JPS6077144A - 紫外線透過ガラス - Google Patents
紫外線透過ガラスInfo
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- JPS6077144A JPS6077144A JP18312883A JP18312883A JPS6077144A JP S6077144 A JPS6077144 A JP S6077144A JP 18312883 A JP18312883 A JP 18312883A JP 18312883 A JP18312883 A JP 18312883A JP S6077144 A JPS6077144 A JP S6077144A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/11—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen
- C03C3/112—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen containing fluorine
- C03C3/115—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen containing fluorine containing boron
- C03C3/118—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing halogen or nitrogen containing fluorine containing boron containing aluminium
-
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- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C4/00—Compositions for glass with special properties
- C03C4/0085—Compositions for glass with special properties for UV-transmitting glass
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- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は紫外線透過性能にすぐれ半導体用アルミナパッ
ケージに融着可能でアリ、１，５００ｔ；’以下の温度
で溶解できる硼硅酸系ガラスに関するもので、特にコン
ピューターに使用される半導体メモリーの一種である紫
外線消去可能型ＲＯＭ（ＵＶ型ＥＰＲＯＭ）の紫外線透
過窓用ガラスに関する。
ケージに融着可能でアリ、１，５００ｔ；’以下の温度
で溶解できる硼硅酸系ガラスに関するもので、特にコン
ピューターに使用される半導体メモリーの一種である紫
外線消去可能型ＲＯＭ（ＵＶ型ＥＰＲＯＭ）の紫外線透
過窓用ガラスに関する。
ＵＶ型ｌＰＲＯＭの窓用ガラスとして用いられるガラス
は、波長２５３ｎｍの光に対する透過率が高いこと、ア
ルミナノ臂ツケ〕ジに融着可能であること、量産性に富
むこと、という特性が要求される。
は、波長２５３ｎｍの光に対する透過率が高いこと、ア
ルミナノ臂ツケ〕ジに融着可能であること、量産性に富
むこと、という特性が要求される。
これらの要求から従来はＥＰＲＯＭ用紫外線透過ガラス
としては、Ｓ１０．含有率が多くＮ８２°’ＢｔＯｓ比
の小さい硼硅酸塩ガラスが用いられていた０この種のガ
ラスは溶融時の粘性が極めて大きいため脱泡が困難であ
シ、高湿度で溶融されるにもかかわらず気泡のない均質
なガラスを得ることが困難であった。
としては、Ｓ１０．含有率が多くＮ８２°’ＢｔＯｓ比
の小さい硼硅酸塩ガラスが用いられていた０この種のガ
ラスは溶融時の粘性が極めて大きいため脱泡が困難であ
