JPS6019977U - 半導体測定用試料台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による試料台およびその周辺の構成の一
例を図式的に示す図である。 １・・・・・・試料台、２・・・・・・試料、３・・・
・・・熱交換部、４・・・・・・冷凍部、５・・・・・
・感温素子、６・・・・・・ガス圧縮機、７・・・・・
・低圧ガス用パイプ、８・・・・・・高圧ガス用パイプ
、９・・・・・・熱媒体加熱器、１０・・・・・・循環
用ポンプ、１１・・・・・・熱媒体用パイプ、１２・・
・・・・ベルジャ、１３・・・・・・真空ポンプ、１４
・・・・・・リーク・バルブ、１５・・・・・・プロー
ブ、１６・・・・・・蛇腹、１７・・・・・・Ｘ−Ｙス
キャン部、１８・・・・・・モータ、１９・・・・・・
プローブ昇降部、２０・・・・・・制御部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 試料台の外部に熱媒体加熱機および冷却媒体のための圧
   縮機を有し、その熱媒体は循環用ポンプによって電磁弁
   からなる開閉弁および電気的に絶縁されたパイプを介し
   て試料台の熱交換部に供給され、上記圧縮機は上記試料
   台に含まれている冷凍部から低圧ガスを受け、そこに高
   圧ガスを供給して冷凍機を形成し、上記試料台はさらに
   感温素子を含み、制御部が上記感温素子からの信号にし
   たがって上記試料台を所定の温度に保つように上記加熱
   機および圧縮機をオン−オフ制御し、排気することがで
   き、内部に測定しようとする試料が置かれるベルジャを
   含み、該ベルジャ内にあるプローブが蛇腹を介して外部
   のＸ−Ｙスキャン部と接続されており、上記Ｘ−Ｙスキ
   ャン・プローブがコンピュータで制御され、試料上の電
   極に自動的に接触できることを特徴とする半導体測定用
   試料台。