JPS60191785A - 電子部品吸着ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、プリント基板等の予め定められた位置へ電子
部品を装着する等の目的で電子部品をバキュームにより
吸着して保持する電子部品吸着ヘッドに関するものであ
る。

従来技術 近年、Ｉｃ、ＬＳＩ等のフランＩ−パノヶージクイプの
電子Ｆ１１；品や、コンデンザ、抵抗、トランンスタ等
のリード端子を有し、あるいは有さない単体の電子部品
をプリン１〜基板等の予め定められた位置へ自動的に装
着する装置が広く使用されている。このような装置にお
いて電子部品を保持し、所定の位置まで移動させるため
に、バキュームによって電子部品を吸着する吸着ヘッド
が使用されている。そして、この吸着ヘッドは、一般に
、吸着ヘッド本体と、その吸着ヘッド本体から延び出し
、先、Ｔｉｌｉ面において電子部品をバキュームにより
吸着］°る吸−１１’ｉ）ｊとをａむように構成されて
いる。

ところで１、二のような吸着ヘノ１ζを（Ｊ’ｎ１えた
：！Ｉ！！置においてＩＪ、電子「（１；品を所定の装
着位置にいかに１１：６″（Ｉに位置決めしく；Ｉるか
が重要な問題であり、特にＩ　ＣやＬＳＩのフラットパ
ッケージのように、リーＦ　１ｆｉｉｉ子か多数で、し
かもそのピッチが０．５〜０、８　ｍｍと狭いものを対
象とするときには、極めて１；ＩＪい位置決め錆ｊ度か
要求される。このため、プリズムやレンズ等を用いて専
用の光学系を構成する一方、複数台のテレビカメラや光
電検出器を用いて電子部品の吸着状態や、それを装着す
べきプリ７１−　ハターンや〕リード歳１１１１子挿入
孔の位置なとの必要な情報を１！７、これらの情（・ト
を比較演算処理してｉｌｉ：られたデータ乙こ基づいて
装着時の位置決めを行うことがＪ−でに提案されている
。しかしなから、そのよ・うな専用の光学系や複数台の
テレビカメラ。

光電検出器を用いる装置はコストか高く、またそのよ・
うに」ストをかりたからといって必ずしも位置決めに必
り２な情ｆａが得られるとは限らず、高い位置決め積度
がｉｑられるとεＪ限らなかった。

発明の目的 本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって
、その目的とするところは、専用の光学系を必要とせず
、また１台のプレしカメラを使用するだりても、電子部
品の吸着状態やその電−ｒ部品を装着すべきプリント基
板等のプリントパターンやリード端子挿入孔の位置など
、電子部品の位置決めにａ・要なＩＩ冒１ドを（ｑるこ
とができるようにした電子Ｈ１；品吸着ヘッドを提供す
るごとにある。

発明のＩｌｌシ成 この目的を達成するために、本発明は、吸着ヘット本体
の少なくとも吸着管の軸線を中心とする一定範囲内に位
置する部分を透明材料で構成し、その吸着ヘン１本体の
後方から吸着管の周辺を透視できるようにしたごとを特
徴とするものである。

発明のジノ果 電子部品吸着ヘッドをこのように構成すれば、吸着管に
吸着された電子部品の吸着状態を、ずなわら電子部品装
着時の位置決めに必要な吸着管に幻する（Ｈ子部品の向
きや中心からのずれ、あるいはり−ＩＳ端子の位置など
を、吸着ヘッド本体の後方から透視てきる。つまり、吸
着ヘッド本体の後方Ｃごテレビカメラを設ければ、電子
部品装着時の位置決めに必要な電子部品吸着時の各種の
情報を吸着へ・］Ｆの透明部を通し”ζ画像情報として
得ることができるのである。

Ｊ：た、それら電子部品が装着されるべきプリン１〜基
槻等のプリン１〜パターンやリード端子挿入孔等にＴｙ
Ｉする位置情報も、吸着管に電子部品が吸着されていな
いとき、上述の吸着ヘット本体の後方に設りたテレビカ
メラにより吸着ヘッドの透明部を通して画像情報として
得ることができる。

