JPS60206036A - ボンド力の変化及び制御 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、集積回路チップと外部回路へ接続させる為に
該チップが搭載されているリードフレームとの間におい
て細いリードワイヤをボンディングする為のリードワイ
ヤボンディング装置の改良゛に関するものである。本発
明は、ポールボンディング及びウェッジボンディングの
間に印加されるボンド力を制御し且つ変化させる為の新
規な方法及び装置を提供するものである。ポールボンデ
ィングは、ポールボンディング装置のキャピラリボンデ
ィング工具内に保持されているリードワイヤの端部を集
積回路チップのダイパッドへ溶接させる為に使用される
。ウェッジボンディングはボールポンドから離隔された
リードワイヤのセグメントをリードフレームフィンガへ
溶接する為に使用される。

集積回路チップ乃至はグイと外部回路へ接続する為に該
ダイが搭載されているリードフレームとの間においてリ
ードワイヤをボンディング乃至は溶接することは、現在
、手動、半自動、及び自動リードワイヤボンディング装
置によって行なわれている。１ミルの直径の金のボンデ
ィングワイヤの如き細いリードワイヤがキャピラリボン
ディング工具内に保持されて、リードワイヤが工具の端
部を越えて突出する。このボンディング工具は工具ホル
ダアーム内に装着されており、該アームはボンディング
装置の可動ボンディングヘッドの構成要素である。ボン
ディング工具は適宜ボンディング装置加工物ホルダの案
内部内に保持されているリードフレーム片上方に取り付
けられている。

一層高精度レベルにおいては、ボンディング工具をリー
ドフレームの１つの上に装着した集積回路チップのメタ
ライズしたダイパッドの上方に位置させ、次いでリード
フレームフィンガの上方へ位置させる。

この様なリードワイヤボンディング装置の例としては、
米国特許第３，６４３，３２１号に記載されている、ア
メリカ、ペンシルバニア１９０４４、ホーサムのクリツ
ケアンドソファインダストリーズ、インコーホレイテッ
ド（Ｋ＆Ｓ）によって製造されている手動乃至は半自動
モデルの高速テイルレス熱圧着ボールボンダ、モデル４
７８があり、又に＆Ｓのモデル１４１８／１４１９、デ
ジタルボンディングヘッド付き自動高速ワイヤボンダが
あり、又に＆Ｓのモデル１４８２、自動ワイヤボンダが
ある。その他の従来例のリードワイヤボンディング装置
としては、米国特許第４，３２３，７５９号及び第４，
０９８，４４７号に記載されている、英国、アービント
ン、溶接研究所のものがある。

集積回路チップのダイパッドとリードフレームフィンガ
との間におけるリードワイヤのボンディングは通常ボー
ルボンドウェッジボンドサイクルによって行なわれる。

キャピラリボンディング工具の下側に延在するリードワ
イヤの端部に、例えば、ホンディングワイヤとシールド
乃至はシュラウド電極との間のアーク放電によって球状
のボールを形成する。固化した後に、リードワイヤ端部
の金属ボールをメタライズしたダイパッドと密接させ、
典型的には、ボンディング工具へ超音波ボデイングエネ
ルギを印加することによってボンドを形成する。加工物
ホルダを高温度に維持し且つボンディング工具へ特定し
た第１ポンドカを印加することによってボンディング中
に熱圧着を使用することも可能である。

次いで、キャピラリボンディング工具をボールボンド及
びダイ上方のレベルへ上昇させ、リードワイヤをボンデ
イング工其内のキャピラリ通路を介して供給する。次い
で、ボンディング工具及びリードフレームを相互に移動
させて、ボールボンドから離隔したリードワイヤのセグ
メンＩ・をり−ドフレームフィンガ上の別の位置ヘボン
デイングさせる。この新しい位置において、リードワイ
ヤをリードフレームフィンガの表面と密接させて所謂「
ウェッジボンド」乃至は「溶接」を形成する。

ウェッジボンドは第２ボンドカでリードフレームフィン
ガの表面に対してリードワイヤ上に押圧されているボン
ディング工具の側部先端によって形成される。この場合
も、ボンドは典型的にボンディング工具へ超音波ボンデ
ィングエネルギを印加することによって形成される。熱
圧着でもウェッジボンドを形成させることが可能である
。通常、ウェッジボンド又は溶接の為にボンディング工
具へ印加される第２ボンドカは、ボールボンディングの
一為にボンディング工具へ印加される第１ボンドカと異
なりそれよりも大きい。

ボールボンド及びウェッジボンドの両方の場合において
、ボンディング工具への超音波ボンディングエネルギの
印加は工具を更に移動させる前に終了される。従って、
ボンドされ溶接される表面の接合はボンディング工具を
上昇させる前に完了される。次いで、ボンディングヘッ
ド上のクランプでリードワイヤをクランプし且つボンデ
ィングヘッドと、ボンディング工具と、リードワイヤと
をウェッジボンド上方へ上昇させてリードワイヤをウェ
ッジボンドに隣接する弱体化したネックで分離させるこ
とによってウェッジボンドの直上で切断させる。ポール
ボンディング及びウェッジボンディングに関するその他
の背景技術は欧州特許出願ＥＰ０１２０７４６号及び米
国特許第４，３９０，７７１号に開示されている。

