JPS60215547A - 紫外線透過ガラス - Google Patents
紫外線透過ガラスInfo
- Publication number
- JPS60215547A JPS60215547A JP59071188A JP7118884A JPS60215547A JP S60215547 A JPS60215547 A JP S60215547A JP 59071188 A JP59071188 A JP 59071188A JP 7118884 A JP7118884 A JP 7118884A JP S60215547 A JPS60215547 A JP S60215547A
- Authority
- JP
- Japan
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- glass
- ultraviolet
- less
- fe2o3
- alkali
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は紫外線透過率の高いガラス組成に関し、特に樹
脂封着が行われるEP−ROM半導体パッケージの紫外
線透過用の窓として用いられるガラス組成物に関する。
脂封着が行われるEP−ROM半導体パッケージの紫外
線透過用の窓として用いられるガラス組成物に関する。
EP−ROMとは、紫外線照射によりプログラムのメモ
リー消去が可能である読み出し専用記憶半導体のことで
あり、従来、これらの支持体としてはアルミナセラミッ
クパッケージが使用され、これには紫外線照射用のガラ
ス窓が取り付けられている。
リー消去が可能である読み出し専用記憶半導体のことで
あり、従来、これらの支持体としてはアルミナセラミッ
クパッケージが使用され、これには紫外線照射用のガラ
ス窓が取り付けられている。
ガラス窓としては波長253.7nmの紫外線を良く透
過する必要があるため、硼珪酸系の紫外線透過ガラス(
例えば、コーニング社製No.9741ガラス)あるい
は石英ガラス、透光性アルミナ等が用いられている。ま
た、ガラス窓とアルミナセラミックを気密に封着する方
法としては、ガラスを溶融することによって、アルミナ
と溶着させるダイレクトシール法及びメタライズド技術
を駆使した半田封着法等がある。いずれの方法にせよ、
支持体としてアルミナセラミックを用いていることは、
その材料コストを著しくに上昇させ、かつ、半導体をマ
ウントしてアルミナパッケージ自体を封着する際の高い
封着温度のために、数々の材料上の制約を受け、その工
程も甚しく複雑なものになっているのが実状である。
過する必要があるため、硼珪酸系の紫外線透過ガラス(
例えば、コーニング社製No.9741ガラス)あるい
は石英ガラス、透光性アルミナ等が用いられている。ま
た、ガラス窓とアルミナセラミックを気密に封着する方
法としては、ガラスを溶融することによって、アルミナ
と溶着させるダイレクトシール法及びメタライズド技術
を駆使した半田封着法等がある。いずれの方法にせよ、
支持体としてアルミナセラミックを用いていることは、
その材料コストを著しくに上昇させ、かつ、半導体をマ
ウントしてアルミナパッケージ自体を封着する際の高い
封着温度のために、数々の材料上の制約を受け、その工
程も甚しく複雑なものになっているのが実状である。
通常、EP−ROM以の半導体に関しては、このような
アルミパッケージの欠点のために、とりわけ高度の信頼
性が要求される分野を除いて、非常に低価格で工程も簡
略化できるエポキシ系の樹脂でパッケージされる樹脂パ
ッケージが主流となっている。
アルミパッケージの欠点のために、とりわけ高度の信頼
性が要求される分野を除いて、非常に低価格で工程も簡
略化できるエポキシ系の樹脂でパッケージされる樹脂パ
ッケージが主流となっている。
ところが、EP−ROMの場合、上記ガラス窓を取り付
けなければならないという構造上の制約から樹脂パッケ
ージの製品の実用化が遅れており、未だにアルミナパッ
ケージの製品が供されている。
けなければならないという構造上の制約から樹脂パッケ
ージの製品の実用化が遅れており、未だにアルミナパッ
ケージの製品が供されている。
EP−ROMの樹脂パッケージ化の技術的な問題として
、(1)ガラスとエポキシ系樹脂の熱膨張係数の差が大
きいこと、及び、(2)ガラスからアルカリ成分、特に
ナトリウムが溶出するとエポキシ系樹脂とのなじみが悪
くなり、封着界面の耐水性が低下すること、等が挙げら
れる。前記(1)項の問題は樹脂に加えるフィラーの変
更等で改善されつつあるが、なお、熱膨脹係数の差が問
題となる場合は、支持体として、ガラスと熱膨脹係数の
近いアルミナセラミックを用いてアルミナ支持体とガラ
ス窓をエポキシ系樹脂でシールするアルミナパッケージ
樹脂シールを考慮すれば解決できる。しかし、たとえこ
のような方法を採用したとしても、エポキシ系樹脂が、
ガラスと直接、接触することには変わりはなく、前記(
2)項の問題を回避することはできない。この理由によ
り、現在、試作的に製造されている樹脂パッケージ又は
アルミナパッケージ樹脂シールのEP−ROMは、全て
ナトリウム成分を全く含有しない石英ガラスあるいは透
光性アルミナが利用されている。すなわちアルミナパッ
ケージ用窓ガラスとして普及している低価格の硼珪酸系
の紫外線透過ガラスは、2重量%以上にのNa2O成分
を含有しているため、樹脂パッケージ又は樹脂シールに