すなわら、本発明の電子部品吸着ヘットを用いれば、吸
着ヘッド本体の後方に吸着ヘットと共に移動する１台の
テレビカメラを設＆Ｊるだけで、電子一部品を所定の装
着位置に高精度に位置決めするために必要な各種の情報
を得ることが可能となるのであり、複ｉ°１［な光学系
や複数台のテレビカメラ。

光電検出器を用いる場合よりも、装置全体のコストをｈ
ｙシ＜低減することが可能となるのである。

なお、本発明に係る吸着ヘットは、上述のように必ずし
もテレビカメラとｊＩ′に移動さ−Ｕられる必要はなく
、吸着ヘットだりが単独で移動させられるような装置に
も使用され得る。例えば、吸着管によって電子部品を吸
着する位置と、その吸着した電子部品を装着する位置と
にそれぞれテレビカメラを設りて、電子部品の吸着状況
情（ｉ［３は吸、ｉ？位置に設し）たテレビカメラで吸
着ヘットの透明ｔｆｌ（を通して得、またプリント基板
等の位置情報は製箔位置に設けたテレビカメラで直接得
るようにすることもできるのである。

実施例 以］・、本発明の−・実施例を図面に基づいて６ｆｉｌ
ｌｌに説明する。

第１図は本発明の一実施例である吸着ヘッドを有する電
子部品自動装着装置の要部を示す図であるが、この図に
おいて、ｌＯはコラムであって、図示しないＸ−Ｙテー
ブル上に固定されており、ザーボモータ等の駆動装置に
よるｘ−ｙテーブルの移動により、水平面内の任意の位
置に高Ｉｆｊ度に位７．１史めされる。１、うになって
いる。コラム１０にむＪ図示しない駆動装置により鉛直
方向に移動さ−ｌら＋１．るリニーノ′スライド１２が
設けられており、このり−”−アノ、ソイ１−１２に吸
着へソドポルダＩ４が固定されている。吸着ヘッドボル
ダ１４は、その下、＞ｌ″ｊ１部から水゛１／方向に延
び出すホルダ部１８を備えており、そのホルダ部１８に
吸着ヘソ＋２０がり１）直軸線まわりに回転可能に支持
されている。

吸着ヘソ１−２０のハウジング２２は略円筒形状を成し
ており、その軸方向の一端部の外周面にフランジ部２６
が形成されている。そして、このフランジ部２らが上側
に配され、かつ１ｌＩＩＩＩ綿がに１）直に保たれた姿
勢で１．にルダ部１８に保持されている。

ずなわら、ボルタ部１８には、円筒状のスリーブ２８が
固定されており、吸着ヘッド２０はこのスリーブ２）（
に回４１ム可能に１伝合されるとともに、前記フランジ
部２６において下方から支持されているのである。

また、」１記フランジ部２６の外周部はギヤ３０とされ
゛　ボルダ部１Ｂに固定のパルスモータ３２のモー　１
軸に取り（＝Ｊりられだビニオン３３とｌ’ｎみ合わＪ
　、ており、そのパルスモータ３２によって吸着−ド２
０がハウジング２２の軸心まわりに回転さ　られるよう
になっている。

ハウジ　グ２２の内周面の１・端部には、半ｉＹ方向内
側に　５）って第二のフランジ部３４が形成されており
、シのフランジ部３４に外周部を支持され、下方・　）
移動を阻止された状態で、低反射コーチインク　施され
た円板状の透明な第一カラス板３６がハ　リング２２内
に嵌合されている。この第一ガラス板３６の中心には、
これを板厚方向に貫通した状態で貫通孔３８が形成され
ており、この貫通孔：３８に、徒手チューブ形状の吸着
管４０がその上部の基端部においてガラス面に直角に挿
入されている。なお、貫通孔３８は雌ねじ穴とされてお
り、吸着管４０は螺合により固定されているため、必要
に応じて容易に交換し得る。また、ハウジング２２内に
は、上記第一ガラス板３６との間に円筒状のスペーサ４
２を挟んで第一ガラス仮３６と同様の第ニガラス板４４
が嵌合されてい−る。そして、その第ニガラス板４４の
外周ｆ（１；を上から押さえ４＝Ｉりる伏１占で、リン
グ状の雄ねし部材４６がハウソング２２の内周面に螺着
されている。

