JPS6020276Y2 - 電子顕微鏡等における試料位置検出装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子顕微鏡等における試料位置を正確に検出す
ることのできる装置に関する。

電子顕微鏡において試料位置を知るにあたっては、試料
移動機構のツマミを刻設した目盛を読むか、或は該ツマ
ミに連動したポテンショメータからの位置信号をオシロ
スコープに導入し、該オシロスコープの画面上の輝点位
置によって判断することが行われている。

しかし乍ら斯様な検出方法では試料移動機構におけるバ
ックラッシュによりツマミの回転量と試料動台の実際の
移動量が正確に一致せず、従って正確な試料位置を知る
ことができなかった。

本考案は斯様な不都合を解決することを目的とするもの
で、以下図面に基づき詳説する。

添付図面は本考案の一実施例を示す構成略図であり、１
は鏡体２内に水平移動可能におかれた試料移動台である
。

該試料移動台１は中央部には試料を保持した試料筒３が
着脱自在に装着されている。

４は該試料移動台１をＸ及びＹ方向に移動させるための
試料移動機構で、手動用ツマミ５Ｘ。

５Ｙ及びクラッチ６Ｘ、６Ｙを介してモーター７Ｘ、７
Ｙが備えられている。

８及び９は一端が鏡体２に夫々固定された板バネで、該
両板バネの他端は試料移動台１に設けた接触面１０及び
１１に夫々当接されている。

該接触面１０は光軸２を含む平面ｙ−ｙ’内におかれ又
接触面１１は前記平面ｙ−ｙ’と光軸Ｚ上において直角
に交わる平面Ｘ−Ｘ’内におかれている。

前記両板バネ８及び９の側面には夫々与えられた歪に応
じて抵抗が変化する半導体歪検出素子１２及び１３が貼
り付けてあり、該両手導体歪検出素子１２及び１３の内
部抵抗の変化は検出回路１４．１５により検出される。

得られた検出信号はオシロスコープ１６のＸ及びＹ方向
偏向板１７及び１８に供給される。

一方該検出信号はコンピューター１９にも供給され、該
コンピュア、ターはその検出信号を参照し、予じめ定め
られたプログラムに従って試料移動機構４のモーター７
Ｘ、７Ｙを制御する。

斯かる装置において、試料移動機構４のツマミ５Ｘ、５
Ｙを操作（このとき試料移動機構４とモーター７Ｘ、７
Ｙは切り離されている）することにより試料移動台１を
例えばＸ方向に移動させれば、板バネ８は試料移動台１
の移動にともなって撓む。

このとき板バネ９と接触面１１との間においては、スベ
リが生じるのみで、板バネ９に撓みを与える力は作用し
ない。

これにより板バネ８の撓みに応じた歪が半導体歪検出素
子に加わるため、該半導体歪検出素子は歪（移動量）に
応じた抵抗変化が発生し、該抵抗変化は検出回路１４に
より検出される。

又試料移動台１をＹ方向に移動させれば、板バネ９が撓
むため、半導体歪検出素子１３に抵抗変化が生じ、その
抵抗変化が検出回路１５により検出される。

ここで板バネ８及び９の撓み量は小さい範囲では試料移
動台の移動量と比例すると考えられるので、検出信号は
試料移動台の移動量（試料位置）に対応したものとなる
ということができる。

即ち検出回路１４及び１５の検出信号は夫々Ｘ及びＹ方
向の試料位置を与えるものであり、この検出信号をオシ
ロスコープのＸ及びＹ方向偏向板１７゜１８に夫々供給
すれば、両面上には試料位置に対応した位置に輝点が表
示される。

そこでオペレータはオシロスコープ１６の画面上の輝点
を観察しながら試料移動機構４のツマミ５Ｘ、５Ｙを操
作することにより試料を所望の位置に正確に移動させる
ことができる。

一方試料位置を自動的に設定する際には、モーター７Ｘ
及び７Ｙをクラッチ６Ｘ、６Ｙを介して試料移動機構４
に連結させ、コンピューター１９によって検出信号に基
づきモーター７Ｘ、７Ｙを制御すれば、予じめ記憶させ
た試料位置に試料を正確に移動させることができる。

以上の如く本考案は極めて簡単な構成でもって試料の位
置を正確に検出でき、実用性大である。

尚前述の説明では試料移動台１に形成する接触面１０及
び１１は夫々光軸２を含む平面Ｘ−Ｘ′及びｙ−ｙ’内
においた場合を示したが、必ずしも一致させる必要はな
く平面はなく平面Ｘ−Ｘ′及びｙ−ｙ’に夫々平行であ
ればどこでもよい。

又板バネ８，９は一端を鏡体２側に固定し、他端を試料
移動台に形成した接触面に当接させるように述べたが、
これを逆の関係、つまり板バネの一端を試料移動台側に
固定し、他端を鏡体に形成した接触面に当接させるよう
になしてもよい。

更に、試料を光軸方向から挿入するタイプの試料装置を
示したが、試料を光軸と直交する方向から挿入するタイ
プの試料装置にも実施することができる。

【図面の簡単な説明】

添付図面は本考案の一実施例を示す構成略図である。 １：試料移動台、２：鏡体、３：試料筒、４：試料移動
機構、５Ｘ及び５Ｙ：ツマミ、６Ｘ、６Ｙ：クラッチ、
７Ｘ及び７Ｙ：モーター、８及び９：板バネ、１０及び
１１：接触面、１２及び１３：半導体歪検出素子、１４
及び１５：検出回路、１６：オシロスコープ、１７及び
１８：Ｘ及びＹ方向偏向板、１９：コンピューター。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 試料を保持し且つ水平移動可能におかれた移動部材と、
   該移動部材を光軸を中心にして直交する２つの方向に夫
   々移動させるための２組の試料移動機構とを備え、前記
   移動部材又は鏡体に移動部材の直交する２つの移動方向
   と夫々平行な平面を形威し、該各平面に平行に夫々配置
   された２つの板状の弾性体を設け、該各側性体の一端を
   鏡体又は移動部材の一方に固定し、他端を鏡体又は移動
   部材の平面に当接させ、該弾性体の夫々に与えられた歪
   に応じて内部抵抗が変化する素子を貼り付け、前記移動
   部材の移動にともなって弾性体が夫々撓むことによる素
   子の内部抵抗の変化を検出する手段を設けてなる電子顕
   微鏡等における試料位置検出装置。