は適用できない。
、(1)ガラスとエポキシ系樹脂の熱膨張係数の差が大
きいこと、及び、(2)ガラスからアルカリ成分、特に
ナトリウムが溶出するとエポキシ系樹脂とのなじみが悪
くなり、封着界面の耐水性が低下すること、等が挙げら
れる。前記(1)項の問題は樹脂に加えるフィラーの変
更等で改善されつつあるが、なお、熱膨脹係数の差が問
題となる場合は、支持体として、ガラスと熱膨脹係数の
近いアルミナセラミックを用いてアルミナ支持体とガラ
ス窓をエポキシ系樹脂でシールするアルミナパッケージ
樹脂シールを考慮すれば解決できる。しかし、たとえこ
のような方法を採用したとしても、エポキシ系樹脂が、
ガラスと直接、接触することには変わりはなく、前記(
2)項の問題を回避することはできない。この理由によ
り、現在、試作的に製造されている樹脂パッケージ又は
アルミナパッケージ樹脂シールのEP−ROMは、全て
ナトリウム成分を全く含有しない石英ガラスあるいは透
光性アルミナが利用されている。すなわちアルミナパッ
ケージ用窓ガラスとして普及している低価格の硼珪酸系
の紫外線透過ガラスは、2重量%以上にのNa2O成分
を含有しているため、樹脂パッケージ又は樹脂シールに
は適用できない。
本発明は、このような問題を解決するために、アルカリ
、特にナトリウムの溶出性が少なく、安価な紫外線透過
ガラスを供することにより、上記エポキシ系樹脂との封
着界面で発生する耐水性の劣化を回避でき、EP−RO
Mの樹脂パッケージ又はアルミナパッケージ樹脂シール
化を可能ならしめようとするものである。アルカリの溶
出性を少なくするには、ガラス中のアルカリ含有量が低
い程好ましい。実用的な無アルカリ、あるいは低アルカ
リのガラスとしては、一般的には、アルミノシリケート
ガラスが知られている。しかし、従来のアルミノシリケ
ートガラスは、何ら、紫外線透過ガラスとしての配慮が
なされておらず、EP−ROM用の窓ガラスとしては不
適当である。一般にガラスの紫外線透過率の向上を計る
ためには、紫外域に吸収を与える不純物、とりわけFe
2O3の混入を極力避ける必要がある。従って非常に純
分の高い原料を使用し、かつ、ガラス製造時における工
程から混入する不純物も制限し、ガラス中のFe2O3
含有量を100ppm以下に抑制する必要がある。その
上、わずかに含有するFe2O3についてもFe3+イ
オンが紫外域に吸収を与えるため、紫外域に吸収を与え
ないFe2+イオンに還元してやる必要がある。従って
、ガラスは還元雰囲気で溶融されなければならず、その
ため、原料バッ中には適当な量の還元剤が導入される。
、特にナトリウムの溶出性が少なく、安価な紫外線透過
ガラスを供することにより、上記エポキシ系樹脂との封
着界面で発生する耐水性の劣化を回避でき、EP−RO
Mの樹脂パッケージ又はアルミナパッケージ樹脂シール
化を可能ならしめようとするものである。アルカリの溶
出性を少なくするには、ガラス中のアルカリ含有量が低
い程好ましい。実用的な無アルカリ、あるいは低アルカ
リのガラスとしては、一般的には、アルミノシリケート
ガラスが知られている。しかし、従来のアルミノシリケ
ートガラスは、何ら、紫外線透過ガラスとしての配慮が
なされておらず、EP−ROM用の窓ガラスとしては不
適当である。一般にガラスの紫外線透過率の向上を計る
ためには、紫外域に吸収を与える不純物、とりわけFe
2O3の混入を極力避ける必要がある。従って非常に純
分の高い原料を使用し、かつ、ガラス製造時における工
程から混入する不純物も制限し、ガラス中のFe2O3
含有量を100ppm以下に抑制する必要がある。その
上、わずかに含有するFe2O3についてもFe3+イ
オンが紫外域に吸収を与えるため、紫外域に吸収を与え
ないFe2+イオンに還元してやる必要がある。従って
、ガラスは還元雰囲気で溶融されなければならず、その
ため、原料バッ中には適当な量の還元剤が導入される。
しかし、以上の配慮だけでは、十分な紫外線透過率を得
ることは難しい。
ることは難しい。
これは、ガラスの基本組成から起因する紫外域の基礎吸
収があるためである。本発明者らは数々の実験から、無
アルカリ又は低アルカリアルミノシリケートガラスの範
囲において、紫外域の吸収が比較的小さな実用的なガラ
ス組成域を見い出した。
収があるためである。本発明者らは数々の実験から、無
アルカリ又は低アルカリアルミノシリケートガラスの範
囲において、紫外域の吸収が比較的小さな実用的なガラ
ス組成域を見い出した。
すなわち、PbO、ZnO、Sb2Oa、As2O3等
の成分は少量含有していても紫外線透過には好ましくな
く、BaO、P2Osについては、ある程度の含有量ま
では許容できるが、多量に含有すると紫外線透過に好ま
しくないことが判明した。逆にSiO2、Al2O3、
B2O3、CaO、MgOは紫外線透過に悪影響を与え
ることがなく、基本組成成分としてふさわしいものであ
ることを見いだした。ガラス製造の立場から述べれば当
該ガラスの溶融性、泡切れ性、成型性が優れ、失透性が
小さいことが必須条件である。しかるに一般にアルミノ
シリケートガラスは、これらの点で他の系のガラスより
も相当不利な立場にある。加えて、本発明者らが要求す
るガラスは紫外線透過が主目的であるため、それを阻害
するSbiO3、As2O3等の泡切れ剤を導入できな
い。また、高温で溶融すると耐火物のガラスへの溶出が
著しくなるなどガラス生地の不純物による汚染が起りや