つまり、ハウジング２２の内部に、低反射コーティング
を施された２枚の透明なガラス板３６および４４が一定
の距離を隔てて互いに平行に、かつ水平な状態で固定さ
れ、ハウジング２２と共同し一ζ空間４８を形成してい
るのであり、それらガラス板３６．４４を透かして、吸
着ヘッド２０の上方から下方が、すなわち吸着管４００
周辺が透視できるようになっているのである。なお、第
１図に示されている、１・）に、ｊｉＴ＋ｌガシス扱３
６および４４と各部材との間にはリング状のパ・７キン
がそれぞれ配設されており、ガラス板を綾ｊ撃から保護
するとともに、」１記ガラス板とハウジング２２とで形
成される空間４８の気密を保持している。

また、前記スペーサ４２とハウジング２２との側壁には
、それらを半ｉ５Ｘ、方向に貫き、／”ｔリジング２２
の外周面に開口して、接続通路５２が形成されている。

これに対し、前記スリーブ２８内周面の上記接続通路５
２の開口部に対応した部分には環状溝５４が形成されて
おり、この環状面５４と外部空間とを連通させる状態で
接続ボート５６か形成されている。そして、この接続ボ
ー１−５６に図示しない真空ポンプ等のバキューム源か
らのボース５８が接続されている。すなわち、吸着ヘッ
ドボルダ１４に対する吸着ヘッド２０の回転位置に無関
係に、バキューム源がホース５８．接続ボート５６．環
状溝５４および接続通路５２を介して前記空間４８に接
続されるようになっているのであり、その空間４８がハ
キューＪ・源に接続されると、その空間４８を介して＋
’＋ｉｆ記吸名”ｉ：ｉ’　４０がら空気の吸引が行な
われ、第１図に示されているよｊに、電子部品（本実施
例ではフラソトパノケージタイブのＩＣないしはＬＳＩ
）（ｉｏが吸着管４０の先端部に吸着されるようになっ
ているのである。なお、以」二の説明から明らかなよう
に、Ａ゛実、施例では、ハウジング２２が筒部利とされ
、そのハウジング２２と透明板としての２枚のガラス板
、３　［ｉお、１、ひ７１４とかり吸着ヘット本体か構
成され′（いるのζある。

ぞして、−上述の、Ｊ、）な吸着ヘノｌ”　２０の上方
に、１ｊ：１記−コラム１０に固定されたアーム６２に
支持され７こ状態て、吸イ゛ｆヘノＩ・２０と同軸にテ
レビカメラ）６４が設ＬＪられ、このテレビカメラ６４
によっ一ζ電子ｒ；１＋品６０を所定の装着位置に積度
よく位置決めするノごめの各種の情報が（写られるよう
になっている。

つまり、本実施例の吸着ヘット２０によれば、ｒｉｉｊ
述のように吸：ｉ）ヘッド２０の」１方から２枚のガラ
ス板３１ｉおよび４４を」ｈかして下方を透視できるた
め、この吸−ｉ”＋ヘッド２０の」１方に設りた１台の
テレビカメラ（ｉ　４により、吸着管４０に吸着された
電Ｊ’　ｉ’ｌｉ品６０の吸着状態や、その電子）：ｌ
；晶６（）を装着Ｊ・＼きプリン１一基板のプリントパ
ターンの位置等、’ｒｕＪ′一部品６０を位置決めする
ために必要な画１’（！　ｌ’ｉ’？　ｉ・ドをｆ１ン
るごとができるのである。なお、このように１台のフー
レヒカメラ６４を用いて泣；ｉソ決めに必要な情（・μ
を全て１７るようにすれば、複数台のテレビカメラを用
いた場合に椰・要な他のテレビカメラとの同期が不要と
なり、ｌ！、ＩＴＸ、やプログラム等か節単になる。

しかも、本実施例の吸着ヘッド２０において番；１、吸
着η４０か第一カラス板３　Ｇの中心乙こ設りられ、ま
たその吸着層４０とバキューム源との接続に第一カラス
扱３６と第ニガシス扱４４との間の空間４８か利用され
ているので、吸着管４０とバキューム源とを接続する空
気通路によってう−レヒカメラ６４の画像情報の取得か
妨げられることはないのである。さらに、本実施例の吸
着−・〕１２０では、前述のように、カラス板３６およ
び、Ｉ７１にイ１（反則コーティングを施したガラス扱
か使用されているので、カラス面からの反射光によって
テレビカメラ６４の画像か不η（Ｙ明になることか；貯
りられるという利点もあるのである。

