JPS6020957Y2 - セレン感光体の製造装置 - Google Patents
セレン感光体の製造装置Info
- Publication number
- JPS6020957Y2 JPS6020957Y2 JP4670880U JP4670880U JPS6020957Y2 JP S6020957 Y2 JPS6020957 Y2 JP S6020957Y2 JP 4670880 U JP4670880 U JP 4670880U JP 4670880 U JP4670880 U JP 4670880U JP S6020957 Y2 JPS6020957 Y2 JP S6020957Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- selenium
- heating
- pot
- wall surface
- photoreceptor manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、セレン感光体の製造装置に関し、さらに詳し
くは真空蒸着釜の内壁面に付着したセレン又はその合金
を剥離させるための手段を備えたセレン感光体の製造装
置に関する。
くは真空蒸着釜の内壁面に付着したセレン又はその合金
を剥離させるための手段を備えたセレン感光体の製造装
置に関する。
セレン又はセレン−テルル合金などを真空中で蒸着する
際に、真空蒸着釜の内壁面に多くのセレン又はセレン−
テルル合金が付着する。
際に、真空蒸着釜の内壁面に多くのセレン又はセレン−
テルル合金が付着する。
これらは、蒸着を重ねるに従って内壁面上に厚く付着し
、５〜１０ｃｍにも達することがある。
、５〜１０ｃｍにも達することがある。
そして、これらは蒸着中における温度サイクルにより表
面に割れ目などが入り、蒸着中に又はその前後にセレン
粉末などの塵の飛散の原因となり、これがセレン感光体
の外観を著しく損っていた。
面に割れ目などが入り、蒸着中に又はその前後にセレン
粉末などの塵の飛散の原因となり、これがセレン感光体
の外観を著しく損っていた。
このため、従来では、蒸着釜の内壁面に付着したセレン
又はその合金などを金槌などを用いて定期的にたたき落
すような作業を行い、セレン又はその合金の回収をして
いた。
又はその合金などを金槌などを用いて定期的にたたき落
すような作業を行い、セレン又はその合金の回収をして
いた。
また、この際に塵が出ないように釜の内壁を入念に掃除
していた。
していた。
このような作業における欠点の一つは、従来の金槌など
で剥離する方法では重労働であり、１回の作業時間も８
時間以上を要することである。
で剥離する方法では重労働であり、１回の作業時間も８
時間以上を要することである。
他の欠点は、金槌などで剥離する方法ではセレン表面を
たたくためにセレン微粉末が飛散し、したがって掃除後
に微粉末の舞い散りを抑える目的で２〜３回の空運転を
行なわねばならないことである。
たたくためにセレン微粉末が飛散し、したがって掃除後
に微粉末の舞い散りを抑える目的で２〜３回の空運転を
行なわねばならないことである。
本考案は、上述の欠点を除去するとともに、セレン又は
その合金の微粉の舞い散りを極端に抑えながら、真空蒸
着釜の内壁面に付着したセレン又はセレン−テルル合金
を短時間で容易に剥離させ、回収するのを可能ならしめ
るセレン感光体の製造装置を提供することである。
その合金の微粉の舞い散りを極端に抑えながら、真空蒸
着釜の内壁面に付着したセレン又はセレン−テルル合金
を短時間で容易に剥離させ、回収するのを可能ならしめ
るセレン感光体の製造装置を提供することである。
本考案者は、上述の目的を遠戚するために研究を重ねた
結果、真空蒸着釜の内壁面に付着したセレン又はセレン
−テルル合金などの層に強制的な熱膨張及び収縮を交互
に加えるならば、該層が内壁面から容易に剥離すること
を期せずして見出した。
結果、真空蒸着釜の内壁面に付着したセレン又はセレン
−テルル合金などの層に強制的な熱膨張及び収縮を交互
に加えるならば、該層が内壁面から容易に剥離すること
を期せずして見出した。
さらに、このような熱膨張及び熱収縮を反復することに
よる剥離では、剥離時間が従来の方法と比較して相当に
短縮できるととともに、作業も容易であり、しかも塵の
飛散が極めて少ないために製造されるセレン感光体の外
観特性も著しく向上することがわかった。
よる剥離では、剥離時間が従来の方法と比較して相当に
短縮できるととともに、作業も容易であり、しかも塵の
飛散が極めて少ないために製造されるセレン感光体の外
観特性も著しく向上することがわかった。
したがって、本考案に従えば、真空蒸着釜よりなるセレ
ン感光体の製造装置において、釜の内壁面に付着したセ
レン又はその合金の層が強制的熱膨張及び収縮により内
壁面から剥離するように、釜の温度を上下させるための
加温及び冷却手段を設けたことを特徴とするセレン感光
体の製造装置が提供される。
ン感光体の製造装置において、釜の内壁面に付着したセ
レン又はその合金の層が強制的熱膨張及び収縮により内
壁面から剥離するように、釜の温度を上下させるための
加温及び冷却手段を設けたことを特徴とするセレン感光
体の製造装置が提供される。
本考案における釜の加温及び冷却手段は、真空蒸着釜を
好ましくは外部から交互に加温及び冷却できるようなも
のであってよい。
好ましくは外部から交互に加温及び冷却できるようなも
のであってよい。
例えば、加熱又は冷却用媒体が通人するパイプ、ジャケ
ットなどを真空蒸着釜の外部に巻いたものがあげられる
。
ットなどを真空蒸着釜の外部に巻いたものがあげられる
。
加熱又は冷却用媒体は水又はその他の流体であってよい
。
。
通常、加熱用媒体と冷却用媒体とは、同一のパイプ又は