ボールボンドウェッジボンドサイクルを実施するに当た
り、典型的に、ポールボンディング装置はポールボンデ
ィングの最中に、例えば、５０乃至５５グラムのオーダ
の第１ボンドカをボンディング工具へ印加する。ウェッ
ジボンディングの最中に、第１ボンドカよりも大きな、
例えば、１００グラム以上のオーダの第２ボンドカをボ
ンディング工具へ印加させウェッジボンドの端部におい
てリードワイヤを押圧し、弱体化させ、且つ部分的に切
断する。次いで、リードワイヤをボンディングヘッドで
クランプし且つボンディングヘッド及びボンディング工
具を上昇させることによって弱体化した端部において完
全に切断させ分離させることが可能である。

ボンディング工具における第１及び第２ボンデイングカ
は、通常、ボンディング工具又は工具ホルダ上に載置さ
れている部品の重量等の一定力付与装置乃至は方法によ
って付与するか、ボンディング工具と工具ホルダと工具
持ち上げ器とその他の支持部品とに特定したスプリング
張力を付与するか、又はボンディングヘッド工具ホルダ
乃至は支持部品へ付与される駆動モータの駆動力によっ
て付与される。現在市販されているポールボンディング
装置の欠点は、力分布を変化させることなしにボンド乃
至は溶接の間中特定されたボンディング力が一定のまま
付与されるということである。

従って、溶接効果を最適化する為にボンディング中ボン
ド力を変化させることは出来ない。

米国特許第３，６４３，３２１号において、ポールボン
ディングとウェッジボンディングの夫々に第１及び第２
の一定なボンド力を付与する構成を有するワイヤボンデ
ィング装置が開示されている。ポールボンディングの間
、工具ホルダは垂直案内の中を自由に移動し、ボンディ
ング工具上の第１ボンドカはボンディングボール上に押
圧される工具ホルダの一定な重量によって決定される。

工具ホルダの上方に位置されているワイヤクランプは通
常開放しており、工具ホルダに対して押圧する為に工具
ホルダと相対的に移動自在である。ワイヤクランプの上
方にスプリング負荷されている第２ボンド力レバーアー
ムがある。この第２ボンド力レバーアームはスプリング
の張力の下でワイヤクランプ及び工具ホルダに対して爾
後のウェッジボンド乃至溶接の間挿圧される。従って、
第２ボンドカは、スプリング力と工具ホルダの重量との
和である。

何れの場合においても、工具ホルダの重量を有する第１
ボンドカ及び工具ホルダの重量と第２ボンド力レバーア
ーム上のスプリング力との累積和を有する第２ボンドカ
が、一方においてはポールボンディング及び他方におい
てはウェッジボンディングを介して一定の力を付与する
。チップ上の異なったダイパッド位置に対して第１ボン
ドカを変化させることもないし、リードフレームフィン
ガの違いによる第２ボンドカが変化されることもない。

更に、何れの場合においても、力分布は一定であり、且
つ印加された力は特定のボンド又は溶接の間に制御され
ることもないし変化されることもない。

別の従来技術のに＆Ｓボンディング装置を模式的に第１
図及び第２図に示しである。模式的に示したボンディン
グ工具１０は工具ホルダ乃至は工具保持アーム１２内に
支持されており、該アームはボンディング装置の可動ボ
ンディングヘッドの一部を構成している。工具ホルダ持
ち上げ器又は工具ホルダ持ち上げアーム１４もボンディ
ングヘッドの一部であり、工具ホルダ１２を上昇及び下
降させか、工具ホルダ持ち上げ器１４と工具ホルダ１２
との間には幾らの遊び乃至は相対的な運動がある。下降
運動の際に、工具ホルダ持ち上げ器１４及び工具ホルダ
１２は、ボンディング工具１０へ所望のボンディング力
を印加すべく選択されたスプリング定数Ｋを持ったスプ
リングカップリング１５によって結合されている。工具
ホルダ持ち上げ器１４は、接続ロッド１７及び関連した
リンク及びカップリングを介してモータ駆動されるカム
１６によって上昇及び下降される。ポールボンディング
又はウェッジボンディングの為に工具ホルダ持ち上げ器
１４及び工具ホルダ１２の下降運動は接続ロッド１７に
よって駆動される。ボンディング工具は、集積回路チッ
プのダイパッドであるか又はリードフレームフィンガの
何れかである基板１８に対して適用され、スプリング定
数Ｋに比例して所望のボンディング力が付与され且つス
プリングの圧縮深さは該装置に対して予め設定されたロ
ッド１７の行程によって決定される。ロッド１７の行程
は、大略、サーボモータ制御ループで制御されるが、該
ループは光学的エンコーダ位置検出器と、ボンディング
装置のマイクロプロセサと、サーボモータを制御する為
のデジタル・アナログ変換器とを有しており、このこと
に付いては止揚の関連する特許出願に開示されている。

ボンディング工具１０は、電気的センサを与える不図示
の電気回路に接続されている電気的コンタクト２０にお
いて工具ホルダ持ち上げ器１４に載置している。ボンデ
ィング工具の垂直上方への運動の間、即ち接続ロッド１
７の上方行程の大部分の間、電気的コンタクト２０は閉
じられている。

