JPS60200879A - セラミツクグリ−ンシ−ト積層体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明はセラミックグリーンシート積層体の製造装置
に関し、特にたとえば積層コンデンサ等に用いられるセ
ラミックグリーンシート積層体を製造する技術に関する
。

（従来技術の説明） セラミックグリーンシートを用いて完成した製品として
は、例えば積層コンデンサがある。この積層コンデンサ
を製造するときに用いるセラミックグリーンシートを作
る方法としては、大別して、ドクタブレード法とスクリ
ーン印刷法とがある。

ドクタブレード法の場合には、いままでは、各単位シー
ト毎にセラミックグリーンシートを形成し、それらを積
み重ねてセラミックグリーンシート積層体を作成してい
た。この方法では多層体を作るためには１枚１枚セラミ
ックグリーンシートを積み重ねなければならず、作業が
煩雑で、量産的ではなかった。

また、スクリーン印刷法は、誘電体のセラミックペース
トないしセラミックスラリをシルクスクリーンにより印
刷してセラミックグリーンシートを作成し、この上に内
部電極となる導電ペーストを印刷するという工程を繰り
返すものである。しかしながら、この方法ではスクリー
ンを用いるため、誘電体のセラミックグリーンシートに
はスクリーンの網目の跡がそのまま凹凸模様となって残
ってしまうとい・）問題がある。また、このスクリーン
印刷法では、セラミックペーストないしセラミックスラ
リを印刷しその上に内部電極となる導電ペーストを印刷
するという工程を繰り返しているが、内部電極の厚みの
分だけ電極面とセラミックグリーンシートとの間に段差
が発生し、その段差によってデラミネーションが発生ず
る。コノようなデラミネーションの発生を防止するため
には、スクリーン印刷法にあっては、セラミンクグリー
ンシートのレベルを平坦にする必要がある。そのために
、内部電極の厚みに相当する厚み分だけさらにセラミッ
クペーストないしセラミックスラリを印刷する工程が余
分に必要になっていた。しがもこのときセラミックペー
ストないしセラミックスラリを印刷する位置がずれると
さらに段差を発生させる等の不都合があった。さらにス
クリーン印刷法によれば、セラミンクグリーンシー１・
の厚みの精度が悪く必要な厚みのものがながなが得られ
なかった。そして、スクリーン印刷法では、別の問題と
して、スクリーンの網目に異物がつまるとその箇所がピ
ンホールとなり、各層のセラミックグリーンシートの同
じ箇所に同じようにビンボールが形成されてしまい、積
層コンデンサとして完成したときには内部電極どうしが
短絡してしまうということもあった。

（発明の目的） それゆえに、この発明の目的は、例えば積層コンデンサ
等に利用されるセラミックグリーンシート積層体を均質
にかつ能率よく製造することができる製造装置を提供す
ることである。

（発明の概要） この発明は、簡単にいえば、間欠的に送られる無端ヘル
ドの走行方向に直交する方向にこの無端ベルトを横切っ
て移動可能なブレードのような塗布具を設け、そのブレ
ードによって無端ヘルド上にセラミックペーストないし
セラミックスラリを順次積層的に塗布し形成するように
したセラミックグリーンシート積層体の製造装置である
。

この発明の上述の目的およびその他の目的と特徴は図面
を参照して行なう以下の詳細な説明から一層明らかとな
ろう。

（実施例の説明） 第１図はこの発明の一実施例を示す概略側面図である。

セラミックグリーンシート積層体の製造装置ｌＯは、無
端ヘルド１２を含む。この無端へルト１２は、駆動源（
図示せず）により回転駆動される１対のローラ１４ａお
よび１４ｂに架は渡され、この第１図の矢印Ａ方向に走
行される。なお、無端ヘルド１２の走行は、後述のよう
に、間欠的に行なわれる。

無端ベルト１２０走行経路の下方には台板１６が配置さ
れ、この台板１６は無端ベルト１２を下方から支持する
とともにその弛みないし垂れ下がりを防止している。無
端ベルト１２の走行途中には、後に詳細に説明する塗布
部１８が設けられ、この塗布部１８ではベルト１２上に
セラミックペーストないしセラミックスラリを塗布する
。塗布部１８のさらに下流には乾燥部２０が設けられる
。

この乾燥部２０は、塗布部１８で塗布されたセラミック
ペーストないしセラミックスラリを乾燥させてセラミッ
クグリーンシートとする役割を果たす。なお、無端ヘル
ド１２は、その上に形成されるセラミックグリーンシー
トの剥離性を良くするために、たとえばポリプロピレン
のような合成樹脂のシートからなる。

