JPS60219637A - 磁気デイスクの表面平滑化方法 - Google Patents
磁気デイスクの表面平滑化方法Info
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- JPS60219637A JPS60219637A JP7678384A JP7678384A JPS60219637A JP S60219637 A JPS60219637 A JP S60219637A JP 7678384 A JP7678384 A JP 7678384A JP 7678384 A JP7678384 A JP 7678384A JP S60219637 A JPS60219637 A JP S60219637A
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は磁気ディスク、特に高密度磁気ディスク（例え
ば、めっきまたはスパッタ法による薄膜媒体磁気ディス
ク）のごとき、高精度表面を要求されている磁気ディス
ク基板の表面平滑方法に関するものである。
ば、めっきまたはスパッタ法による薄膜媒体磁気ディス
ク）のごとき、高精度表面を要求されている磁気ディス
ク基板の表面平滑方法に関するものである。
（従来技術とその問題点）
一般に薄膜媒体磁気ディスクは、研磨仕上したＮ１−Ｐ
下地層の上に磁性薄膜として媒体（Ｎｉ −Ｃ。
下地層の上に磁性薄膜として媒体（Ｎｉ −Ｃ。
−Ｐ）をめっきまたは媒体（α−Ｆｅ、 ０３）をスパ
ッタし、保護膜（例えば５ｆｆｉＯりを付与することに
よって製造されている。この場合、保護膜を形成した磁
気ディスク表面には高さ０．１μｍ以上の微小突起が存
在し、磁気ヘッドが摩耗劣化したシヘッド浮揚性が悪く
なる等の悪影響がある。
ッタし、保護膜（例えば５ｆｆｉＯりを付与することに
よって製造されている。この場合、保護膜を形成した磁
気ディスク表面には高さ０．１μｍ以上の微小突起が存
在し、磁気ヘッドが摩耗劣化したシヘッド浮揚性が悪く
なる等の悪影響がある。
これを解決するために、回転する磁気ディスク表面にラ
ッピングフィルムの砥粒面を接触させて、磁気ディスク
表面の微小突起を除去する方式（例えば時分 昭５６−
４６７６８）が従来採用されてい 。
ッピングフィルムの砥粒面を接触させて、磁気ディスク
表面の微小突起を除去する方式（例えば時分 昭５６−
４６７６８）が従来採用されてい 。
る０
しかし、従来の方式では、ラッピングフィルムの砥粒面
が磁気ディスク表面に加圧接触して、磁気ディスク表面
を研磨加工していくので、微小突起のみ選択的に除去す
ることはできず１微小突起の存在しない保護膜部分も研
磨し除去してしまう欠点がある０このため、磁気ディス
クの保護膜厚さの不均一を生じ、磁気ディスクの耐久性
、耐食性が低下するという問題があった。
が磁気ディスク表面に加圧接触して、磁気ディスク表面
を研磨加工していくので、微小突起のみ選択的に除去す
ることはできず１微小突起の存在しない保護膜部分も研
磨し除去してしまう欠点がある０このため、磁気ディス
クの保護膜厚さの不均一を生じ、磁気ディスクの耐久性
、耐食性が低下するという問題があった。
（発明の目的）
本発明の目的は、このような従来の欠点にかんがみ、磁
気ディスク表面の微小突起のみを選択的に効率良く除去
できる磁気ディスクの表面平滑化方法を提供することに
ある０ （発明の構成） 本発明によれば、磁気ディスクを回転させ、該ディスク
面上を光線を集光する透明体を有したバーニラシーヘッ
ドを微小すきまで浮上させ１光線を該ディスク面上に照
射しながら、該ディスク面上の微小突起を除去すること
を特徴とする磁気ディスクの表面平滑化方法が得られる
。
気ディスク表面の微小突起のみを選択的に効率良く除去
できる磁気ディスクの表面平滑化方法を提供することに
ある０ （発明の構成） 本発明によれば、磁気ディスクを回転させ、該ディスク
面上を光線を集光する透明体を有したバーニラシーヘッ
ドを微小すきまで浮上させ１光線を該ディスク面上に照
射しながら、該ディスク面上の微小突起を除去すること
を特徴とする磁気ディスクの表面平滑化方法が得られる
。
（発明の概要）
本発明は上述の方法によシ、従来の問題点を解決した。
すなわち、磁気ディスクを回転させ、該ディスク面上を
光線を集光する透明体を有したバーニクーヘッドを該デ
ィスク面上に存在する微小突起部高さよシ小さい値で浮
上させて、該透明体によって光線が該ディスク面上の微
小突起部の頂点に集光するように設定する。光線の照射
によって、微小突起部は溶融軟化し、直ちに該バー二シ
ェヘッドのスライダ面と衝突して微小突起は除去されて
いく。この場合、微小突起の存在しないディスク面上に
も光線は照射されるが、バーニラシーヘッドは磁気ディ