更に、下降行程の間はボンドカスプリング１５上の付与
された圧縮力がスプリングの圧縮を開始してコンタクト
２０を分離させこれらのコンタクトを開放させる迄これ
らの電気的コンタクトは閉じている。印加された圧縮力
乃至はボンディング力が、例えば、２５グラムのオーダ
のレベルに到達した場合にコンタクト２０が開放する様
にこれらの要素が構成され且つ配設されている。

コンタクトの開放と共に、不図示の電気回路及びセンサ
がボンディング装置の超音波発生器をターンオンし且つ
超音波発生器から工具ホルダ及びボンディング工具１０
へ超音波ボンディングエネルギの印加を開始する。

従来のボンディング装置ボンディングヘッドの部分の別
の例を第３図に模式的に示しである。この例においては
、工具ホルダ３０が工具ピボットキャスティング３２内
に装着されており、そこからハーネス３４が吊り下げら
れている。第１スプリング３５は張力下においてハーネ
ス３４と第１スプリングレバーアーム３６との間に接続
されている。第１スプリング３５は、工具ホルダを介し
てキャピラリボンディング工具３８へ選択した第１ボン
ドカを付与する為に所望のスプリング定数に□を持つ様
に選択されている。工具ホルダ３０の上方には可動自在
にワイヤクランプ回動アーム４０が装着されており、該
アームはその端部に取り付けられたワイヤクランプ４２
を有しており、それは通常開放であるが、ウェッジボン
ドの後にボンディングリードワイヤ４４をクランプし一
方工具ホルダ３０及びワイヤクランプ回動アーム４０が
上昇してその際にウェッジボンドの弱体化されたネック
でリードワイヤを切断する。

ワイヤクランプ回動アームの上方に突出して第２ボンド
カレバー乃至はリンク４５が設けられており、その下方
向へ向いた圧力表面４６はワイヤクランプ回動アーム４
０の圧力担持表面４８に当接し且つそこに担持されて位
置される。第２ボンドカレバー乃至はリンク４５にはハ
ーネス５２が設けられており、そこから引張状態で第２
スプリングレバーアーム５６に接続されている第２スプ
リング５５が吊り下げられている。第２力持ち上げ器ア
ーム５４は通常第２ボンドカリンク４５を。

例えばポールボンディングの間、ワイヤクランプ回動ア
ーム４０の表面４８との圧接状態から外れているように
維持する。ウェッジボンディングの間、第２力持ち上げ
器５４は下降され、第２スプリング５５のスプリング力
はワイヤクランプ回動アーム４０従って工具ホルダ３０
及びボンディング３８に対して担持すべく当接される。

従って、この第２ボンドカは、工具ホルダ３０上に引き
下げられる第１スプリング３５によって印加される第１
ボンドカと、第２ボンドカリンク４５とワイヤクランプ
回動アーム４０と工具ホルダ３ｏとを介して第２スプリ
ング５５によって担持されるべくあたえらえる補足的な
ボンド力との累積和である。

このタイプのボールボンディング装置においては、ボン
ディングヘッドの構成要素、例えば、工具ホルダ３０、
ワイヤクランプ回動アーム４０、第２ボンドカリンク４
５等がボンディング装置の主カム軸又はシャフトによっ
て操作されるカムロッドによって上昇及び下降される。

これらのカムロッド及びカムシャフトは、カム動作表面
がボールボンディングの間第２ボンドカリンク４５を持
ち上げ且つその後の累積的により大きな力のウェッジボ
ンド乃至は溶接の間に第２ボンドカリンクを下降させて
ワイヤクランプ回動アーム及び工具ホルダ上に載置させ
る。然し乍ら、何れの場合においても、この従来のボン
ディング装置ボンドヘッドは上述した如き欠点を有して
おり、選択したスプリングに応じて何れの場合において
もボンド力は一定であり且つ力の分布はボンド乃至は溶
接の間に変化することはない。

ボンド力を印加する為に駆動モータ及びボンドヘッドク
ランクを使用するもっと最近のモデルも同様に制限され
ている。この構成によれば、第１図及び第２図に例示し
たタイプのボンドヘッドが設けられ、その場合に第１ボ
ンドカは選択したスプリング定数及び工具ホルダと工具
ホルダ持ち上げ器との間のスプリング負荷要素のスプリ
ング変位張力によって決定される。ボンド力がモータク
ランクとボールジヨイントと接続ロンドとを介して駆動
モータから工具ホルダ持ち上げ器へ印加されて工具ホル
ダ持ち上げ器と工具ホルダとの間のスプリングをボンデ
ィング工具において所望の一定のボンド力を付与する為
にプログラムした量変位させる。

本発明は、以上の点に鑑みなされたものであって、ポー
ルボンディングの間に印加される第１ボンドカ及びウェ
ッジボンディングの間に印加される第２ボントカを変化
させ且つ制御することによって集積回路チップ及びリー
ドフレームの間にリードワイヤの改良したボンディング
を与えることを目的とする。本発明の別の目的とすると
ころは、隣接する表面の間に最適の溶接を得る為に所望
のカプロファイルに従ってポールボンディング及びウェ
ッジボンディングの間に第１ボンドカ及び第２ボンドカ
のボンドカプロファイルを迅速に変化させることの可能
な新規なボンディング装置及び方法を提供することであ
る。本発明の更に別の目的とするところは、最適なボン
ディングを行なう為に、異なった位置においてダイパッ
ド上にポールボンディングを行なう間及び異なった特性
のリードフレームフィンガ上にウェッジボンディングを
行なう間に、異なったボンディング箇所においてボンデ
ィング力の振幅、期間及びプロファイル乃至分布に関し
て可変で且つプログラム可能な電気的制御を提供するこ
とである。