無端ベルト１２は１対のローラ２２ａおよび２２ｂに挾
まれて送られる。この場合、ローラ１４ａおよび１４ｂ
のうち少なくとも一方がヘルド１２を移動させる駆動源
として働（。無端ベルト１２の走行経路上には、さらに
、印刷装置２４が設けられる。この印刷装置２４は、乾
燥部２０を通ってできたセラミックグリーンシート上に
電極を形成するためのものである。この電極は、セラミ
ックグリーンシート積層体が積層コンデンサに用いられ
る場合には、その積層コンテンツの内部電極として用い
られる。この印刷装置２４に対応して無端ベルト１２の
下方には、ベルト１２およびその上に形成されているセ
ラミックグリーンシートの弛みを防止して平坦な状態に
するための吸引台２６が設けられる。電極すなわち導電
ペーストが印刷形成されたセラミックグリーンシートは
ヘルド１２によって、乾燥部２８に移送される。

なお、ローラ１４ａおよび１４ｂと２２ａおよび２２ｂ
とは、無端ベルト１２を間欠的に走行させる。そして、
塗布部１８および印刷装置２４では、ベルト１２が一時
的に停止したときに、セラミックペーストないしセラミ
ックスラリを塗布し、導電ペーストを印刷する。

つぎに、第２図を参照して、塗布部１８について詳細に
説明する。塗布部１８は、矢印Ａ方向に間欠的に走行さ
れる無端ベルト１２と直交する方向すなわち矢印Ｂおよ
びＣ方向に、この無端ベルト１２を横切るように設けら
れるガイド３０を含む。このガイド３０は、その断面が
略Ｕ字状とされ、底板３０１とその底板３０１の幅方向
両端から垂直に上に延びる側壁３０２および３０３とを
含む。側壁３０２および３０３には、無端ヘルド１２を
通すための穴３０４および３０５が形成されていて、底
板３０１には、その無端ヘル！・１２に相当する幅の穴
が形成されている。このようなガイド３０は固定的に設
けられる。

そして、ガイド３０すなわち底板３０１にあけられた穴
の部分には、無端ヘルドＩ２の下方に、吸引台３２が、
上下方向に変位可能に設けられる。

この吸引台３２は、無端ベルト１２を支持し、このベル
ト１２およびその上に形成されるセラミックグリーンシ
ートの平坦状態を保つ役目をする。

また、ベルト１２が通る穴３０４および３０５は、後述
するセラミックスラリ４８ａを塗布する際には、この穴
３０４および３０５からセラミックペーストないしセラ
ミックスラリかにじみ出さないように、蓋３４および３
５によって、それぞれ閉止される。そして、セラミック
ペーストないしセラミックスラリを塗布するとき、ガイ
ド３０の底板３０１の穴を規定する端縁は、セラミソク
スラＩＪ　４８　ａの塗布される領域を規定する働きを
する。

ガイド３０の一方端において側壁３０２および３０３の
上端には、ブロック３６が設けられる。

このブロック３６は、側壁３０２および３０３の上端面
上を矢印Ｂまたは矢印Ｃ方向に滑動ないし摺動可能にさ
れる。このブロック３Ｇの内部には、第２図において２
点鎖線で示すように、２枚のドクタブレード３８および
４０が、成る間隔を隔てて配置される。これらブレード
３８および４０は、それぞれ、連結レバー４２および４
４によって、作動機構（図示せず）に連結される。そし
て、作動機構によって、連結レバー４２および４４を介
して、ブレード３８および４０は矢印Ｅ方向または矢印
Ｆ方向に変位される。ブレード３８および４０が矢印Ｅ
方向に変位されたとき、それぞれの先端が底板３０１の
表面に当接ないし接触する。

そして矢印Ｆ方向に引き上げられたとき、ブレード３８
および４０はそれぞれのボームポジションに戻り、それ
ぞれの先端と底板３０１の表面との間には間隔があけら
れる。ブロック３６には、２つのブレード３８および４
０の中間位置に、セラミックペーストないしセラミック
スラリの投入［１４６が形成される。したがって、セラ
ミックペーストないしセラミックスラリを塗布する場合
には、ブレード４０が投入口４６から投入されたセラミ
ックペーストないしセラミックスラリを塗布する。

ブレード３８は、塗布が終了した後矢印Ｃ方向に変えら
れて移動されるときに底板３０１の表面に残存するセラ
ミ、クペーストないしセラミックスラリを除去するため
に用いられる。