次に、上述の電子部品自動装着装置によって電子部品６
０をプリン１一基板の所定のプリントパターン」二に詩
情する場合の作動を、第２図乃至第６図に従って説明す
る。

まず、第２図に小されているように、予め定められた七
〕ｌ（ｉ″を置にプリント基板６８がセットされると、
図ボし７ない制御装置から電子部品６０を装着すべきプ
リン１〜パターンの位置データが読み出され、その］）
′ｌ置データデーって自動皆″４′ＡＡ置のＸ　−Ｙ−
、：１〜−ゾルか移動さ・けられろ。そして、吸ｉ゛）
ヘッド２０の回１１ｉｚｆ中心が、つまりテレビカメラ
６４の中心か、その電子部品６０を装着Ｊべきプリント
パターンの真上に位置さ・已られる。この状態において
、テレビカメラ６４の画像か制御装置に入力され、第３
図に示されているようなプリントパターンの両Ｉ家情４
・）４が取（ｒ７される。なコーへテ１．・ヒカメラ６
４の焦点＋ｌ′ｔｉ　ＮＩＬは第２図にρで示されてい
るように、予めプリン１〜基板６）３の板面までの距離
に等しく設定されている。また、このとき、吸着ヘノ１
２０はリニアスライＦ’　］　２の移動によって上方へ
退避さ一已られており、吸着管４０には電子部品６０は
吸着されていない。

プリント の画１象情報がｉ（Ｉられると、制御装置からの電子部
品吸着指令に従ってコラムＩＯか水ＸＩ’面（Ｘ−Ｙ平
面）」二を移すリＪさーＵられ、その後リニアスジイト
１２によ．って吸着ヘノ１２０か、ずなわし吸着管４０
が予め定められた位置まてＴ　１ｍ−ざーＵられて、第
２図に一゛点鎖線で小されている，Ｊ．己こ、その先端
ｎＩＸが、１・し１７０に，Ｊ、ってその位ｉｉ”ｉ’
−　ニジて〕′・め搬送されている電子ソ（１−品Ｇｏ
の本体Ｇこ密接さーＵられる。そして、この状態におい
て吸着−・ノド２０のハウシング２２内に形成された空
間４８かバキューム源に接続され、吸着管４０の先Ｉ′
ｔ：ｉ“、１１°；）；に電子部品６０か吸着される。

吸着５２４０に電子７ＨＢ品６０か吸着されると、吸着
ヘノ（−２０は再び」１界さーＵられ、第４図に示され
ているように、電子部品６０のり−１．＝　ｕ：：、１
了かプリン１一基板６８の板面と同し高さ位置になると
、テレビカメラ［ｉ　４の画像が制御装置に人力されて
、第５図に示されているような電子部品６０のｉｌ！ｌ
ｌ像情報か取得される。

その後、吸着ヘノ１−２０はさらに」−冒させられ、前
記第２図におＬＪる退避位置と同しｊ！１１さまで上デ
１′さ−ｌられると、ｉｌ＋びＸ　−Ｙ平面に沿って移
動ざ・Ｕられ、＋’＋ｉｉ記第２１′州り同様に、プリ
ント基板仮６８のゾリンｌ−パターンの真上に位置させ
られる。一方、この移動中に、＋’＋ｉｉ記取（（Ｉさ
れたプリントパターンの画（Ｓ；債）・］ｊと電ｉ’：
’Ｂｉ晶６０の画像情報とに基づき、プリントパターン
と電子部品６０のリート端子との位置を−・蚊さ−Ｖる
吸ｉ：Ｔ　”□ノド２０の水平位置データ」３よび回転
位置データが演算され、それら水平位：！’Ｘデータと
回転位置データとに基づいて吸着ヘノＦ’　２０か位置
決めされる。つまり、上記吸着へ７１・２０の移・ｌす
＋位置はその演算によって９出された水平位置〕−−タ
に基づいて決定され、またそ０）（ル動中に、１記〆ｉ
ｉｉ算によって算出されたＩＩ十１ｉ）−位置データに
基づいてパルスモータ３２が回転駆動され、吸着ヘノ］
・２０が回転させられるのである。

