JPS6019614A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPS6019614A JPS6019614A JP12917283A JP12917283A JPS6019614A JP S6019614 A JPS6019614 A JP S6019614A JP 12917283 A JP12917283 A JP 12917283A JP 12917283 A JP12917283 A JP 12917283A JP S6019614 A JPS6019614 A JP S6019614A
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- transport
- conveyance
- linear motor
- compressed air
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
- B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
- B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はクリーンルーム内におけゐ精密回路部品の製造
工程間のりニアモータを用ｉた搬送装置に係ｐ１特に、
全亘長に渡って駆動Ｓｔ−設けられない搬送路の駆動部
のない部分での非常停止時Ｏ緊急退避による搬送パレッ
トの原点（起点又は終点）復帰に関するものであるＯ従
来りニアモータを用いた搬送装置に於て、搬送パレット
が非常停止した場合でも該パレットを原点に戻すように
搬送路全亘長に渡って、傾斜をつけて、原点に戻してや
る等の非常停止後の自動原点復帰を行うようになしてい
る。この場合、搬送路亘長が長くなると起点と終点間の
勾配による段差が大きくなｐ１定常搬送時搬送効率が着
しく悪くなるとか、傾斜作動装置が必要となる攻ど欠点
がある。
工程間のりニアモータを用ｉた搬送装置に係ｐ１特に、
全亘長に渡って駆動Ｓｔ−設けられない搬送路の駆動部
のない部分での非常停止時Ｏ緊急退避による搬送パレッ
トの原点（起点又は終点）復帰に関するものであるＯ従
来りニアモータを用いた搬送装置に於て、搬送パレット
が非常停止した場合でも該パレットを原点に戻すように
搬送路全亘長に渡って、傾斜をつけて、原点に戻してや
る等の非常停止後の自動原点復帰を行うようになしてい
る。この場合、搬送路亘長が長くなると起点と終点間の
勾配による段差が大きくなｐ１定常搬送時搬送効率が着
しく悪くなるとか、傾斜作動装置が必要となる攻ど欠点
がある。
本発明はこれに鑑みてカしたもので、搬送効率管下げる
ことなく、駆動部分を少なく、シかも駆動部のない所で
搬送パレットが停止しても容易に原点に復帰させ得るよ
うに搬送パレットの一方四部に推進羽根を設けたことｔ
−特長とするＯ 以下本発明を図示の実施例に基づいて説明すゐＯ 図に於てｗＨ被搬送物８′１に搬送パレット６上に載置
し、目的地まで搬送するようになした直線状、屈曲線状
等の搬送路で、この搬送路Ｗは搬送テーブル１と、この
下部に気密状にして−体に設ける搬送ダクト２とよｐ成
ル、上記搬送テーブル１は搬送路の中央部を中心に左右
対称に水平なる断面を有する非磁性体、例えばアルミニ
ウム、ステンレス等にて構成されると共にこの頂部１ａ
と側面には夫々ノズル１０が穿孔され、搬送ダクト２内
に供給される高圧の空気ｔ−該ノズルよｐ噴出せしめて
搬送路上をリニアモータにて移送する搬送バレツ）１−
浮上せしめるようになす。また搬送テーブル１の中央部
には搬送路の起点、終点、その他の箇所に搬送方向に適
当な間隔でリニアモータ３が設置される。
ことなく、駆動部分を少なく、シかも駆動部のない所で
搬送パレットが停止しても容易に原点に復帰させ得るよ
うに搬送パレットの一方四部に推進羽根を設けたことｔ
−特長とするＯ 以下本発明を図示の実施例に基づいて説明すゐＯ 図に於てｗＨ被搬送物８′１に搬送パレット６上に載置
し、目的地まで搬送するようになした直線状、屈曲線状
