JPS6020113A - 回転信号発生器 - Google Patents
回転信号発生器Info
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- JPS6020113A JPS6020113A JP58127694A JP12769483A JPS6020113A JP S6020113 A JPS6020113 A JP S6020113A JP 58127694 A JP58127694 A JP 58127694A JP 12769483 A JP12769483 A JP 12769483A JP S6020113 A JPS6020113 A JP S6020113A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- capacitance
- electrodes
- signal generator
- rotation
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
- G01D5/241—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
- G01D5/2412—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying overlap
- G01D5/2415—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying overlap adapted for encoders
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
- G01D5/2403—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by moving plates, not forming part of the capacitor itself, e.g. shields
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は回転体の回転変位量や回転速度や回転方向等の
情報信号を発生する装置に関する０〔発明の背景Ｊ 第１図は従来の回転信号発生器の構造側図で、（ａ）は
縦断面図、（ｂ）は平面図である。本例は回転体から発
生する磁界信号を固定側に設けた磁界検出素子（ホール
素子が一般的）で検出しその電圧信号出力によって回転
体の回転方向を検出する構成である。回転体１０周平面
に固定した多極の円環状マグネット２゛の磁界信号をこ
れに近接対向させて設けた２個の磁界検出素子３ａ 。
情報信号を発生する装置に関する０〔発明の背景Ｊ 第１図は従来の回転信号発生器の構造側図で、（ａ）は
縦断面図、（ｂ）は平面図である。本例は回転体から発
生する磁界信号を固定側に設けた磁界検出素子（ホール
素子が一般的）で検出しその電圧信号出力によって回転
体の回転方向を検出する構成である。回転体１０周平面
に固定した多極の円環状マグネット２゛の磁界信号をこ
れに近接対向させて設けた２個の磁界検出素子３ａ 。
３ｂで検出する。磁界検出素子５ａ 、 ３ｂは互に電
気角でアの角度間隔をもって配列固定しである。
気角でアの角度間隔をもって配列固定しである。
回転体１の回転に伴ない磁界検出素子！＋ａ 、 ３ｂ
には互に三の位相差の電圧信号が発生する。回転方向に
より３ａ 、 ３ｂ相互の電圧信号出力の位相関係が逆
転する。すなわち本例の構成では回転体の正転の場合と
逆転の場合で磁界検出素子３ａの出力が同５ｂの出力に
対し二位相が進んだり遅れま たりする。この位相の進み遅れ関係を検出して回転体１
０回転方向を検出する。本例は２個の磁界検出素子を用
いて回転体の正逆転方向の検出をする例であるが、この
他この信号を回転速度検出信号に兼用したりする方式例
もある。
には互に三の位相差の電圧信号が発生する。回転方向に
より３ａ 、 ３ｂ相互の電圧信号出力の位相関係が逆
転する。すなわち本例の構成では回転体の正転の場合と