すくなる。従って、溶融温度の低いガラス組成である必
要がある。一つの目安として、そのガラスの104.0
ポイズの粘度に相当する温度が1200℃以下であるこ
とが好ましい。また、ガラス成型時の失透を防ぐために
は、液相温度におけるガラスの粘度が104.0ポイズ
、好ましくは104.5ポイズ以上であるガラスが必要
とされる。
の成分は少量含有していても紫外線透過には好ましくな
く、BaO、P2Osについては、ある程度の含有量ま
では許容できるが、多量に含有すると紫外線透過に好ま
しくないことが判明した。逆にSiO2、Al2O3、
B2O3、CaO、MgOは紫外線透過に悪影響を与え
ることがなく、基本組成成分としてふさわしいものであ
ることを見いだした。ガラス製造の立場から述べれば当
該ガラスの溶融性、泡切れ性、成型性が優れ、失透性が
小さいことが必須条件である。しかるに一般にアルミノ
シリケートガラスは、これらの点で他の系のガラスより
も相当不利な立場にある。加えて、本発明者らが要求す
るガラスは紫外線透過が主目的であるため、それを阻害
するSbiO3、As2O3等の泡切れ剤を導入できな
い。また、高温で溶融すると耐火物のガラスへの溶出が
著しくなるなどガラス生地の不純物による汚染が起りや
すくなる。従って、溶融温度の低いガラス組成である必
要がある。一つの目安として、そのガラスの104.0
ポイズの粘度に相当する温度が1200℃以下であるこ
とが好ましい。また、ガラス成型時の失透を防ぐために
は、液相温度におけるガラスの粘度が104.0ポイズ
、好ましくは104.5ポイズ以上であるガラスが必要
とされる。
本発明者等は、このような検討の結果から次のような内
容の本発明に到達した。
容の本発明に到達した。
本発明は、不純物としてのFe2O3の重量含有率が1
00ppmであり、かつ肉厚1mmで波長253.7n
mの紫外線の透過率が70%以上であることを特徴とし
、下記成分、すなわち重量%でSiO250〜60、A
l2O313〜18、B2O37.5〜14、CaO5
〜12、MgO5.5〜9、BaO3〜7、P2O50
〜4、K2O0〜5からなる紫外線透過ガラスである。
00ppmであり、かつ肉厚1mmで波長253.7n
mの紫外線の透過率が70%以上であることを特徴とし
、下記成分、すなわち重量%でSiO250〜60、A
l2O313〜18、B2O37.5〜14、CaO5
〜12、MgO5.5〜9、BaO3〜7、P2O50
〜4、K2O0〜5からなる紫外線透過ガラスである。
次に、本発明のガラスの組成限定理由について説明する
。SiO2が50%より少ないときは、ガラスの化学的
耐久性か劣り、60%より多いときは、液相温度及び粘
度が上がる。Al2O3が13%より少ないとき、及び
18%より多いときは、液相温度が上がる。B2O3は
、液相温度の降下に有効な成分で、75%より少ないと
きは、液相温度及び粘度が上がり、14%より多いとき
は、液相温度降下の効果が期待できない上、液相温度に
おける粘度が下がる。CaOが4%、MgOが5.5%
より少ないときは液相温度及び粘度が上がり、CaOが
12%、MgOが9%より多いときは、液相温度が上が
る。BaOが3%より少ないときは、液相温度及び粘度
が上かり、7%より多いときは、紫外線透過率が下がる
。
。SiO2が50%より少ないときは、ガラスの化学的
耐久性か劣り、60%より多いときは、液相温度及び粘
度が上がる。Al2O3が13%より少ないとき、及び
18%より多いときは、液相温度が上がる。B2O3は
、液相温度の降下に有効な成分で、75%より少ないと
きは、液相温度及び粘度が上がり、14%より多いとき
は、液相温度降下の効果が期待できない上、液相温度に
おける粘度が下がる。CaOが4%、MgOが5.5%
より少ないときは液相温度及び粘度が上がり、CaOが
12%、MgOが9%より多いときは、液相温度が上が
る。BaOが3%より少ないときは、液相温度及び粘度
が上かり、7%より多いときは、紫外線透過率が下がる
。
P2O5は、酸性耐火物のガラスによる侵食を防止する
ために有効であり、4%より多いときは紫外線透過率を
下げ、ガラスを乳白化させる。K2Oは優れた溶融性及
び直接通電溶融の可能性が得られ、5%より多いときは
、樹脂封着の封着界面が劣化する。なお、上記ガラス組
成の範囲内において、本発明の特徴となるガラス特性が
若しくは損なわれない限り、Na2O、Li2O、Sr
O、F2、Cl2等の成分を添加することは差し支えな
い。
ために有効であり、4%より多いときは紫外線透過率を
下げ、ガラスを乳白化させる。K2Oは優れた溶融性及
び直接通電溶融の可能性が得られ、5%より多いときは
、樹脂封着の封着界面が劣化する。なお、上記ガラス組
成の範囲内において、本発明の特徴となるガラス特性が
若しくは損なわれない限り、Na2O、Li2O、Sr
O、F2、Cl2等の成分を添加することは差し支えな
い。
下表に、本発明のガラスの実施例を示す。
上記実施例のガラス試料は、次のように調製した。
実施例のガラス組成になるように調合したバッチを白金
ルツボに入れ、1550℃で6時間電気炉内で溶融した
。溶融の際、還元剤として金属アルミニウムを0.3重
量%添加した。溶融後カーボン板上に流し出して板状試
料を得た。この板状試料を小片に切り出し、研磨により
肉厚1mmの紫外線透過率測定用とした。104.0ポ
イズの粘度に相当する温度は、白金球引上げ法によって