等の搬送路で、この搬送路Ｗは搬送テーブル１と、この
下部に気密状にして−体に設ける搬送ダクト２とよｐ成
ル、上記搬送テーブル１は搬送路の中央部を中心に左右
対称に水平なる断面を有する非磁性体、例えばアルミニ
ウム、ステンレス等にて構成されると共にこの頂部１ａ
と側面には夫々ノズル１０が穿孔され、搬送ダクト２内
に供給される高圧の空気ｔ−該ノズルよｐ噴出せしめて
搬送路上をリニアモータにて移送する搬送バレツ）１−
浮上せしめるようになす。また搬送テーブル１の中央部
には搬送路の起点、終点、その他の箇所に搬送方向に適
当な間隔でリニアモータ３が設置される。
搬送ダクト２にそって高圧空気（圧縮空気）を流通せし
める高圧ダクト５を配設し、該高圧ダタト５と搬送ダク
ト２間に圧力切換弁？ｔ−設けて両ダクト間を接続する
と共に高圧ダクト５にはコンプレッサー７、その他の圧
力＃を接続する。また搬送テーブル１には搬送パレット
６が載ｔ′ｇれ、該パレットの少なくとも底部はりエア
モータによシ推力を得られるよう鋼板、銅板、アルミニ
ウム板等より成ｐ１且搬送テーブルに跨がるように該テ
ーブルに対応した断面形状を有するものとすると共にこ
の搬送プレートはリアクシ躍ンプレート６ａの上部に必
要によって支柱６ｂｔ−突設し、この支柱上に受台６０
”ｋ設けて成る。またリアクシ曽ンプレート６１Ｌの一
方端部に推進羽根４を突設するが、この推進羽根４は複
数個設けられる。図示の笑施例ではりアクシーンプレー
トの上面部に２個、左右両側面に夫々１個づつ計４個配
設されているが、この推進羽根の数は任意に定められる
０そしてこの推進羽根は所要間隔にて互いに対向する側
板４ａ、４ａ間に夫々４５°その他任意の角度をもった
複数の小羽根４．ｂ、４ｂ・・を多数設けて一体とし、
且つこの推進羽根は重量を軽くする九めプラスチック等
にて構成されるものである。
める高圧ダクト５を配設し、該高圧ダタト５と搬送ダク
ト２間に圧力切換弁？ｔ−設けて両ダクト間を接続する
と共に高圧ダクト５にはコンプレッサー７、その他の圧
力＃を接続する。また搬送テーブル１には搬送パレット
６が載ｔ′ｇれ、該パレットの少なくとも底部はりエア
モータによシ推力を得られるよう鋼板、銅板、アルミニ
ウム板等より成ｐ１且搬送テーブルに跨がるように該テ
ーブルに対応した断面形状を有するものとすると共にこ
の搬送プレートはリアクシ躍ンプレート６ａの上部に必
要によって支柱６ｂｔ−突設し、この支柱上に受台６０
”ｋ設けて成る。またリアクシ曽ンプレート６１Ｌの一
方端部に推進羽根４を突設するが、この推進羽根４は複
数個設けられる。図示の笑施例ではりアクシーンプレー
トの上面部に２個、左右両側面に夫々１個づつ計４個配
設されているが、この推進羽根の数は任意に定められる
０そしてこの推進羽根は所要間隔にて互いに対向する側
板４ａ、４ａ間に夫々４５°その他任意の角度をもった
複数の小羽根４．ｂ、４ｂ・・を多数設けて一体とし、
且つこの推進羽根は重量を軽くする九めプラスチック等
にて構成されるものである。
而して上述の如く構成された搬送装置にて被搬送物を搬
送プレート受台上に載せ、目的地まで搬送する動作につ
いて以下説明する。
送プレート受台上に載せ、目的地まで搬送する動作につ
いて以下説明する。
まず、コンプレッサー７で作られた圧縮空気が、高圧ダ
クト５を介して搬送路のダクト内へ送られ、前記ノズル
１０から、搬送テーブルの上方へ噴出する０そして、こ
の噴出した高圧空気は、搬送パレット６の底部リアクシ
冨ンプレー１ｄｉＬｔ上方へ押圧するので、搬送パレッ
ト６は浮上する０前記リニアモータ３を駆動するための
電流を供給すると、搬送パレットへ部リアクシ１ンプレ
ート６ａはリエアモータノ二次側として、リニアモータ
の一次側磁束によｐ推進力を得る０この九め、搬送パレ
ット６は第２図に矢符で示す方向に緩起動される０この
ようにして定常の搬送が行われる。しかし今搬送パレッ
トが何らかの原因（停電、故障等）によｐ１リニアモー
タ駆動部のない部位で停止した場合、定常時搬送時の圧
縮空気よｐもわずか高い圧縮空気を圧力切換弁９によｐ