逆転の場合で磁界検出素子３ａの出力が同５ｂの出力に
対し二位相が進んだり遅れま たりする。この位相の進み遅れ関係を検出して回転体１
０回転方向を検出する。本例は２個の磁界検出素子を用
いて回転体の正逆転方向の検出をする例であるが、この
他この信号を回転速度検出信号に兼用したりする方式例
もある。
上記従来技術の回転信号発生器では
（１）円環状マグネット２０着磁磁極寸法に下限値がち
り比較的小直径の回転体では高周波の回転信号を得難い
。
り比較的小直径の回転体では高周波の回転信号を得難い
。
（２）磁界検出素子３ａ 、 ３ｂも小型・高感度・高
安定のものが得られない。
安定のものが得られない。
（３）従って回転信号発生部の寸法が大型化しかつコス
ト高になる。
ト高になる。
等の欠点があった。
本発明の目的は上記従来技術の欠点をなくし小型軽量、
高レート、高Ｓ／Ｎかつ低コストな複数位相の回転信号
発生器を提供するにある。
高レート、高Ｓ／Ｎかつ低コストな複数位相の回転信号
発生器を提供するにある。
上記目的を実現するために本発明の回転信号発生器では
、 （１）回転側構体及び固定側構体に互に平面対向する導
体電極を設は回転側構体の回転により両電極間の対向面
積を変化させ２相以上の静電容量変化を得る構成とし小
型軽量かつ低コスト構造でＳ／Ｎ比の高い高レートの回
転信号を得るようにしていることが特徴である。
、 （１）回転側構体及び固定側構体に互に平面対向する導
体電極を設は回転側構体の回転により両電極間の対向面
積を変化させ２相以上の静電容量変化を得る構成とし小
型軽量かつ低コスト構造でＳ／Ｎ比の高い高レートの回
転信号を得るようにしていることが特徴である。
〔発明の実施例Ｊ
以下、本発明を実施例に基づき説明する。本発明は導体
電極間に形成される静電容量変化を検出する回転信号発
生器である。
電極間に形成される静電容量変化を検出する回転信号発
生器である。
第２図は本発明の回転信号発生器の第１実施例図で、（
ａ）は回転子側の静電電極基板平面図、（ｂ）は固定子
側の静電電極基板平面図である。本実施例は電気的に号
だけ位相の異なる２信号を発生する構成である。静電電
極は回転子側及び固定子側とも半径方向に放射状に設け
である。
ａ）は回転子側の静電電極基板平面図、（ｂ）は固定子
側の静電電極基板平面図である。本実施例は電気的に号
だけ位相の異なる２信号を発生する構成である。静電電
極は回転子側及び固定子側とも半径方向に放射状に設け
である。
外側半径部で２信号のうちの１つ（以下第１の信号と呼
ぶ）を得、内側半径部で残りの１信号（以下第２の信号
と呼ぶ）を得る。回転子側のパターン状静電電極２１
、２２は同一位相位置にありそれぞれ内側を円環パター
ン２４ 、２５で連続接続されている。固定子側のパタ
ーン状静電電極２６゜２７ 、２８ 、２９もそれぞれ
外側、内側で円環パターン５０ 、５１ 、５２ 、５
３に連続接続されている。電極２６．２７と電極２８
、２９とは円周方向に電気的に一五（機械的には舊−）
だけ位相がずれている。電極２６．２７と上記電極２１
とで形成される静電容量で第１の信号を発生させ、電極
２８ 、２９と電極２２とで形成される静電容量で第２
の信号を発生させる。
ぶ）を得、内側半径部で残りの１信号（以下第２の信号
と呼ぶ）を得る。回転子側のパターン状静電電極２１
、２２は同一位相位置にありそれぞれ内側を円環パター
ン２４ 、２５で連続接続されている。固定子側のパタ
ーン状静電電極２６゜２７ 、２８ 、２９もそれぞれ
外側、内側で円環パターン５０ 、５１ 、５２ 、５
３に連続接続されている。電極２６．２７と電極２８
、２９とは円周方向に電気的に一五（機械的には舊−）
だけ位相がずれている。電極２６．２７と上記電極２１
とで形成される静電容量で第１の信号を発生させ、電極
２８ 、２９と電極２２とで形成される静電容量で第２
の信号を発生させる。
信号は固定子側電極２６ 、２７及び２８ 、２９から
端子側に取り出す。電極２６ 、２７の信号は端子５５
、５６から、また電極２８ 、２９の信号は基板裏面
に設けたパターン導線部を介して端子５７ 、５８から