なお、このように吸着ヘッド２０の移動中に画像情（・
長を６１１算処理するようにすれば、電子部品６０の装
着ザイクルを短くできる９ そし“ζ、その後、第６図に示されているように、吸ｉ
′７へｙ　Ｆ’　２　Ｎか下降され、プリンＩ・基板６
８のプリン１−パターン上に電子部品［ｉ　０か装着さ
れる。

なお、プリントノ、ｌ＞板６８」二への電子部品（５０
の５３着むＪ、プリント基１反（ｉ　８上に予め設＆Ｊ
られた１妾着剤による１反接着である。また、電子部品
（′８０やプリン１一括１反（ｉ　８のプリンｌ−パタ
ーンＡｔの向きも、１１、制御ｌ路に多めそれらの位置
データとともに向きのデータを記憶さ−Ｕておくか、あ
るいは電子部品６０やプリ二／［基板６）（のプリント
パターンにマーク表示をし゛（おく等の適宜の手法を１
：ｉ：川することによって、正確に１′ｑ別できるので
、装着に際して電子部品６０の装着方向を間違える。１
、・うな、ことはない。

電子部品６０の装着が終了すると、吸心ヘノ１２０はｉ
ｌＴび第２図と同し高さまで退避されたの４５、制御回
路からの位置データにｉｌｔっで次に電子部品６０を装
着ずべきプリントパターンｌｉＥで移動さ−Ｕられ、前
述と同様に、プリンｌ−パターンの画像情報を制御装置
に入力し、以下前述の作動を繰り返して電子部品６０を
そのプリンＩ・パターン上に正ｆｆ１ｒに装着すること
となる。

以上、本発明の−・実施例をその使用例と共に説明した
が、これは文字通り例示であって、本発明は」１記実施
例にＩＩＪ定して解釈されるべきものではない。

たとえば、前記実施例の吸着ヘット２０では、吸着管４
０とバキューム源とを接続するために２枚のガラスｌＪ
、Ｊ、３（ｉ、４４を用いてハウジング２２内に空間７
１８が形成されていたが、ヘン１°本体を１枚のカラス
や合成＋ＡＪ脂等の透明（７ｊ料からなる厚扱から製作
Ｕ７、そのＪｕｌ板内板肉着管４０と接続通路５２とを
接しｌＬず；）空気通路を形成するよ・）にし゛（もよ
い。この場合には、その１９−板肉に設けられた空気通
路か−）−レしカメラ６４の視野の一部を遮ることとな
るか、遮られる部分は１１１−かであるため画像情報を
得る上での妨げとはならない。また、万・妨げとなる場
合には、吸着ヘッドをプリント基板６８に対して一定角
度回転した異なる２位置で画像１’ｉ’？　（ｉｌｔを
得るようにすれば、それら２つの画（象情報から完全な
画像情報を得ることができる。

〒ｌ°た、前記実施例でム１Ｆ、バキューム源からのホ
ース５８か吸着ヘノ１−ボルり１４（則のスリープ゛２
８に設ＬＪられた接続ボート５６に国＆；１され、その
接続ボート５６に連通したスリーブ２８内周面の環状溝
５４に吸着ヘット２０の接Ｎ、プ、油ｆｌｌｉ　５２が
連通さ−Ｕられるごとにより、吸着管４０にバキューム
源が接続されて、吸着ヘッド２０か何回Φ］、でも回転
しｉ＋するようになっていたが、吸２７ヘノｌ”　２０
の１妾続通ｌ♂８５２にハキ、エームン原か０）のＩク
ー〕人５）（を直接接続することも可能である。

また、前記実施例では、電子部品自動装着装置に設げら
れたテレビカメラ６４は、その焦点距離が予めプリント
基板６８の板面に合わ−ｌられ、電子部品６０の画像情
報Ｇよ、吸着管４０に、１、って吸着された電子部品６
０が吸着管４０のｌ−′；、！に件ってその焦点距離位
置まで上昇したとき得られるようになっていたが、テレ
ビカメラ６・１は必ずしもそのように予め焦点距離が固
定されているものでなくてもよく、焦点距離を自動的に
調節できるものであってもよい。焦点距離の自動調節機
能をイＪするテレビカメラを用いれば、」ストがｉｊ’
ｉｉ　（なる反面、電子部品の吸着位置で直ちにその吸
着状ｆＳを知るごとかｉｉＪ能となる。