スク面上を微小すきまで浮上しているので、微小突起の
存在しないディスク面はバーニラシーヘッドとは接触し
ない。従って、本発明の磁気ディスクの表面平滑化方法
によ＃）１磁気ディスク表面の微小突起のみを選択的に
除去できる。
光線を集光する透明体を有したバーニクーヘッドを該デ
ィスク面上に存在する微小突起部高さよシ小さい値で浮
上させて、該透明体によって光線が該ディスク面上の微
小突起部の頂点に集光するように設定する。光線の照射
によって、微小突起部は溶融軟化し、直ちに該バー二シ
ェヘッドのスライダ面と衝突して微小突起は除去されて
いく。この場合、微小突起の存在しないディスク面上に
も光線は照射されるが、バーニラシーヘッドは磁気ディ
スク面上を微小すきまで浮上しているので、微小突起の
存在しないディスク面はバーニラシーヘッドとは接触し
ない。従って、本発明の磁気ディスクの表面平滑化方法
によ＃）１磁気ディスク表面の微小突起のみを選択的に
除去できる。
（実施例）
以下１本発明の実施例について図面を用いて説明する。
磁気ディスクｌは薄膜媒体（Ｎｉ −Ｃｏ −Ｐ）メッ
キ後、保獲膜として８ｉ０．を厚さ０．０８μｍ付与し
たもので、その表面には微小突起２が存在している０バ
ーニツシユヘツド３はアルミナ材よりなシ、バーニッシ
ュヘッド３中に光線を集光させる透明体として平凸レン
ズ４（集魚距離ｆ二２１１１）を設けている。）シファ
イバ５を通して照射されたアルゴンレーザ光６（パワー
０．ＩＷ） ヲ平凸レンズ４によってスポットｊ１１１
Ｏμｍに集光させる０このような平凸レンズ４を備えた
ノく一ニッシュへ・ノド３を回転する磁気ディスク１面
上を微小突起高さよシ小さい値で浮上させながら、アル
ゴンレーザ光６を平凸レンズ４を通して磁気ディスク１
面上に照射すると、微小突起２は溶融軟化し、ノく一ニ
ッシュへノド３のスライダ面と衝突して除去され、磁気
ディスクｌの表面は平滑化される。この場合、バーニツ
クユヘッド３を数往復させながら、除徐にバーニッシュ
ヘッド３の浮上量を小さくシティく。実験によ“れば、
バーニラシー前の磁気ディスク面上の微小突起高さが（
１，１〜０．２５μｍ＝％つたものが、バーニッシュ後
、微小突起高さ力ｉ ０．０５μｆｆ１以下になシ、最
小浮上高さが０．１μｍ以下となった０本発明の方法で
は磁気ディスク面上の微ｌｊ−突起のみ除去され、微小
突起の存在しない磁気ティスフ面部分はバーニッシュさ
れないので、磁気ディスクの保護膜厚さに不均一を生じ
ること７！ｌ工なく、耐層性および耐食性が優れた磁気
ディスク力；獲イ尋できる０ また１本発明の方法では、集光された光線を照射して、
磁気ディスク面上の微小突起を溶融・軟 ：化させてお
シ、溶融・軟化して強度の低下した微小突起をバーニッ
シュヘッドのスライダ面に衝突させて除去しているので
、光線を照射しない場合に比較して、表面平滑化時間を
大幅に短縮できる □（本実施例の場合、約半分に短縮
）とともに、従来、除去できなかった硬質な微小突起も
容易に除去できる利点がある。
キ後、保獲膜として８ｉ０．を厚さ０．０８μｍ付与し
たもので、その表面には微小突起２が存在している０バ
ーニツシユヘツド３はアルミナ材よりなシ、バーニッシ
ュヘッド３中に光線を集光させる透明体として平凸レン
ズ４（集魚距離ｆ二２１１１）を設けている。）シファ
イバ５を通して照射されたアルゴンレーザ光６（パワー
０．ＩＷ） ヲ平凸レンズ４によってスポットｊ１１１
Ｏμｍに集光させる０このような平凸レンズ４を備えた
ノく一ニッシュへ・ノド３を回転する磁気ディスク１面
上を微小突起高さよシ小さい値で浮上させながら、アル
ゴンレーザ光６を平凸レンズ４を通して磁気ディスク１
面上に照射すると、微小突起２は溶融軟化し、ノく一ニ
ッシュへノド３のスライダ面と衝突して除去され、磁気
ディスクｌの表面は平滑化される。この場合、バーニツ
クユヘッド３を数往復させながら、除徐にバーニッシュ
ヘッド３の浮上量を小さくシティく。実験によ“れば、
バーニラシー前の磁気ディスク面上の微小突起高さが（
１，１〜０．２５μｍ＝％つたものが、バーニッシュ後
、微小突起高さ力ｉ ０．０５μｆｆ１以下になシ、最
小浮上高さが０．１μｍ以下となった０本発明の方法で
は磁気ディスク面上の微ｌｊ−突起のみ除去され、微小
突起の存在しない磁気ティスフ面部分はバーニッシュさ
れないので、磁気ディスクの保護膜厚さに不均一を生じ
ること７！ｌ工なく、耐層性および耐食性が優れた磁気
ディスク力；獲イ尋できる０ また１本発明の方法では、集光された光線を照射して、
磁気ディスク面上の微小突起を溶融・軟 ：化させてお
シ、溶融・軟化して強度の低下した微小突起をバーニッ
シュヘッドのスライダ面に衝突させて除去しているので
、光線を照射しない場合に比較して、表面平滑化時間を
大幅に短縮できる □（本実施例の場合、約半分に短縮