取る。
端子側に取り出す。電極２６ 、２７の信号は端子５５
、５６から、また電極２８ 、２９の信号は基板裏面
に設けたパターン導線部を介して端子５７ 、５８から
取る。
回転子側の静電電極２１と固定子側の静電電極２６゜２
７とが平面的に最大に重なり合った場合に端子５５ 、
５６間の静電容量は最大になりこれより１８０゜（電気
角）ずれた位置では回転・固定両電極間の重なシ乎面は
最小になり静電容量値も最小になる。同様に回転子側の
静電電極２２と固定子側の静電電極２８ 、２９の間に
も対向面積変化が生ずるため端子５７ 、５８間の静電
容量値が変化する。
７とが平面的に最大に重なり合った場合に端子５５ 、
５６間の静電容量は最大になりこれより１８０゜（電気
角）ずれた位置では回転・固定両電極間の重なシ乎面は
最小になり静電容量値も最小になる。同様に回転子側の
静電電極２２と固定子側の静電電極２８ 、２９の間に
も対向面積変化が生ずるため端子５７ 、５８間の静電
容量値が変化する。
第６図及び第４図は第２図の実施例の静電電極拡大図で
ある。本実施例の構造では円周方向の２に極を１対とし
て固定子側の端末Ａ−Ｂ間、Ｃ・１〕間に静電容量変化
信号を発生ずる。回転子側静電電極長さｌＩ（を固定子
側静電電極長さｌｓよりも長くすると重なり面積を広く
でき静電容量値を大きくできる。また固定子側静電電極
の円周方向の幅は電極ピッチの−１−以下にすると静寛
容量変化のＳ／Ｎを高くできる。
ある。本実施例の構造では円周方向の２に極を１対とし
て固定子側の端末Ａ−Ｂ間、Ｃ・１〕間に静電容量変化
信号を発生ずる。回転子側静電電極長さｌＩ（を固定子
側静電電極長さｌｓよりも長くすると重なり面積を広く
でき静電容量値を大きくできる。また固定子側静電電極
の円周方向の幅は電極ピッチの−１−以下にすると静寛
容量変化のＳ／Ｎを高くできる。
第５図は上記第１実施例の回転信号発生器の電極におけ
る静電容量形成原理説明図である。
る静電容量形成原理説明図である。
固定子側電極端子Ａ、Ｂからみて固定子側電極面と回転
子側電極面との間の静電容量はギヤツブ部２箇所で形成
され直列接続されている。従ってこの１対の合成容量は
ギャップ１箇所の静電容量の約Ｉとなる。全周の電極数
をｎとすると２個づつ直列対のコンデンサがＬ個並列接
続にされていると等価なため全周の合計容量は電極１個
の容量の７倍になる。
子側電極面との間の静電容量はギヤツブ部２箇所で形成
され直列接続されている。従ってこの１対の合成容量は
ギャップ１箇所の静電容量の約Ｉとなる。全周の電極数
をｎとすると２個づつ直列対のコンデンサがＬ個並列接
続にされていると等価なため全周の合計容量は電極１個
の容量の７倍になる。
第６図は静電容量〜電圧変換回路構成側図、第７図及び
第８図は変換原理及び各部出方波形の説明図である。第
６図の検出回路３ｏは内部に検波器４０ 、４０’を含
む。回転・固定両電極間に形成され回転に伴ない変化す
る２個の静電容量Ｃ６１゜Ｃｏｔを端３１ ・３２ 、
３１′・３２’で検出回路３ｏに接続する。検出回路３
ｏ中には抵抗ＲとインダクタンスＬとを直列に接続して
あシ容量ＣＯ＋ 、 Ｃｏｔを接続することによｐＲ，
Ｌ、Ｃの直列共振回路を形成する。
第８図は変換原理及び各部出方波形の説明図である。第
６図の検出回路３ｏは内部に検波器４０ 、４０’を含
む。回転・固定両電極間に形成され回転に伴ない変化す
る２個の静電容量Ｃ６１゜Ｃｏｔを端３１ ・３２ 、
３１′・３２’で検出回路３ｏに接続する。検出回路３
ｏ中には抵抗ＲとインダクタンスＬとを直列に接続して
あシ容量ＣＯ＋ 、 Ｃｏｔを接続することによｐＲ，
Ｌ、Ｃの直列共振回路を形成する。
キャリア発振器４１は端子３５ 、３６で検出回路６０
に接続しである。キャリア発振器４１から出力されるキ
ャリア信号の角周波数をＷ。、振幅をＥ。とすると容量
Ｃｏｔ 、 ｃｏｔの両端端子３１−５２ 、３’ｌ’
・３２’間には次式の信号電圧Ｅ０が発生する。
に接続しである。キャリア発振器４１から出力されるキ
ャリア信号の角周波数をＷ。、振幅をＥ。とすると容量
Ｃｏｔ 、 ｃｏｔの両端端子３１−５２ 、３’ｌ’