本発明は、連続的なボールボンディングウェッジボンデ
ィングサイクルにおいてボンディングエ其内に保持され
ているリードワイヤの端部を集積回路チップのダイパッ
ドヘボールボンデイングさせ且つ該ボールボンドから離
隔したリードワイヤの部分をリードフレームフィンガへ
ウェッジボンドさせる為に長尺状工具ホルダ及び該工具
ホルダ内に固着されたキャビラリホンディング工具を有
する可動ボンディングヘッドを持ったタイプの改良した
リードワイヤボールボンディング装置を提供するもので
ある。本発明は多数の従来要素を組み込んであり、例え
ばボールボンドウェッジボンドサイクルにおける開始及
びタイミングステップに対する制御信号を発生するボン
ディング装置論理制御回路乃至はボンディング装置マイ
クロプロセサを有している。

本発明に基づくリードワイヤボールボンディング装置の
改良において、選択したボンド力を付与する装置は、連
続したボールボンドウェッジボンドサイクルの間ポール
ボンディング及びウェッジボンディングを行なう為にボ
ンディング工具へ第１及び第２ボンドカを付与するボン
ディングヘッドへ接続されているソレノイドを有してい
る。本発明は更に、該ソレノイドへ接続されているソレ
ノイド制御回路を提供しており、該ソレノイド制御回路
はポールボンディングの間にダイパッドへ第１力分布を
持った第１ボンドカを付与する為に所望の分布乃至は振
幅波形包絡線を持った第１電流を供給し且つウェッジボ
ンディングの間にリードフレームフィンガへ第２力分布
を持った第２ボンドカを付与する為に所望の分布乃至は
振幅波形を持った第２電流を供給することによってソレ
ノイドを動作させる様に構成され且つ配設されている。

該ソレノイドは、レトロフィツトするポールボンディン
グ装置のタイプに従って幾つかの位置の何れかにおいて
ボンディングヘッドへ結合させることが可能である。例
えば、１実施例によれば、ボンディングヘッドは工具ホ
ルダを上昇及び下降させる為の工具ホルダと可動自在に
係合する長尺工具ホルダ持ち上げ器を有している。該ソ
レノイドは、工具ホルダと工具ホルダ持ち上げ器との間
に結合されている。別の実施例によれば、該ソレノイド
は工具ホルダとボンディングヘッド乃至はボンディング
装置の固定枠組との間に接続されている。

本発明の好適な形態においては、ソレノイド制御回路は
、所望の波形振幅分布を持った波形包絡線を発生する波
形発生器と、電流を供給するＤＣ電力源と、波形発生器
波形分布に従ってＤＣ電力源によって供給される電流振
幅を変調する為に波形発生器及びＤＣ電力源へ接続され
ている増幅器ゲートとを有している。この増幅器ゲート
は、変調した電流をソレノイドへ供給する為にソレノイ
ドへ接続されている。その結果、第１及び第２ボンドカ
分布は該ソレノイドを動作させる電流の波形振幅分布に
従って変調される。更に、ソレノイド制御回路は、所望
のボンド力分布を得る為に異なった連続的なボールボン
ド及びウェッジボンド箇所において異なった電流波形分
布を供給する為にプログラムすることの可能なプロセサ
を有することが可能である。

本発明構成の特徴及び利点は、第１ボンドカは異なった
ダイパッドにおける溶接条件に従って顧客が変化させ且
つ変調させることが可能なものであって、−力筒２ボン
ドカ分布は異なったリードフレームフィンガの溶接条件
に従って変化させ且つ変調させることが可能である。各
々の場合に、ボンド力分布は特定のボールボンド又はウ
ェッジボンドの間にボンド力における所望の変化を与え
る様に選択される。ボンド力は又リードワイヤ及びボン
ディング基板の構成金属の組成及び支配的な温度や印加
した超音波ボンディングエネルギに応じて変化させるこ
とが可能である。

更に一般的には、本発明によれば、連続的なボールボン
ドウェッジボンドサイクルの間にポールボンディング及
びウェッジボンディングを行なう為にボンディング工具
へ選択した第１及び第２ボンドカを付与する為のボンデ
ィングヘッドへ接続される可変直線的駆動装置が提供さ
れる。この可変直線的駆動装置は、例えば、選択的な力
分布を持った第１及び第２ボンドカを供給する為の可変
駆動リニアモータ又はソレノイドで構成することが可能
である。この可変直線的駆動装置は、任意の特定のボー
ルボンド又はウェッジボンド箇所において所望の力分布
を得る為に可変直線的駆動装置への電流を変調する制御
回路によって動作される。

