JPS60205201A - タ−ゲツトアライメント装置 - Google Patents
タ−ゲツトアライメント装置Info
- Publication number
- JPS60205201A JPS60205201A JP6242084A JP6242084A JPS60205201A JP S60205201 A JPS60205201 A JP S60205201A JP 6242084 A JP6242084 A JP 6242084A JP 6242084 A JP6242084 A JP 6242084A JP S60205201 A JPS60205201 A JP S60205201A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- center
- laser beam
- image
- reflective mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、非常に微小なターゲット（目標物）とレーザ
光との画像からとのレーザ光をターゲットの中心に正確
に導くターゲットアライメント装置に関する。
光との画像からとのレーザ光をターゲットの中心に正確
に導くターゲットアライメント装置に関する。
（従来技術）
従来、この種のターゲットアライメント装置は、第１図
に示すように、ターゲット３の像と反射鏡によシ反射さ
れたレーザ光６の像とを同時にテレビカメラ４で画像と
してとらえ、その画像を人間がモニターテレビ５でモニ
、ターしながらマニュアル（手動）で目標位置に設定し
ていた。なお、とのレーザ光６は集光レンズ２によりＴ
Ｖ左カメラ上に集光される。
に示すように、ターゲット３の像と反射鏡によシ反射さ
れたレーザ光６の像とを同時にテレビカメラ４で画像と
してとらえ、その画像を人間がモニターテレビ５でモニ
、ターしながらマニュアル（手動）で目標位置に設定し
ていた。なお、とのレーザ光６は集光レンズ２によりＴ
Ｖ左カメラ上に集光される。
このターゲットアライメント装置では人間（操作者）が
マニュアルで反射鏡を駆動し、レーザ光６を正確にター
ゲラ）３に導ひく必要があるが。
マニュアルで反射鏡を駆動し、レーザ光６を正確にター
ゲラ）３に導ひく必要があるが。
操作者の主観により再現性が得られず、またその操作に
時間がかかるという欠点があった。
時間がかかるという欠点があった。
（発明の目的）
本発明の目的は、これらの欠点を解決し、迅速に且つ高
精度にレーザ光をターゲットに設定できるターゲットア
ライメント装置を提供することにある。
精度にレーザ光をターゲットに設定できるターゲットア
ライメント装置を提供することにある。
（発明の構成）
本発明のターゲットアライメント装置は、レーザ光を反
射させてターゲットに正確に導くように回転駆動部によ
シ駆動される反射鏡と、この反射鏡からのレーザ光とア
ライメント用ターゲットの像とを画像として得るカメラ
と−このカメラから得られた画像から前記ターゲットの
中心位置およびこのターゲットの周囲のレーザ光の各中
心位置をそれぞれめる中心検出手段と、この中心検出手
段の各中心位置情報からこれらの差をもとめる減算手段
と、この減算手段の差出力によって前記反射鏡駆動部を
駆動して前記Ｉレーザ光の中心をターゲットの中心に設
定する駆動手段とを含み構成される。
射させてターゲットに正確に導くように回転駆動部によ
シ駆動される反射鏡と、この反射鏡からのレーザ光とア
ライメント用ターゲットの像とを画像として得るカメラ
と−このカメラから得られた画像から前記ターゲットの
中心位置およびこのターゲットの周囲のレーザ光の各中
心位置をそれぞれめる中心検出手段と、この中心検出手
段の各中心位置情報からこれらの差をもとめる減算手段
と、この減算手段の差出力によって前記反射鏡駆動部を
駆動して前記Ｉレーザ光の中心をターゲットの中心に設
定する駆動手段とを含み構成される。
（実施例）
次に本発明を図面によシ詐細に説明する。
ターゲットに集光する集光レンズ、３はターゲット、４
はターゲット３の像としレーザ光６の像とを同時にとら
えるカメラである。さらに、この実施例は、ターゲツト
像を含む画像メモリ１０、この画像メモリエ０から、タ
ーゲツト像の中心をめる中心検出器１１、画像メモリｌ
Ｏからレーザ光の中心をめる中心検出器１２、これらの
中心検出器１１からめられたターゲットの中心と中心検
出器１２からめられたレーザ光の中心との差をめる減算
器１３とを備えている。この減算器１３の差出力が零と
なるように反射鏡駆動部７が駆動されてレーザ光の中心
にターゲットの中心を設定することかできる。
はターゲット３の像としレーザ光６の像とを同時にとら
えるカメラである。さらに、この実施例は、ターゲツト
像を含む画像メモリ１０、この画像メモリエ０から、タ
ーゲツト像の中心をめる中心検出器１１、画像メモリｌ
Ｏからレーザ光の中心をめる中心検出器１２、これらの
中心検出器１１からめられたターゲットの中心と中心検
出器１２からめられたレーザ光の中心との差をめる減算
器１３とを備えている。この減算器１３の差出力が零と
なるように反射鏡駆動部７が駆動されてレーザ光の中心
にターゲットの中心を設定することかできる。
ここで、ターゲツト像を含むレーザ光の像から、ターケ
ラト中心の位置およびレーザ光の中心位置をそれぞれ検
出する手順は次のようになる。
ラト中心の位置およびレーザ光の中心位置をそれぞれ検
出する手順は次のようになる。
α） まず任意の横ラインＸｉに関して画面の左側から
スキャンして始めて今までの値と変化するところをＩＬ
Ｉとし、次に変化するところをＩＴｌとする。
スキャンして始めて今までの値と変化するところをＩＬ
Ｉとし、次に変化するところをＩＴｌとする。
■ 次に（１）と同じ横ラインＸｉについて右側からス
キャンしてはじめて今までの値と変化するところをＩＬ
２とし、次に変化するところをＩＴ、２とする。