・３２’間には次式の信号電圧Ｅ０が発生する。
キャリア発振器４１０発生角周波数を上記直列共や低い
値に設定すれば第７図に示すごとく容量Ｃｏの変化量Δ
Ｃｏに応じて電圧ＥｃｏをΔＥｃｏだけ振動変調させる
ことができる。従ってこの共振回路の共振特性が急峻で
ある程振幅変調度を太きくでき増幅率を増大できる。得
られた変調信号電圧Ｅｃｏをダイオード５７、抵抗５８
及びコンデンサ３９から成る検波器４０にインプットし
て包絡線検波すれば出力端子５３・３４ 、３３”・３
４′に容量変化に対応した信号電圧Ｅｏｕｌ＋ 、 Ｅ
ｏｕｔｔを得ることができる静電容量変化ΔＣＯＩ 、
ΔＣｏ霞”２の位相差を持つ場合には上記出力Ｅｏｕｔ
＋ 、 Ｅｏｕｔｔも−の位相差信号となる。
値に設定すれば第７図に示すごとく容量Ｃｏの変化量Δ
Ｃｏに応じて電圧ＥｃｏをΔＥｃｏだけ振動変調させる
ことができる。従ってこの共振回路の共振特性が急峻で
ある程振幅変調度を太きくでき増幅率を増大できる。得
られた変調信号電圧Ｅｃｏをダイオード５７、抵抗５８
及びコンデンサ３９から成る検波器４０にインプットし
て包絡線検波すれば出力端子５３・３４ 、３３”・３
４′に容量変化に対応した信号電圧Ｅｏｕｌ＋ 、 Ｅ
ｏｕｔｔを得ることができる静電容量変化ΔＣＯＩ 、
ΔＣｏ霞”２の位相差を持つ場合には上記出力Ｅｏｕｔ
＋ 、 Ｅｏｕｔｔも−の位相差信号となる。
第９図、第１０図は本発明の回転信号発生器を用いた正
転・逆転方向検出回路側図とその２相川力信号波形図で
ある。上記第６図〜第８図に述べたごとくアだけ位相の
異なる２個の静電容量変化信号を検出回路３０で二位相
の異なる電圧信号Ｅｏｕｂ 、 Ｅｏｕｈに変換しこれ
を増幅器７５ 、７５’で増幅した後、コンパレータ７
６ 、７６にインプットしここで２相のパルスＰ、 、
Ｐ、に変換する。さらニハルスＰｌ、Ｐｌヲフリツプ
・フロップ８０ニインプツトしここでＰ、 、 Ｐ、の
位相関係に対応した出力信号Ｐｏｕｔを作る。すなわち
パルスＰ、がＨｉｇｂ電位でパルスＰ！が立上がるとフ
リップ・フロップ８０の出力がＨｉｇｈ電位となシ（第
１０図（ａ））パルスＰ１がＬｏｗ電位でパルスＰ、が
立上がると７リツプ・フロップ８０の出力がＬｏｗ電位
と々る（同（ｂ））。
転・逆転方向検出回路側図とその２相川力信号波形図で
ある。上記第６図〜第８図に述べたごとくアだけ位相の
異なる２個の静電容量変化信号を検出回路３０で二位相
の異なる電圧信号Ｅｏｕｂ 、 Ｅｏｕｈに変換しこれ
を増幅器７５ 、７５’で増幅した後、コンパレータ７
６ 、７６にインプットしここで２相のパルスＰ、 、
Ｐ、に変換する。さらニハルスＰｌ、Ｐｌヲフリツプ
・フロップ８０ニインプツトしここでＰ、 、 Ｐ、の
位相関係に対応した出力信号Ｐｏｕｔを作る。すなわち
パルスＰ、がＨｉｇｂ電位でパルスＰ！が立上がるとフ
リップ・フロップ８０の出力がＨｉｇｈ電位となシ（第
１０図（ａ））パルスＰ１がＬｏｗ電位でパルスＰ、が
立上がると７リツプ・フロップ８０の出力がＬｏｗ電位
と々る（同（ｂ））。
従って回転体の正転の場合のＰ、 、 Ｐ、の位相関係
を第１０図（ａ）、逆転の場合の位相関係を同（ｂ）と
すると７リツプ・フロップ８０の出力ＰｏｕｔのＨｉｇ
ｈ 。
を第１０図（ａ）、逆転の場合の位相関係を同（ｂ）と
すると７リツプ・フロップ８０の出力ＰｏｕｔのＨｉｇ
ｈ 。
Ｌｏｗで正転・逆転の検出ができる。
上記実施例のごとき回転信号発生器では、（１）バクー
ン導体電極を用いた静電容量方式であるため卸１＠パタ
ーン電極を高精度に容易に実現できるため高周波の回転
信月を得ることができる（２）低コストにできる （３
）小型・薄型にできる（４）電磁気信号とリンクしない
ため高Ｓ／Ｎ信号が得られる （５）磁気方式における
磁極のような信号のポテンシャル源を必要としないため
回転体への組込作業が容易で取扱い易い、 等従来方式を大幅に改善する顕著な効果があるＯ Ｍ￥ｉ１図及び第１２図は本発明の回転信号発生器の静
電′電極の他の構造側図、第１６図はさらに他の構造側
図である。これらの電極では固定子側の１＞極数を回転