切ｐ換え、推進小羽根４ｂに吹自付けることによ１％Ｍ
２図矢符で示す方向に移送すゐものである。この時圧縮
空気の噴き出しは、搬送路全体から噴出させることもよ
く、又搬送路全長を数プ日ツクに分割し、複数個の搬送
パレット位置検出手段を適宜配設し、この検出手段によ
ｐ該当ブロックのみ噴出させ、移送に伴ない、以降順次
位置検出手段の信号によりブロック１わがえながら原点
復帰させることもできる。
クト５を介して搬送路のダクト内へ送られ、前記ノズル
１０から、搬送テーブルの上方へ噴出する０そして、こ
の噴出した高圧空気は、搬送パレット６の底部リアクシ
冨ンプレー１ｄｉＬｔ上方へ押圧するので、搬送パレッ
ト６は浮上する０前記リニアモータ３を駆動するための
電流を供給すると、搬送パレットへ部リアクシ１ンプレ
ート６ａはリエアモータノ二次側として、リニアモータ
の一次側磁束によｐ推進力を得る０この九め、搬送パレ
ット６は第２図に矢符で示す方向に緩起動される０この
ようにして定常の搬送が行われる。しかし今搬送パレッ
トが何らかの原因（停電、故障等）によｐ１リニアモー
タ駆動部のない部位で停止した場合、定常時搬送時の圧
縮空気よｐもわずか高い圧縮空気を圧力切換弁９によｐ
切ｐ換え、推進小羽根４ｂに吹自付けることによ１％Ｍ
２図矢符で示す方向に移送すゐものである。この時圧縮
空気の噴き出しは、搬送路全体から噴出させることもよ
く、又搬送路全長を数プ日ツクに分割し、複数個の搬送
パレット位置検出手段を適宜配設し、この検出手段によ
ｐ該当ブロックのみ噴出させ、移送に伴ない、以降順次
位置検出手段の信号によりブロック１わがえながら原点
復帰させることもできる。
而して本発明による時は搬送パレットヲ搬送テーブルに
接触させることなく、非常時原点復帰移送をさせるもの
であるから、移送時に微塵も発生せず、しかも移送時、
搬送物の振動によゐ発塵がないことから、微塵を嫌う精
密部品の組立や医薬製品に適したものであると共に駆動
ｔ″。
接触させることなく、非常時原点復帰移送をさせるもの
であるから、移送時に微塵も発生せず、しかも移送時、
搬送物の振動によゐ発塵がないことから、微塵を嫌う精
密部品の組立や医薬製品に適したものであると共に駆動
ｔ″。
装置のない部分上の非常停止を他の手段を介さず、原点
復帰できるので、設備費がかからない、簡易であシ、メ
ンテナンスが容易である等の効果があゐ０
復帰できるので、設備費がかからない、簡易であシ、メ
ンテナンスが容易である等の効果があゐ０
第１図は本発明搬送装置の一実施例を示す断面図、第２
図は前記一実施例を示す側面図・第３図は前記−笑施例
の要部を示す平面図、第４図は同断面図でめる〇 １・・・搬送テーブル ２・・・搬送ダクト ３・・・リニアモータ ４・・・推進羽根 ５・・・高圧ダクト ６・・・搬送パレット ７・・−コンプレッサー ８・・・被搬送物 ９・・・圧力切換弁 特許出願人 株式会社日立製作新 昭和、ｔ′？年３月２乙日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 ２、 発 明 の名称 撤′しｕ ３、補正する者 事件との関係 特許出ｒＫｒ人 ４、代理人 昭和 年 月 日 ６、補正により増加する発明の数 ７、補正の対象 明細書全文 ８、補正の内容 別紙の通り 明 細 書 １、発明の名称 搬送装置 ２％許請求の範囲 （１） 圧縮空気で浮上させながらリニアモータで駆動
し、被搬送物を目的地まで搬送する搬送装置であって、
被搬送物を搭載する搬送パレットに、圧縮空気を受ける
ことにより推力を発生し得る推進羽根を設けてなシ、駆
動部のない搬送路途中で非常停止した際の緊急退避（原
点復帰）を可能としたことを特徴とする搬送装置。 １」し化匿３」１（・ （１） ３、発明の詳細な説明 本発明はクリーンルーム内における精密回路部品の製造
工程…Ｉのリニアモータを用いた搬送装置に係シ、特に
、全亘長に渡って駆動部を設けられない搬送路の駆ＭＪ
部のない部分での非常停止時の緊急退避による搬送パレ
ットの原点（起点又は終点）復帰に関するものである。 従来リニアモータを用いた搬送装置に於て、搬送パレッ
