JPS60213022A - 縦型支持具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く技術分野〉 本発明は、半導体ウェーハ又はその類似物を支持するた
めの縦型支持具に関する。

く背景技術〉 当業者には周知の如く、半導体ウェーハの拡散処理にお
いては、複数枚の半導体ウェーハを支持具上に載置して
拡散炉内に収容している。この拡散炉としては、実質上
水平に延びる構製拡散炉がこれまで一般に使用されてき
たが、特に近時においては、尖質上鉛亘に延びる縦型拡
散炉も開発され、これに伴なって半導体ウェーハを支持
する支持具も所謂縦型のものが使用されるようになって
きた。この糧の支持具は、（ａ）拡散処理される半導体
９エーハに、異物の付着乃至拡散等の悪影響を与えない
ように、半導体ウェーハと実質上回−或いは半導体ウェ
ーハと実質上反応しない材料から形成されていること、
（ｂ）拡散炉内ＶＣＴｃｌｌ、Ｑ度に副える高耐熱性を
有すること、（Ｃ）拡散処理後支持具は洗浄されて再使
用されるが、この洗浄処理の際に洗浄液によって容易Ｖ
Ｃ変質乃ヱ溶融しないこと、等の要件を満たすものであ
ることが重要である。

かよりな要件に鑑み、上記支持具は、一般に、シリコン
或いは石英ガラスから形成されている。

しか１．て、従来の支持具は、シリコン製の場合には、
シリコンが硬く且つ脆くしかも融着が不可能である故に
、シリコンブロック素材に切断及び溝の創設等の比較的
簡単な機械加工を加えて単一片から、或いは機械加工を
施した複数個の部品を組合せて製作していた。一方、石
英ガラスの場合には、部品と部品との融着が可能である
故に、一般に、複数個の部品を融着しニ一体にせしめて
製作していた。

然るに、従来のクリコン又は石英ガラス製の支持具には
、次の通りの解決すべき問題が存在する。

特に、シリコン製支持具の場合には、第１に、７リコン
自体が相当高価な栃料でおる故に、製作コストが高くな
る。第２に、シリコンが硬く且つ脆い性質を有する故に
、衝撃等が加わるとこわれるおそれがあシ、特に半導体
ウェーハを保持した状態でこわれると保持したウェーハ
が落下１７て破損する。他方、石英ガラス製支持具の場
合には、まず、融着による一体物である故に、拡散炉内
にて高温に晒されると融着部位が軟化し″Ｃ涙形するお
れがあシ、変形すると半導体ウェーハを所要の通シに保
持することが困難となる。更ＶＣ，石英ガラスは拡散処
理後の洗浄処理において洗浄液（一般に、洗浄液として
７ツ酸が使用されている）によって若干変質乃至？！￥
融し、それ故に半導体ウェーハを保持溝によシ保持する
構成のものにあっては洗浄処理時に上記保持溝の間隔が
若干大きくなり、長期間使用１．ていると半導体ウェー
ハを所要の通シに保持することが困難となシ、全体とし
て使用不能になる。

そこで、上述１７た不都合を解消するために、半導体ウ
ェーハを保持する保持溝が刻設されている部材をシリコ
ンから形成し、その他の部材を石英ガラスから形成１．
て両者を固定するようにして上記支持具を製作すること
も考えられる。しかし、かかる場合には、拡散炉内への
収容及びこれからの取出ｔ、ｒｃよってかなり大きな温
度変化に晒される故に、シリコンと石英ガラスの熱膨張
率の差（シリコンよりも石英ガラスの方が熱膨張率が小
さい）に起因して、両者の固定部が熱応力によって局部
的に損傷するおそれがある。

〈発明の目的〉 本発明の主目的は、温度変化による損傷等を防止して長
期間安定して使用することができ、更に製作コストも安
価である、改良された縦型支持具を提供することである
。

本発明の他の目的は、局部的に損傷した場合には一部の
部品を交換することによって使用を続けることができる
、改良された縦型支持具を提供することである。

〈発明の概要〉 本発明によれば、上述１７た目的を達成するために、間
隔を置いて配設された２個の端部桐と該端部材間に固定
された複数本の連結ロッドとを含む支持具本体と、半導
体クエーハ又はそのｂｍ物を支持するための支持手段と
を具備し、 該支持手段の片側が片方の該端部材に着脱自在に支持さ
れ、その他側は上下方向に変位自在である、ことを特９
とする縦型支持具が提供される。

〈発明の好適具体例〉 以下、添付図面を参照して、本発明に従って構成された
縦型支持具の具体例について説明する。

まず、第１図乃至第７図を参照して、縦型支持具の第１
の具体例について説明する。主として第１図及び第４図
を参照１．て、図示の縦型支持具は石英ガクス製の支持
具本体２と半導体ウェーハ又はその類似物を支持するた
めのシリコン製の支持手段４とを具備１．ている。

支持具本体２は、上下方向に間隔を置いて配設され九２
個の端部１’５ａ及び６ｂと、この端部材６ａ及び６ｂ
間に固定された複数本（具体例では４本）の連結ロッド
８ａ、８ｂ、８ｃ及び８ｄ’ｔ−含んでいる。端部拐６
８及び６ｂの各々は、適宜の形状でよいが、図示の具体
例では、第°２図乃至第４図から明らかな如く、その外
形が円形状に形成されている。端部＠６ａ及び６ｂの各
々は、石英ガラスから形成された複数本のロッド状部材
を融着することによって形成されておｐ、環状ロッド部
１０と、この環状ロッド部１０の内側を間隔を置いて互
いに実質上平行に所定方向に延び且つその両端が環状ロ
ッド部１０に融着されている２本のロッド部１２及び１
４と、この環状ロッド部ｌＯの内側を間隔を置いて相互
に実質上平行に上記所定方向に対して実質上垂直な方向
に延び且つその両端が環状ロッド部１０に融着されてい
る３本のロッド部１６．１８及び２０と、ロッド部１８
及び２０の両端部間を上記所定方向ＩＩ（延びその両端
がロッド部１８及び２０に融着されている短ロツド部２
２及び２４と、を有している。かくの通シであるので、
図示の端部材６ａ及び６ｂの各々は、格子状に構成され
ている。連結ロッド８ａ。

８ｂ、８ｃ及び８ｄの各々も石英ガラスから形成された
ロッド状部材から構成され、各々のロッド８ａ、ｓｂ、
Ｂｃ及び８ｄの一端（上端）が上側に位置する端部材６
ａの環状ロッド部１０１ｃ融着され、それらの各々の他
端（下端）が下側に位置する端部材６ｂの環状ロッド部
ｌＯに融着されている。この連結ロッド８ａ、８ｂ、８
ｃ及び８ｄは、相互に実質上平行に上下方向に延びてい
る。

上述した端部材６ａのほぼ中央部には、懸架手段２６が
設けられている。図示の懸架手段２６は略Ｕ字状の懸架
部を有する一対の石英ガラス製の懸架部材２８から構成
され、この懸架部材２８の各々の一端が端部材６ａのロ
ッド部１２及び１４に融着嘔れている。この一対の懸架
部材２８間には、補助ロッド部材３０が融着されている
、次に、支持手段１ｃついて説明すると、図示の支持手
段４は３本の保持ロッド３２ａ、３２ｂ及び３４ｃを含
んでいる。シリコンから形成された３本の保持ロッド３
２ａ、３２ｂ及び３２ｃは、円形、多角形等の適宜の横
断面形状を有するものでよいが、製作の容易性等の見地
から見て、短形特に図示する如く正方形の横断面形状を
有するものであるのが好ましい。保持ロッド３２ａ、３
２ｂ及び３２ｃの各々の一端部ＩＣは係止切欠きが形成
され、それらの各々の他端には案内切欠きが形成されて
いる。ＩＩＪ１図と共に第４図及び第５図を参照して説
明すると、保持ロッド３２ａの一端部（上端部）には、
対角線方向に対向する２個の角部、即ち第１図及び第４
図において紙面に垂直な方向両側に位置する２個の角部
に、角部を切欠いて対角線に実質上垂直な平面にせしめ
た２個の係止切欠き３４ａが形成されている（第５図も
参照嘔れたい）。また、保持ロッド３２ａの他端（下端
）にも、対角線方向に対向する２個の角部、即ち上記係
止切欠き３４ａが形成された２個の角部に、角部を切欠
いて対角線に実質上垂直な平面にせしめた２個の案内切
欠き３６ａが形成されている（第４図において片方のみ
示す）。また、保持ロッド３２ｂ及び３２ｃの各々の一
端部には、対角線方向に対向する２個の角部、即ち、第
１図及び第４図において左右方向両側に位置する２個の
角部に、角部を切欠いて保止切欠き３４ａと実質上同様
の係止切欠き３４ｂ及び３４ｃが形成され、それらの各
々の他端には、対角線方向に対向する２個の角部、即ち
上記係止切欠き３４ｂ及び３４ｃが形成された２個の角
部に、角部を切欠いて案内切欠き３６ａと実質上同様の
案内・切欠き３６ｂ及び３６ｃが形成されている。この
保持ロッド３２ａ　、３２ｂ及び３２ｃの各々には、更
に、その主部に長苧方向に間隔を置いてＶ数個の保持溝
３８が形成されている（保持ロッド３２ｂに形成された
保持溝は図示していない）。第１図及び第４図から理解
される如く、各保持ロッド３２ａ。