子側の電極数の２倍にし回転子側電極１個に対し固定子
側電極２個で対応し回転チ側電極１個毎に固定子電極端
子間に静電容量変化出力を取り出す。全体の合計静電容
量値は前記第１実施例の場合と等しい。効果もほぼ同様
であるっ 上記実施例では２相信号発生の構成例について述べたが
、この他５相以上の回転信号発生の場合についても基本
構成・効果等はぼこれと同様でこれらも本発明の範囲内
である。
ン導体電極を用いた静電容量方式であるため卸１＠パタ
ーン電極を高精度に容易に実現できるため高周波の回転
信月を得ることができる（２）低コストにできる （３
）小型・薄型にできる（４）電磁気信号とリンクしない
ため高Ｓ／Ｎ信号が得られる （５）磁気方式における
磁極のような信号のポテンシャル源を必要としないため
回転体への組込作業が容易で取扱い易い、 等従来方式を大幅に改善する顕著な効果があるＯ Ｍ￥ｉ１図及び第１２図は本発明の回転信号発生器の静
電′電極の他の構造側図、第１６図はさらに他の構造側
図である。これらの電極では固定子側の１＞極数を回転
子側の電極数の２倍にし回転子側電極１個に対し固定子
側電極２個で対応し回転チ側電極１個毎に固定子電極端
子間に静電容量変化出力を取り出す。全体の合計静電容
量値は前記第１実施例の場合と等しい。効果もほぼ同様
であるっ 上記実施例では２相信号発生の構成例について述べたが
、この他５相以上の回転信号発生の場合についても基本
構成・効果等はぼこれと同様でこれらも本発明の範囲内
である。
〔発明の効果Ｊ
本発明によれば回転信号発生器をして、（１）簡易かつ
）低コストな１１造で２相以上の回転情報が得られる。
）低コストな１１造で２相以上の回転情報が得られる。
（２）小型軽量で茜し− トθつ回転信号が得られる。
（３）電磁気信号等信の信号との相互干渉がないため信
号のＳ／Ｎを冒〈でき高精度の回転検出ができる。
号のＳ／Ｎを冒〈でき高精度の回転検出ができる。
（４）回転体との結合・組込みが容易で取扱い易い。
等の効果が得られる。
第１図は従来の回転信号発生器の構造例１？テ１、第２
図は本発明の回転信号発生器の第１実施例図、第６図及
び第４図は同実施例の電極拡大図、第５図は静電容量形
成原理説明図、第６図ｉｌ′ｉ静電容量〜亀圧変換回路
４７ケ成図、第７図及び第８図は変換原理及び各部出力
波形の説明図、第９図は正転・逆転検出回路図、第１０
図はその２相出力信号波形図、第１１図及び第１２図は
本発明の回転信号発生器の電極の他の構造図、第１３図
はさらに他の電極構造図である。 ２１ 、２２・回転子側静電電極、 ２６ 、２７ 、２８ 、２９ 固定子側静電電極。 代理人弁理士 高 橋 明 ｘｌ 特開昭Ｇ（１−２Ｕ１ｉ３＜’４＞ 才１図 （α） （ｂ） 矛２ｍ 第３図 、；ｔ４図 第５ｍ （０−） （し） Ｃｒ Ｃ２ 、？６図 ０ ノ 第７ｍ 第８ｍ （０，） １９図 ０ ＼ オフ０図 （１）
図は本発明の回転信号発生器の第１実施例図、第６図及
び第４図は同実施例の電極拡大図、第５図は静電容量形
成原理説明図、第６図ｉｌ′ｉ静電容量〜亀圧変換回路
４７ケ成図、第７図及び第８図は変換原理及び各部出力
波形の説明図、第９図は正転・逆転検出回路図、第１０
図はその２相出力信号波形図、第１１図及び第１２図は
本発明の回転信号発生器の電極の他の構造図、第１３図
はさらに他の電極構造図である。 ２１ 、２２・回転子側静電電極、 ２６ 、２７ 、２８ 、２９ 固定子側静電電極。 代理人弁理士 高 橋 明 ｘｌ 特開昭Ｇ（１−２Ｕ１ｉ３＜’４＞ 才１図 （α） （ｂ） 矛２ｍ 第３図 、；ｔ４図 第５ｍ （０−） （し） Ｃｒ Ｃ２ 、？６図 ０ ノ 第７ｍ 第８ｍ （０，） １９図 ０ ＼ オフ０図 （１）
Claims (1)
- １ 回転構体側に設けた静電電極と固定構体側に設けた
静電電極との間に回転構体の回転に伴ない変化する静電
容量を形成し、２相以上の回転信号を固定側電極端末よ