以下、添付の図面を参考に、本発明の具体的実施の態様
に付いて詳細に説明する。

第１図及び第２図に示したタイプのボンディングヘッド
を本発明に基づいて変形しレトロフィツトしたものを第
４図に示しである。本例においては、第１図及び第２図
に対応するボンディングヘッドの要素は同一の参照符号
で示しである。然し乍ら、第４図の例に示した如く、工
具ホルダ１２と工具ホルダ持ち上げ器との間のスプリン
グカップリング１５は取り除かれている。その代りに、
本発明に基づいて、ボンドカッレノイド６０が設けられ
ており、ソレノイドシリンダ乃至は本体６２は工具ホル
ダ持ち上げ器１４上に固着されており且つソレノイド電
機子乃至はピストン６４は工具ホルダ１２へ接続されて
いる。復帰スプリングの無いスプリング無しソレノイド
をソレノイド６０に選択することが可能であり、その場
合、ソレノイドが不作動状態にある場合に電機子乃至ピ
ストン６４はソレノイドハウジング６２内を自由に移動
する。接続ロッド１７がその駆動の深さ、即ち第２図と
同等の位置、に到達すると、ソレノイド６０は選択した
電流振幅波形乃至は分布を持った電流で動作され、後述
する如く、ボンディング工具１０において所望のボンド
力分布を発生させる。

第４図の例において、第１図及び第２図に示したタイプ
のカップリングスプリング１５であるが低いスプリング
定数を持ったスプリングを工具ホルダと工具持ち上げ器
１４との間に保持させて工具ホルダ１２と持ち上げ器１
４との間に安定した機械的関係乃至はバイアスを維持し
ている。一方、低いスプリング定数を持ったバイアス用
のスプリングはソレノイド６０内に設けることも可能で
ある。

第１図及び第２図に模式的に示したボンドヘッドに対応
し本発明に応じて修正した実際のボンドヘッドの一部の
側面図を第５図に示しである。第１図及び第２図と第４
図に模式的に示したボンドヘッド要素に対応する要素は
同一の参照符号で示１、しである。実際のボンドヘッド
においては、工具ホルダ１２にはそれと平行な固定アー
ム１２ａが設けられており、その端部には電気的コンタ
クト２０の一方が取り付けられている。第５図の想像線
の円１９の領域内の実際の電気的コンタクトであって第
５図において隠れている部分の詳細を第５Ａ図に示しで
ある。平行な工具ホルダアーム１２ａの端部における電
気的コンタクト２０ａは工具ホルダ持ち上げ器１４に接
続されている電気的コンタクト２０ｂと係合する。従っ
て、実際的な実施に当たっては、従来技術によれば、電
気的コンタクト２０ａ、２０ｂは互いに直角に係合する
ロンドであり、電気的コンタクトロッド２０ｂは工具ホ
ルダ持ち上げ器１４に固定的に接続されており一方電気
的コンタクト２０ａは平行であるが固定された工具ホル
ダアーム１２ａによって工具ホルダ１２へ固定的に接続
されている。第５図の例においては、本発明に基づいて
、ボンドカッレノイド８０が工具ホルダ持ち上げ器１４
及び工具ホルダ１２を結合しており、ソレノイドハウジ
ング乃至はシリンダ８２は持ち上げ器１４に固着されて
おり且つソレノイド電機子乃至はピストン８４は平行な
工具ホルダアーム１２ａへ接続されており且つそのアー
ムは工具ホルダ１２へ接続されている。ボンドカッレノ
イド８０は、第４図に関して説明したボンドカッレノイ
ド６０と同様に動作する。然し乍ら、ソレノイド８０の
位置は第５図におけるボンディング工具１０とは反対側
の接続ロッド１７の側である。

第１図及び第２図に示したタイプのボンドヘッド用の本
発明に従った別のレトロフィツトした構成を第６図に示
しである。この例においても、対応する要素は同一の参
照番号で示しである。ソレノイドの形態の可変直線的ボ
ンドカ駆動装置がボンディングヘッド乃至はボンディン
グ装置の工具ホルダ１２と固定フレーム６５との間に接
続されている。ソレノイド本体乃至はシリンダ７２はフ
レーム６５上に固着されており、一方ソレノイド電機子
乃至はピストン７４はケーブル、アーム又はその他のリ
ンク７５によって工具ホルダ１２へ接続されている。ソ
レノイドが不作動状態にあり且つ工具ホルダ１ムが工具
ホルダ持ち上げ器１４によって上昇される場合に、ソレ
ノイドハウジング７２内において電機子７４を自由に移
動させる為にソレノイド７０としてスプリング無しソレ
ノイドを使用することが可能である。接続ロッド１７が
延出されて電気的コンタクト２０が開放し且つ工具ホル
ダ１０をダイパッド乃至はリードフレームフィンガ等の
基板１８上に担持させると、ソレノイド７０はソレノイ
ドリード７６上の選択された電流によって作動される。

この作動電流は後述する如く選択され且つ変調されてい
て、更に後述する如く、ボンディング工具１０及び基板
１８において所望のボンド力分布を供給する為に所望の
振幅波形乃至は分布を持っている。

更に別の実施例においては、第３図に示したタイプのボ
ンドヘッド乃至はボンディングヘッドを本発明に基づい
て修正し且つレトロフィツトしたものを第７図に示しで
ある。第３図のものに対応する第７図の要素は同一の参
照符号で示しである。

第７図の例において、第１ボンドカスプリング３５は工
具ホルダ３０から取り除かれており、且つピボットキャ
スティング３２及び第２ボンドカスプリング５５は第２
ボンドカレバー乃至リンク４５から取り除かれている。