めた。また、液相温度は、試料ガラスを粉砕し、295
〜495μのガラス粒子を白金ボートに入れ温度勾配炉
にて16時間保持した後に結晶が生じた上限の温度を読
み取ることによってめた。
ルツボに入れ、1550℃で6時間電気炉内で溶融した
。溶融の際、還元剤として金属アルミニウムを0.3重
量%添加した。溶融後カーボン板上に流し出して板状試
料を得た。この板状試料を小片に切り出し、研磨により
肉厚1mmの紫外線透過率測定用とした。104.0ポ
イズの粘度に相当する温度は、白金球引上げ法によって
めた。また、液相温度は、試料ガラスを粉砕し、295
〜495μのガラス粒子を白金ボートに入れ温度勾配炉
にて16時間保持した後に結晶が生じた上限の温度を読
み取ることによってめた。
以上、説明した本発明のガラスは、紫外線透過率が高く
、低アルカリ或いは、無アルカリであるために優れた耐
水性及び高い信頼性を保持する封着界面を有した樹脂封
着が可能なEP.ROM半導体における紫外線通過用窓
として特に適している。
、低アルカリ或いは、無アルカリであるために優れた耐
水性及び高い信頼性を保持する封着界面を有した樹脂封
着が可能なEP.ROM半導体における紫外線通過用窓
として特に適している。
特許出願人 日本電気硝子株式会社
代表者 長崎準一
Claims (2)
- (1)不純物としてのFe2O3の重量含有率が100
0ppm以下であり、かつ肉厚1mmで波長253.7
nmの紫外線の透過率が70%以上であることを特徴と
し、下記成分、すなわち重量%でSiO2、50〜60
、Al2O313〜18、B2O37.5〜14、Ca
05〜12、MgO5.5〜9、BaO3〜7、P2O
50〜4、K2O0〜5からなる紫外線透過ガラス。 - (2)樹脂封着が行なわれるEP−ROM半導体パッケ
ージにおいて、紫外線透過用の窓として用いられる特許
請求の範囲第1項記載の紫外線透過ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59071188A JPS60215547A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 紫外線透過ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59071188A JPS60215547A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 紫外線透過ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60215547A true JPS60215547A (ja) | 1985-10-28 |
| JPH0422862B2 JPH0422862B2 (ja) | 1992-04-20 |
Family
ID=13453430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59071188A Granted JPS60215547A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 紫外線透過ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60215547A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01201041A (ja) * | 1987-10-01 | 1989-08-14 | Asahi Glass Co Ltd | ディスプレイ基板用無アルカリガラス |
| US4994415A (en) * | 1986-09-17 | 1991-02-19 | Nippon Electric Glass Company, Limited | SiO2 -Al2 O3 -BaO glass substrates with improved chemical resistance for use in display panels and others having thin films |
| EP0559389A3 (ja) * | 1992-03-03 | 1994-01-19 | Pilkington Plc | |
| US5610108A (en) * | 1993-10-15 | 1997-03-11 | Schott Glaswerke | Reducing melt borosilicate glass having improved UV transmission properties and water resistance and methods of use |
| US6060168A (en) * | 1996-12-17 | 2000-05-09 | Corning Incorporated | Glasses for display panels and photovoltaic devices |
| JP2002116181A (ja) * | 2000-10-05 | 2002-04-19 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ガラス、光学部材ならびに電気泳動装置用部材およびその製造方法 |
