JPS60200104A - 反射光測定用フアイバアレイ - Google Patents
反射光測定用フアイバアレイInfo
- Publication number
- JPS60200104A JPS60200104A JP5644584A JP5644584A JPS60200104A JP S60200104 A JPS60200104 A JP S60200104A JP 5644584 A JP5644584 A JP 5644584A JP 5644584 A JP5644584 A JP 5644584A JP S60200104 A JPS60200104 A JP S60200104A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- fiber
- receiving
- light receiving
- fiber array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 title claims description 96
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
本発明は対象物を観測する送光用ファイバと受光用ファ
イバからなる反射光測定用ファイバアレイに係る。
イバからなる反射光測定用ファイバアレイに係る。
〈従来技術〉
単純な反射光測定用ファイバとして従来から第1図に示
す距離測定用のものが知られている。
す距離測定用のものが知られている。
第1図において、一対の送光用ファイバ1と受光用ファ
イバ2が平行して配置されている。送光用ファイバ1は
光源3と、受光用ファイバ2は受光素子4と結合されて
いる。光源3の光は送光用ファイバlを伝搬し、送光用
ファイバlの端面から対象物7に向って開口角2θで拡
散され、照明光51 + s、で限界される円錐状の照
明領域S1は対象物上では照明領域8..8.となる。
イバ2が平行して配置されている。送光用ファイバ1は
光源3と、受光用ファイバ2は受光素子4と結合されて
いる。光源3の光は送光用ファイバlを伝搬し、送光用
ファイバlの端面から対象物7に向って開口角2θで拡
散され、照明光51 + s、で限界される円錐状の照
明領域S1は対象物上では照明領域8..8.となる。
また対象物7上の視野9m、9.を臨む開口角2θの範
囲の反射光6□、62で限界される円錐状の受光領域R
1が受光用ファイバ2の端面に結合される。
囲の反射光6□、62で限界される円錐状の受光領域R
1が受光用ファイバ2の端面に結合される。
そこで、第1図では視野91+92の内、照明領域S、
で照明されている部分9□、93のみが観測できる。こ
の場合、対象物7と光ファイバ端の距離りによって受光
量が特定的に変化するので、受光量観測によって、対象
物7までの距離りを測定することができる。
で照明されている部分9□、93のみが観測できる。こ
の場合、対象物7と光ファイバ端の距離りによって受光
量が特定的に変化するので、受光量観測によって、対象
物7までの距離りを測定することができる。
第1図のものでは対象物までの距離を検出するだけであ
るが、対象物の凹凸の集合による情報、例えば自動車の
エンジンの製造番号のプレートに刻印された文字等を認
識しようとする場合は、第1図に示すような一対の送光
用ファイバと受光用ファイバを第2図に示すように一次
元的に複数組配列し、これを対象物の凹凸を覆うように
走査し、受光情報を処理して凹凸部のもつ情報を認識す
ることができる。あるいは第2図に示す一次元的配列の
送・受光用ファイバアレイを更に2次元的に配列して電
子走査でファイバアレイの情報を読取ることができる。
るが、対象物の凹凸の集合による情報、例えば自動車の
エンジンの製造番号のプレートに刻印された文字等を認
識しようとする場合は、第1図に示すような一対の送光
用ファイバと受光用ファイバを第2図に示すように一次
元的に複数組配列し、これを対象物の凹凸を覆うように
走査し、受光情報を処理して凹凸部のもつ情報を認識す
ることができる。あるいは第2図に示す一次元的配列の
送・受光用ファイバアレイを更に2次元的に配列して電
子走査でファイバアレイの情報を読取ることができる。
第2図において1..1.は開口端で開口角2θを有す
る平行に配列された送光用ファイバ、2□。
る平行に配列された送光用ファイバ、2□。
22は開口端で開口角2θを有するDなる間隔で平行に
配列された受光用ファイバである。受光用ファイバ2.