ボンドカスプリング３５の代りに、本発明では、ボンド
カシリンダ９０の形態の可変直線的ボンドカシリンダを
設けている。ソレノイド９０のソレノイドハウジング乃
至はシリンダ９２はボンドヘッド乃至はボンディング装
置の固定フレーム９５上に装着されており、一方ソレノ
イド電機子乃至はピストン９４は接続リンク９６によっ
て工具ホルダ３０のピボットキャスティング３２のハー
ネス３４へ結合されている。第１ボンドカ及び第２ボン
ドカの両方がソレノイド９０によって印加され、且つ第
２ボンドカレパー４５は第２スプリング５５を除去する
ことによって実効的に不作動状態とされる。此れ迄説明
した様に、ソレノイドが不作動状態とされ−た場合に、
ソレノイドハウジング９２内を電機子９４が自由に移動
する為にソレノイド９０として復帰スプリングの無いス
プリング無しソレノイドを選択することが可能である。

ボンディング工具３８内に保持されているリードワイヤ
４４を基板ヘボンデイングする準備の為にボンドヘッド
を延出した即ち下降した位置とさせ、ソレノイド９０を
作動させて此わ迄説明してきた様にソレノイド９０へ印
加する電流の波形に従った所望の力分布のボンド力を付
与する。

前述した例の各々において、ボンドヘッドのボンディン
グ工具における所望のボンド力分布を実施する為の可変
直線的駆動装置としてソレノイドを使用する好適実施例
に付いて説明してきた。一方、所望の力分布を得る為に
小さな可変駆動直線的モータを使用することも可能であ
る。

所望のボンド力分布を得る為に、本発明は第８図に示し
たタイプのソレノイド制御回路乃至は可変直線的駆動制
御回路を提供している。この制御回路によれば、例えば
、増幅器トランジスタゲートとすることの可能な増幅器
ゲート１０２へ、例えば、第９図に示したタイプの可変
波形□を発生し且つ供給する波形発生器１００が与えら
れる。ＤＣ電力源１０４は、此れ迄説明してきたボンド
カッレノイドの１つのソレノイドコイル１０５を作動さ
せる為の電流を提供する。然し乍ら、ＤＣ電力源１０４
によって供給される電流は、波形発生器１００によって
印加される波形包絡線に従って増幅器ゲート１０２によ
って変調される。その結果、ボンドカッレノイド乃至は
その他の可変直線的駆動装置の１つのソレノイドコイル
１０５へ印加される作動電流は、ソレノイド電機子にお
いて所望の力分布を得且つボンディング工具において所
望の力分布を付与する為の電流振幅分布を持っている。

第８図の制御回路も又ボールボンドウェッジボンドサイ
クルの間に異なったボールボンド及びウェッジボンド箇
所において異なった波形を供給する為に波形発生器をプ
ログラムする為のマイクロプロセサ１１０を有すること
が可能である。

第９図に示した如く、波形発生器１００によって発生さ
れる波形、対応する電流振幅分布、及びその結果ボンデ
ィング工具において得られる力分布は、ボンド箇所の特
性パラメータに従って溶接乃至はボンドを最適化する為
に種々の形状を取り得るものである。従って、例えば、
力分布はランプ形状、方形波形状、パルス形状で上昇及
び下降することが可能であり、且つ台形状平坦頂部形状
。

正弦波形状等を有することが可能である。

以上、本発明の具体的実施の態様に付いて詳細に説明し
たが、本発明はこれら具体例にのみ限定されるべきもの
では無く、本発明の技術的範囲を逸脱すること無しに種
々の変形が可能であることは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は工具持ち上げ器が上昇位置にあり且つ電気的検
知コンタクトが閉じられている状態の従来のボンディン
グ装置ボンドヘッドの一部の模式的図、第２図は工具ホ
ルダが下降位置にあり電気的検知コンタクトが開放した
状態の第１図の従来のボンディング装置要素の模式的図
、第３図は別の従来のボンディング装置ボンディングヘ
ッドの一部の模式的図、第４図は工具持ち上げ器と工具
ホルダとの間に接続されてる可変ボンドカッレノイドを
有する本発明に基づくボンディング装置及びボンディン
グヘッドの一部の模式的図、第５図は工具持ち上げ器と
工具ホルダとの間に接続したボンドカッレノイドを有す
る本発明に基づく別のボンディングヘッドの模式的図、
第５Ａ図は第５図の想像線の円の中のボンディングヘッ
ドの部分で工具ホルダと工具持ち上げ器との間の電気的
及び機械的コンタクトを示した詳細な斜視図、第６図は
ボンディングヘッド乃至はボンディング装置の工具ホル
ダと固定フレームとの間に接続した可変ボンドカッレノ
イドを有する本発明に基づくボンディング装置ボンディ
ングヘッドの一部の模式的図、第７図は工具ホルダと固
定フレームとの間にボンドカッレノイドを使用してボン
ド力を変化させ制御する本発明に基づく別のボンディン
グ装置及びボンディングヘッドの一部の模式的図、第８
図は本発明に基づくソレノイド制御回路の概略ブロック
図、第９図はソレノイドへ供給される例示的な電流分布
及びその結果ソレノイドによって付与されるボンド力分
布のグラフ図、である。 （符号の説明） １０：ボンディング工具 １２：工具ホルダ １４：工具ホルダ持ち上げ器 １５ニスプリングカツプリング １７：接続ロンド ２０：電気的コンタクト ６０：ソレノイド ６２：ソレノイドシリンダ ６４：ピストン 特許出願人　フェアチアイルド　カメラアンド　インス
トルメント コーポレーション ＦＩＧ、Ｉ ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、　３ ２０ ＦＩＧ、４ ＦＩＧ、　５Ａ ＦＩＧ、　７ ＦＩＧ、９ 第１頁の続き ０発　明　者　マーク　ディ、デュー フオー

