりの高
温にしてこれを維持しなければならないというのは、特
に狭い空間における湿度検出には不利である。高温の素
子が周囲の雰囲気に影響を午えるからである。よって、
測定手段自身が被測定雰囲気の湿度に影響を与えてしま
うということになり、望ましくない。かつ、小学ｎＴＩ
では影響が大きくなるので、狭い空間での湿度測定には
適用できず、汎用性に欠ける。

特に上記公報は第２図に、感熱素子を金属ケースでおお
い、該ケースに小さな穴を開けることにより被Ｉ！ｌ！
ｌ定外気との接触を可能ならしめる例を示しているが、
このように金属ケースでおおってしまう構造では上記の
熱影響が大きいと思われる。かつ前掲の［サーミスタを
使った絶対湿度測定」では、同様な構造を示すとともに
、風の影響を除くために多孔質フィルタを被せる旨の記
述があり、このようにすると熱影響は一層大きくなると
思われる。

第２に、同公報の第４図によると、感熱素子の電流−電
圧特性は、一定電流までは電流の増加に対して電圧は単
調増加し、素子の温度も上って行くが、約１．０ｍＡの
時電圧はピークになり、この時の素子温度は約５０°Ｃ
であり、爾後電流の増加に対し、電圧は減少して行く。

素子温度は電流の増加に伴って七Ａするから、結局１つ
の電圧値に対して約５０℃を境にしてそれより高い温度
と低い温度との２つの温度値が対応することになる。

この従来発明は感熱素子の温度−抵抗特性を利用するも
のであるから、１電圧に対して２温度が対応すると、特
性を利用する湿度検知は必ずしも正確には行えないと思
われる。少なくとも５０°Ｃ以下では不都合と考えられ
る。公報の記載がらは定かではないが、前述した２００
°Ｃ近辺までの加熱を要するのも、このような特性−１
−の問題に原因があるのかも知れない。

第３に、同公報の第１図、第５図、第６図の例はいずれ
も、被１１１１１定外気と接する感熱素子と絶乾状態に
保持した温度補償感熱素子との２素子を用いてブリッジ
を組んでいる。これは、絶対湿度に応じて変化する感熱
素子の抵抗値変化を検出するといっても、その変化量は
極めて小さく、ノイズの範囲内なので、補償素子を使っ
て精密にその変化をとり出す必要があるからと考えられ
る。原理的には補償素子がなくてもよいのかも知れない
が、実際には補償素子を用いないと、精度の面や、また
回路を組む−１−で、実用性が出ないものと思われる。

前記［サーミスタ湿度センサとその応用」の図６、［サ
ーミスタを使った絶対湿度測定」の図３・ｌ、［湿度セ
ンサの出力特性」のＦｉｇ、１は、いずれも補償素子を
用いた例を実際の回路として示している。このように、
事実上補償素子を用いることが必須であることは、同公
報記載の筆頭発明者による「湿度センサの開発動向Ｊ（
−１＝ン＋Ｉ−技術Ｖｏ１．１、Ｎｏ、５．１９８１年
１２月号）に、同発明への言及として「２個のサーミス
タを使用するため、使用温度の全範囲にわたってブリッ
ジ回路のバランスをとる作業が大変である。特に湿度変
化に対するセンサの信号が小さいので、精密に行なわな
ければならない」（２１頁π１）と記述されていること
によっても裏伺られる。要するに、原理的にはともかく
、実用−１１は２素子を用いてブリッジを組まなくては
測定できないのであり、そのブリッジを組むバランス作
業自体、極めて困難なのである。よってこの従来発明は
、実際には必ず補償用素子を要し、そのバランス作業も
大変なものである。しかもその場合、回し特性を冶する
２個の感熱素子が必要になる。全く同じ特性の感熱素子
を用いないと、補償がうまくできず、精密な湿度測定が
できないと占えられるからである。ところが、全く同一
特性の感熱素子を揃えることは、必ずしも容易ではない
。例えば、感熱素子として具体的にサーミスタを用いる
とすると、サーミスタは、同じ特性を有するものを揃え
るのは難しく、従って、精密性において問題が残ると考
えられる。同時に上記に如くバランス作業が難しいこと
も、精度上の問題につながる。