.22は送光用ファイバ”I+”tの照明による対象物
70反射光を受光する。送光用ファイバ1.と送光用フ
ァイバ1.は共に同一の開口角2θをもち、Dなる間隔
で平行に配列されている。対象物7と7アイバアレイの
間の距離りによって対象物7上での照明領域S、 、
S、は変化し、距#Loから照明領域S、 、 S、は
重畳し始める。又受光用ファイバ2. 、2tは共に同
一の開口角2θをもち、Dなる間隔で平行に配列されて
いて、それぞれ受光領域R,、R,をもつ。受光領域I
t、、 、 R,もLと共に変化し、距離L0以上にお
いて重畳する。
配列された受光用ファイバである。受光用ファイバ2.
.22は送光用ファイバ”I+”tの照明による対象物
70反射光を受光する。送光用ファイバ1.と送光用フ
ァイバ1.は共に同一の開口角2θをもち、Dなる間隔
で平行に配列されている。対象物7と7アイバアレイの
間の距離りによって対象物7上での照明領域S、 、
S、は変化し、距#Loから照明領域S、 、 S、は
重畳し始める。又受光用ファイバ2. 、2tは共に同
一の開口角2θをもち、Dなる間隔で平行に配列されて
いて、それぞれ受光領域R,、R,をもつ。受光領域I
t、、 、 R,もLと共に変化し、距離L0以上にお
いて重畳する。
しかし、受光領域R8,R,が重なると、双方の受光用
ファイバは共に同一受光領域部分の情報をもつことにな
り、受光ファイバの配列のピッチに基づく原理的な分解
能を達成できなくなる。
ファイバは共に同一受光領域部分の情報をもつことにな
り、受光ファイバの配列のピッチに基づく原理的な分解
能を達成できなくなる。
また、距離り。において照明領域S、 、 S、と受光
領域R1,R,は共に重畳し始め、受光領域R,、R1
内で照明領域S、 、 S、が重畳した部分、重畳しな
い部分、ダークスペースが占める領域に区分され、これ
らの領域が距離りと共に変化する。従って受光領域R,
、R,の照明分布は均一でない。
領域R1,R,は共に重畳し始め、受光領域R,、R1
内で照明領域S、 、 S、が重畳した部分、重畳しな
い部分、ダークスペースが占める領域に区分され、これ
らの領域が距離りと共に変化する。従って受光領域R,
、R,の照明分布は均一でない。
このため受光用ファイバの受光量と距離の関係が単純で
なく対象物の凹凸の検出に不適である。
なく対象物の凹凸の検出に不適である。
第3図は第2図と同一の配列の送・受光用ファイバアレ
イを示す。ただし送・受光用ファイバの開口角は共に2
θ′で狭い場合を示している。
イを示す。ただし送・受光用ファイバの開口角は共に2
θ′で狭い場合を示している。
この場合、ファイバアレイの端面からの距離LKある対
象物上で照明領域S、 、 S、と受光領域RI。
象物上で照明領域S、 、 S、と受光領域RI。
R1は図示の如く配列され、隣接照明領域SIとS。
の間にはダークスペースが存在し、受光領域RI。
R7内にダークスペースが存在する。またダークスペー
スの受光ファイバ21.2□の対象物7上の受光領域内
に占める割合いが対象物7とファイバアレイ端までの距
離りとともに変化するため、受光パワーが受光用ファイ
バアレイと対象物の距離の自乗に逆比例するという単純
な受光量と距離の関係が成立せず、凹凸の検出において
支障が起る。
スの受光ファイバ21.2□の対象物7上の受光領域内
に占める割合いが対象物7とファイバアレイ端までの距
離りとともに変化するため、受光パワーが受光用ファイ
バアレイと対象物の距離の自乗に逆比例するという単純
な受光量と距離の関係が成立せず、凹凸の検出において
支障が起る。
〈発明の目的〉
本発明は以上のような従来技術の不具合な点に鑑みてな
されたもので、ファイバアレイ配列に基づく分解能が阻
害されず、対象物の凹凸を正しく検出する反射光測定用
ファイバアレイを提供することを目的とするものである
。
されたもので、ファイバアレイ配列に基づく分解能が阻
害されず、対象物の凹凸を正しく検出する反射光測定用
ファイバアレイを提供することを目的とするものである
。
〈問題点解決の手段〉
かかる目的を達成した本発明による反射光測定用ファイ
バアレイの構成は、対象物を照明する送光用ファイバと
特定な分解能を得る間隔で配列された受光用ファイバと
を交互に配列した反射光測定用ファイバアレイにおいて
、上記送光用ファイバの開口角20Iを上記受光用ファ