ジャケット内を交互に流れるように通人させて釜の温度
を上下させるようにさせる。
ジャケット内を交互に流れるように通人させて釜の温度
を上下させるようにさせる。
このような加温−冷却サイクルにより、内壁面上のセレ
ン又はその合金の層は強制的に熱膨張及び熱収縮を交互
に受けてついには剥離するに至る。
ン又はその合金の層は強制的に熱膨張及び熱収縮を交互
に受けてついには剥離するに至る。
本考案に従う加温−冷却サイクルにおいて、加温部分の
温度は例えば１０〜５０°Ｃ程度、そして冷却部分は例
えば５０〜１１０°Ｃ程度あってよい。
温度は例えば１０〜５０°Ｃ程度、そして冷却部分は例
えば５０〜１１０°Ｃ程度あってよい。
もちろん、必要に応じて、このような範囲外の温度を用
いることができる。
いることができる。
また、各サイクル時間は例えば２０〜５紛間の間であっ
てよい。
てよい。
本考案の真空蒸着釜の加熱冷却媒体として水を用いる場
合の加温及び冷却手段の一具体例を備えたセレン感光体
の製造装置の一例を第１図に概略的に示す。
合の加温及び冷却手段の一具体例を備えたセレン感光体
の製造装置の一例を第１図に概略的に示す。
第１図を参照するに、真空蒸着釜１に加温又は冷却用の
水が挿入されるパイプ２が巻き付けられている。
水が挿入されるパイプ２が巻き付けられている。
パイプ２は、冷水槽３及び温水槽４に各種のバルブを介
して配管されている。
して配管されている。
この場合の冷水槽３の水の温度は、１５〜３０°Ｃに、
そして温水槽４は６０〜９５°Ｃにそれぞれ設定される
。
そして温水槽４は６０〜９５°Ｃにそれぞれ設定される
。
内壁面に付着したセレンを剥離回収しようとするときに
は、バルブ５〜８を開閉することにより温水及び冷水を
交互に流入させる。
は、バルブ５〜８を開閉することにより温水及び冷水を
交互に流入させる。
この場合には、例えば、温水通人３紛間、また冷水通人
３紛間のサイクルを行なうのが良い。
３紛間のサイクルを行なうのが良い。
サイクルの必要時間は釜内を観察することにより決定で
きる。
きる。
このような強制的加温−冷却サイクルの適用により付着
セレン又はその合金の層は熱膨張及び熱収縮サイクルを
受けて内壁面から容易に剥離される。
セレン又はその合金の層は熱膨張及び熱収縮サイクルを
受けて内壁面から容易に剥離される。
また、本考案においては、釜の加温冷却は、加温冷却媒
体として空気などの気体を用い、これを釜に噴射するこ
とによって行なうこともできる。
体として空気などの気体を用い、これを釜に噴射するこ
とによって行なうこともできる。
本考案の装置では、付着セレン層の剥離時間が半減し、
剥離作業においても従来の重労働が相当に軽減され、さ
らには塵の飛散が極めて少ないので感光体の外観特性も
著しく向上した。
剥離作業においても従来の重労働が相当に軽減され、さ
らには塵の飛散が極めて少ないので感光体の外観特性も
著しく向上した。
本考案の装置は、セレン又はセレン−テルル合金の蒸着
と関連して特に説明したが、セレンを含有する二元以上
の合金又は混合物の蒸着にも適用できることはもちろん
である。
と関連して特に説明したが、セレンを含有する二元以上
の合金又は混合物の蒸着にも適用できることはもちろん
である。
図は、本考案のセレン感光体の製造装置の一具体例を示
す概略図である。 ここで、１は真空蒸着釜、２は加温冷却用パイプ、３は
冷水層、４は温水槽、５〜８はバルブである。
す概略図である。 ここで、１は真空蒸着釜、２は加温冷却用パイプ、３は
冷水層、４は温水槽、５〜８はバルブである。
Claims (1)
- 真空蒸着釜よりなるセレン感光体の製造装置において、
真空蒸着釜の内壁面に付着したセレン又はその合金の層
が強制的熱膨張及び収縮により内壁面から剥離するよう
に、釜の温度を上下させる°ための加温及び冷却手段を
設けたことを特徴とするセレン感光体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4670880U JPS6020957Y2 (ja) | 1980-04-07 | 1980-04-07 | セレン感光体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4670880U JPS6020957Y2 (ja) | 1980-04-07 | 1980-04-07 | セレン感光体の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56149443U JPS56149443U (ja) | 1981-11-10 |
| JPS6020957Y2 true JPS6020957Y2 (ja) | 1985-06-22 |
Family
ID=29641725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4670880U Expired JPS6020957Y2 (ja) | 1980-04-07 | 1980-04-07 | セレン感光体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020957Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0248421Y2 (ja) * | 1985-04-19 | 1990-12-19 |
-
1980
- 1980-04-07 JP JP4670880U patent/JPS6020957Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56149443U (ja) | 1981-11-10 |
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