３２ｂ及び３２ｃにおいては、支持具本体２に組伺けら
れた状態において内側に位置する角！ＩＳ（即ち、第１
図及び第４図において、保持ロッド３２ａにおいては右
側に位置する角部、保持ロッド３２ｂにおいては紙面に
垂厘な方向後側に位置する角部、保持ロッド３２ｃｌＣ
おいては紙面に垂厘な方向前側に位置する角部）に保持
溝３８が刻設されている。具体例においては、１１図か
ら容易に理解される如く、３本の保持ロッド３２ａ、３
２ｂ及び３２ｃを支持具本体２に組付けた時に、保持ロ
ッド３２ｂの保持溝３８と保持ロッド３２ｃの保持＃１
３８とが横方向に整合して位置し、保持ロッド３２ａの
保持溝３８が保持ロッド３２ｂ及び３２ｃの保持ＷＩＩ
３８より上下本向若干下方に位置するようになっている
。これに代えて、支持具本体２に組付けられた時に、保
持ロッド３２ａの保持＄３８、保持ロッド３２ｂの保持
ＷＩＩ３８及び保持ロッド３２ｃの保持＃１３８が夫々
横方向に整合するように構成してもよい。１（かかる場
合ＩＣハ、後の記載から容易に理解される如（、半導体
ウェーハ又はその類似ｖｌＪＦｉ実質上水平に保持され
る）上述１．九通りの３本の保持ロッド３２ａ　ｍ　３
２ｂ及び３２ｃは、第１図及び第４図から明らかな如く
、保持ロッド３２ａが矢印４０（第１図）で示す牛導体
りエーハ又はその類似物の装置方向に見て他の保持ロッ
ド３２ｂ及び３２ｃよりも後方に位置するように、支持
具本体２に着脱自在に組付けられる。

次いで、主として第２図乃至第４図と共に第６図を参照
１．て、上記保持ロッド３２ａ　、３２ｂ及び３２ｃの
支持具本体２への組付様式について説明する。保持ロッ
ド３２ａの両端部は端部材６ａ及び６ｂに着脱自在に装
着される第１のホルダを介して支持具本体２に組付けら
れる。第６−Ａ図を参照して、図示の第１のホルダ４２
は、シリコンから形成された略矩形状のホルダ部材４４
から構成され、このホルダ部材４４の長手方向略中央部
には内側に延びる中央切欠き４６が形成されている。こ
の中央切欠き４６０幅は、保持ロッド３２ａの係止切欠
き３４ａが形成された部分の幅、即ち２個の係止切欠き
３４ｃ間の残留厚さｒ＋　（第５図）と、案内切欠き３
６ａが形成された部分の幅、即ち２個の係止切欠き３６
ｃ間の残留厚さと実質上回−又はそれらより若干大きい
。このホルダ部材４４の上面の横方向略中火部には、上
記中央切欠き４６に対して実質上垂直に延びてこの中央
切欠き４６と交差するチャンネル４８が形成されておシ
、チャンネル４８の底面４８ａは保持ロッド３２ａの一
端部を支持するための肩部を規定する。

また、このホルダ部材４４の底面中央部には、略矩形状
の突起５０が設けられている。上記保持ロッド３２ａは
、次の通りにして支持具本体２に組付けられる。即ち、
まずホルダ部材４４を端部材６ｂの環状ロッド部ｌＯ並
びにロッド部１２．１４及び１６によって規定される空
間部に上方から装着する。かく装着すると、第３図に示
す如（、ホルダ部材４４の底面周縁部が上記環状ロッド
部１０並びにロッド部１２．１４及び１６上に載置され
。

ホルダ部材４４の突起５０が上記空間内に位置付けられ
、かくてホルダ部材４４は所要の通りに着脱自在に組伺
けられる。次いで、保持ロッド３２ａの一端部を端部材
６ａの環状ロッド部ｌＯ並びにロッド部１２，１４及び
１６によって規定される空間を通ｌ、て上方に突出させ
、その一端部に形成された係止切欠き３４ａに他方のホ
ルダ部材４４の中央切欠き４６を位［イ＝Ｊけ、しかる
後に保持ロッド３２ａの他端を端部４ｔｔｉｂに装着さ
れたホルダ部材４４の中央切欠き４６とチャンネル４８
の交差部に位置付けて上方のホルダ部材４４ｔ一端部材
６ａの上記空間部に上方から装着する。かく装着すると
、第２図に示す如く、ホルダ部材４４の底面周縁部が上
記端部材６ａの環状ロッド部１０並びにロッド部１２，
１４及び１６上に載置され、ホルダ部材４４の突起５０
が上記空間内に位置付けられ、かくして他方のホルダ部
材４４も所要の通りに着脱自在に組付けられる。更に、
かく装着すると、保持ロッド３２ａの一端部においては
、係止切欠き３４ａが形成された切欠き部は、第７−Ａ
図に示す如く、係止切欠き３４＆がホルダ部材４４の中
央切欠き４６の側面に対向するようにその中央切欠き４
６内に位置付けられ、上記切欠き部に隣接Ｉ２てそのす
ぐ外側に存在する非切欠き部は、第７−８図に示す如く
、その係止切欠き３４ａに隣接してその外側圧存在する
角部がチャンネル４８内に位置するようにチャンネル４
８と中央切欠き４６の交差部に位置付けられる。そして
、上部非切欠き部の係止切欠き３４ａに隣接１２てその
外側に存在する角部が、チャンネル４８の底面４８ａに
よって規定された肩部上に載置される。

かくして、第７−Ａ図及び第７−Ｂ図から理解される如
く、保持ロッド３２ａの一端部は、チャンネル４８の肩
部によって下方への落下が阻止され、チャンネル４８と
中央切欠ｆ！４６により規定される角部によって横方向
への移動が阻止され、充分安定して上側に位置するホル
ダ部材４４に着脱自在に支持される。また、保持ロッド
３２ａの他端部においては、案内切欠き３６ａが形成式
れた切欠き部は、案内切欠き３６ａが、端部材６ｂに装
着されたホルダ部材４４の中央切欠き４６の側面に対向
するようにその他端が中央切欠き４６内に位置付けられ
、上記切欠き部に隣接してそのすぐ内側に存在する非切
欠き部は−１その案内切欠き３６ａに隣接してその内側
に存在する角部がチャンネル４８内に位置するようにそ
の端部がチャンネル４８と中央切欠き４６の交差部に位
ｆｆ１ｆ刊けられる（詳しくは、第１図から理解される
如く、上記交差部の下部には上記切欠き部の上部が位置
付けられ、上記交差部の上部には上配非切欠き部の下端
部が位置付けられる）。かくの通りであるので、保持ロ
ッド３２ａの他端部は、その一端部と略同様にして、チ
ャンネル４８と中央切欠き４６により規定される角部に
よって横方向への移動が阻止され、下側に位置するホル
ダ部材４４に対して上下方向に変位自在にこのホルダ部
材４４に着脱自在に保持される。

また、保持ロッド３２ｂの両端部は、端部材６ａ及び６
ｂに着脱自在に装着される第２のホルダを介して支持具
本体２に組付けられる。第６−Ｂ図を参照して、図示の
第２のホルダ５２はシリコンから形成された略矩形状の
ホルダ部材５４がら構成され、このホルダ部材５４の長
手方向略中央部には内側に延びる中央切欠き５６が形成
され工いる。この中央切欠き５６０幅は保持ロッド３２
ｂの係止切欠き３４ｂが形成された部分の幅と案内切欠
き３６ｂが形成された部分の幅と実質上回−又はそれら
よシ若千太きい。このホルダ部材５４の一角部は矩形状
に切欠かれ、その上面の横力内絡中央部には、上記中央
切欠き５６に対１．て実質上垂直に延びてこの中央切欠
き５６と交差するチャンネル５Ｂが形成されている。こ
のチャンネル５８の底面５８ａは保持ロッド３２ｂの一
端部を支持するための肩部を規定する。１九、ホルダ部
材５４の底面中央部には、略矩形状の突起６０が設けら
れている。保持ロッド３２ｂは、次の通りに１７て支持
具本体２に組付けられる。即ち、まずホルダ部材５４を
端部材６ｂ・の環状ロッド部１０゜ロッド部１８及び２
０、並びに短ロツド部２２によって規定される空間部に
上方から装着する。かく装着すると、第３図に示す如く
、第１のホルダ４２と同様Ｋ、ホルダ部材５４の突起６
０が上記空間内に位置付けられ、ホルダ部材５４は所要
の通りに着脱自在に組付けられる。次いで、保持ロッド
３２ｂの一端部を端部材６ｂの環状ロッド部ｌＯ、ロッ
ド部１８及び２０、並びに短ロツド部２２によシ規定さ
れる空間を通して上方に突出させ、その一端部に形成さ
れた係止切欠き３４ｂに他方のホルダ部材５４の中央切
欠き４６を位４付け、しかる後に保持ロッド３２ｂの他
端を端部材６ｂに装着されたホルダ部材５４の中央切欠
き５６とチャンネル５８の交差部に位置伺けて上記ホル
ダ部材５４を端部材６ａの上記空間部に上方から装着す
る。かく装着すると、第２図に示す如く、第１のホルダ
４２と同様に、他方のホルダ部材５４の突起６０が端部
材６ａの上記空間内に位置付けられ、このホルダ部材５
４も所要の通りＫｉ脱自在に組付けられる。更にかく装
着すると、保持ロッド３２ｂの一端部においては、保持
ロンド３２ａの一端部と同様罠、係止切欠き３４ｂが形
成された切欠き部はホルダ部材５４の中央切欠き５６内
に位置付けられ、上記切欠き部に隣接してそのすぐ外側
に存在する非切欠き部はチャンネル５８と中央切欠き４
６０交差部に位置付けられ、そして上記非切欠き部の保
止切欠き３４ｂＫ隣接１、てその外側に存在する角部は
チャンネル５８の底面５８ａＫよって規定された肩部に
載置式れる。か＜１．て、保持ロッド３２ｂの一端部は
、チャンネル５８の肩部によって下方への落下が阻止さ
れ、チャンネル５８と中央切欠き５６によシ規定される
角部によって横方向への移動が阻止され、充分安定して
よ側圧位置するホルダ部材５４に着脱自在に支持されろ
。また保持ロッド３２ｂの他端部においては保持ロッド
３２ａの他端部と同様Ｋ。