イバの開口角2θ、よシ太きくシ、上記送光用ファイバ
による均一な照明領域でかつ上記受光用ファイバの受光
領域が重畳することなく、上記対象物を検出することを
特徴とするものである。
バアレイの構成は、対象物を照明する送光用ファイバと
特定な分解能を得る間隔で配列された受光用ファイバと
を交互に配列した反射光測定用ファイバアレイにおいて
、上記送光用ファイバの開口角20Iを上記受光用ファ
イバの開口角2θ、よシ太きくシ、上記送光用ファイバ
による均一な照明領域でかつ上記受光用ファイバの受光
領域が重畳することなく、上記対象物を検出することを
特徴とするものである。
〈実施例〉
本発明による反射光測定用ファイバアレイの一実施例に
つき図面を参照しながら説明する。
つき図面を参照しながら説明する。
第4図は本発明による反射光測定用ファイバアレイの一
実施例の構成図である。第4図において”l+1!・・
・は送光用ファイバ、2..2.・・・は受光用ファイ
バ、7は観測対象物、S、 、 S、・・・は照明領域
、R,、R,・・・は受光領域、2θ、は送光用ファイ
バの開口角、2θ、は受光用ファイバの開口角である。
実施例の構成図である。第4図において”l+1!・・
・は送光用ファイバ、2..2.・・・は受光用ファイ
バ、7は観測対象物、S、 、 S、・・・は照明領域
、R,、R,・・・は受光領域、2θ、は送光用ファイ
バの開口角、2θ、は受光用ファイバの開口角である。
第4図に示す本発明の一実施例では、開口角2θ、をも
つ送光用ファイバ”I+h・・・と、開口角2θ、をも
つ受光用フアイバ2.,2.・・・とが所定の分解能を
得る間隔りで一次元的あるいは二次元的に、平行に配列
されている。
つ送光用ファイバ”I+h・・・と、開口角2θ、をも
つ受光用フアイバ2.,2.・・・とが所定の分解能を
得る間隔りで一次元的あるいは二次元的に、平行に配列
されている。
ここに、送元用ファイバの開口角2θ、と受光用ファイ
バの開口角2θ2とでは、 θ、〉07、 ・・・・・・・・(1)の関係がある。
バの開口角2θ2とでは、 θ、〉07、 ・・・・・・・・(1)の関係がある。
従って実録で示す照明領域SI + S2・・・と点め
で示す受光領域R,、112・・・は、第4図に示す如
く配列される。ファイバアレイの先端と対象物の距離り
がLMとJJPの範囲において、照明領域は重畳されて
均一の照明が与えられ、受光領域は重畳することはない
。距離Lpにおける照明領域S、。
で示す受光領域R,、112・・・は、第4図に示す如
く配列される。ファイバアレイの先端と対象物の距離り
がLMとJJPの範囲において、照明領域は重畳されて
均一の照明が与えられ、受光領域は重畳することはない
。距離Lpにおける照明領域S、。
S2・・・と、受ブC領域R,、R,・・・との関係を
第5図に示す。また距離LMにおける照明領域8B 、
S2・・・と、受光領域R,、l(、・・・との関係
を第6図に示す。
第5図に示す。また距離LMにおける照明領域8B 、
S2・・・と、受光領域R,、l(、・・・との関係
を第6図に示す。
従ってLpは、
LMは、
従って対象物の検出範囲は以下に示される。
Lp (L < ’LM ・・・・・・・・(4)第4
図に示す本発明による反射光測定用ファイバアレイの具
体的な数値例として、 送光用ファイバ1..1.・・・はコア径100μm1
外径150μ「nの多成分系光コアイノ(でその開口数
sinθ冨は・ sinθ、=0.6、 受光用ファイバ2..2.・・・は開口数sinθ、=
0.15であってコア径50μm1外径150μmの純
粋石英コア、弗素ドープ石英のクラッドをもつファイバ
が所望の分解能を得る間隔D=300μmで一次元的あ
るいは二次元的に配列されている。
図に示す本発明による反射光測定用ファイバアレイの具
体的な数値例として、 送光用ファイバ1..1.・・・はコア径100μm1
外径150μ「nの多成分系光コアイノ(でその開口数
sinθ冨は・ sinθ、=0.6、 受光用ファイバ2..2.・・・は開口数sinθ、=
0.15であってコア径50μm1外径150μmの純
粋石英コア、弗素ドープ石英のクラッドをもつファイバ
が所望の分解能を得る間隔D=300μmで一次元的あ
るいは二次元的に配列されている。
またファイバアレイと凹凸をもった対象物7の距1?I
ILは 0、45 mm±0.05mm 即ちLは凹凸に対応してり、= 0.4 mm%L、=