つぎに、第３図ないし第８図を参照して、第１図および
第２図に示す実施例の操作ないし動作について説明する
。ローラ１４ａおよび１４ｂとローラ２２ａおよび２２
ｂとが間欠的に駆動され、したがって無端ヘルド１２は
、間欠的に矢印Ａ方向（第２図）に走行される。そして
、塗布部１８の位置において、セラミックペーストない
しセラミックスラリの塗布のために、一時的に停止され
る。第３図に示すように、吸引台３２が矢印り方向に下
げられる。このとき、無端ヘルド１２の上端面とガイド
の底板３０１の表面とに一定のキャップｇがあけられる
。このギャップｇは、必要なセラミックグリーンシート
の厚みｔ　（第８図）に相当し、それよりやや大きい。

そして、作動機構（図示せず）によって、ドクタブレー
ド４０が矢印Ｅ方向に降ろされ、その先端が底板３０１
の表面に接触する。それとともに、投入口４６からセラ
ミックスラリ４８ａが投入される。その状態でブロック
３６（第２図）すなわちブレード３８および４０ならび
に投入口４６が一体的に矢印Ｂ方向に、無端ベルト１２
を横切って移動される。そうすると第４図に示すように
、無′端ベル１−１２の表面と底板３０１の表面とのギ
ャップの間にセラミックスラリ４８ａが塗布される。

ついで、第５図に示すように作動機構（図示せず）によ
って、ドクタブレード３８が矢印Ｅ方向に降ろされ、そ
の先端が底板３０１の表面に接触する。それとともに、
ブレード４ｏが矢印Ｆ方向に上げられてそのボームポジ
ションに戻される。

なお、このとき、投入口４６からのセラミックペースト
ないしセラミックスラリの投入は停止されていることは
勿論である。この状態で、ブロック３６　（第２図）が
矢印Ｃ方向に、第６シ１に示す状態になるように無端ヘ
ルド１２を横切って移動される。そして、その後プレー
ト３８が矢印Ｆ方向に引き上げられ、そのホームポジシ
ョンに戻される。この第６図に示す状態では、底板３０
１Ｊ−に残存するセラミックペーストないしセラミック
スラリは、ブレード３８によって除去されている。

このようにして、無端ベルｌ−１，２Ｊ二に一定の厚み
を有して、セラミックペーストないしセラミックスラリ
４８ａが塗布される。

この塗布されたセラミックペースＩ・ないしセラミック
スラリは、無端ベルト１２の走行に伴って、乾燥部２０
（第１図）に導入される。この乾燥部２０によって、無
（［ＩＭヘル１−１２上に塗布されたセラミックペース
トないしセラミックスラリ４８ａが乾燥され、セラミッ
クグリーンシー１・４８か形成される。このようにして
形成されたセラミックグリーンシートは、それを支える
無端ヘルド１２の走行に伴って、つぎに、印刷装置２４
の位置にもたらされる。この印刷装置２４ては、たとえ
ばスクリーン印刷法によって、セラミックグリーンシー
ト４８上にたとえば第８図に示すような電極５０が印刷
形成される。すなわち、印刷装置２４は、セラミックグ
リーンシート４８」二に電極５０となるべき導電ペース
トを、たとえば図示しないメソシュスクリーンとスキー
ジとを用いて、印刷塗布する。その後導電ペース］・が
塗布されたセラミックグリーンシー１・は乾燥部２８に
もたらされる。乾燥部２８では導電ペーストを乾燥させ
、したがって導電ペーストは電極５０として形成される
。

このようにして１層目のセラミックグリーンシート４８
が形成され、第７図に示す状態となる。

そして、第７図に示すように、百び第１図に示す塗布部
１８にもたらされたセラミックグリーンシート４８上に
セラミックペーストないしセラミックスラリを塗布する
。そのために、吸引台３２が再び矢印り方向に引き下げ
られる。このとき、セラミックグリーンシート４８　（
電極５０）の表面と底板３０１の表面とに一定のギャッ
プｇかありられるように吸引台３２の位置が調整される
。そしてドクタフレード４０が下げられ、投入口４Ｇか
らセラミ、クスラリ４８ａが投入され、フ゛に２ツク３
６　（第２図）が再び無端ヘルド１２を横切るように矢
印Ｂ方向に移動される。すなわら、先に形成されたセラ
ミックグリーンシート４８」二に再びセラミックペース
トないしセラミックスラリ４８ａが塗布されるのである
。そして、印刷装置２４および乾燥部２８を経て再び塗
布部１８に戻される。したがって、それ以後は、必要に
応じて、上述の操作ないし動作を繰り返せばよい。