案内切欠き３６ｂが形成された切欠き部の一部は端部材
６ｂｌＫ装着されたホルダ部材５４の中央切欠き５６内
罠位置付けられ、上記切欠き部の残部及び上記切欠き部
に隣接してそのすぐ内［Ｋ存在する非切欠き部の端部は
チャンネル５８と中央切欠き５６の交差部に位置付けら
れる。かくの通シであるので、保持ロッド３２ｂの他端
部は、チャンネル５８と中央切欠１５６によシ規定され
る角ＶｉＡ＆′Ｃよって横方向への移動が明止され、′
Ｆ側に位置するホルダ部材５４に対して上下方向に変位
自在にこのホルダ部材５４に着脱自在に保持される。

更に、保持ロッド３２ｃの両端部は、１４ｉ部材６ａ及
び６ｂに着脱自在に装着される第３のボルダを介１７て
支持具本体２ＶＣ組付けられる。ｍ６−Ｃ図を参照して
、図示の第３のホルダ６２はシリコンから形成された略
矩形状のホルダ部伺６４から構成されている。このホル
ダ部材６４は上Ｆ５ホルダ部材５４と略同様の構成であ
シ、矩形状に切次がれている個所のみｄＪ１４なる。保
持ロッド３２ｃの組付けは、保持ロッド３２ｂと実質上
同様圧して遂行され、下側に位置するホルダ部材６４は
、端部材６ｂの環状ロッド部１０、ロッド部１８及び２
０、並びに短ロッド部２４により工規定される空間部圧
着脱自在ｉｃ紹付けられ、上側に位置するホルダ部ｖｆ
６４は、端部材６ａの環状ロッド部１０゜ロッド部１Ｂ
及び２０．襲びに短ロッド部２４によって規定される空
間部ＶＣ着脱自在に組付けられる。そして、所要の通シ
Ｖｃ＆着すると、保持ロッド３２ｂと実質上同様に、保
持ロッド３２ｃの一端部においては、係止切欠き３４ｃ
が形成された切欠き部は端部材６ａＶＣＩｋＭされたホ
ルダ６４の中央切欠き６６内に位置付けられ、上記切欠
き部に瞬接１７てそのすぐ外側に存在する非切欠き部は
チャンネル６８と中央切欠き５６の交差部に位置付けら
れ、ぞして上記非切欠き部の係止切欠き３４ｃ［ｌｊｌ
接してその外側に存在する角部はチャンネル６８の底面
６８ａＫよって規定された肩部に載置される。ｔｅ、保
持ロッド３２ｃの他端部においては、案内切欠き３６ｃ
が形成もれた切欠き部の一部は端部＠’６ｂに装着され
たボルダ部材６４の中央切欠き６６内に位置付けられ、
上記切欠き部の残部及び上記切欠き部に接続１．てその
すぐ内側に存在する非切欠き部の端部はチャンネル６８
と中央切欠き６６の交差部に位置付けられる。

かくの通りにし工保持ロッド３２ａ、３２ｂ及び３２ｃ
が支持具本体ＨＣＮ付けられると、第１図から容易に理
解される如く、保持ロッド３２ａ。

３２ｂ及び３２ｃは端部材６ａ及び６ｂｒｌＪ′ｌヲ相
互に実質上平行に上下方向ＶＣ延びる。そｌ−て、第２
図及び第３図から明らかな如く、保持ロッド３２ａは保
持ロッド３２１）及び３２ｃの中間であって半導体ウェ
ーハ又はその類似物の矢印４０（第１図乃至第３図）で
示す装着方向に見て保持ロンド３２ａ及び３２ｂよシも
後方に位置する。更Ｋ、保持ロッド３２ｂＫ形成された
保持溝３８と保持ロッド３２ｃＫ形成された保持溝３８
とが横方同圧整合１．て位置し、保持コンド３２ａＫ形
成された保持溝３８は保持ロッド３２ｂ及び３２ｃの保
持溝３８より上下方向若干下方に位置する。

上記縦型支持具を用いて複数枚の半導体ウェーハを拡散
処理する際には、保持ロッド３２　ａ、３２ｂ及び３２
ｃｌＣ形成されている保持溝３８に半導体ウェーハＰを
挿入する。半導体ウェーハＰを保持する保持溝は、各保
持ロッド３２ａ、３２ｂ及び３２ｃの保持＃ｌｌ３８で
一組の保持溝を構成１２、具体例では保持ロッド３２ｂ
及び３２ｃの保持溝３８と上記保持溝３８よシ上下方向
若干下方に位置する保持ロッド３２ａの保持ＷＩＩ３　
ＢＫより一組の保持溝を構成する。挿入する際には、半
導体ウェーハＰは第１図Ｉ／Ｃおいて矢印４０で示す方
向（詳しくは、第１図ＶＣおいて右上方から左下方に若
干傾斜する方向）Ｋ挿入され、かく挿入されると、第１
図及び第３図に二点鎖線で示す如く、略円板状の各半導
体ウェーハＰの周縁部は、周方向に内隅を置いた３個の
位置で支持される。かかる支持状態においては、各半導
体ウェーハＰは、卯、１図から明らかな如く、その自由
端部（挿入側端部）が上方忙向かって傾斜する状態に保
持され、従って支持具から半導体ウェーハＰが偶発的忙
脱落することが充分に防止される。

次いで、それ自体は公知の懸架器具（図示せず）によつ
１端部材６ａに設けられた懸架手段２６の懸架部を係止
して支持具を吊シ上げ、かかる懸架状態のままで縦型拡
散炉内に収容する。上記拡散炉内においては、半導体ウ
ェーハル６保持する支持具は懸架状態に維持される。

拡散炉内での拡散処理が終了すると、上記支持具は拡散
炉から取出され、しかる後支持具から半導体ウェーハＰ
が取出される。半導体ウェーハＰの取出しはその挿入方
向とは半対方向に移動せ１゜めることＫよって遂行する
ことができる。

拡散処理後の支持具の洗浄処理或いは運搬の際には、必
要に応じて、支持具を支持具本体２と保持ロッド３２ａ
、３２ｂ及び３２ｃとホルダ部材４４．５４及び６４と
に分解することができる。

かかる分解は、上述した組付は手順を逆圧遂行すればよ
い。

上述した第１の具体例の支持具においては、次の通りの
利点が得られる。まず、支持具本体２に支持手段４を構
成する保持ロッド３２ａ、３２ｂ及び３２ｃが着脱自在
に組付けられている故に、大きな熱変化或いは衝撃によ
って破損ｌまた場合にも、破損Ｉ、た部品のみを新しい
部品に交換して使用を続けることができる。また、保持
ロッド３２ａ。

３２ｂ及び３２ｃの一端側が片方の端部材６ａＫ着脱自
在に支持されそれらの各他端側が他方の端部材６ｂＫ着
脱自在に且つ上下方向ＫＫ位自在に保持されている故に
、拡散炉内で高温に晒されても保持ロッド３２ａ、３２
ｂ及び３２ｃと支持具本体２間に熱応力が発生せず、特
に具体例のように保持ロッド３２ａ、３２ｂ及び３２ｃ
と支持具本体２の材質が異なってその熱膨率が異なって
いてもこれによつ工局部的に破損することが防止できる
。また、具体例においては、支持具本体２が石英ガラス
から形成され、保持ロッド３２　ａ、３２ｂ及び３２ｃ
並びにホルダ部材４４．５４及び６４がシリコンから形
成されている故に、比較的高価なシリコンの使用量を少
くすることができ、比較的安価に製作することができる
。また、シリコンから形成された保持ロッド３２ａ、３
２ｂ及び３２Ｃに保持溝３８を形成している故Ｋ、洗浄
処理の際に保持＃１３８の部分が変質乃至溶融してその
幅が拡大せしめられることがなく（シリコンは洗浄液の
主成分であるフン酸とは反応しない）、長期間安定して
使用することができる。更に、衝撃が加わシやすい支持
具本体２が石英ガラスである故に、衝撃に対１７ても強
い支持具を提供することができる。