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　連続的なボールボントウエッヂボンドサイクルの
   間ボンデイング工其内に保持されているリードワイヤの
   端部を集積回路チップのダイパッドヘボールボンデイン
   グさせ且つ該ボールボンドから離隔したリードワイヤの
   セグメントをリードフレームフィンガへウェッジボンデ
   ィングさせる為の長尺状工具ホルダと該工具ホルダに固
   着されているキャピラリボンディング工具とを具備した
   可動ボンディングヘッド、ボールボンディングの間前記
   ボンディング工具に第１ポンドカを付与し且つウェッジ
   ボンディングの間前記ボンディング工具に第２ボンドカ
   を付与する為のポンド力手段、該ボールボンドウェッジ
   ボンドサイクルにおいて開始及びタイミングステップ用
   の制御信号を発生するボンディング装置論理制御手段、
   を待った改良したリードワイヤボールボンディング装置
   において、前記ポンド力手段は連続的なボールボンドウ
   ェッジボンドサイクルの間に夫々ボールボンディング及
   びウェッジボンディングを行なう為に前記第１及び第２
   ボンドカを前記ボンディング工具へ付与する為に前記ボ
   ンディングヘッドへ接続したソレノイド手段を有してお
   り、又前記ソレノイド手段に接続してソレノイド制御回
   路手段が設けられており且つ前記ソレノイド制御回路手
   段がポールボンディングの間ダイパッドへ第１力分布を
   持った前記第１ボンドカを付与する為に第１電流振幅分
   布を持った第１電流を供給すると共にウェッジボンディ
   ングの間′リードフレームフィンガへ第２力分布を持っ
   た前記第２ボンドカを付与する為に第２電流振幅分布を
   持った第２電流を供給することによって前記ソレノイド
   を作動させるべく構成されていることを特徴とするボン
   ディング装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記ボンディング
   ヘッドは前記工具ホルダ及び前記工具ホルダに固着した
   ボンディング工具を上昇させると共に下降させる為に前
   記工具ホルダと可動的に係合する長尺の工具ホルダ持ち
   上げ器を有しており、前記ソレノイド手段が前記工具ホ
   ルダと工具ホルダ持ち上げ器との間に接続されているこ
   とを特徴とするボンディング装置。 ３、特許請求の範囲第１項において、前記ボンディング
   装置が固定フレーム手段を有しており、前記ソレノイド
   手段は前記工具ホルダと前記固定フレーム手段との間に
   接続されていることを特徴とするボンディング装置。 ４、特許請求の範囲第１項において、前記ボンディング
   ヘッドは前記長尺工具ホルダに加えて前記工具ホルダと
   相対的に限定的な独立した上下運動を行ない且つ下降位
   置において前記工具ホルダに担持される様に前記工具ホ
   ルダの上方に前記ボンディングヘッド内に移動自在に取
   り付けた長尺のワイヤクランプ回動アームを有しており
   、且つ前記ポンド力手段は前記ワイヤクランプ回動アー
   ムと工具ホルダとの間に接続した前記ソレノイド手段を
   有していることを特徴とするボンディング装置。 ５、特許請求の範囲第１項において、前記ソレノイド制
   御回路手段へ接続プロセサ手段が設けられており、集積
   回路チップの異なったダイパッドに対して第１ボンドカ
   の第１電流振幅分布及び第１力分布においてプログラム
   した変化を与えると共に異なったリードフレームフィン
   ガに対して第２ボンドカの第２電流振幅分布及び第２力
   分布において変化を与えることを特徴とするボンディン
   グ装置。 ６、特許請求の範囲第１項において、前記ソレノイド制
   御回路手段は、前記第１電流振幅分布及び第１ボンドカ
   分布を変調すると共に前記第２電流及び第２ボンドカ分
   布を変調する可変制御手段を有しており、且つ前記ソレ
   ノイド制御回路手段及び可変制御手段は前記第１及び第
   ２電流振幅分布及び第１及び第２ボンドカ分布を変調し
   て種々のボンド力分布波形を供給する様に構成されてい
   る。 ７、特許請求の範囲第６項において、前記可変制御手段
   は波形発生器を有していることを特徴とするボンディン
   グ装置。 ８、特許請求の範囲第６項において、前記ボンド力分布
   波形は方形波を有していることを特徴とするボンディン
   グ装置。 ９、特許請求の範囲第６項において、前記ボンド力分布
   波形はランプ波形を有していることを特徴とするボンデ
   ィング装置。 １０、特許請求の範囲第６項において、前記ボンド力分
   布波形はパルス状波形を有していることを特徴とするボ
   ンディング装置。 １１、特許請求の範囲第１項において、前記ソレノイド
   制御回路手段は、所望の波形分布を持った波形包絡線を
   発生する波形発生器手段と、電流を供給するＤＣ電力源
   手段と、前記波形発生器手段及びＤＣ電力源手段に接続