また、前記実施例では、プリントパターンの画（１（；
情報と電ｒ部品の両（３；情＋１４とから吸着ヘット２
０の水）１工移’＋すＪ位置および回転位置の双力が演
算されるようになっていたが、吸着管の中心と電子部品
の中心荀：；・１１とが　致さ・Ｕられて水、、２　（
、ｌ、置が保証される、１：つな場合には、回転位置た
りを６ｉｊ算によって９出する、■、うにしζもよく、
また逆に旧１転位：ξが保証されるような場合には、水
平移動位置たりを／ｊｉｉ　ｇ’、＋、’　Ｊ−る３１
、）るこしてもよいのである。

まノコ、ｔｉｉｉ記実施例では、吸着ヘット２０がＸ。

）′およびＺ（１：、１・）方向に移動されるごとによ
って電子部品〔ｊＯの吸着並びに装着が行われるように
なっていたが、吸着−・））２０には！１１に−に下方
向の移動と一鉛直線まわりの予め定められた回動運動の
めを（１わ−Ｖる。Ｌうにする一方、プリント２１１（
反６８と１・し−（７０とをｘ−ｙ方向に移動制御する
ごとにより、電ｒ一部品６０の吸着並びに装着を行うよ
うにしてもよい。この場合、プリント乱４反６８とトレ
イ７０とに対してそれぞれ異なるう〜レビカメラを設け
て電子部品目１す」装着装置を構成してもよい。なお、
このように２台のう〜レヒカメラを設＋Ｊ−ζも複１“
（［な光学系は必要てＧ、ｌなく、」：た焦点距離固定
のテレビカメラで済む。

加えて、前記実施例では、電子部品６０としてフラノト
バノゲージタイプの１０ないしε；ｌ：１．８１を対象
としていたが、電子部品としてはり一１θ１；１１子を
有し、あるいは有さない抵抗、コンデン刃。

トランノスク等の単体部品でもよい。また、ツーｌαＨ
１１了が予め整形されて本体とリート’　Ｏｉ：ｉ　７
−との関係が予め分かっている電子部品であれは、たと
え’Ｊ　Ｆ　にｉ、＋　７−（７）　画像情ｉＵ＞’直
ＩＲＲ１られなイＤ　Ｉ　１）タイプのＩｃやＬＳＩ等
の電子部品であ、、でも、装着の女１象とし得るもので
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を備えた電子部品自動装着装
置の要部を示す図であり、第２図、第４図および第６図
はそれぞれ第１図に示した電子部品自動装着装置の作動
を説明するための互いにジーなる形態を示す説明図であ
り、第３図および第５図はそれぞれ第１図のテレビカメ
ラで得られる画像情？）ｆの一例を示す図である。 ２０：吸着ヘッド ３ｇ　、Ｊｑ連通孔　５２：接続通路 ４０：吸：ｉ′ｉ管　６０：電子部品 ６４：テし・ヒカメラ　６８ニブリン１基板出願人　富
士機械製造株式会社 ７１図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）吸着ヘット本体と、その吸着ヘッド本体から延び
   ＩＪ１シ、先１°ｉｉ：ｉ而において電子部品をハキｊ
   −−ムにより吸着する吸着管とを含む電子部品吸着ヘッ
   ドにおいて、 前記吸着へ７１・本体の少なくとも前記吸二６Ｇの軸線
   を中心とする　定範囲内に位：ｉｔする部分を透明材料
   で構成し、その吸着ヘッド本体の後方からＩｊｉｉ記吸
   着１′）の周辺を透視できるよ・）にしたごとを特徴と
   する電子部品吸着ヘッド。
2. （２）前記吸着ヘッド本体が、不透明材料から成る↑、
   ↑１部祠と、その↑θＪ部祠部材方向に距３１［を隔て
   て互いに平行に固定されてその節部月の内側に実質的に
   気密な空間を形成する２枚の透明板と、その空間をバキ
   ューム源に接続ずべく前記筒部材に形成された接続通路
   と、前記２枚の透明板の一方にそれを厚さ方向に貫通し
   て形成された貫通孔とを含むものであり、その貫通孔に
   前記吸着管の基端部が挿入されて固定されている特許請
   求の範囲第１項記載の吸着ヘット′。