以上、第１の具体例の縦型支持具につい１説明し九が、
かかる支持具においては、次の如く変形乃至修正するこ
とができる。例えば、図示の具体例においては、支持手
段４を支持具本体２に着脱自在に組付けられる３本の保
持ロッド３２　ａ、３２ｂ及び３２ｃから構成している
が、所望ならば、２本の保持ロンド或いは４本又はそれ
以上の保持ロッドから構成することもできる。また、図
示の具体例では、下側釦位置する端部材６ｂに組付けら
れる各ホルダ部材４４．５４及び６４ＶＣ中央切き４６
．５６及び６６並びにチャンネル４８　、５８及び６８
ｔ−形成１．てこの中央切欠き４６．５６及び６６並び
に中央切欠き４６．５６及び６６とチャンネル４８．５
８及び６８の交差Ｓに保持ロッド３２ａ、３２ｂ及び３
２ｃの他端側を位置付けているが、所望ならば、これに
代えて、ホルダ部材４４．５４及び６４に保持０７ド３
２ａ、３２ｂ及び３２ｃの横断面に対応する貫通孔を設
け、かかる貫通孔内に各保持ロッド３２ａ、３２ｂ及び
３２ｃの他端側を位置付けるようにしてもよい。

かかる場合には、保持ロッド３２ａ、３２ｂ及び３２０
の他端の案内切欠き３６ａ、３６ｂ及び３６を省略する
ことができる。また、図示の具体例では各保持ロッド３
２ａ、３２ｂ及び３２ｃの一端側（上端側）が上側に位
置する端部材６ａｌＣ支持されるように構成１．ている
が、これに代えて、各保持ロッド３２ａ、３２ｂ及び３
２ｃの他端側（下端側）が下側に位置する端部材６ｂＫ
着脱自在に支持され、それらの一端側（上端側）が上方
に位置する端部材６８に上下方向に変位自在に保持され
るようＶＣ構成１．てもよい。かかる場合、例えば、端
部材６ｂｌＣ装着されるホルダ部材４４ａ。

５４ａ及び６４ａＫ保持ロッド３２ａ、３２ｂ及び３２
ｃの他端が位置付けられる凹所を形成し、他方端部材６
ａＫ装着されるホルダ部材４４．５４及び６４に保持０
７ド３２ａ、３２ｂ及び３２ｃの横断面形状に対応する
貫通孔を形成すればよい（このとき、各保持ロッド３２
ａ　、３２ｂ及び３２Ｃの一端側の係止切欠き３４ａ、
３４ｂ及び３４ｃは省略することができる）。また、図
示の具体例ＶＣおいては、端部材６ａ及び６ｂｔ−略格
子状に構成し、この格子状の空間部にホルダ部材４４．
５４及び６４を着脱自在に組付けているが、これに代え
て、端部材を円形等の適宜の形状の板状ＶＣ＠成し、か
かる板状の端部材に適宜の切欠き、凹所尋を形成１．″
ＣＣ保持ランド３２ａ、３２ｂび３２Ｃ図示の具体例に
おいては、保持ロッド３２　ｇ＋３２ｂ及び３２ａ並び
にホルダ部材４４，５４及び６４をシリコンから形成し
ているが、これに代えて、保持ロッド３２ａ、３２ｂ及
び３２ｃとボルダ部材４４．５４及び６４の双方又は片
方を石英ガラス或いはシリコンカーバイドから形成ｌ、
てもよい。

次いで、第８図及び第９図を参照して、本発明に従って
構成はれた縦型支持具の第２の具体例について説明する
。第２の具体例ＶＣおいては、保持ロッドの一端側のみ
がホルダ部材を介１．て支持具本体に組句けられている
。以下の説明においては、第１の具体例と同一の部材は
同一の参照番号を付す。

第８図及び第９図を＃揺して、図示の縦型支持具は石英
ガラス製の支持具本体２′と３本の保持ロッド３２ａ’
３２ｂ’及び３２Ｃ′から構成された支持手段４′を具
備している。支持具本体２′は２個の端部材６ａ及び６
ｂと、この端部材６ａ及び６ｂ間に固定された複数本（
具体例では４本）の連結ロッド８ａ、８ｂ、８ｃ及び８
ｄを含んでいる。端部材６ａ及び６ｂは適宜の形状でよ
いが、第２の具体例では円板状に形成烙れている。上側
に位置する端部材５ａｌＣは、周縁部の周方向に間隔を
置いた３個所に正方形の貫通孔８０ａ、８０ｂ及び８０
ｃが形成され、その上面の各貫通孔８０ａ。

８０ｂ及び８０ｃの開口部には矩形状の凹所８２ａ。

８２ｂ及び８２ｃが形成されている。この端部材６ａの
上面略中央部には略Ｕ字状の懸架部を有する懸架部材２
８から成る懸架手段２６が固定されている。また、下側
に位置する端部材６ｂにも、周縁部の周方向に間隔を置
いた３個所に正方形の貫通孔８４　ａ　、　８４　ｂ及
び８４ｃが形成されている。支持具本体２′のその他の
構成については、第１の具体例の支持具本体と実質上同
一である。

シリコンから形成された３本の保持ロッド３２ａＺ３２
ｂ′及び３２Ｃ′の各々は実質上同一の構成であシ、具
体例では正方形の横断面形状を有１２ている。

この保持ｏ７ド３２＆’＃３２ｂ’及び３２Ｃ′の断面
形状は端部材６ａＶＣ形成された貫通孔８０　ａ　、８
０ｂ及び８０ｃの断面形状と端部材６ｂＶＣ形成された
貫通孔８４ａ、８４ｂ及び８４ｃの断面形状とに対応し
、これらの断面形状と実質上向−又はこれらの断面形状
より若干小さい。この各保持ロッド３２ａ’、３２ｂ’
及び３２ｃ′の一端部（は段部８６ａ、８６ｂ及び８６
ｃが形成され、この段部８６ａ。

８６ｂ及び８６ｃは横断面形状が正方形で、保持ロッド
３２ａ’、３２ｂ’及び３２ｃ′の中間部（主部）［４
細くなっている。この各保持ロッド３２　Ｂ’１３２ｂ
′及び３２　ｃ’には、その−角！Ｒ１Ｖｃ長苧方向長
間方向置いて保持婢３８が形成されている（保持ロッド
３’ｌｂＫ形成された保持溝は図示せず）Ｃ次いで、上
記保持ロッド３２　ａ’ｌ　３２　ｂ’及び３２Ｃ′σ
）支持具本体２′への組付様式について駅明する。

保持ロッド３２ａ’、　３２　ｂ’及び３２Ｃ′は、端
部材６ａｖＣ９Ｉｌ脱自在に装着されるシリコンから形
成烙れたホルダ８８を介１７て支持具本体２に組付けら
れる。ボルダ８８は２個のブロック状のホルダ部材９０
から構成されている。各ホルダ部材９０は実質上同一の
構成であり、第９図に示す如く、その−側面に７字状の
切欠き９２が形成されている。

このホルダ部材９０の厚さは各保持ロッド３２ａ’。

３２ｂ′及び３２ｃ′に形成された段部８６ａ、８６ｂ
及び８６ｃの幅に対応している。そして、切欠き９２が
対向するように第９図に示す如く２個のホルダ部材９０
を組合せすると、２個の切欠１！９２によって規定され
る開口の断面形状は、各保持ロッド３２ａ’、３２ｂ’
及び３２Ｃ′の段！Ｂ８６ａ、８６ｂ及び８６ｃの横断
面形状に対応し、２個ホルダ部材９０から成るホルダ８
８の外形が端部材６ａの凹所８２ａ、８２ｂ及び８２ｃ
の横断面形状に対応する。保持ロッド３２ａ′は、次の
通りにして支持具本体２′に組付けられる。即ち、まず
保持ロッド３２ａ′の段部８６ａに一対のホルダ部材９
０を第９図に示す如くして位置付け、次いで保持ロッド
３２ａ′の他端側を上方から端部材６ａの貫通孔８０ａ
を通し、更にその他端部を端部材６ｂの貫通孔８４ａ内
に挿入し、しかる後にホルダ部材９０を端部材６ａの凹
所８２ａ内に位置付ける。

かくすると、一対のホルダ部材９０から成るホルダ８８
は凹部８２ａの底面上ＶＣ＠置され、その横方向の移動
は凹所８２ａの側面によって阻止され、ホルダ８８は所
要の通シに端部材６ａｌＣ着脱自在に組付けられる。更
に、かくすると、保持ロッド３２ａ′の一端側において
は、段部８６ａＫホルダ部材９０が位Ｂ＋ｊけられてい
る故に、段部８６ａに隣接してそのすぐ外側に存在する
部分の周縁部がホルダ部材９００段部に載置されて下方
への落下が阻止され、切欠き９２を規定する面によって
横方向への移動が阻止され、ホルダ８８を介ｌ、て充分
安定に端部材６ａＫ着脱自在に支持される。

