JPH0255337B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はクリーンルーム内等における電子精密
回路部品の製造工程搬送や、その他リニアモータ
を用いた搬送装置に関する。

従来の技術 従来リニアモータを用いた搬送装置に於て、搬
送の際、搬送パレツトの起動、停止時等の慣性力
によつて、搬送パレツトに載置された被搬送物と
しての容器内の物品が振動してしまい、物品の破
損、異物の発生、異物等の物品への付着が生じる
とうことが見い出された。このことは、特に半導
体装置の製造におけるシリコンウエハーを多数枚
容器に収納したもの（放搬送物）の場合に、シリ
コンウエハーは薄く、しかももろい材料からなる
ため大きな問題となることがわかつた。

発明が解決しようとする問題点 本発明の目的は、被搬送物を載帯する搬送パレ
ツト自体を傾斜させ、被搬送物を傾斜させて搬送
することにより、搬送時の被搬送物の振動等を低
減し、被搬送物を安定かつ高信頼性をもつて正確
に搬送でき得る搬送装置を提供することにある。

問題点の解決手段 本発明は、被搬送物を塔載する搬送パレツト
は、被搬送物を載置する受台の被搬送物載置面が
進行方向に対し傾斜させることにより、避搬送物
が進行方向に対し、傾斜して搬送できるようにな
したことをも特徴とする。

実施例 以下、本発明の一実施例である搬送装置を第１
図〜第４図を用いて具体的に説明する。

図に於てＷは被搬送物８、具体的には容器内に
多数枚シリコンウエハーを収納したものなどを搬
送パレツト６上に載置し、目的地まで搬送するよ
うになした直線状、屈曲線状等の搬送路で、この
搬送路Ｗは搬送テーブル１と、この下部に気密状
にして一体に設ける搬送ダクト２とより成り、上
記搬送テーブル１は搬送路の中心線の中心を左右
対称に水平なる断面を有する非磁性体、例えばア
ルミニウム、ステンレス等にて構成されると共に
この頂面１ａと側面には夫々ノズル１ｃが穿孔さ
れ、搬送ダクト２内に供給される高圧の空気を該
ノズルにより噴出せしめて搬送路上をリニアモー
タにて移送する搬送パレツトを浮上せしめるよう
になす。また搬送テーブル１の中央部には搬送路
の起点、終点、その他の箇所に搬送方向に適当な
間隔でリニアモータ３が設置される。搬送ダクト
２に沿つて高圧空気（圧縮空気）を流通せしめる
高圧ダクト５を配設し、該高圧ダクト５と搬送ダ
クト２間に圧力切換弁９を設けて両ダクト間を接
続すると共に高圧ダクト５にはコンプレツサー
７、その他の圧力源を接続する。また搬送テーブ
ル１には搬送パレツト６が載置され、該パレツト
の少なくとも底部はリニアモータにより推力を得
られるよう鋼板、銅板、アルミニウム板等より成
り、且搬送テーブルに跨がるように該テーブルに
対応した断面形状を有するものとすると共にこの
搬送パレツトはリアクシヨンプレート６ａの上部
に支柱６ｂを突設し、この支柱上に被搬送物を載
置する受台６ｃを進行方向に対して傾斜している
ように設けて成る。またリアクシヨンプレート６
ａの一方端部に推進羽根４を突設するが、この推
進羽根４は複数個設けられる。図示の実施例では
リアクシヨンプレートの上面部に２個、左右両側
面に夫々１個づつ計４個配設されているが、この
推進羽根の数は任意に定められる。そしてこの推
進羽根は所要間隔にて互いに対向する側板４ａ，
４ａ間に夫々45゜その他任意の角度をつた複数の
小羽根４ｂ，４ｂ…を多数設けて一体とし、且つ
この推進羽根は重量を軽くするためプラスチツク
等にて構成されるものである。

