JPS60194331U - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は露光装置の内プリアライメントステーションか
ら露光ステーションへ９基板搬送部の平面図、第２図ａ
、ｂは本考案の動作原理を示す図、第３図ａ、　ｂは本
考案の一実施例の平面図及び側断面図、第４図ａ、　ｂ
は従来の搬送機構を示す断面図である。 １・・・・・・半導体基板、１ａ・・・・・・半導体基
板素子面、２・・・・・・プリアライメントステーショ
ン、２ａ・・・・・・回転軸、３・・・・・・露光ステ
ーション、４・・曲搬送アーム、４ａ・・・・・・真空
孔、５・・・・・・ゴムカップ、６・・・・・・円、７
・・・・・・６上の溝、８・・・・・・７に内接する円
、９・・・・・・円板、９ａ、・・・・・・９にある溝
、９ｂ・・曲９の歯車部、１０・・・・・・ピン、１１
・・・・・・円板、１１ａ・・・・・・１１にある溝、
１２・・・・・・シリンダー、１３・・・・・・方向指
示矢印、１４・・・・・・歯車。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. プリアライメントステーションから露光ステーションへ
   半導体基板を搬送する際基板側面を保持し搬送すること
   を特徴とする露光装置。