トが非常停止した場合でも該パレットを原点に戻すよう
に傾斜している搬送路全亘長に渡って、自重落下によル
、原点に戻してやる等の非常停止後の自動原点復帰を行
うようになしている。この場合、搬送路亘長が長くなる
と起点と終点間の傾斜している搬送路の勾配による段差
が大きくなル、定常搬送時搬送効率が著しく悪くなると
か、傾斜作動装置が必要となるなど欠点がある。 また、搬送の際、搬送パレットの起動、停止時等の慣性
力によって、搬送パレットに載置された被搬送物として
の容器内の物品が振動してしまい、物品の破損、異物の
発生、異物等の物品への付層が生じるということも見い
出された。 このことは、特に半導体装置の製造におけるシリコンウ
墨−ハを多数枚容器に収納したもの（被搬送物）の場合
に、シリコンウーーハは薄く、シかももろい材料からな
るため、大きな問題となることがわかった。 それゆえ１本発明の目的は、上述した欠点を解決すべく
なされたもので、搬送効率を下げることなく、駆動部分
を少なく、シかも駆動部のない所で搬送パレットが停止
しても容易に原点に復帰させ得るような搬送パレットを
有する搬送装置を提供することにある。 さらに、本発明の他の目的は、被搬送物を載置する搬送
パレット自体を傾斜させ、？Ｉ！！搬送物を９０ｊ４＃
させて搬送することによシ、搬送時の被搬送物の振動等
を低減し、被搬送物を安定かつ高信頼性をもって正確に
搬送でき得る搬送装置を提供することにある。 前記第１の目的を達成するために１本発明は、搬送パレ
ットの一方端に推進羽根を設けた搬送装置とするもので
ある。 また、前記第２の目的を達成するために、搬送パレット
を、搬送路に対し傾斜させ、その傾斜した搬送パレット
上に被搬送物を傾斜させて載置することができる搬送装
置とするものである。 以下、本発明の一実施例である搬送装置を第１図〜第４
図・を用いて具体的に説明する。 図に於てＷは被搬送物８、具体的には容器内に多数枚シ
リコンウェーハを収納したものなどを搬送パレット６上
に載置し、目的地まで搬送するようになした直線状、屈
曲線状等の搬送路で、この搬送路Ｗは搬送テーブル１と
、この下部に気密状にして一体に設ける搬送ダクト２と
よ構成９、上記搬送テーブル１は搬送路の中央線を中心
に左右対称に水平なる断面を有する非磁性体、例えばア
ルミニウム、ステンレス等にて構成されると共にこの頂
面１ａと側面には夫々ノズル１ｏが穿孔され、搬送ダク
ト２内に供給される高圧の空気を該ノズルよシ噴出せし
めて搬送路上をリニアモータにて移送する搬送パレット
を浮上せしめるようになす。また搬送テーブル１の中央
部には搬送路の起点、終点、その他の箇所に搬送方向に
適当な間隔でリニアモータ３が設置される。搬送ダクト
２に沿って高圧空気（圧縮空気）を流通せしめる尚圧ダ
クト５を配設し、該高圧ダクト５と搬送ダクト２間に圧
力切換弁９を設けて両ダクト間を接続すると共に高圧ダ
クト５にはコンプレッサー７、その他の圧力源を接続す
る。また搬送テーブル１には搬送パレット６が載置され
、該パレットの少なくとも底部はリニアモータにより推
力を得られるよう鋼板、鋼板、アルミニウム板等よ構成
シ、且搬送テーブルに送られ、前記ノズル１Ｏｄｈら、
搬送テーブルの上方へ噴出する。そして、この噴出した
高圧空気は、搬送パレット６の底部リアクシ羅ンプレー
ト６ａを上方へ押圧するので、搬送パレット６は浮上す
る。前記リニアモータ３を駆動するための電流を供給す
ると、搬送パレット６の底部リアクシ厘ンプレート６ａ
はリニアモータの二次側として、リニアモータの一次側
磁束により推進力を得る。このため、搬送パレット６は
第２図に矢符で示す方向に移動される。その際、容器内
のシリコンウェーハは、第２図からあ色らかなように、
常に一定の方向に傾斜した状態で搬送されるため、搬送
方向への安定性が向上し、搬送パレットの起動、停止時
等の慣性力によるシリコンウＪＬ −ハの振動が低減さ
れる。それゆえ、シリコンウェーハの破損、異物の発生
、異物のシリコンウェーハへの付着が低減でき、容器内
のシリコンウェーハ、つま）被搬送物は、安定がっ高信