0.5o+mとに変化をする。このとき、L、およびり
、の照明領域S、 、 S、・・・と受光領域rL、
、 R,・・・は第5図と第6図に示されるLpとLM
の範囲にある。また受光用ファイバアレイ2..2.・
・・の他端にはそれぞれ受光素子が結合されておp1受
光鼠の変化から対象物との距離りの情報を得ることがで
きる。
ILは 0、45 mm±0.05mm 即ちLは凹凸に対応してり、= 0.4 mm%L、=
0.5o+mとに変化をする。このとき、L、およびり
、の照明領域S、 、 S、・・・と受光領域rL、
、 R,・・・は第5図と第6図に示されるLpとLM
の範囲にある。また受光用ファイバアレイ2..2.・
・・の他端にはそれぞれ受光素子が結合されておp1受
光鼠の変化から対象物との距離りの情報を得ることがで
きる。
第4図ないし第6図に示す如く、本発明による反射光測
定用ファイバアレイにおいては、Lp < L < L
Mの範囲において、送光用ファイバ1、.1.・・・は
対象物7上の受光領域11. 、 It、・・・を均一
に照明し、かつ対象物7上で受光領域It、 、 R2
・・・は重畳することがない。したがって対象物の凹凸
に基づく距離の情報を正しく検出することができる。
定用ファイバアレイにおいては、Lp < L < L
Mの範囲において、送光用ファイバ1、.1.・・・は
対象物7上の受光領域11. 、 It、・・・を均一
に照明し、かつ対象物7上で受光領域It、 、 R2
・・・は重畳することがない。したがって対象物の凹凸
に基づく距離の情報を正しく検出することができる。
また、第4図ないし第6図に示すように、本発明による
反射光測定用ファイバアレイにおいてはDなる間隔で配
列されている受光用ファイバの受光領域R,、R,・・
・は重畳しないため、受光用ファイバの分解能を損なう
ことなく、Dなる分解能間隔で対象物の凹凸の情報を抽
出識別することができる。なお、通常開口数はsinθ
I”+ 2 sinθ。
反射光測定用ファイバアレイにおいてはDなる間隔で配
列されている受光用ファイバの受光領域R,、R,・・
・は重畳しないため、受光用ファイバの分解能を損なう
ことなく、Dなる分解能間隔で対象物の凹凸の情報を抽
出識別することができる。なお、通常開口数はsinθ
I”+ 2 sinθ。
とすれば良い。
本発明による一次元配列した反射光測定用ファイバアレ
イの具体的栴造を第7出に示す。第7図において、−次
元配列された反射光測定用ファイバアレイの端末10は
送光用ファイツクl、。
イの具体的栴造を第7出に示す。第7図において、−次
元配列された反射光測定用ファイバアレイの端末10は
送光用ファイツクl、。
12・・・と受光用ファイバ2..2.・・・が交互に
かつ平行に所望の分解能を与える間隔りの半分の間隔を
2でV溝に配列され、端面10aは平坦に研磨されてい
る。
かつ平行に所望の分解能を与える間隔りの半分の間隔を
2でV溝に配列され、端面10aは平坦に研磨されてい
る。
尚、■溝はシリコン基板にV溝をエツチングによって形
状、間隔共に精密に刻設される。io。
状、間隔共に精密に刻設される。io。
μm程度の径の送・受光用ファイバlI+’4・・・、
21゜22・・・は顕微鏡で観察しながら交互に配列さ
れる。
21゜22・・・は顕微鏡で観察しながら交互に配列さ
れる。
送光用ファイバ11+1!+・・・は一括して塩化ビニ
ル等で被覆した送光用ファイバ束のケーブル11によっ
て端末12に導出される。端末12の端面12aは円形
に収束され端面は研磨され、キセノンランプや)10ゲ
ンランプの光源に結合される。受光用ファイバ21,2
.・・・は塩化ビニル等で被覆されたフラットケーブル
13で端末14に導出される。端末14にはV溝が設け
られていて、端末10の配列の順番に受光用ファイバ2
+ + let・・・が配列され、端面14aは平坦に
研磨されていて、これらの受光用ファイバはレンズ系を
介しであるいは直接にCCD等の一次元受光センサに個
々に結合される。第7図に示すものは一次元配列の場合
を説明したが二次元配列の場合も同様である。
ル等で被覆した送光用ファイバ束のケーブル11によっ
て端末12に導出される。端末12の端面12aは円形
に収束され端面は研磨され、キセノンランプや)10ゲ
ンランプの光源に結合される。受光用ファイバ21,2