また、保持ロッド３２ａの他端側においては、その他端
部が端部材６ｂの貫通孔８４ａ内に位置する故に１貫通
孔８４ａを規定する側面によってその横方向の移動が阻
止され、端部材６ｂＫ対Ｉ２て上下方向に変位自在に且
つ着脱自在に保持される。

保持ロッド３２ｂ′及び３２０′も保持ロッド３２ａ′
と同様にして支持具本体２’［着脱自在に組付けられる
。即ち、保持ロッド３２ｂ′は、一端側か凹所８２ｂに
装着されるホルダ８８を介して端部材６ａＫ着脱自在に
組付けられ、他端側か端部材６ｂの貫通孔８４ｂ内に上
ド方向に変位自在に保持され、また保持ロッド３２０′
も、一端側が凹所８２ＣＶｃ装着されるホルダ８８を介
し１端部材６ａに着脱自在に組付けられ、他端側か端部
材６ｂの貫通孔８４ｃ内に上下方向に変位自在に保持さ
れる。

かくの通＃）Ｋして保持ロッド３２　ａ’　＋　３２　
ｂ’及び３２ｃ′が支持具本体２′に組付けられると、
第８図及び第９図から容易に理解される如く、保持ロア
）”３２ａ’、３２ｂ’及び３２ｃ′の角部に形成きれ
た保持溝３８は支持具の内側に位置し、保持ロッド３２
８′は矢印９４（第８図）で示す半導体ウェーハ又はそ
の類似物の装着方向に見て他の保持ロッド３２ｂ′及び
３２０′よシも後方でしかもこの保持ロッド３２ｂ′及
び３２０′の中間に位置する。更に、保持口７ド３２”
５３２ｂ’及び３２０′は端部材６ａ及び６ｂを相互に
実質上平行に上下方向に延び、保持ロッド３２ｂ′の保
持溝３８と保持ロッド３２ｃ′の保持溝３８とが横方向
に整合して位置し、保持ロッド３２８′の保持＃１Ｊ３
８は保持ロッド３２ｂ′及び３２０′の保持溝３８より
上下方向若干下方に位置する。

上記支持具Ｔ／Ｃオいても半導体ウェーハＰは矢印９４
で示す方向（詳しくは第８図において右上方から左下方
に若干傾斜する方向）ＩＩＣ挿入され、かく挿入される
と、第８図に二点鎖線で示す如く、半導体ウェーハＰは
周縁部の周方向に内隅を置いた３個の位置が各保持ロッ
ド３２ａ’、３２ｂ’及び３２０′の保持溝３８内に支
持され工その自由端部が上方に向かって佃斜する状態に
保持される。かくの通りであるので、この第２の具体例
の支持具においても、即１１の具体例の支持具と実質上
同様の効果が達成される。

以上、第２の具体例の縦型支持具について股引したが、
かかる具体例においても次の如く変形乃至修正すること
ができる。例えば、第２の具体例においても、支持手段
４′を支持具本体２′（着脱自在に組付けられる３本の
保持ロッド３２　ａ’、３２ｂ’及び３２ｃ′から構成
しているが、所望ならば、２本の保持ロンド或いは４本
又はそれ以上の保持ロッドから構成することもできる。

また、第２の具体例においては、Ｖ字状の切欠き９２を
有する一対のホルダ部材９ｏを介して各仰持ロッド３２
ａ’。

３２ｂ′及び３２０′の一端部（上端部）を端部材６＆
に着脱自在に組付けているが、これに代えて、端部材６
ａＫ適宜の切欠き、凹所等を形成し、かかる切欠き、凹
所等に着脱自在に紹付けられる適宜の形態のホルダを介
して各保持ロッド３２　ａ’　。

３２ｂ′及び３２０′を端部材６ａに着脱自在に組付け
ることもできる。また、第２の具体例においては、各保
持ロッド３２ａ’、３２ｂ’及び３２Ｃ′の一端側が常
時ホルダ８８を介して端部材６ａＫ支持される構成であ
るが、所望により、保持ロッド３２ａ′のみを上下方向
に所定範囲に渡って移動自在となるように支持具本体２
′に組付け、支持具が保持台上罠載置される状態におい
ては保持ロッド３２ａ′の他端が保持台によシ支持され
、支持具が懸架された状態におい１は保持ロッド３２ａ
′の一端側が端部材６ａに支持されるようＶｃ嘴成する
こともできる。かかる場合、支持具が載置された状態に
おいては、各保持ロッド３２ａ’＋３２ｂ’及び３２Ｃ
′の保持＄１３８が横方向ｖｃ整合し、懸架状態におい
ては保持ロッド３２８′の保持ＩＷ３８が保持ロッド３
２　ｂ２び３２ｃ′の保持＃Ｉ３８より上下方向若干下
方に位置するようにするのが好ましい。また、第２の具
体例においては、各保持ロッド３２　ａ’。

３２ｂ′及び３２Ｃ′の一端側（上端側）がホルダ８８
を介して端部材６ａＫ支持され、それらの他端−（下端
側）が端部材６ｂ［上下方向に変位自在に保持されるよ
うＩＣＷ！成しているが、これに代えて、各保持ロッド
３２ａ’、３２ｂ’及び３２ｃ′の他端側か端部材６ｂ
Ｋ着脱自在に支持され、それらの各一端部が端部材６ａ
に上下方向に変位自在に保持されるように構成１７ても
よい。かかる場合、例えば、端部材６ｂの上面に各保持
ロッド３２ａ’、３２ｂ′及び３２Ｃ′の他端が位置付
けられる凹所を形成し、他方端部材６ａに各保持ロッド
３２　ａ’＋　３２　ｂ’及び３２ｃ′の横断面形状に
対応する貫通孔を形成すればよい（このとき、保持ロッ
ド３２　ａ’　、３２ｂ’及び３２ｃ′を支持するホル
ダ並びに各保持ロッド３２ａ’、３２ｂ’及び３２ｃ′
の一端側の段Ｎ８６ａ。

８６ｂ及び８６ｃは省略することができる）。また、第
２の具体例においては、保持ロッド３２　ａ’。

３２ｂ′及び３２ｃ′並びにホルダ８８をシリコンから
形成１７ているが、これに代えて、保持ロッド３２”　
＋　３２　ｂ’及び３２Ｃ′とホルダ８８の双方は片方
と石英ガラス或いはシリコンカーバイドから形成しても
よい。

次に、第１１図乃至第１８図を参照して、本発明に従っ
て構成された縦型支持具の第３の具体例について説明す
る。主として第１０図乃至第１３図を参照ｌ、て、図示
の縦型支持具は石英ガラス製の支持具本体！とこの支持
具本体２＃に着脱自在に装着されるシリコン製の支持手
段４′を具備している。支持具本体２′は、第１３図に
示す如（、間隔を置いて配設された２個の端部材６ａ及
び６ｂと、この端部材６ａ及び６　ｂｒｓｉｉｃ固定さ
れた複数体（具体例では４本）の連結ロッド８ａ、８ｂ
、ｇｃ及び８ｄを含んでいる。端部材６ａ及び６ｂは適
宜の形状でよいが、第３の具体例では略円板状に形成さ
れている。下側に位置する端部材６ｂの上面には、第１
２−Ｂ図及び第１３図に示す如く、−縁部、詳しくは半
導体ウェーハ又はその類似物の矢印１００（第１０図）
で示す装着方向に見て後方の部分に突出部１０２が設け
られている。この突出部１０２の内面略中央部には略Ｖ
字状の凹所１０４が形成され、凹所１０４の側面１０４
ａ及び１０４ｂは位置付は面を規定する。端部材６ｂの
上面略中央部には、更に、間隔を置いて一対の短ロツド
１０６ａ及１０６ｂが設けられている。短ロッド１０６
ａ及び１０６ｂは石英ガラスから形成され、端部材６ｂ
の上面に融着されている。また、上側に位置する端部材
６ａの下面にも、−縁部、詳ｌ。

くは半導体ウェーハ又はその類似物の矢印１００で示す
装着方向に見て後方の部分に突出部ｌＯ８が設けられて
いる。この突出部１０８の内面略中央部にも、突出部１
０２と同様に、略Ｖ字状の凹所（図示せず）が形成され
、凹所の側面は位置付け面を規定する。端部材６ａの略
中央部には、第１２−Ａ図に示す如く、細長い長孔１１
０が形成され、こり長孔１１０の外側には横断面形状が
コ字状の懸架手段２６が固定されている。Ｎ深手段は石
英ガラスから形成された懸架部材２８から構成され、Ｉ
Ｉ！！架部材架部材端８材６ａの上面に融着されている
。上述した通りの支持具本体２におい一’ｃ＋’ｚ、ｗ
ＪｌＯ図、ｍｌ１図、１ｌｌｚ−Ｂ図Ｅｔび７１４１３
図から理解される如く、連結ロッド８ａ及び８ｂの一端
側（上端側）が端部材６ａの突出部１０８の下面に融着
され、それらの他端＠（下端側）が端部材６ｂの突出部
１０２の上面に融着され、また、連結ロッド８ｃ及び８
ｄの一端側（上端＠）が端部ｔ１４’ａａの下面に融着
され、それらの他端側（下端＠）が端部材６ｂの上面に
融着されている。