頼性をもって正確に搬送される。このようにして定常の
搬送が行われる。 ところで、今搬送パレットが何らかの原因（停電、故障
等）にょシ、リニアモータ躯動部のない部位で停止した
場合、定常時搬送時の圧縮空気よりもわずか高い圧縮空
気を圧力切換弁９によ多切夛侠え、推進小羽根４ｂに吹
き付けることによシ、第２図矢符で示す方向に移送する
ものである。この時圧縮空気の噴き出しは、搬送路全体
から噴出させることもよく、又搬送路全長を数プルツク
に分割し、複数個の搬送パレット位置検出手段を適宜配
設し、この検出手段によシ該当ブロックのみ噴出させ、
移送に伴ない、以降順次位置検出手段の信号によジブロ
ックを切ｂｓえながら原点復帰させることもできる。 而して本発明による時は搬送パレットを搬送テーブルに
接触させることなく、非常時原点復帰移送をさせるもの
であシ、被搬送物は、常に一定の方向に傾斜されて搬送
されることから、移送時に微塵も発生せず、しかも移送
時、搬送物の振動による発塵がないことから％微塵を嫌
う精密部品の組立や医薬製品に適したものであると共に
駆動装置のない部分での非常停止を他の手段を介さず、
原点復帰できるので、設備費がかからない、簡易であシ
、メンテナンスが容易である等の効果がある。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明搬送装置の一実施例を示す断面図、第２
図は前Ｎｉシー実施例を示す側面図、第３図は前記一実
施例の要部を示す平面図、第４図は同断面図である。 １・・・搬送テーブル ２・・・搬送ダクト ３・・・リニアモータ ４・・・推進羽根 ５・・・高圧ダクト ６・・・搬送パレット ７・・・コンプレッサー ８・・・被搬送物 ９・・・圧力切換弁 特許田麩 株式会社日立製作所 特許出願人 日立機電工業株式会社 外１゛名”−
図は前記一実施例を示す側面図・第３図は前記−笑施例
の要部を示す平面図、第４図は同断面図でめる〇 １・・・搬送テーブル ２・・・搬送ダクト ３・・・リニアモータ ４・・・推進羽根 ５・・・高圧ダクト ６・・・搬送パレット ７・・−コンプレッサー ８・・・被搬送物 ９・・・圧力切換弁 特許出願人 株式会社日立製作新 昭和、ｔ′？年３月２乙日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 ２、 発 明 の名称 撤′しｕ ３、補正する者 事件との関係 特許出ｒＫｒ人 ４、代理人 昭和 年 月 日 ６、補正により増加する発明の数 ７、補正の対象 明細書全文 ８、補正の内容 別紙の通り 明 細 書 １、発明の名称 搬送装置 ２％許請求の範囲 （１） 圧縮空気で浮上させながらリニアモータで駆動
し、被搬送物を目的地まで搬送する搬送装置であって、
被搬送物を搭載する搬送パレットに、圧縮空気を受ける
ことにより推力を発生し得る推進羽根を設けてなシ、駆
動部のない搬送路途中で非常停止した際の緊急退避（原
点復帰）を可能としたことを特徴とする搬送装置。 １」し化匿３」１（・ （１） ３、発明の詳細な説明 本発明はクリーンルーム内における精密回路部品の製造
工程…Ｉのリニアモータを用いた搬送装置に係シ、特に
、全亘長に渡って駆動部を設けられない搬送路の駆ＭＪ
部のない部分での非常停止時の緊急退避による搬送パレ
ットの原点（起点又は終点）復帰に関するものである。 従来リニアモータを用いた搬送装置に於て、搬送パレッ
トが非常停止した場合でも該パレットを原点に戻すよう
に傾斜している搬送路全亘長に渡って、自重落下によル
、原点に戻してやる等の非常停止後の自動原点復帰を行
うようになしている。この場合、搬送路亘長が長くなる
と起点と終点間の傾斜している搬送路の勾配による段差
が大きくなル、定常搬送時搬送効率が著しく悪くなると
か、傾斜作動装置が必要となるなど欠点がある。 また、搬送の際、搬送パレットの起動、停止時等の慣性
力によって、搬送パレットに載置された被搬送物として
の容器内の物品が振動してしまい、物品の破損、異物の
発生、異物等の物品への付層が生じるということも見い
出された。 このことは、特に半導体装置の製造におけるシリコンウ
