JPS6019181B2 - 固体撮像素子 - Google Patents

固体撮像素子

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Publication number
JPS6019181B2
JPS6019181B2 JP52082211A JP8221177A JPS6019181B2 JP S6019181 B2 JPS6019181 B2 JP S6019181B2 JP 52082211 A JP52082211 A JP 52082211A JP 8221177 A JP8221177 A JP 8221177A JP S6019181 B2 JPS6019181 B2 JP S6019181B2
Authority
JP
Japan
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solid
state image
image sensor
electrode
hole
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Expired
Application number
JP52082211A
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English (en)
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JPS5417620A (en
Inventor
達哉 志村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JPS5417620A publication Critical patent/JPS5417620A/ja
Publication of JPS6019181B2 publication Critical patent/JPS6019181B2/ja
Expired legal-status Critical Current

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  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は固体撮像素子に関するもので、感度の向上を図
ることを目的とする。
一般に固体撮像素子はシリコンの単結晶で作られている
ため、分光感度特性で青色光の部分が低下する。
更に電荷転送素子を構成する転送用のポリシリコンゲー
ト等を通して結像させるため、この透過率にも左右され
て更に分光感度特性が悪くなる。この改良の手段として
、受光部の転送ゲートに孔をあげるか、あるいは厚さを
薄くして光の透過率を高くすることが考えられている。
しかし転送に障害を与えないためには転送ゲートに設け
る孔の大きさに限りがあるため効果も限られてしまつ。
本発明はこのように孔をあげた部分あるいは薄くした部
分にレンチキュラーレンズで光を集中させ、孔あげの効
果を高めることにある。
以下にその実施例について説明する。
第１図および第２図において１は電荷転送素子を構成す
る転送電極、２はその転送電極１に説けた孔、３はチャ
ンネルストップ層である。４は画素と同じピッチのレン
チキュラーレンズ、５はシリコン基板である。
すなわち転送電極側から入射した光ａはしンチキュラー
レンズ４で屈折し、丁度、孔２に集中するように構成し
ているため、電極を透過する光の損失が減少し、感度を
高めることができる。
なお上記実施例では転送電極１に孔２を設けているが、
その部分の電極１を薄く構成（薄肉部）しても同様の効
果を得ることができる。上記実施例より明らかなように
本発明によれば電極自身を加工するとともにレンチキュ
ラーレンズを絹合せたことにより電極部での損失が少く
、感度のよい素子が得られる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例による間体撮像素子の要部平
面図、第２図は第１図におけるＡ一Ａ線断面図である。 １・・・・・・転送電極、２・・・・・・孔、４・・・
・・・レンチキユラーレンズ。第１図 第２図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 電極に孔もしくは薄肉部を設け、かつ入射光側に画
    素と同じピツチのレンチキユラーレンズを設け、上記入
    射光を上記各孔もしくは薄肉部に集中させることを特徴
    とする固体撮像素子。
JP52082211A 1977-07-08 1977-07-08 固体撮像素子 Expired JPS6019181B2 (ja)

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JPS5417620A JPS5417620A (en) 1979-02-09
JPS6019181B2 true JPS6019181B2 (ja) 1985-05-15

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55124366A (en) * 1979-03-19 1980-09-25 Fuji Photo Film Co Ltd Pickup device
JPS5844865A (ja) * 1981-09-10 1983-03-15 Fuji Photo Optical Co Ltd 固体撮像装置
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JPS5417620A (en) 1979-02-09

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