次に、主として第１０図、第１１図及び第１２−Ｂ図を
参照１．て、支持具本体２′に着脱自在匝装着けられる
支持手段４＃について説明すると、図示の支持手段４′
は、間隔を置いて配設され７’ｃ２個の端部支持体１１
２＆及び１１２ｂと、この端部支持体１１２ａ及び１１
２ｂ間に装着された３本の支持ロッド１１４ａ、１１４
ｂ及び１１４Ｃから構成されている。

端部支持体Ｌ１２ａ及び１１２ｂは実質上同一の構成で
あり、互いに組合される第１の部材１１６．第２の＠ｌ
ｘ　ｌ　８、第３の部材１２０及び第４の部材１２２を
含んでいる（下方の端部支持体１１２ｂを示す第１４図
及び第１６図も参照されたい）。

主として第１４図及び第１６図を参照して、ｔ４１．ｘ
の部材１１６には、−側面、即ち外側に位置する外側面
両端部に矩形状の切欠き１２４（第１の部材１１６の一
端側は第１４図に示し、その他端側は第１６図に示す）
が形成され、下面一端部に全幅に渡って切欠き１２４の
外側端部まで存在する凹所１２６が形成されている（端
部支持体１１２ａにあっては、上記凹所は第１の部材１
１６の上面一端部に形成されている）。また、第２の部
材１１８には、−側面、即ち外側に位置する外側面両端
部に矩形状の切欠き１２８（第２の部材１１８の一端側
は第１４図に示し、その他端側は第１６図に示す）が形
成され、上面一端部に全幅に渡って切欠き１２８の外側
端ａｔで存在する凹所１３０が形成されている（端部支
持体１１２ａＫあっては、上記凹所は第２の部材１１Ｂ
の下面一端部に形成されている）。この第２の部材１１
８の幅は、第１の部材１１６に形成された凹所１２６の
幅と実質上等しいか又はこれよシも若干小さく、また第
２の部材１１８に形成された凹所１３０の幅は第１の部
材１１６０幅よシ大きくなっている。また、第３の部材
１２０（第１６図参照）の両端角部には傾斜面が形成さ
れ、両端片側の傾斜面の各々には内側に延びる矩形状の
切欠き１３２が形成されている。この第３の部材１２０
の下面には、更に、両端部及び中央部に全幅に渡って凹
所１３４及び１３６が形成されている（端部支持体１１
２ａにあっては、上記凹所は第３の部材の上面の両端部
及び中央部に形成されている）。更に、第４の部材１２
２には、一端部（第１４図参照）Ｋ断面形状が正方形で
ある貫通孔１３８が形成され、下面一端部に全幅に渡つ
工凹所１４０が形成され、上面他端部（第１６＠参照）
に全幅に渡って凹所１４２が形成されている（端部支持
体１１２ａにおっては、一端部の凹所は第４の部材１２
２の上面に形成され、他端部の凹所は１４の部材１２２
の下面和形成されている）。第４の部材１２２の幅は、
第３の部材１２０の中央部に形成された凹所１３６の幅
と実質上等しいか又はこれより若干小さく、また第４の
部材１２２の他端部に形成された四所１４２の幅は、第
３の部材１２０の凹所１３７が形成づれている中間部の
幅と実質上等しいか又はこれよりも若干太きい。この第
４の部材１２２の一端両角部罠は傾斜面が形成され、こ
の一端の形状は端部材６ａの突出部１０８の凹所及び端
部材６ｂの突出部１０４の凹所１０４の形状に対応１゜
ている。

第１Ｏ図、第１１図、第１４図及び第１６図を参照し工
、端部支持体１１２ａ及び１１２ｂに組付けられる保持
ロッド１１４ａ、１ｉ４ｂ及び１１４Ｃについて説明す
ると、各保持ロッド１１４ａ、１１４ｂ及び１１４Ｃは
円形、多角形等の適宜の横断面形状を有するものでよい
が、図示する如く正方形の横断面形状を有するものであ
るのが好ましい。保持ロッド１１４ａ、１１４ｂ及び１
１４ｃの両端部には、係止切欠きが形成されている。ま
ず、保持ロッド１１４ａについて説明すると、保持ロッ
ド１１４ａの両端部には、隣接する２側面（第１２−Ｂ
図、第１４図及び第４５図において左側に位置する２側
面）を切欠いて実質上画成な平面にせしめた係止切欠き
１４４が形成されている（第１４図及び第１５図におい
て保持ロッド１１４ａの下端部に形成された係止切欠き
１４４を示す）。この停止切欠＠　１４４が形成された
部分の横断面形状は、第１５図に示す如く、正方形であ
わ、この横断面は、第１の部材１１６の一端部に形成さ
れた切欠き１２４及び第２の部材１１８の一端部に形成
された切欠き１２８の大きさと実質上等しいか又はこれ
らより若干小さい。また保止切欠き１４４の長手方向の
長さは、第１の部材１１６の凹所１２６が形成され一＃
：、部分と第２の部材１１８の凹所】３０が形成された
部分と第４の部材１２２の凹所１４０が形成された部分
を重ね合わせた際のこれらの厚さと実質上等しいか又は
これらの厚さよシも若干太ききい。更に、この保持ロッ
ド１１４ａの横断面は、ｗＪ４の部材１２２に形成され
た貫通孔１３８の大きさと実質上等しいか又はこれより
若干小濾い。

かくの通シの保持ロッド１１４ａには、中間部の一角部
（第１２−Ｂ図、第１４図及び第１５図に卦いて右側に
位置する角部）に長手方向に間隔を置いて複数個の保持
ｌｌ１１４６が形成されている。保持ロッド１１４ｂに
ついて説明すると、保持ロッド１１４ｂの両端部には、
−側面（第１２−Ｂ図、第１６図及び第１７図において
左側に位置して内側に面する側面）を切欠いて実質上垂
直表子面にせ１、めた係止切欠き１４８が形成されてい
る（第１６図及び第１７図において保持ロッド１１４ｂ
の下端部に形成された係止切欠き１４８を示す）。この
保止切欠き１４８が形成された部分の横断面形状は、第
１７図に示す如く、矩形状であり、この横断面は第２の
部材１１８の他端部に形成された切欠き１２８の大きさ
と実質上等ｌ、いか又はこれよシ若干小さい。また、係
止切欠き１４８の長手方向の長さは、第２の部材１１８
の他端部と第３の部材１２０の一端側の凹所１３４が形
成場れた部分を重ね合わせた際のこれらの厚さと実質上
等１゜いか又はこれらの厚さより若干大きい。更に、こ
の保持ロッド１１４ｂ１７）１辺は第３の部材１２０の
一端部に形成されたり欠き１３２０幅と実質上等しいか
又はこれより若干小さく、また切欠き１３２の底面まで
の深さよりも小さい。かくの通りの保持ロッド１１４ｂ
にも、中間部の一角部（第１２−Ｂ図及び第１７図にお
い１上側に位置する角部）に長手方向に間隔を置いて複
数個の保持溝１４６が形成されている（第１１図参照）
。更に、保持ロッド１１４Ｃについ工説明すると、保持
ロッド１１４Ｃの両端部には、−側面（第１２−Ｂ図、
第１６図及び第１７図において左側に位１’１．て内側
に面する側面）ｔ−切欠いて実質上垂直な平面にせしめ
た係止切欠き１５０が形成されている（第１６図及び９
１７図において保持ロッド１１４０の下端部に形成され
た係止切欠きｌ　５（ｌ示す）。この保止り久き１５０
が形成された部分の横断面形状は、第１８図に示す如く
、矩形状であり、この横断面は第１の部材１１６の他端
部に形成された切欠き１２４の大きさと実質上等しいか
又はこれよシ若干小さい。また、係止り欠き１５０の長
手方向の長さは、第１の部材１１６の他端部と第３の部
材１２０の他端側の凹所１３４が形成された部を重ね合
わせた際のこれらの厚さと実質上等１．いか又はこれら
の厚さより若干大きい。更に、保持ロッド１１４ｃの１
辺は第３の部材１２０の他端部に形成された切欠き１３
２の幅と実質上等しいか又はこれより若干小さく、また
切欠き１３２の底面までの深さよりも小さい。かくの通
シの保持ロッド１１４ｃにも、中間部の一角ｌ！１ｌｌ
（第１２−Ｂ図及び第１８図において下側に位置する角
部）に長手方向に間隔を置いて複数個の保持溝１４６が
形成されている（第１１図参照）。