而して上述の如く構成された搬送装置にて被搬
送物を搬送パレツト受台上に載せ、目的地まで搬
送する動作について以下説明する。

まず、コンプレツサー７で作られた圧縮空気
が、高圧ダクト５を介して搬送路のダクト内へ送
られ、前記ノズル１ｃから搬送テーブルの上方へ
噴出する。そしてこの噴出した高圧空気は、搬送
パレツト６の底部リアクシヨンプレート６ａを上
方へ押圧するので、搬送パレツト６は浮上する。
前記リニアモータ３を駆動するための電流を供給
すると、搬送パレツト６の底部リアクシヨンプレ
ート６ａはリニアモータの二次側として、リニア
モータの一次側磁束により推進力を得る。このた
め搬送パレツト６は第２図に矢符で示す方向に移
動される。その際、容器内のシリコンウエハー
は、第２図からあきらかなように、常に一定の方
向に傾斜した搬送されるため、搬送方向への安定
性が向上し、搬送パレツトの起動、停止時等の慣
性力によりシリコンウエハーの振動が低減され
る。それゆえ、シリコンウエハーの破損、異物の
発生、異物のシリコンウエハーへの付着が低減で
き、容器内のシリコンウエハー、つまり被搬送物
は、安定かつ高信頼性をもつて正確に搬送され
る。このようにして定常の搬送が行われる。

ところで今搬送パレツトが何らかの原因（停
電、故障等）により、リニアモータ駆動部のない
部位で停止して場合、定常時搬送時の圧縮空気よ
りもわずか高い圧縮空を圧力切換弁９により切り
換え、推進小羽根４ｂに吹き付けることにより、
第２図矢符で示す方向に移送するものである。こ
の時圧縮空気の噴き出しは、搬送路全体から噴出
させることもよく、又搬送路全長を数ブロツクに
分割し、複数個の搬送パレツト位置検出手段を適
宜配設し、この検出手段により該当ブロツクのみ
噴出させ、移送に伴ない、以降順次位置検出手段
の信号によりブロツクを切り換えながら原点復帰
させることもできる。

発明の効果 本発明による時は搬送パレツトを搬送テーブル
に接触させることなく、被搬送物は、常に一定の
方向に傾斜されて搬送されることから、移送時に
微塵も発生せず、しかも移送時搬送物の振動によ
る発塵がないことから、微塵を嫌う電子精密部品
の組立や医薬製品に適したものであると共に駆動
装置のない部分での非常停止を他の手段を介さ
ず、原点復帰できるので、設備費がかからない、
簡単でありメンテナンスが容易である等の効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明搬送装置の一実施例を示す断面
図、第２図は前記第一実施例を示す側面図、第３
図は前記第一実施例の要部を示す平面図、第４図
は同断面図である。 １……搬送テーブル、２……搬送ダクト、３…
…リニアモータ、４……推進羽根、５……高圧ダ
クト、６……搬送パレツト、７……コンプレツサ
ー、８……被搬送物、９……圧力切換弁。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 搬送路と、前記搬送路上を移動可能に構成し
   た搬送パレツトと、前記搬送パレツトに搭載する
   被搬送物と、前記搬送パレツトを圧縮性気体で浮
   上させる浮上手段と、前記搬送パレツトをリニア
   モータで駆動する駆動手段を有する搬送装置にお
   いて、前記搬送パレツトの進行方向に対して前記
   被搬送物の底面の前縁が前記底面の後縁よりも低
   くなるように前記被搬送物を傾斜させて搭載する
   ことを特徴とする搬送装置。 ２ 前記被搬送物は半導体ウエハであることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の搬送装置。 ３ 前記搬送パレツト上に設けられ、かつ、前記
   被搬送物を搭載するための受台を有し、前記受台
   の前記被搬送物搭載面を傾斜させて設置し、前記
   搭載面上に前記被搬送物を搭載することにより前
   記搬送パレツトの進行方向に対して前記被搬送物
   の底面の前縁が前記底面の後縁よりも低くなるよ
   うに前記被搬送物を傾斜させて搭載することを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の搬送装置。 ４ 前記被搬送物は半導体ウエハであることを特
   徴とする特許請求の範囲第３項記載の搬送装置。