シ、高湿度で溶融されるにもかかわらず気泡のない均質
なガラスを得ることが困難であった。
本発明はｓｔｏ、’ｙｏ重量％以下、Ｎａ２Ｏ３４，７
重量％以上を含む硼硅酬塩ガラスにおいて、適量のフッ
素を加えることによ、！ｌｌｓ２５３ｎｍの波長におけ
る透過率を向上させ、ガラスの粘性を低下させたもので
ある。フッ素を加えることによ５．２５３ｎｍの波長に
おける透過率が増加し、かつ粘性が低下する理由はＢＯ
４群中の一部の酸素イオンがフッ素イオンにより置換さ
れること、ガラス網目の一部がフッ素イオンにより切断
され、この端末にフッ素イオンが結合することにより単
結合酸素が生成しないことによるものと考えられる。ざ
らに還元剤を添加すれば、その還元効果により鉄などの
不純物の多い原料も使用でき原料コストを安くすること
ができる。すなわち本発明によればｉ、５ｏｏｃ以下の
温度で十分溶解でき、かつ１ｗｍ厚での波長２５３ｎｍ
に対する透過率が８０％以上のガラスが得られる。
重量％以上を含む硼硅酬塩ガラスにおいて、適量のフッ
素を加えることによ、！ｌｌｓ２５３ｎｍの波長におけ
る透過率を向上させ、ガラスの粘性を低下させたもので
ある。フッ素を加えることによ５．２５３ｎｍの波長に
おける透過率が増加し、かつ粘性が低下する理由はＢＯ
４群中の一部の酸素イオンがフッ素イオンにより置換さ
れること、ガラス網目の一部がフッ素イオンにより切断
され、この端末にフッ素イオンが結合することにより単
結合酸素が生成しないことによるものと考えられる。ざ
らに還元剤を添加すれば、その還元効果により鉄などの
不純物の多い原料も使用でき原料コストを安くすること
ができる。すなわち本発明によればｉ、５ｏｏｃ以下の
温度で十分溶解でき、かつ１ｗｍ厚での波長２５３ｎｍ
に対する透過率が８０％以上のガラスが得られる。
本発明の組成域は、重量百分率で
ｓｉｏ、 ５６〜７０％、好ましくは６３〜６８％Ｂ２
Ｏ３１６〜３５％、好ましくは２０〜２５％Ｎａｎｏ
４７．〜１３％、好ましくは５〜１１％ｋｌ＊ｏｓ ”
〜７％ Ｎ ａ２０／Ｂ、 Ｏ，＜０．５５ ８ ｉ ０． ＋Ｂ２０ｎ 十Ｎ ａ、 Ｏ＋Ａ １２
０ｓ≧９５％。
Ｏ３１６〜３５％、好ましくは２０〜２５％Ｎａｎｏ
４７．〜１３％、好ましくは５〜１１％ｋｌ＊ｏｓ ”
〜７％ Ｎ ａ２０／Ｂ、 Ｏ，＜０．５５ ８ ｉ ０． ＋Ｂ２０ｎ 十Ｎ ａ、 Ｏ＋Ａ １２
０ｓ≧９５％。
好ましくは２９７％
で、かつ酸素イオンをフッ素イオンで置換して上記組成
中に２．５〜１０重量％のフッ素を含ませてなるもので
ある。
中に２．５〜１０重量％のフッ素を含ませてなるもので
ある。
本発明の組成範囲の限定理由を述べると、８１０２は７
０％以上では溶解温度が１，５００Ｃ以上を必要とする
ので本発明の目的に反し、５６％以下では化学耐久性に
乏しく実用に耐えない。Ｂ！０３は１６％以下では溶解
温度が高く不適であシ、３５％以上では化学的耐久性に
乏しい。）Ｊａ４０は４．７％以下では１，５００Ｃ以
上の溶解湿度を必要とするので本発明の目的に反し、１
１％以上では波長２５３ ｎｍに対する透過率が悪くな
る。Ｎａ２Ｏの一部をＬｉ、 ０およびに、Ｏに置換す
ることも可能であるが、１，１．０はこのガラスの分相
傾向を増し、Ｋ、Ｏは紫外域の透過率を低下させる傾向
があるので、これらの成分は全アルカリ金属酸化物の３
０％以下であることが望ましい。Ａ Ｊ、 ｏｘはこの
系のガラスの分相全抑制し、化学的耐久性を向上させる
ので３％以上必要であるが、７％以上ではガラスが高粘
性となυ、本発明の目的に適さない。ガラスの溶融を促
進するために少量のＭｇＯ、ＣａＯなど全導入すること
ができるが、紫外域の透過率を低下させるので、８１０
、 、 Ｎａｎｏ、 Ａｍ、０１およびＢ２０．以外の
成分の合計量は５％以下、好ましくは３％以下である。
０％以上では溶解温度が１，５００Ｃ以上を必要とする
ので本発明の目的に反し、５６％以下では化学耐久性に
乏しく実用に耐えない。Ｂ！０３は１６％以下では溶解
温度が高く不適であシ、３５％以上では化学的耐久性に
乏しい。）Ｊａ４０は４．７％以下では１，５００Ｃ以