キャンしてはじめて今までの値と変化するところをＩＬ
２とし、次に変化するところをＩＴ、２とする。
（３）ＩＬＩとＩＬ２の中心をレーザ光の中心とし、Ｉ
ＴｌとＩＴ２，１’の中心をターゲットの中心とする。
ＴｌとＩＴ２，１’の中心をターゲットの中心とする。
そして、それぞれの横ラインについて中心をめ請求まっ
た中心を平均として、それを横方向の中心とする。
た中心を平均として、それを横方向の中心とする。
（４） ターゲットの中心及びレーザ光の中心の横方向
の差をもとめる。
の差をもとめる。
６）縦方向につ・い１も同様の処理を行なうがターゲッ
トを支える支柱の部分だけは行なわない。
トを支える支柱の部分だけは行なわない。
このようにしてめられた、レーザ光の中心と（発明の効
果） 以上ａｌｌだように本発明によれは、レーザ光に埋もれ
たターゲットの像からレーザ光の中心とターゲットの像
の中心とを電気的に自動的に合わせられるので必賛な設
定精度でターゲットを設定することができる。
果） 以上ａｌｌだように本発明によれは、レーザ光に埋もれ
たターゲットの像からレーザ光の中心とターゲットの像
の中心とを電気的に自動的に合わせられるので必賛な設
定精度でターゲットを設定することができる。
第１図は、従来のターゲットアライメント装置の構成図
、第２図は第１図のＴＶ左カメラよって撮像されたター
ゲットの像を含むレーザ光の受像図、第３図は本発明の
一実施例を示すブロック図である。図において １・・・・・・反射鏡、２・・・・・・レーザ光を集光
する集光レンズ、３・・・・・・アライメント用のター
ゲット、４・・・・・・カメラ、５・・・・・・モニタ
ーテレビ、６・・・・・・レーザ光、７・・・・・・反
射鏡駆動部、１０・・・・・・ターゲツト像を含むレー
ザ光を記憶する画像メモリ、１１・・・・・・メモリ１
０からのターゲットの中心を検出する検出器、１２・・
・・・・メモリ１０からレーザ光の中心を検出する中心
検出器、１３・・・・・・中心検出器１１．１２の各中
心の差をめる減算器、である。 茅２回
、第２図は第１図のＴＶ左カメラよって撮像されたター
ゲットの像を含むレーザ光の受像図、第３図は本発明の
一実施例を示すブロック図である。図において １・・・・・・反射鏡、２・・・・・・レーザ光を集光
する集光レンズ、３・・・・・・アライメント用のター
ゲット、４・・・・・・カメラ、５・・・・・・モニタ
ーテレビ、６・・・・・・レーザ光、７・・・・・・反
射鏡駆動部、１０・・・・・・ターゲツト像を含むレー
ザ光を記憶する画像メモリ、１１・・・・・・メモリ１
０からのターゲットの中心を検出する検出器、１２・・
・・・・メモリ１０からレーザ光の中心を検出する中心
検出器、１３・・・・・・中心検出器１１．１２の各中
心の差をめる減算器、である。 茅２回
Claims (1)
- レーザ光を反射させてターゲットに正確に導くように回
転駆動部により駆動される反射鏡と、この反射鏡からの
レーザ光とアライメント用ターゲットの像とを画像とし
て得るカメラと、このカメラから得られた画像から前記
ターゲットの中心位置およびこのターゲットの周囲のレ
ーザ光の各中心位置をそれぞれめる中心検出手段と、こ
の中心検出手段の各中心位置情報からこれらの差をもと
める減算手段と、この減算手段の差出力によって前記反
射鏡駆動部を駆動して前記Ｉレーザ光の中心をターゲッ
トの中心に設定する駆動手段とを含むターゲットアライ
メント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6242084A JPS60205201A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | タ−ゲツトアライメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6242084A JPS60205201A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | タ−ゲツトアライメント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60205201A true JPS60205201A (ja) | 1985-10-16 |
Family
ID=13199640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6242084A Pending JPS60205201A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | タ−ゲツトアライメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60205201A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103386640A (zh) * | 2013-07-29 | 2013-11-13 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大口径反射镜加工机床精确对准方法 |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP6242084A patent/JPS60205201A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103386640A (zh) * | 2013-07-29 | 2013-11-13 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大口径反射镜加工机床精确对准方法 |
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