その他文献には、超音波湿度計、赤外線式湿度計、マイ
クロ波式湿度計などが挙げられているが、実用性は不明
である（前掲「センサ技術」参照）。

上述したように、従来の湿度測定技術にあっては、例え
ば狭い小空間においては使用不可能であって汎用性に欠
けたり、吸脱着型センサの如くヒステリシスの問題が避
けられずかつ応答性にも問題があったり、更に小空間で
使用できたとしても、高温での保持が必要で被測定雰囲
気に影響を及ぼしたり精度上の問題や２素子を用いる必
要性に伴うバランス作業の困難性があるなど、各種の問
題が残されているものである。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、そのｌｊ＋
的は、小空間でも使用できて汎用性に富み、ヒステリシ
スその他の問題もなくて精度が良く、［７かも応答性の
良い湿度測定装置を提供することにある。

本発明の湿度測定装置は、被測定外気に接触させる発熱
体ど、該発熱体の温度を測定する温度センサとを・体ま
たは別体に設け、この温度センサにより被Ｊｌ１１定外
気の湿度に対応した特性を有する該発熱体の温度変化の
状態を検知する構成とすることによって、湿度を測定す
るものである。

本発明は、外気よりも温度の高い発熱体が外気中に置か
れると、熱伝導により気体分子に熱が奪われるが、この
場合発熱体から奪われる熱量は、気中に含まれる水蒸気
の割合と関係があるという知見に基づいて、達成された
。本発明者はこの知見に基づき種々検討し、一定湿度に
発熱体を保つために消費されるエネルギーや、一定のエ
ネルギーを与えた時の温度の降下の状１ルを測定するこ
とにより、この湿度が測定できると考え、本発明に至っ
たものである。

即ち、本発明によれば、上記の如く構成したことにより
、発熱体に例えば微小時間′電流をがｃして発熱体の温
度を成る程度高め、その後゛電流を切った後の温度変化
の状四〇をＡ１１ｌ　’ｉ？Ｊすることにより、被測定
外気に発熱体からの影響をりえることなく、湿度の測定
を行うことかできる。電気発熱を用いる場合、電ｌＡｔ
を倫す時間１′１１、その後発熱体が外気中で温度変化
を呈する程度に発熱体を高温にするだけの時間で戻り、
殆ど瞬時で充分であって、長くても被測定雰囲気に影響
を及ぼさない程度の微小時間でよい。このように瞬時乃
至は微小１１：Ｊ−開発熱体に電流を流Ｉ７て該発熱体
の温度を高め、その後の温度変化を４１１１定すること
により、一定の熱エネルギーをケえた時の温度降下状態
を知ることができ、これに基づいて湿度をめることがで
きる。上記の如く通電による発熱は瞬時乃至は微小時間
ですむので、これにより被測定雰囲気に影響を及ぼすこ
とはない。従って、狭い小空間の湿度の測定も、雰囲気
に影響をケえることなく、精密に行うことができる。発
熱素子や温度センサはもともど極めて小型のものを得る
のは容易であるから、検知部分を小型化でき、小空間の
湿度測定には誠に好適である。よって、例えば表内湿度
の如き′Ａ’ｌｌｌ定しにくい小空間での湿度測定も、
容易かつ正確になし得る。

更に本発明によれば、発熱体に継続して電流を流し、そ
の場合の温度変化の状態を知ることにより、湿度測定を
行う態様で実施することもできる。これは、発熱体に通
電を続けていても被測定雰囲気に殆ど影響を及ぼさない
場合、例えば通常の室内湿度の如き充分に広い空間での
湿度測定に適用することができる。この態様によれば、
一定温度に発熱体を保つために消費されるエネルギーの
状態を知ることができ、これにより被測定外気の湿度を
測定することができる。

このよ〉に本発明の湿度３＋１１定装置は、被；ｉ！Ｉ
１１定雰囲気定形囲気テえずに実施することができるの
で、小空間の湿度も精密に測定することができる。また
被測定雰囲気への影響を必ずしも考慮しなくてもよい場
合にも勿論好適に使用できる。