上の溶解湿度を必要とするので本発明の目的に反し、１
１％以上では波長２５３ ｎｍに対する透過率が悪くな
る。Ｎａ２Ｏの一部をＬｉ、 ０およびに、Ｏに置換す
ることも可能であるが、１，１．０はこのガラスの分相
傾向を増し、Ｋ、Ｏは紫外域の透過率を低下させる傾向
があるので、これらの成分は全アルカリ金属酸化物の３
０％以下であることが望ましい。Ａ Ｊ、 ｏｘはこの
系のガラスの分相全抑制し、化学的耐久性を向上させる
ので３％以上必要であるが、７％以上ではガラスが高粘
性となυ、本発明の目的に適さない。ガラスの溶融を促
進するために少量のＭｇＯ、ＣａＯなど全導入すること
ができるが、紫外域の透過率を低下させるので、８１０
、 、 Ｎａｎｏ、 Ａｍ、０１およびＢ２０．以外の
成分の合計量は５％以下、好ましくは３％以下である。
紫外域の透過率を向上させるためには、２．５％以上の
フッ素が必要であるが、１０％以上ではガラスからの揮
発が激しく均質なガラスが得られなくなるので、フッ素
の含有量は２．５〜１０％が適当である。ガラス原料中
に微量に含まれる鉄イオンあるいはガラス製造工程にお
いて混入する鉄イオンによる紫外域の吸収を除くために
、配合原料中に還元剤全添加することによりガラス中の
Ｆｅ” ｆ Ｆｅ”に還元することが有効である。還元
剤としてはテン粉、マンニット等の有機化合物あるいは
金属ケイ素などが有効である。還元剤の適量はるつＭｉ
：を用いて溶融する際には、テン粉の場合１．５％以下
、金属ケイ素の場合０，１％以下である。添加量が多す
ぎると炭素や金属ケイ素が残留してガラスが着色するの
で好ましくない。
フッ素が必要であるが、１０％以上ではガラスからの揮
発が激しく均質なガラスが得られなくなるので、フッ素
の含有量は２．５〜１０％が適当である。ガラス原料中
に微量に含まれる鉄イオンあるいはガラス製造工程にお
いて混入する鉄イオンによる紫外域の吸収を除くために
、配合原料中に還元剤全添加することによりガラス中の
Ｆｅ” ｆ Ｆｅ”に還元することが有効である。還元
剤としてはテン粉、マンニット等の有機化合物あるいは
金属ケイ素などが有効である。還元剤の適量はるつＭｉ
：を用いて溶融する際には、テン粉の場合１．５％以下
、金属ケイ素の場合０，１％以下である。添加量が多す
ぎると炭素や金属ケイ素が残留してガラスが着色するの
で好ましくない。
次に本発明の実施例について説明する。
（ｔｖｔ％）
Ｔ１１３ （％） ’ ２ ｓ ３Ｈｍの波長に対する
透過率、試料１ｍ厚Ｆ ＋ＮａＦ、ＡＪＦ、から計算し
たフッ素含有賞上表に示したそれぞれの組成になるよう
に、砕石粉、硼酸、アルミナ、炭酸ナトリウム、フッ化
アルミニウムあるいはフッ化ナトリウムを原料として配
合し、この配合原料に必要に応じて還元剤としてデンプ
ンヲ０．５ないし１．０％添加した。この配合原料全る
つほに入れ電気炉中で１４００〜１５００Ｃで溶融し、
攪拌しながら脱泡した後に金型に鋳込んで室温ｌで徐冷
した。このガラスの一部から試料全採取し厚さ１ｆｆｌ
＃ｌに研賠して２５３ｎｍの透過率全分光光電光度計に
よＱ測定し／ヒ結果と、これらガラスの転移温度Ｔｙお
よび熱膨張係数αも併せて表中に示した。
透過率、試料１ｍ厚Ｆ ＋ＮａＦ、ＡＪＦ、から計算し
たフッ素含有賞上表に示したそれぞれの組成になるよう
に、砕石粉、硼酸、アルミナ、炭酸ナトリウム、フッ化
アルミニウムあるいはフッ化ナトリウムを原料として配
合し、この配合原料に必要に応じて還元剤としてデンプ
ンヲ０．５ないし１．０％添加した。この配合原料全る
つほに入れ電気炉中で１４００〜１５００Ｃで溶融し、
攪拌しながら脱泡した後に金型に鋳込んで室温ｌで徐冷
した。このガラスの一部から試料全採取し厚さ１ｆｆｌ
＃ｌに研賠して２５３ｎｍの透過率全分光光電光度計に
よＱ測定し／ヒ結果と、これらガラスの転移温度Ｔｙお
よび熱膨張係数αも併せて表中に示した。
第１図は厚さｊ＝＝１．Ｑ１３ｍとした場合の分光透過
率曲線を示した。第２図には８１０．５９．５ ｗｔ％
−Ｂ、０３ ２８．５− Ｎａ、０７．２− ＡＪ２０
．４．８なる組成のガラスと、これをペースにしｉＦ、