   されており波形発生器波形分布に従いＤＣ電力源手段に
   よって供給される電流を変調する増幅器ゲート手段とを
   有しており、前記増幅器ゲート手段は前記ソレノイド手
   段へ変調した電流を供給するソレノイド手段へ接続され
   ておりその際に前記第１及び第２ボンドカ分布が前記波
   形分布に従って変調されることを特徴とするボンディン
   グ装置。 １２、連続的なボールボントウエッヂボンドサイクルの
   間ボンデイング工具内に保持されているリードワイヤの
   端部を集積回路チップのダイパッドヘボールボンデイン
   グさせ且つ該ボールボンドから離隔したリードワイヤの
   セグメントをリードフレームフィンガへウェッジボンデ
   ィングさせる為の長尺状工具ホルダと該工具ホルダに固
   着されているキャピラリボンディング工具とを具備した
   可動ボンディングヘッド、ボールボンディングの間前記
   ボンディング工具に第１ボンドカを付与し且つウェッジ
   ボンディングの間前記ボンディング工具に第２ボンドカ
   を付与する為のポンド力手段、該ボールボンドウェッジ
   ボンドサイクルにおいて開始及びタイミングステップ用
   の制御信号を発生するボンディング装置論理制御手段、
   を待った改良したリードワイヤボールボンディング装置
   において、前記ポンド力手段は連続的なポールボンドウ
   エッジボンドサイクルの間ポールボンディング及びウェ
   ッジボンディングを夫々行なう為に前記第１及び第２ボ
   ンドカを前記ボンディング工具へ印加する為に前記ボン
   ディングヘッドへ接続した可変直線的駆動手段を有して
   おり、前記可変直線的駆動手段に接続して制御回路手段
   が接続されており且つ前記制御回路手段はポールボンデ
   ィングの間ダイパッドへ第１力分布を持った前記第１ボ
   ンドカを付与する為の第１電流振幅分布を持った第１電
   流を供給し且つウェッジボンディングの間リードフレー
   ムフィンガへ第２力分布を持った前記第２ボンドカを付
   与する為に第２電流振幅分布を持つ、た第２電流を供給
   することによって前記可変直線的駆動手段を作動させる
   べく構成されていることを特徴とするボンディング装置
   。 １３、特許請求の範囲第１２項において、前記ボンディ
   ングヘッドは前記工具ホルダ及び前記工具ホルダ内に固
   着されているボンディング工具を上昇及び下降させる為
   に可動的に係合する長尺工具ホルダ持ち上げ器を有して
   おり、且つ前記可変直線的駆動手段は前記工具ホルダと
   工具ホルダ持ち上げ器との間に接続されていることを特
   徴とするボンディング装置。 １４、特許請求の範囲第１２項において、前記ボンディ
   ング装置は固定フレームを有しており、且つ前記可変直
   線的駆動手段は前記工具ホルダと前記固定フレーム手段
   との間に接続されていることを特徴とするボンディング
   装置。 １５、特許請求の範囲第１２項において、前記ボンディ
   ング装置は、前記長尺工具ホルダに加えて、前記工具ホ
   ルダと相対的に制限された範囲独立的に上下運動し且つ
   下降位置において前記工具ホルダに対して担持される様
   に前記工具ホルダの上方で前記ボンディングヘッド内に
   可動的に装着された長尺ワイヤクランプ回動アームを有
   しており、前記ボンディング装置は固定フレームを有し
   ており、且つ前記ポンド力手段は前記ワイヤクランプ回
   動アームと前記固定フレームとの間に接続された前記可
   変直線的駆動手段を有していることを特徴とするボンデ
   ィング装置。 １６、特許請求の範囲第１２項において、前記制御回路
   手段に接続してプロセサ手段が設けられており、前記プ
   ロセサ手段は集積回路チップの異なったダイパッドに対
   して第１ボンドカの第１電流振幅分布及び第１力分布に
   おける変化を与え且つ異なったリードフレームフィンガ
   に対して第２ボンドカの第２電流振幅分布及び第２力分
   布における変化を与えることを特徴とするボンディング
   装置。 １７、特許請求の範囲第１２項において、前記制御回路
   手段は前記第１電流振幅分布及び第１ボンドカ分布を変
   化させると共に前記第２電流振幅分布及び第２ボンドカ
   分布を変化させる為の可変制御手段を有しており、且つ
   前記制御回路手段及び可変制御手段は種々のボンド力分
   布波形を提供する為に前記第１及び第２電流と第１及び
   第２ボンドカ分布とを変調すべく構成されていることを
   特徴とするボンディング装置。 １ｇ、特許請求の範囲第１７項において、前記ボンド力
   分布波形は方形波を有していることを特徴とするボンデ
   ィング装置。 １９、特許請求の範囲第１７項において、前記ボンド力
   分布波形はランプ波形を有していることを特徴とするボ
   ンディング装置。 ２０、特許請求の範囲第１２項において、前記可変直線
   的駆動手段がリニアモータを有していることを特徴とす
   るボンディング装置。