| JP2008001588A (ja) * | 2006-05-25 | 2008-01-10 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 無アルカリガラスおよび無アルカリガラス基板 |
| WO2016115685A1 (en) * | 2015-01-20 | 2016-07-28 | Schott Glass Technologies (Suzhou) Co. Ltd. | Low cte glass with high uv-transmittance and solarization resistance |
| JP2021522152A (ja) * | 2018-04-25 | 2021-08-30 | 成都光明光▲電▼股▲分▼有限公司 | ガラス組成物 |
| JP2023031228A (ja) * | 2021-08-24 | 2023-03-08 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
| EP4410749A4 (en) * | 2021-09-29 | 2025-09-03 | Cdgm Glass Co Ltd | GLASS COMPOSITION |
-
1984
- 1984-04-09 JP JP59071188A patent/JPS60215547A/ja active Granted
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4994415A (en) * | 1986-09-17 | 1991-02-19 | Nippon Electric Glass Company, Limited | SiO2 -Al2 O3 -BaO glass substrates with improved chemical resistance for use in display panels and others having thin films |
| JPH01201041A (ja) * | 1987-10-01 | 1989-08-14 | Asahi Glass Co Ltd | ディスプレイ基板用無アルカリガラス |
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| AU659272B2 (en) * | 1992-03-03 | 1995-05-11 | Pilkington Plc | Alkali-free glass compositions |
| US5610108A (en) * | 1993-10-15 | 1997-03-11 | Schott Glaswerke | Reducing melt borosilicate glass having improved UV transmission properties and water resistance and methods of use |
| USRE41127E1 (en) * | 1996-12-17 | 2010-02-16 | Corning Incorporated | Glasses for display panels and photovoltaic devices |
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| US6060168A (en) * | 1996-12-17 | 2000-05-09 | Corning Incorporated | Glasses for display panels and photovoltaic devices |
| JP2002116181A (ja) * | 2000-10-05 | 2002-04-19 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ガラス、光学部材ならびに電気泳動装置用部材およびその製造方法 |
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| WO2016115685A1 (en) * | 2015-01-20 | 2016-07-28 | Schott Glass Technologies (Suzhou) Co. Ltd. | Low cte glass with high uv-transmittance and solarization resistance |
| JP2021522152A (ja) * | 2018-04-25 | 2021-08-30 | 成都光明光▲電▼股▲分▼有限公司 | ガラス組成物 |
| JP2023031228A (ja) * | 2021-08-24 | 2023-03-08 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
| EP4410749A4 (en) * | 2021-09-29 | 2025-09-03 | Cdgm Glass Co Ltd | GLASS COMPOSITION |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0422862B2 (ja) | 1992-04-20 |
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