よっていかなる状況でも使用できるという、汎用性に富
むものである。

かつ、湿度測定は、発熱体の温度変化の状態を温度セン
サにより測定することによって１−ｉうので、吸脱着型
湿度センサに見られる如きヒステリシスの問題は全く発
生せず、４４７セ１の経時変化も問題にならず、粘度は
良好である。かつ発熱体や温度センサの作動は敏速であ
るから、応３峙間は短かく、迅速に湿度測定できる。よ
ってこれらのことからも、Ａ１１１定しにくい空間の湿
１島も迅速かつ精密に７７１１１定できる効果がもたら
されるわけであり、例えば表内湿度のようにＡ１１ｌ定
１．にくく、しかも迅速で正確な測定を要する場合にも
、イｊ効に用いることができ、汎用性に富むことが理解
されよう。

以下１本発明の一実施例について、図面を径照して説明
する。第１図に、本実施例をダイヤグラム図にて示す。

この実施例は、本発明を、狭い空間における湿度測定に
も好適に用い摺る湿度センサとして、其体化したもので
ある。

本発明においては、被測定外気に接触させる発熱体と、
この発熱体の温度を測定して発熱体の温１０［変化特性
を検知する温度センサとを設けるのであるが、本実施例
にあっては、かかる発熱体と温度センサとを、熱電対１
に兼ねさせている。熱電対ｌは通電されると発熱するの
で発熱素子として使用でき、かつ熱起電力を生ずるので
温度センサとし、でも使用できるからである。ここでは
熱電対１としテＦｅ−Ｃｏｎ５ｔａｎｔａｎ熱電対を用
いた。第１図中に、模式的に、１．　ａにてＦｅを、ｌ
ｂにてＣｏｎ−５ｔａｎｔａｎを示す。

本実施例においては、微小時間熱電対１に電流を流１．
て発熱させてまずこれを発熱体として使用し１、次いで
通電を止めて直ちに温度センサと１．て機能させ、これ
により発熱体として発熱した後の温度変化を沖１定Ｉ７
、被Ａ１１Ｉ定外気の湿度に対応した特性を有するその
温度変化の状態を検知する。

この結果、測定した温度変化の状態により、外気の湿度
を簡ＱＳに、しかも迅速かつ正確に測定でごる。温度変
化の特性に基づく湿度旧測は、後に詳しく述べるように
、通電を停止した直後の温度、特性が皇するピーク温度
、またピーク温度を示す時間などをパラメータとしてめ
ることができ、′Ａ１１１定の応答性は極めて速く、か
つ特性の再現性も極めて良好でＩＦ確であり、ヒステリ
シスの問題もなく、精密な湿度測定が可能である。

以下、本実施例の構成及び作用につき、一層詳し、く説
明する。

本例ではリレー２を用いて、熱電対１を発熱体として用
いるか温度センサとして用いるかの切換えを行う。この
切換えは、マイクロクンピユータ３による制御によって
行う。またこのマイクロコンピュータ３により、温度変
化の特性を解析させる。まずマイクロコンピュータ３が
らの制御により、電源４を熱電対ｌに接続して、一定時
間定電圧を熱電対ｌに印加し、ジュール熱によって肩部
する。印加後は泊ちにすし・−２を切換え、これにより
熱電対１が測温素子として作用するように基準接点補償
機能付き熱電対増幅器５を経由させ、さらにＡ　／’　
Ｄコンバータ６によりデジタル縫に変換して、その後、
マイクロコンピュータ３に送る。このようにして、発熱
体としての熱電対１の迅速な温度変化の状態を検知し、
これにより湿度を測定する。