上記保持ロッド１１４Ｂ、１１４ｂ及び１１４ｃｔびに
第１の部材１１６、第２の部材１１８、詑３の部材１２
０及び第４の部材１２２は、以下の如くして着脱自在九
組立てられて支持手段４′を網成する。第１２図と共に
第１４図及び第１６図を参照１〜で、支持手段４＃の下
部側の装着様式につい１説明すると、まず、組立台（図
示せず）上に第４の部材１２２を載置し、この第４の部
材１２２の他端部に第３の部材１２０を第１２−Ｂ図に
示す如く紹付ける。かくすると、第３のＳ材１２０の下
面に形成された凹所１３６がｗＪ４の部材１２２の上面
に形成された凹所１４２に保合し、第３の部材１２０は
所要の通シに組付けられる。次に、第４０部材１２２の
一端部に形成された貫通孔１３８に保持ロッド１１４ａ
の下端部を挿入すると共に第３の部材１２０の一端部に
形成されたり欠き１３２に保持ロッド１１４ｂの下端部
を挿入し、しかる後保持ロッド１】４ａ及び１１４ｂ間
ＶＣ第２の部材１１８を組付ける。第２の部材１１８の
組付けは、一端部に形成された切欠きｌ　２８ｆ：保持
ロッド１１４ａの係止り欠き１４４が形成された部分に
係合させると共に他端部に形成された切欠き１２８を保
持ロッド１１４ｂの係止切欠き１４８が形成された部分
に併合させることによって達成される。

次いで、第３の部材の他端部に形成された切欠き１３２
に保持ロッド１１４ｃの下端部を挿入し、しかる後保持
ロッド１１４ａ及び１１４ｃ間に第１の部材１１６を組
付ける。この第１の部材１１６０組付けは、一端部に形
成された切欠き１２４を保持ロッド１１４ａの係止切欠
き１４４が形成された部分に係合させると共罠他端部に
形成された切欠き１２４を保持ロッド１１４ｃの係止り
欠き１５０が形成された部分に係合させることにより工
遅成され、かく組合わせすると、第１の部材１１５の下
面に形成された凹所１２６が第２の部材】１８の上面に
形成された凹所１３０に所要の通シｖｒ−ＩＩＵ付けら
れる。

かくの如く組付けられると、保持ロッド１１４＆の下端
部においては、係止切欠き１４４内に上側から１１ｊに
第１の部Ｉｔ１１６、第２の部材１１８及び第４の部材
１２２が位置付けられ、係止り欠き１４４を規定する内
側面（上側面）と第】の１ｉＢＩＪ１１６の上面によっ
て保持ロッド１１４ａの下方への移動が阻止され、係止
切欠きを規定する外側面（下側面）と第４の部＠１２２
の下面によって保持ロッド１１４ａの上方への移動が阻
止される（かかる状態においては、保持ロッド１１４ａ
は、保止切欠き１４４が形成された部分の外側の２側面
、即ち係止切欠き１４４の底面が第４の部材１２２０貫
通孔１３８を規定する外側の２側面に当接する状態に保
持される）。また、保持ロッド１１４ｂの下端部におい
ては、係止切欠き１４８内に、上側から第２の部材１１
８及び第３の部材１２０が位置付けられ、係止切欠き１
４８を規定する内側面（上側面）と第２の部材１１８の
上面によって保持ロッド１１４ｂの下方への移動が阻止
され、係止切欠き１４Ｂを規定する外側面（下側面）と
第３の部材１２０の下面によって保持ロッド１１４ｂの
上方への移動が阻止はれる（かかる状態においては、保
持ロッド１１４ｂは、係止り欠き１４８が形成された部
分の内側の側面、即ち係止切欠き１４８の底面が第３の
＃ＡＡｌ２Ｏ２切欠き１３２の底面に当接する状態に保
持される）。更に、保持ロッド１１４Ｃの下端部におい
又は、係止切欠き１５０内に、上側から第１の部材１１
６及び第３の部材１２０が位置付けられ、係止切欠き１
５０を規定する内側面（上側面）と第１の部材１１６の
上面によって保持ロッド１１４ｃの下方への移動が阻止
され、係止切欠き１５０を規定する外側面（下側面）と
第３の部材１２０の下面によって保持ロッド１１４Ｃの
上方への移動が阻止される（かかる状態におい工は、保
持ロッド１１４ｃは、係止切欠き１５０が形成された部
分の側面、即ち係止切欠き１４８の底面が第３の部材１
２０の切欠き１３２の底面九当接する状態に保持される
）。かくして、保持ロッド１１４ａ、１１４ｂ及び１１
４Ｃ！の下端側は、第１２−Ｂ図に示す如く、第１の部
材１１６、第２の部材１１８、＃Ｊ３の都Ｉｆ４１２０
及び第４の＆１１１５ｔ１２２から成る端部支持体１１
２ｂＫ所要の通シにし１着脱自在に組伺けられる。

支持手段４′の上部側の組付様式は、上述１．た下部側
の組付様式と略同様であシ、以下の如くして行うことが
できる。即ち、上述した如くして組付けられた保持ロッ
ド１１４ｂ及び１】４Ｃの上端部間に第３の部Ｉｔ１２
０を組付け、次いで保持ロッド１１４ａの上端部に第４
のｔｉＩｌ防１２２０貫通孔（図示せず）を位置付けて
その他端部を上方から第３の部材１２０の中央部に組イ
」ける。しかる後、保持ロッド１１４ａ及び１１４ｃ間
に下側から第２の部材１１８を組付け、更に保持ロッド
１１４ａ及び１１４ｂ間に下側から第１の部体１１６を
組付ける。

かくすると、保持ロッド］１４ａの上端部においては、
その下端部と略同様に保持され、係止切欠き（図示せず
）内に上側から順ＩＣ第４の部材１２２、第２の部材１
１８及び第１の部＠’ｌ１６が位置付けられ、係止切欠
きを規定する外側面（上側面）と第４の部材１２２の上
面によって保持ロッド］１４ａの下方への相対的移動が
阻止され、係止切欠きを規定する内側面（下側面）と第
１のｌＢ１１１６の下面によって保持ロッド１１４ａの
上カヘの相対的移動が阻止される。また、保持ロッド１
１４ｂの上端１ｆＢにおいては、その下端部と・略同様
に保持され、係止切欠き（図示せず）内に上側から第３
の部材１２０及び第１の部材１１６が位置付けられ、係
止切欠き全規定する外側面（上側面）と第３の部材１２
０の上面によって保持ロッド１１４ｂの下方への相対的
移動が阻止され、係止り欠きを規定する内側面（下側面
）と第１の部材１１６の下面（よって保持ロッド１］４
ｂの上方への相対的移動が阻止される。更に、保持ロッ
ド１１４ｃの上端部においては、その下端部と略同様に
保持され、係止切欠き（図示せず）内に上側から第３の
部材１２０及び第２のＳ材１１８が位置付けられ、・ｉ
止切欠きを規定する外側面（上側面）と第３の部ｖｆ１
２０の上面によって保持ロンド１１４ｃの下方への相対
的移動が阻止され、係止切欠きを規定する内側面（下側
面）と第２のｅ材１１８のＦ面によって保持ロッド１１
４１ｍの上方への相対的移動がｆｉｌｌ止される。

以上の如（組立てられた支持手段４’ｔＣおいては、各
保持ロッド１１４ａ、１１４ｂ及び１１４ｅは、端部支
持体１１２ａ及び１１２ｂ間を上下刃向に互い平行ＶＣ
延び、各保持ロッド１１４Ｂ　、　１１４ｂ及び１１４
（！に形成された保持＃＄１４６は内側に面するように
位置付けられる。そして、保持ロッド１１４ｂ及び１１
４Ｃに形成された保持溝１４６が横方向に整合して位置
し、保持ロッド１１４ａに形成された保持＃１１４６は
上記整合した保持１１１１４６よシ上下方向若干下方に
位置する。

上述した支持手段４′は、第１０図乃至第１２図に示す
如く、支持具本体ｉに着脱自在に装着される。更に説明
すると、支持手段４′を装着するには、まずこの支持手
段４′を若干傾斜させて支持具本体２′の連結ロッド８
ａ８ｂ＋８ｃ及び８ｄによって規定される空間内に位置
付け、しかる後支持手段４′の下側の１１１部支持体１
１２ｂを第１２−Ｂ＠に示す如く端部材６ｂの上面に載
置する。かく載置すると、支持手段４′の下端側におい
ては、端部支持体１１２ｂの［２のｅｌｌ　ｌ　８、第
３の部材１２０及び第４の部材１２２によつ工規定され
る空間内に片方の短ロッド１０６ａが受け入れられ、第
１の部材１１６、第３の部材１２０及び第４の部材１２
２によって規定される空間内に他方の短ロッド１０６ｂ
が受け入れられ、かくして端部支持体１１２ｂは端部材
６ｂ上の所定位置に載置される。