ｇ ’ｉ使用してフッ素１０５．４ ｗｔ％加えた組成
（表中、２番）のガラスとの分光透過率曲線をそれぞれ
示した。何れも還元剤は含まれていない。フッ素を含ま
せたことによる紫外域の透過率の増加は著しい。
率曲線を示した。第２図には８１０．５９．５ ｗｔ％
−Ｂ、０３ ２８．５− Ｎａ、０７．２− ＡＪ２０
．４．８なる組成のガラスと、これをペースにしｉＦ、
ｇ ’ｉ使用してフッ素１０５．４ ｗｔ％加えた組成
（表中、２番）のガラスとの分光透過率曲線をそれぞれ
示した。何れも還元剤は含まれていない。フッ素を含ま
せたことによる紫外域の透過率の増加は著しい。
上述のように本発明によれは、従来の紫外線透過用硼硅
酸ガラスよシも低温度で溶融可能で、かつ２５．３ｎｍ
の透過率の大きいガラスが得られる。
酸ガラスよシも低温度で溶融可能で、かつ２５．３ｎｍ
の透過率の大きいガラスが得られる。
このガラスは気泡が少なく均質であるため、ＥＰＲＯＭ
用紫外線透過ガラスとして好適である。
用紫外線透過ガラスとして好適である。
第１図は本発明紫外線透過ガラスの一実施例の分光透過
率曲線を示す図、第２図はフッ素を含有するものと、含
有しないものとの同上透過率曲線の差を示す図である。 株式会社 深谷硝子 代理人 朝倉正幸
率曲線を示す図、第２図はフッ素を含有するものと、含
有しないものとの同上透過率曲線の差を示す図である。 株式会社 深谷硝子 代理人 朝倉正幸
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、重置百分率で ８１０、 ５６〜７０％ Ｂ、０，１６〜３５％ Ｎａ、０ ４．７〜１３．０％ Ａ ｌ、 ０３３〜７％ ＮａｔＯｓ／ＢｔＱａ （０，５５ ８ｉ ０２＋Ｂ２Ｏ３＋Ｎａ、Ｏ＋ＡＪ１０ｇ ２ ９
５％で、かつ酸素イオンをフッ素イオンで置換して上記
組成中に２．５〜ｌＯ重−％の７ツ案を含ｌせたこと全
特徴とする紫外線透過ガラス。 ２、 重量百分率で Ｓ１０． ６３〜６８％ Ｂｔｏｓ ２０〜２５％ Ｎａ、０５〜１１％ Ａ Ｊ、 ０． ３〜７％ Ｎａ、Ｏ／Ｂ、０８（０，５５ ８１０Ｈ＋Ｂ１０Ｂ ＋Ｎ ａ、 Ｏ＋Ａ Ｔｏ Ｏｓ
２９７％で、かつ酸素イオン會フッ素イオンで１な換し
て上記組成中に、２．５〜１０重量％のフッ素を含ませ
てなる特許請求の範囲第１項記載の紫外線透過ガラス。 ３、 配合原料に０，２〜１．５重世％の還元剤全添加
している特許請求の範囲第１項ｌたは第２項記載の紫外
線透過ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18312883A JPS6077144A (ja) | 1983-10-03 | 1983-10-03 | 紫外線透過ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18312883A JPS6077144A (ja) | 1983-10-03 | 1983-10-03 | 紫外線透過ガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6077144A true JPS6077144A (ja) | 1985-05-01 |
Family
ID=16130284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18312883A Pending JPS6077144A (ja) | 1983-10-03 | 1983-10-03 | 紫外線透過ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6077144A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60200842A (ja) * | 1984-03-21 | 1985-10-11 | Hoya Corp | 紫外線透過用ガラス |
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