.・・・は塩化ビニル等で被覆されたフラットケーブル
13で端末14に導出される。端末14にはV溝が設け
られていて、端末10の配列の順番に受光用ファイバ2
+ + let・・・が配列され、端面14aは平坦に
研磨されていて、これらの受光用ファイバはレンズ系を
介しであるいは直接にCCD等の一次元受光センサに個
々に結合される。第7図に示すものは一次元配列の場合
を説明したが二次元配列の場合も同様である。
〈発明の効果〉
本発明による一次元配列あるいは二次元配列された反射
光測定用ファイバアレイによれば、送光用ファイバの開
口角θ1を受光用ファイバの開口角θ2よシ大きくして
あシ、受光領域は照明領域によって均一に照明され、ダ
ークスペースが介在することなく、かつ受光領域が重畳
することのない範囲で、対象物の凹凸の情報を、ファイ
バアレイの分解能を損うことなく識別することができる
。
光測定用ファイバアレイによれば、送光用ファイバの開
口角θ1を受光用ファイバの開口角θ2よシ大きくして
あシ、受光領域は照明領域によって均一に照明され、ダ
ークスペースが介在することなく、かつ受光領域が重畳
することのない範囲で、対象物の凹凸の情報を、ファイ
バアレイの分解能を損うことなく識別することができる
。
第1図は従来の単純な送・受光用7アイバア等しい場合
の送・受光用ファイバアレイの構成図、第3図紘送・受
光用ファイバアレイの他の例の構成図、第4図は本発明
による反射光測定用ファイバアレイの構成図、第5図、
第6図は対象物が異る位置にあるときの照明領域と受光
領域の関係を示す図、第7図は本発明による反射光測定
用ファイバアレイの具体的溶成図である。 図面中、 ”I+”!・・・は送光用ファイバ、2..2.・・・
は受光用ファイバ、3は光源、4は受光素子、7は対象
物、lOは端末、11社送光用ファイバ束ケーブル、1
2は端末、13は受光用ファイバ束の7ラツトケーブル
、14は端末、2θ、は送光用ファイバの開口角、2θ
2は受光用ファイバの開口角、 SI、S、・・・は照明領域、R+ 、 馬・・・は受
光領域である。 第1図 第3図 ( 第4図 第5図
の送・受光用ファイバアレイの構成図、第3図紘送・受
光用ファイバアレイの他の例の構成図、第4図は本発明
による反射光測定用ファイバアレイの構成図、第5図、
第6図は対象物が異る位置にあるときの照明領域と受光
領域の関係を示す図、第7図は本発明による反射光測定
用ファイバアレイの具体的溶成図である。 図面中、 ”I+”!・・・は送光用ファイバ、2..2.・・・
は受光用ファイバ、3は光源、4は受光素子、7は対象
物、lOは端末、11社送光用ファイバ束ケーブル、1
2は端末、13は受光用ファイバ束の7ラツトケーブル
、14は端末、2θ、は送光用ファイバの開口角、2θ
2は受光用ファイバの開口角、 SI、S、・・・は照明領域、R+ 、 馬・・・は受
光領域である。 第1図 第3図 ( 第4図 第5図
Claims (1)
- 対象物を照明する送光用ファイバと特定な分解能を得る
間隔で配列された受光用ファイバとを交互に配列した反
射光測定用7アイバアレイにおいて、上記送光用ファイ
バの開口角20.を上記受光用ファイバの開口角2θ、
よシ大きくし、上記送光用ファイバによる均一な照明領
域でかつ上記受光用ファイバの受光領域が重畳すること
なく上記対象物を検出することを特徴とする反射光測定
用ファイバアレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5644584A JPS60200104A (ja) | 1984-03-24 | 1984-03-24 | 反射光測定用フアイバアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5644584A JPS60200104A (ja) | 1984-03-24 | 1984-03-24 | 反射光測定用フアイバアレイ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60200104A true JPS60200104A (ja) | 1985-10-09 |
Family