第２図に、雰囲気温度２５℃でのに記温度変化のｘｌ１
１定例を示す。第２図中のＡｌ１１定曲線Ａ、Ｂ。

Ｃ，Ｄは、各１．ｔ　Ｐ　２０ｓ　、　Ｋ　２　ＣＯ３
飽和溶液。

ＮａＣ１飽和溶液、水が封入された各容器内の気中にて
本例の湿度測定装貿を用いて得られた結果である。各容
器内の気中の湿度は、２５°Ｃでそれぞれ、約０．４３
，７５，１００％ＲＨに対応すると七えられる。第２図
は横軸に時間、たて−１１に温度をとって、各条件トで
の温度変化の状１ハ；を示り、しいるが、横軸のＯが熱
電対１への通電を止めて、熱・′屯対１を温度センサと
して用い、発熱体と１〜て熱電・ｔ、１１の温度変化を
測定し始めた時点である。較例では通電して加熱する時
間は０．５秒と１、た。本例の測定結果では、いずれの
曲線も、通電を１Ｆめですぐには温度降下せず、温度−
Ｌ昇を続けた後ピークを形成して、爾後温度降下してい
る。いずれも通電停止後、４秒でほぼもとの温度（２５
°Ｃ）に戻っており、応答が夛１常に良い。繰り返しＡ
１１ｌ定しても、同様なピーク、曲線プロフィルが得ら
れ、再現性は極めて描記すべきものである。発熱１１！
ｆ間は０．１〜１秒の間のいずれの時間でもよい。この
ように発熱は、瞬時乃至は極めて１υ待間でよい。

第２図から理解されるように、熱電対ｌの温度変化の状
態は湿度と関係があり、例えば通電停止時の温度、ピー
ク温度、ピーク温度に至るまでの時間、温度・蒔間軸と
曲線よりなる１ｒｌ積などの内いずれか、またはこれら
を組み合わせて、湿度を知ることができる。ピーク温度
で見る場合には、各湿度における極大点を結んで（ｆｊ
られる曲線の、どの位置にピークが来るか判断すること
ができる。例えは、湿度不明の被測定外気について温度
変化を見た測定結果が第２図の曲線ＣとＤとの間で、Ｃ
よりやや下に位置するものであれば、７５％ＲＨよりや
や大きい８０％ＲＨ程度と知ることができ、更に厳密に
そのピーク温度位置を見て、１−記極太点を結んだ曲線
におけるどの場所かを判断すれば、極めて精密な湿度が
得られる。具体的には第２図中の曲線Ｅは、湿度不明の
被測定外気について温度変化を見た測定結果であるが、
これはピーク温度が１３４°Ｃであり、このデータより
ン昇度が６０．０％ＲＨであることがわかる。この場合
勿論、１＝０の温度や、その他のパラメータを併用する
ことができる。多くの湿度について予め特性を得ておく
ことにより、あるいは上記の各パラメータとの関係を詳
しく解析することにより、極めて精密な湿度１ｕｌｌ定
ができる。温度争時間軸と曲線とで囲まれる面積で湿度
をめる場合は、湿度０％ＲＨ１つまり曲線Ａで囲まれる
面積をもとにして考えて、曲線ＡとＢとで囲まれる面積
が湿度によって損失したエネルギーと関連があるから、
横軸に湿度をとり、たて軸にこのような面積の差をとっ
てその関係を確かめておくことにより、湿度測定を行う
ことができる。

このように品温・湿度におけるＡ降温度挙動と湿度との
関係（例えば温度ψ時間軸と曲線よりなる面積と湿度と
の関係、ビークｉ＋Ｈ＋度と湿度との関係など）を詳し
く解析して、データを得ておけば、極めて短時間に＋Ｉ
Ｅ確な湿度を得ることができる。ｌ！ｉｌ＋定結果の解
析は、予めデータを格納しておいてコンピュータ３によ
り行わせればよい。このためには大がかりな装置は不要
で、近年のコンピュータの発達により、装置は非常に小
型化でき、また価格も非常に安くなっている。