墨−ハを多数枚容器に収納したもの（被搬送物）の場合
に、シリコンウーーハは薄く、シかももろい材料からな
るため、大きな問題となることがわかった。 それゆえ１本発明の目的は、上述した欠点を解決すべく
なされたもので、搬送効率を下げることなく、駆動部分
を少なく、シかも駆動部のない所で搬送パレットが停止
しても容易に原点に復帰させ得るような搬送パレットを
有する搬送装置を提供することにある。 さらに、本発明の他の目的は、被搬送物を載置する搬送
パレット自体を傾斜させ、？Ｉ！！搬送物を９０ｊ４＃
させて搬送することによシ、搬送時の被搬送物の振動等
を低減し、被搬送物を安定かつ高信頼性をもって正確に
搬送でき得る搬送装置を提供することにある。 前記第１の目的を達成するために１本発明は、搬送パレ
ットの一方端に推進羽根を設けた搬送装置とするもので
ある。 また、前記第２の目的を達成するために、搬送パレット
を、搬送路に対し傾斜させ、その傾斜した搬送パレット
上に被搬送物を傾斜させて載置することができる搬送装
置とするものである。 以下、本発明の一実施例である搬送装置を第１図〜第４
図・を用いて具体的に説明する。 図に於てＷは被搬送物８、具体的には容器内に多数枚シ
リコンウェーハを収納したものなどを搬送パレット６上
に載置し、目的地まで搬送するようになした直線状、屈
曲線状等の搬送路で、この搬送路Ｗは搬送テーブル１と
、この下部に気密状にして一体に設ける搬送ダクト２と
よ構成９、上記搬送テーブル１は搬送路の中央線を中心
に左右対称に水平なる断面を有する非磁性体、例えばア
ルミニウム、ステンレス等にて構成されると共にこの頂
面１ａと側面には夫々ノズル１ｏが穿孔され、搬送ダク
ト２内に供給される高圧の空気を該ノズルよシ噴出せし
めて搬送路上をリニアモータにて移送する搬送パレット
を浮上せしめるようになす。また搬送テーブル１の中央
部には搬送路の起点、終点、その他の箇所に搬送方向に
適当な間隔でリニアモータ３が設置される。搬送ダクト
２に沿って高圧空気（圧縮空気）を流通せしめる尚圧ダ
クト５を配設し、該高圧ダクト５と搬送ダクト２間に圧
力切換弁９を設けて両ダクト間を接続すると共に高圧ダ
クト５にはコンプレッサー７、その他の圧力源を接続す
る。また搬送テーブル１には搬送パレット６が載置され
、該パレットの少なくとも底部はリニアモータにより推
力を得られるよう鋼板、鋼板、アルミニウム板等よ構成
シ、且搬送テーブルに送られ、前記ノズル１Ｏｄｈら、
搬送テーブルの上方へ噴出する。そして、この噴出した
高圧空気は、搬送パレット６の底部リアクシ羅ンプレー
ト６ａを上方へ押圧するので、搬送パレット６は浮上す
る。前記リニアモータ３を駆動するための電流を供給す
ると、搬送パレット６の底部リアクシ厘ンプレート６ａ
はリニアモータの二次側として、リニアモータの一次側
磁束により推進力を得る。このため、搬送パレット６は
第２図に矢符で示す方向に移動される。その際、容器内
のシリコンウェーハは、第２図からあ色らかなように、
常に一定の方向に傾斜した状態で搬送されるため、搬送
方向への安定性が向上し、搬送パレットの起動、停止時
等の慣性力によるシリコンウＪＬ −ハの振動が低減さ
れる。それゆえ、シリコンウェーハの破損、異物の発生
、異物のシリコンウェーハへの付着が低減でき、容器内
のシリコンウェーハ、つま）被搬送物は、安定がっ高信
頼性をもって正確に搬送される。このようにして定常の
搬送が行われる。 ところで、今搬送パレットが何らかの原因（停電、故障
等）にょシ、リニアモータ躯動部のない部位で停止した
場合、定常時搬送時の圧縮空気よりもわずか高い圧縮空
気を圧力切換弁９によ多切夛侠え、推進小羽根４ｂに吹
き付けることによシ、第２図矢符で示す方向に移送する
ものである。この時圧縮空気の噴き出しは、搬送路全体
から噴出させることもよく、又搬送路全長を数プルツク
に分割し、複数個の搬送パレット位置検出手段を適宜配
設し、この検出手段によシ該当ブロックのみ噴出させ、
移送に伴ない、以降順次位置検出手段の信号によジブロ
ックを切ｂｓえながら原点復帰させることもできる。 而して本発明による時は搬送パレットを搬送テーブルに