ID=13027284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5644584A Pending JPS60200104A (ja) | 1984-03-24 | 1984-03-24 | 反射光測定用フアイバアレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60200104A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02298808A (ja) * | 1989-01-26 | 1990-12-11 | Yoshihiko Takashima | ラインセンサーで凸凹面に焦点を合わす撮像方法 |
| JP2007024826A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Fujikura Ltd | 光学式検出センサ |
-
1984
- 1984-03-24 JP JP5644584A patent/JPS60200104A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02298808A (ja) * | 1989-01-26 | 1990-12-11 | Yoshihiko Takashima | ラインセンサーで凸凹面に焦点を合わす撮像方法 |
| JP2007024826A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Fujikura Ltd | 光学式検出センサ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69841805D1 (de) | Selbst-kodierender faseroptischer sensor | |
| JP4516381B2 (ja) | 変位測定装置 | |
| US5266797A (en) | Opto-electronic sensor for the measurement of linear values using adjacent emitted-detector pair and focusing and deviating means | |
| GB2204679A (en) | Fibre optic sensor | |
| JPH0815563A (ja) | 非軸対称屈折率分布を有する光ファイバと光導波路との結合部におけるアライメント方法、光ファイバ固定構造及び結合部 | |
| JPH0619248Y2 (ja) | 読取センサ−ヘツド | |
| JPH0927884A (ja) | 導波路型縮小イメージセンサ | |
| JP2817283B2 (ja) | 光コネクタ付きケーブルの特性測定装置 | |
| JPH0438305B2 (ja) | ||
| JP2547764Y2 (ja) | 光ファイバヘッド | |
| JPH09297247A (ja) | 光モジュール | |
| SU1714344A1 (ru) | Способ определени толщины издели | |
| JPS6017326A (ja) | 光フアイバフアブリ−ペロ−干渉計 | |
| JPS59226318A (ja) | 走査位置検出方式 | |
| SU669364A1 (ru) | Световое перо | |
| JPH052830Y2 (ja) | ||
| SU892241A1 (ru) | Оптоэлектронный торсиометр | |
| JPH0547842U (ja) | 光ファイバna測定器 | |
| GB2289345A (en) | An array of microlenses each assosciated with two pinholes | |
| FI80521B (fi) | Fiberoptisk platsgivare. | |
| SU1485080A1 (ru) | УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ сплошности потока жидкости | |
| JPH08271215A (ja) | 光導波路型変位センサ | |
| JPS59188502A (ja) | 光軸調整方法 | |
| JPH0584452B2 (ja) | ||
| JPS63212329A (ja) | 血流計 |