JPS6021409A - 傾斜を電気的に測る気泡管型センサの製法 - Google Patents
傾斜を電気的に測る気泡管型センサの製法Info
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- JPS6021409A JPS6021409A JP12935683A JP12935683A JPS6021409A JP S6021409 A JPS6021409 A JP S6021409A JP 12935683 A JP12935683 A JP 12935683A JP 12935683 A JP12935683 A JP 12935683A JP S6021409 A JPS6021409 A JP S6021409A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
- G01C9/18—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids
- G01C9/24—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids in closed containers partially filled with liquid so as to leave a gas bubble
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は傾斜を電気的に測る気泡管型センサのＵ法に関
するものである。
するものである。
傾斜を電気的に測る気泡管型センサについては従来いろ
いろな型式なものがあり、それぞれに対応した製Ｉ法が
知られている。
いろな型式なものがあり、それぞれに対応した製Ｉ法が
知られている。
しかしながらガラス管に単に導線を封右し触子としたも
のでは４線と気泡との摩擦が気泡のなめらかな動きをさ
またげるだめ分触−能力猜ｊくならない欠点があり、ま
たガラス管にメッキして触子としたものではこの欠点は
除かれるが封印部分に十分な強朋を得ることが困難であ
った。
のでは４線と気泡との摩擦が気泡のなめらかな動きをさ
またげるだめ分触−能力猜ｊくならない欠点があり、ま
たガラス管にメッキして触子としたものではこの欠点は
除かれるが封印部分に十分な強朋を得ることが困難であ
った。
たとえばガラスを溶解して封印する場合、その部分にメ
ッキがあるのでガラスを溶解するときの熱でメッキ部分
がおかされることがあり、またエポキシなどの接着剤で
封印する場合、内部に刺入される液体や外部の温度変化
による熱歪みに対する封印部の強朋に問題があった。本
発明はこれらの欠点を除き、比較的精度が閥く、品質の
安定した献産向きの気泡管型センサを製造する方法を提
供することを目的としたものである。
ッキがあるのでガラスを溶解するときの熱でメッキ部分
がおかされることがあり、またエポキシなどの接着剤で
封印する場合、内部に刺入される液体や外部の温度変化
による熱歪みに対する封印部の強朋に問題があった。本
発明はこれらの欠点を除き、比較的精度が閥く、品質の
安定した献産向きの気泡管型センサを製造する方法を提
供することを目的としたものである。
次に本発明方法の手順を、添附図面記載の具体例につい
て説明する。
て説明する。
（１）第１図記載の如くガラス管（３）に導線（２）を
封着する。たとえば外径１０１１１％内径８Ｎｊｌの硼
珪酸ガラス管に直径０．５ｕのモリブデン線を封着する
。
封着する。たとえば外径１０１１１％内径８Ｎｊｌの硼
珪酸ガラス管に直径０．５ｕのモリブデン線を封着する
。
（１１）第２図記載の如くガラス管（３）の内面を研磨
し、所望の気泡管感度に対応した円弧０騰を形成する。
し、所望の気泡管感度に対応した円弧０騰を形成する。
研磨は慣用方法に従って行われる。研磨面を適度の粗さ
にすることが必要である。なぜならば後記のメッキの付
着性をよくするためである。
にすることが必要である。なぜならば後記のメッキの付
着性をよくするためである。
たとえば、研磨剤として＊ｔｚｏｏ（ｔｌｆ時砂を用い
、半径（功４５８５順（９０’／ ２紹）の円弧（６）
に仕上げる。
、半径（功４５８５順（９０’／ ２紹）の円弧（６）
に仕上げる。
：ｍ＋ 次いで公知の写真塵蝕技術（フォトエツチング
技術）に従って下記の操作を行う。
技術）に従って下記の操作を行う。
最初に、第３図０山ｉ・（の如くガラス＠（３）の内壁
にフォトレジスト（７）を塗布する。
にフォトレジスト（７）を塗布する。
次いで第４図記載の如く、触子、ｏターンのマスク（８
）を使用してマスキングを行い、写真処理し、非露光部
のフォトレジストを除去する。このとき触子パターンが
ガラス管の内壁に形成されるが、マスキングおよび露光
はガラス管の外側から行うことが可能であり、作業は容
易に行うことができる。
）を使用してマスキングを行い、写真処理し、非露光部
のフォトレジストを除去する。このとき触子パターンが
ガラス管の内壁に形成されるが、マスキングおよび露光
はガラス管の外側から行うことが可能であり、作業は容
易に行うことができる。
Ｇｙ） ガラス管（３）の内壁全体にメッキして、メッ
キ層（１）を形成させる（第６図）。たとえば酸性ニッ
ケル溶液メッキを行う。
キ層（１）を形成させる（第６図）。たとえば酸性ニッ
ケル溶液メッキを行う。
（ｖ）フォトレジスト溶解用溶剤に浸漬して残存レジス
トを溶出除去し、これによって、触子パターン通りの形
を有するメッキ層からなる触子（９）′が形成される。
トを溶出除去し、これによって、触子パターン通りの形
を有するメッキ層からなる触子（９）′が形成される。
次
（ＶＤ ｆｉ９後に導電性の公４体（５）を刺入し、気
泡管型センサ０υを完成させる。たとえば、ジエチルエ