接触させることなく、非常時原点復帰移送をさせるもの
であシ、被搬送物は、常に一定の方向に傾斜されて搬送
されることから、移送時に微塵も発生せず、しかも移送
時、搬送物の振動による発塵がないことから％微塵を嫌
う精密部品の組立や医薬製品に適したものであると共に
駆動装置のない部分での非常停止を他の手段を介さず、
原点復帰できるので、設備費がかからない、簡易であシ
、メンテナンスが容易である等の効果がある。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明搬送装置の一実施例を示す断面図、第２
図は前Ｎｉシー実施例を示す側面図、第３図は前記一実
施例の要部を示す平面図、第４図は同断面図である。 １・・・搬送テーブル ２・・・搬送ダクト ３・・・リニアモータ ４・・・推進羽根 ５・・・高圧ダクト ６・・・搬送パレット ７・・・コンプレッサー ８・・・被搬送物 ９・・・圧力切換弁 特許田麩 株式会社日立製作所 特許出願人 日立機電工業株式会社 外１゛名”−
Claims (1)
- 搬送物を圧縮空気で浮上させながらリニアモータで駆動
し搬送物を目的地まで搬送するりニアモータによる搬送
装置において、被搬送物を搭載する搬送パレットに圧縮
空気を受けることにより推力を発生し得る推進羽根ｔｖ
け、駆動部のない搬送路途中で非常停止した際の緊急退
避（原点復帰）ｔ−可能としたこと１−峙微とする搬送
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12917283A JPS6019614A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12917283A JPS6019614A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 搬送装置 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24748885A Division JPS61150925A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | ウエハ−のリニアモ−タ搬送装置 |
| JP24748785A Division JPS61150924A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6019614A true JPS6019614A (ja) | 1985-01-31 |
| JPH0144610B2 JPH0144610B2 (ja) | 1989-09-28 |
Family
ID=15002921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12917283A Granted JPS6019614A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6019614A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61150924A (ja) * | 1985-11-05 | 1986-07-09 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
-
1983
- 1983-07-14 JP JP12917283A patent/JPS6019614A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61150924A (ja) * | 1985-11-05 | 1986-07-09 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0144610B2 (ja) | 1989-09-28 |
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