本実施例の温度Ｎ１１ｌ定装置は、次のような効果を有
する。■非常に小型にできる。（企）発熱は瞬蒔乃全は
短時間ですむので、被Ａ＋１１定外気に影響をり、えず
、正確な湿度を測定できる。（≦）上記＋’ｉ）、　＜
ｔ）により、狭い小空間であるとか、表内湿度の如き測
定しにくい空間の湿度の測定にも好適に用いることがで
き、汎用性に富む。司）いずれの７１１１１定も４秒以
内に完全に終ｒしており、応答が非常に良い。実際に人
が着衣した状態での表内湿度の′Ａｌｌ＋定など測定時
間が心理的圧迫要因になる場合に、好適に用い得る。虫
）繰り返し測定しても同様なピーク・特性曲線が得られ
、再現性が良く精密な湿度測定ができる。％）−Ｊ二記
椅）の如く瞬時的乃至は短時間の発熱であり、かつ自己
加熱であるので、汚れのクリーニング作用が期待される
。

なおこの実施例では、ブリッジは組んでいないが、絶乾
状態に置いた熱電対を補償センサとして、ブリッジを組
んでもよい。ブリッジを組む場合は、補償センサとして
の熱電対を測定用の熱電対と同温度に維持するか、ある
いは恒温（例えばＯ″Ｃ）に保持しておく。ブリッジを
組むことにより、湿度に基づく温度変化の状態を微小な
所まで検知することが期待される。但し、第２図から明
らかなように、必ずしもブリッジを組まなくても、湿度
による特性は充分に知ることができる。

第３図に、本発明の別の実施例を示す。この実施例は、
発熱体１１と温度センサ１２とを別体に設けて、この発
熱体１１の温度変化を温度センサ１２により測定し、被
測定外気の湿度に対応した温度変化の状態を検知するも
のである。本例においては、発熱体１１と温度センサ１
２とをＱ二いに接触させて組み合わせることにより、湿
度測定部１０を構成する。但し、両者１１．１２は、熱
伝導に関しては接触するが、電気的には絶縁しているこ
とが好ましい。容器に入れる必要はない。発熱体１１と
しては例えば電気ヒータを用いることができ、その場合
電源４を設けるとともに、その通電の入・切はコンピュ
ータ３により行わせることができる。発熱体１１として
は通電により発熱するものであれば、いずれも使用でき
る。あるいは恒温発熱体を設けておいて、これに温度セ
ンサ１２を接触させ、その接離して、温度を測定するよ
うにしてもよい。温度センサ１２としては、発熱体１１
にヒータを用いる場合、熱電対などを用いることができ
る。その他温度七ンサ１２として、例えばサーミスタの
如きものを採用でき、その他一般的な測温素子を使用す
ることができる。

本例においても、温度変化を検知した３４＋１温信号は
増幅器５で増幅し、Ａ／Ｄコンバータ６を介してコンピ
ュータ３に送り、ここで湿度測定のために処理を行なう
ことができる。

本例によれば、発熱体１１と温度センサ１２とは別のも
のを用いたので、発熱体１１の発熱時間は、任意に設定
できる。例えば前述の例のように０．１〜１秒程度の短
時間発熱させて、主としてその後の温度変化を見るもの
でもよいし、一定時間継続して発熱させ、その状態での
温度変化の状態をＸｌｌ＋定するのでもよい。発熱し続
けても被測定外気に影響のないような、例えば広い室内
とか外の湿度を測定する場合は、継続して発熱させるの
でも差支えない。

ｌ−７記したような温度測定装置は、密閉した測定室を
用いて、被ａｌ１１定外気の湿度測定に用いることがで
きる。第４図はかかる測定室７の一例を模式的に示すも
のである。この測定室７の中に、上記した熱電対１や湿
度測定部ＩＯから成る湿度測定装置を封入し、リード線
は気密状態で外に引き出しておく。ここで測定室７には
適宜２つの口を設けておき、一つのロアａは被測定外気
がわに接続し、他のロアｂは吸引手段がわに接続する。

接続はチューブなどの管その他適宜のものを使用できる
。測定に当っては、「１７ｂから１ｌｌｌｌ定室７内の
空気を吸引し、これに伴い、ｌ］　７　ａから被測定外
気を測定室７内に導入する。４１１］定室７内に被測定
外気が入って置換した状態で、湿度Ｎ１１ｌ定を行う。