ーテルとエチルアルコールの混合液にヨウ化カリウムを
添加してなる等電性液体を封入する。このようにして作
られた気泡前型センナ（ｔυを第９図（上側正面図）お
よび第１０図（底面図）に示す０ 本発明に従って上記の如く操作を行うことにより、感度
・精度のよい、かつ安定な気泡管型センサを製造するこ
とができる。さらにまだ、本発明方法は寸度に適した製
造方法であって、本方法に従えば品質のノ々ラツキなし
に高効率で製造できる０
泡管型センサ０υを完成させる。たとえば、ジエチルエ
ーテルとエチルアルコールの混合液にヨウ化カリウムを
添加してなる等電性液体を封入する。このようにして作
られた気泡前型センナ（ｔυを第９図（上側正面図）お
よび第１０図（底面図）に示す０ 本発明に従って上記の如く操作を行うことにより、感度
・精度のよい、かつ安定な気泡管型センサを製造するこ
とができる。さらにまだ、本発明方法は寸度に適した製
造方法であって、本方法に従えば品質のノ々ラツキなし
に高効率で製造できる０
第１図−第８図は本発明に係る気泡管型センサを製造す
る方法の工程を順次示した説明図であるＯより製造され
た気１ｌｌｌ！ｉ管型センサの上側正面図であり、第１
Ｏ図はその底面図である０ （１）・・・メッキ層、（２）・・・導ＮＪＪ！、（”
）・・・ガラス管、（４）・・・気屯、（５）・・・導
電性液体、（６）・・・円弧（半径Ｒ）、（７）・・・
レジスト、（８）・・・マスク、（９）・・・触子、α
υ・・・気泡管型センサ、０９・・・霧光時の光線。 特ｇ′１−出願人 株式会社 側 機 舎代理人弁理士
閂 −？１１し 第６図 第９図 児１０図
る方法の工程を順次示した説明図であるＯより製造され
た気１ｌｌｌ！ｉ管型センサの上側正面図であり、第１
Ｏ図はその底面図である０ （１）・・・メッキ層、（２）・・・導ＮＪＪ！、（”
）・・・ガラス管、（４）・・・気屯、（５）・・・導
電性液体、（６）・・・円弧（半径Ｒ）、（７）・・・
レジスト、（８）・・・マスク、（９）・・・触子、α
υ・・・気泡管型センサ、０９・・・霧光時の光線。 特ｇ′１−出願人 株式会社 側 機 舎代理人弁理士
閂 −？１１し 第６図 第９図 児１０図
Claims (2)
- （１）ガラス管に導線を封着し、写真腐蝕技術とメッキ
によって触子パターンを形成し、尋′屯性液体と気泡を
封入することを特徴とする、傾斜を電気的に測る気泡管
型センサの製／χ法。 - （２）ガラス管に４線を封６し、この４ｉ−線封着の後
に該ガラス管の内壁を研磨して、気泡管として適当な／
ｉ＆度を得るだめの曲面を形成し、ただしこの曲面は後
工程のメッキの付着をよくするために適度の粗さのもの
とし、次いで写真腐蝕技術とメッキによって触子パター
ンを形成し、しかしてこの触子パターンは前記６勝に接
ｂ“Ｃさせ、次いで棉゛「π性液体と気泡を封入するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の傾斜を電気
的に測る気泡管型センサの製＆７法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12935683A JPS6021409A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 傾斜を電気的に測る気泡管型センサの製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12935683A JPS6021409A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 傾斜を電気的に測る気泡管型センサの製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6021409A true JPS6021409A (ja) | 1985-02-02 |
| JPH0426046B2 JPH0426046B2 (ja) | 1992-05-06 |
Family
ID=15007569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12935683A Granted JPS6021409A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 傾斜を電気的に測る気泡管型センサの製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6021409A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5712084A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-21 | Dainippon Ink & Chem Inc | Pressure-sensitive adhesive sheet |
-
1983
- 1983-07-18 JP JP12935683A patent/JPS6021409A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5712084A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-21 | Dainippon Ink & Chem Inc | Pressure-sensitive adhesive sheet |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0426046B2 (ja) | 1992-05-06 |
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