シ取り出す構造としたことを特徴とする回転信号発生器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58127694A JPS6020113A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 回転信号発生器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58127694A JPS6020113A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 回転信号発生器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6020113A true JPS6020113A (ja) | 1985-02-01 |
Family
ID=14966388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58127694A Pending JPS6020113A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 回転信号発生器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020113A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009053183A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-03-12 | Kyocera Corp | ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置 |
| JP2009288058A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Kyocera Corp | ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置 |
| JP2016031332A (ja) * | 2014-07-30 | 2016-03-07 | 栃木県 | 静電容量式角度検出装置 |
| JP2016053505A (ja) * | 2014-09-03 | 2016-04-14 | オリエンタルモーター株式会社 | 静電エンコーダ |
| WO2019116716A1 (ja) * | 2017-12-13 | 2019-06-20 | 株式会社村田製作所 | 回転型エンコーダ |
| JPWO2020262385A1 (ja) * | 2019-06-28 | 2020-12-30 |
-
1983
- 1983-07-15 JP JP58127694A patent/JPS6020113A/ja active Pending
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|---|---|---|---|---|
| JP2009053183A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-03-12 | Kyocera Corp | ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置 |
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| JP2016031332A (ja) * | 2014-07-30 | 2016-03-07 | 栃木県 | 静電容量式角度検出装置 |
| JP2016053505A (ja) * | 2014-09-03 | 2016-04-14 | オリエンタルモーター株式会社 | 静電エンコーダ |
| WO2019116716A1 (ja) * | 2017-12-13 | 2019-06-20 | 株式会社村田製作所 | 回転型エンコーダ |
| JPWO2020262385A1 (ja) * | 2019-06-28 | 2020-12-30 |
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