このようにして、第８図に示すように、所定の厚みｔを
有する多層のセラミックグリーンシート４８．４８．　
・・・がそれぞれの面に電極５０゜５０、・・・が形成
された状態で積層される。そして、その積層された状態
で必要な大きさに分割すれば、それだけでたとえば積層
コンテンザのだめのセラミックグリーンシート積層体か
得られる。

なお、吸引台３２の高さの調節やドクタプレート３８お
よび４０の変位或いはブロック３６の移動などの動作に
ついては、それぞれ手動的に行なうものであってもよい
が、好ましくは、エアシリンダ等の空圧回路あるいは電
磁ソレノイドないしモーフのような電気的な制御回路か
用いられる。

なお、上述の実施例においては、セラミックペーストな
いしセラミックスラリを塗布するためにトクタブレード
を用いたが、これはローラのような他の適当な器具に代
えられてもよい。そして、印刷装置としてはスクリーン
印刷法によるものの他適当な印刷装置が任意に用いられ
得る。そしてその印刷される材料は実施例のような導電
ペーストに限らず、その他の電子材料ペーストたとえば
抵抗ペーストを印刷形成するようにすることもできる。

なお、この発明は、上述のような積層コンデンサのだめ
のセラミッククリーンシート積層体を製造する他に、た
とえば内部電極を有して積層された多層印刷基板等の製
造のためにも利用できることはいうまでもない。

（発明の効果） 以上のように、この発明によれば、セラミックグリーン
シート積層体を連続的に製造することができる。そして
従来のようにスクリーンを用いないのでその表面が平滑
となりまたピンポールの発生もな（、均質なセラミック
グリーンシート積層体が得られる。また印刷装置と併用
するようにずれは、積層コンデンサを連続的に製造する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す概略側面図である。 第２図は塗布部を詳細に説明するための要部斜視図であ
る。 第３図ないし第８図はこの実施例によってセラミックグ
リーンシート積層体を製造する方法を工程順次に説明す
るための図解図である。 図において、１２は無端ヘルド、１８は塗布部、２４は
印刷装置、３０はガイド、３０１は底板、３０２．３０
３は側壁、３２は吸引台、３６はブロック、３８．４０
はドクタフレート、４６はセラミックペーストないしセ
ラミックスラリの投入口、４８ａはセラミックペースト
ないしセラミックスラリ、４８はセラミックグリーンシ
ート、５０は電極を示す。 特許出願人　株式会社　村田製作所 代理人　弁理士　岡　１）　全　啓 （ほか１名）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １一定方向に間欠的に走行可能な無端ベルト、前記無端
   ベルトの走行経路においてその下方にかつ上下方向に変
   位可能に設けられる台、前記台の部分において前記無端
   ベルトの走行方向に直行する方向にこの無端ヘルドを横
   切って移動可能に設けられかつ前記無端ヘルド上にセラ
   ミックペーストないしセラミックスラリを塗布するため
   の塗布具、および 前記塗布具によって前記セラミックペーストないしセラ
   ミックスラリの塗布される領域を規定するための枠体を
   備え、 前記台をさらに下げて前記セラミ、クペーストないしセ
   ラミックスラリを先に形成されたセラミックグリーンシ
   ート上に塗布することができる、セラミックグリーンシ
   ート積層体の製造装置。 ２　前記塗布具はブレードを含み、 前記枠体は前記ブレードの移動方向に延びかつ前記無端
   ベルトの幅部分に穴か形成された板状部分を含み、 前記ブレードの先端が前記板状部分の表面に接触しなが
   ら移動される、特許請求の範囲第１項記載のセラミック
   グリーンシート積層体の製造装置。 ３　前記枠体は前記板状部分の幅方向両端に設けられか
   つ前記ブレードの移動方向に延ひる移動をカイトする側
   壁を含む、特許請求の範囲第２項記載のセラミックグリ
   ーンシート積層体の製造装置。 ４　前記ブレードはその移動方向に間隔を隔てて２つ設
   けられ、 前記２つのブレードの中間に前記塗布すべきセラミック
   ペーストないしセラミックスラリを供給する供給部を含
   み、 前記２つのブレードは第１方向に移動されその第１方向
   における後方のブレードか前記板状部に接触して前記セ
   ラミックペーストないしセラミックスラリを特徴する特
   許請求の範囲第２項または第３項に記載のセラミックグ
   リーンシート積層体の製造装置。 ５　前記２つのブレードは前記第１方向とは逆の第２方
   向に移動されその第２方向における後方のブレードが前
   記板状部に接触して前記穴の周辺に残存するセラミック
   ペーストないしセラミックスラリを特徴する特許請求の
   範囲第４項記載のセラミックグリーンシート積層体の製
   造装置。