ａｌｌｌ定室７は、熱電対ｌや湿度測定部ｌＯは非常に
小型にできるので、小さい容積のものでよく、被＋１１
１１定外気で置換するのは短時間に容易にできる。吸引
手段として各種ポンプを用いることができる。

更に簡便には、人が口で空気を吸いこむのでもよい。小
容積の測定室であれば、−息吸いこむだけで充分である
。各ｒ＋７ａ、７ｂには、各弁８ａ。

８ｂを設置しておくことができる。

このような測定室７を用いると、湿度測定を簡便に達成
でき、しかも風の影響をυ１除できるので、正確な湿度
を得ることができる。

」−述の如く、本発明の湿度測定装置は、被測定外気に
接触させる発熱体と、該発熱体の温度をｆｉｌ＋定する
ことにより被測定外気の湿度に対応した特性をイ１する
該発熱体の温度変化の状態を検知する温度センサとを、
一体または別体に設けて構成したものであるので、以下
列記する効果を有する。

（１）小型化することが可能である。

（２）瞬時乃至は小時間の発熱で使用することもでき、
あるいは継続した発熱で使用することもできる。よって
その状況に応じて使用でき、瞬時乃至は小時間発熱させ
ることにより被沖ｊ定外気に影響を与えないようにする
ことができるので小空間で使用しても正確であり、汎用
性に富む。

（３）応答性が良く、短時間で測定できる。

（４，’）−、Ｌ、記（１）〜（３）により、測定しに
くい場所や、狭い小空間での湿度ｘ＋ＩＩ定も、容易か
つｉＥ確に行える。

（５）再現性が良好である。

（６）吸脱着型湿度センサの如きヒステリシスの問題は
全く生じない。

（７）、、に記（５）（６）により、精度の高い湿度１
！ＩＩＩ定ができる。

なお、当然のことであるが、本発明は」−記説明した実
施例にのみ限られるものではない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の−・実施例を示すタイヤグラム図、第
２図はこの実施例を用いた測定結果を示す図、第３図は
本発明の別の実施例を小すダイヤグラム図である。第４
図は上記各実施例で用い（ｊする測定室の一例の概略図
である。 １・・・発熱体と温度センサとを兼用する熱電対、１１
・・・発熱体、１２・・・温度センサ、７・・・測定室
、７　ａ　、　７　ｂ　・−・ｘｌｌｌ定室の１−１゜
＃＋ｆ　訂　出　願　人　清　水　義　〃１代理　人弁
理士　秋　１．ｌ＋　敦 第１図 第２図 Ａ　ｉ　Ｐ２Ｏ５ Ｂ１に２ＣＯ３５ａｔｕｒａｔｅｄ　５ｏｌｕｔｉｏｎ
Ｃｉ　ＮａＣｌ　５ａｔｕｒａｔｅｄ　５ｏｌｕｔｉｏ
ｎｉＨ２０

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被測定外気に接触させる発熱体と、この発熱体の温
   度を測定することにより被測定外気の湿度に対応した特
   性を有するその発熱体の温度変化の状態を検知する温度
   センサとを、一体または別体に設けて構成したことを特
   徴とする湿度測定装置。 ２、前記発熱体は、微小時間電流を流して発熱させる構
   成としたことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
   の湿度測定装置。 ３、前記発熱体ｌオ、継続して電流を流して発熱させる
   構成としたことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
   載の湿度測定装置。 ４、前記発熱体は前記温度センサを兼用する熱電対であ
   って、該熱電対に電流を流して発熱させた後、この熱電
   対によりその温度変化を測定する構成としたことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項または第２項に記載の温度
   測定装置。 ５、前記発熱体と温度センサとは密閉した測定室内に配
   置し、この７１１１定室内に被測定外気を導入すること
   によって被測定外気の湿度を測定することを特徴とする
   特許請求の範囲第１項乃至第４項のいずれかに記載に湿
   度測定装置。 ６、測定室内への被測定外気の導入は、該測定室の一つ
   の口を吸引手段に接続し他の１−１を被Ａｌｌ＋定外気
   がわに接続して、その吸引手段による吸引によって行う
   ことを特徴とする特許請求の範囲第５項に記載の湿度測
   定装置。