かかる載置状態においては、第１２−Ｂ図から容易に理
解される如く、短ロッド１０６ａＫよって第２の部材１
２８の外れる方向（第１２−Ｂ図において右上方）への
移動が阻止され、短ロッド１０６ｂＫよって第１の部材
１１６の外れる方向（第１２−Ｂ図において左下方）へ
の移動が阻止され、端部支持体１１２ｂは上述した組付
状態に確実に保持される。また、この載置状態ｔＣおい
ては、第４の部材１２２は一端面が端部材６ｂの突出部
１０２の凹所１０４１に規定する両側面１０４＆及び１
０４ｂ並びに底面１０４（！に当接する位置に位置し、
第１の部材１１６４”！、−Ｊ［２＞！突出部１０２の
凹所１０４の側面１０４＆に当接する位置に位置し、第
２の部材１１８は一端面が突出１１ｓ１０２の凹所１０
４の側面１０４ｂに当接する位置に位置する。次いで、
支持具本体２′の端部材６ａの上方から長孔１１０を通
して略Ｕ字状の係止ロッド１５２０両端部を内側に突出
させ、その両端部を端部支持体１１２ａの第１の部材ｉ
１６、第３の部材１２０及び第４の部材１２２によって
規定される空間と第２の部材１１８、第３の部１ｔ１２
０及び第４の部材１２２によって規定される空間内に挿
入する。かく挿入すると、下側の端部支持体１］２ｂと
同様に上側の端部支持体１１２ａＫおい工も、係止ロッ
ド１５２の一端ｆ！ｌｌＩｃよって第１の部材１１６の
外れる方向への移動が阻止され、係止ロッド１５２の他
端部によって第２の部材１１Ｂの外れる方向への移動が
阻止され、端部支持体１」２ａも上述した組付状態に確
実に保持される。かかる状態においては、端部支持体１
１２ａＫｋいても、第４の部１１２２は一端面が端部材
６ａの突出部１０８の凹所（図示せず）を規定する両側
面及び底面に当接位置に位置し、第２の部材１１８は一
端面が突出部１０８の凹所の片方の側面に当接する位置
に位置し、第１の８１材１１６は一塙面が突出部１０８
の凹所の他方の側面に当接する位置に位置する。かくの
通シにして支持具本体２′に着脱自在に装着すると、支
持手段４′は第１０図及び第１１図に示す如く載置され
、その横方向への移動は、上側においては主として係止
ロッド１５２によって、また下側におい王は主とし−〔
短ロッド１０６＆及び１０６ｂによって阻止され、支持
手段４′は確実に保持される。

かくの如く支持手段４１を装着すると、保持ロッド１１
４ａは矢印１００（第１０図）で示す半導体ウェーハ又
はその類似物の装着方向に見て他の保持ロッド１１４ｂ
及び１１４ｅよシもの後方で且つこの保持ロッド１１４
　ｂ及び１１４ｃの中間に位置する。

そして、半導体ウェーッ・は矢印１００で示ず方向（詳
しくり、１１０図において右上方から左下方に若干傾斜
する方向）に挿入され、半導体ウェーハは周縁部の局方
向に間隔を置いた３個の位置が各保持ロッドＬｌａ、１
１４ｂ及び１１４ｃの保持溝１４６内に支持され１その
自由端部が上方に向かって傾斜する状態に保持される。

上述した支持具において支持具本体２１から支持手段４
′を取外すには、上記装着手順を逆にすればよい。ｔｆ
ｔ、、、支持手段４′を各隅成部品に分解するには、上
記組付は手順を逆にすればよ゛い。

上述した第３の具体例においても、支持手段４′の端部
支持体１１２ｂが端部材６ｂ上に支持され、その端部支
持体１１２ａが上下方向に変位自在である故に、第１の
具体例及び第２の具体例と同様の作用効果が達成される
。

以上、第３の具体例の縦型支持具について説明したが、
この第３の具体例においても次の如く変形乃至修正する
ことが可能である。例えば、第３の具体例においては、
端部支持体１１２ａ及び１１２ｂを着脱自在に組合され
る第１のＷｉ４１６、第２の部材１１８、第３の部材１
２０及び第４の部材１２２から構成しているが、これに
代えて、適宜の形状の板状習材から病成することもでき
る。

また、第３の具体例においては、支持手段４′を端部支
持体１１２ａ及び１１２ｂと３本の保持ロッド］］４ａ
、］１４ｂ及び１】４Ｃから隅成しているが、所望なら
ば、端部支持体１１２ａ及び】】２ｂと、この端部支持
体】】２ａ及び】】２ｂ間を延びる２本の保持ロンド或
いは４本又はそれ以上の保持ロッドから隅成することも
できる。更に、第３の具体例においては、支持手段４′
、即ち端部支持体］］２ａ及び】】２ｂ並びに保持ｏ７
ドｌ］４ａ、１１’！ｂ及び１】４Ｃをシリコンから形
成しているが、これに代えて、端部支持体１】２ａ及び
１１２ｂと保持ロッド］］４ａ、］］４ｂ及び】】４Ｃ
の双方は片方を石英ガラス或いはシリコンカーバイドか
ら形成してもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従って病成された縦型支持具の第１の
具体例を示す側面図。 第２図は、第１図の支持具を示す平面図。 第３図は、第１図におけるｍ−ＩＩＩ線による断面図。 第４図は、第１図の支持具の支持具本体と保持ロッドを
示す分解斜視図。 第５図は、第４図におけるＶ−■綜による断面図。 第６−Ａ図乃至第６−Ｃ図は、第１図の支持具の各ホル
ダを示す斜視図。 第７−Ａ図及び第７−Ｂは、第６−Ａ図のホルダに保持
ロッドの一端側を組付けた状態を示す断面図。 第８図は、本発明に従って構成された縦型支持具の第２
の具体例を示す側面図。 第９口拡、第８図の支持具を分解し工示す分解斜視図。 第１０図は、本発明に従って構成された縦型支持具の第
３の具体例を示す側面図。 第１】図は、第１０図の支持具を示す正面図。 第１２−Ａ図及び第１２−Ｂ図は、夫々、第１０図にお
けるΔ−ＡＲＫよる断面図及び第１０図におけるｎ−ｎ
、＄Ｉによる断面図。 第１３図は、第１０図の支持具の支持具本体を示す斜視
図。 第１４図は、第１０図の支持具における支持手段の下端
部の一端側を分解して示す分解斜視図。 第１５図は、第１４図におけ、ｂＸＶ−ＸＶ線による断
面図。 第１６図は、第】０図の支持具における支持手段の下端
部の他端側を分解して示す分解斜視図。 第１７図は、第１６図における双ＩＩ−ＸＶＩＩ線によ
る断面図。 第１８図は、第１６図におけるＸＶＩ　Ｉ　Ｉ　−ＸＶ
ＩＩＩ線による断面図。 ２．２′及び２′・・・支持具本体 ４．４′及び４′・・・支持手段 ６ａ及び６ｂ・・・端部材 ３２　ａ　＊　３２　ｂ　１３２　ｃ　＊　３２　ａ’
Ｉ３２　ｂ’及び３２ｃ′・・・保持ロッド ３８・・・保持溝 ｌ】２＆及び］］２ｂ・・・端部支持体］］４ａ、１］
４ｂ及び］　２４　ｃ−・・保持ロッド１４６・・・保
持溝 Ｐ・・・半導体ウェーハ 特許出願人　株式会社　テ　り　ニ　ス　コト゛・・　
゛ 多１図 第７−Ａ図 第６−Ｃ図 第７−Ｂ図 膝１０図 第１１図 第１２−Ａ図 第１２−８図 第１３図 第１４図 秦１５図 第１７回　第旧図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　間隔を置いて配設された２個の端部材と該端部材間
   に固定された複数本の連結ロッドとを含む支持具本体と
   、半導体ウェーッ・又はその類似物を支持するための支
   持手段とを具備し、該支持手段の片側が片方の該端部材
   に着脱自在に支持され、その他側は上下方向に変位自在
   である、ことを特徴とする縦型支持具。 ２、該支持手段は少々くとも２本の支持ロッドを含み、
   該支持ロッドの各々には、その長手方向に間隔を置いて
   半導体ウェーハ又はその類似物を支持する複数個の保持
   溝が形成されている、特許請求の範囲第１項記載の縦型
   支持具。 ３、該支持手段は、相互に実質上平行に配設される少な
   くとも３本の支持ロッドを含み、半導体ウェーハ又はそ
   の類似物の装着方向に見て、少なくとも１本の該支持ロ
   ッドは他方の該支持ロッドよりも後方に位置している、
   特許請求の範囲第２項記載の縦型支持具。 ４、該支持手段は該端部材間を延びる少なくとも３本の
   該支持ロッドから構成され、該支持ロッドの各々の片側
   は片方の該端部材に着脱自在に支持され、該支持ロッド
   の各々の他側は他方の該端部材に上下方向に変位自在に
   保持されている、特許請求の範囲第３項記載の縦型支持
   具。 ５、咳端部材の各々は格子状に構成されており、該支持
   ロッドの各々の片側は片方の該端部材の格子状の空間部
   に着脱自在に装着されたホルダを介して着脱自在に支持
   され、それらの各々の他側は他方の該端部材の格子状の
   空間部に着脱自在に装着されたホルダを介１．て上下方
   向に変位自在に保持され工いる、特許請求の範囲第４項
   記載の縦型支持具。 ６、該支持手段は、間隔を置いて配設された２個の端部
   支持体と該端部支持体間に装着された少なくとも３本の
   該支持ロッドから構成され、片方の該端部支持体が片方
   の該端部材に着脱自在に支持されている、特許請求の範
   囲第３項記載の縦型支持具。 ７、少なくとも３本の該支持ロッドの各々は、夫々、該
   端部支持体に着脱自在に組合されている、特許請求の範
   囲第６項記載の縦型支持具。 ８、該支持具本体は石英ガラス製であシ、該支持手段は
   シリコン製又はシリコンカーバイド製である、特ｉ′ｆ
   請求の範囲第１項乃至第７項いずれかに記載の縦型支持
   具。