）とともに、従来、除去できなかった硬質な微小突起も
容易に除去できる利点がある。
（発明の効果）
以上説明したように、磁気ディスクを回転させ、該磁気
ディスク面上を光線を集光する透明体を有したバーニッ
シュヘッドを微小すきまで浮上させ、光線を該ディスク
面上に照射しながら、該ディスク面上の微小突起を除去
する方法により、短時間に磁気ディスクの表面平滑化が
達成され、磁気ディスクの耐久性、耐食性を低下させる
ことなくヘッド浮上性を著しく改善できる利点がある０
なお、本発明の一実施例においては、バーニツシュヘッ
ド中に光線を集光させる透明体を設けたが、バーニラシ
ーヘッド自体を硬質の透明体としても良い０また、光線
としてアルゴンレーザ光を用いたが、炭酸ガスレーザ光
、ＹＡＧレーザ光等を用いても良い。
ディスク面上を光線を集光する透明体を有したバーニッ
シュヘッドを微小すきまで浮上させ、光線を該ディスク
面上に照射しながら、該ディスク面上の微小突起を除去
する方法により、短時間に磁気ディスクの表面平滑化が
達成され、磁気ディスクの耐久性、耐食性を低下させる
ことなくヘッド浮上性を著しく改善できる利点がある０
なお、本発明の一実施例においては、バーニツシュヘッ
ド中に光線を集光させる透明体を設けたが、バーニラシ
ーヘッド自体を硬質の透明体としても良い０また、光線
としてアルゴンレーザ光を用いたが、炭酸ガスレーザ光
、ＹＡＧレーザ光等を用いても良い。
Claims (1)
- 磁気ディスクを回転させ、該ディスク面上を光線を集光
する透明体を有したバーニッシュヘッドを微小すきまで
浮上させ、該ディスク面上に光線を耶射しながら該ディ
スク面上の微小突起を除去することを特徴とする磁気デ
ィスクの表面平滑化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7678384A JPS60219637A (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 磁気デイスクの表面平滑化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7678384A JPS60219637A (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 磁気デイスクの表面平滑化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60219637A true JPS60219637A (ja) | 1985-11-02 |
Family
ID=13615196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7678384A Pending JPS60219637A (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 磁気デイスクの表面平滑化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60219637A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5043835A (en) * | 1987-03-09 | 1991-08-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for adjusting the position of a magnetic head relative to a recording medium |
| US6394105B1 (en) * | 1998-03-19 | 2002-05-28 | Seagate Technology, Inc. | Integrated laser cleaning and inspection system for rigid thin film media for magnetic recording application |
-
1984
- 1984-04-17 JP JP7678384A patent/JPS60219637A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5043835A (en) * | 1987-03-09 | 1991-08-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for adjusting the position of a magnetic head relative to a recording medium |
| US6394105B1 (en) * | 1998-03-19 | 2002-05-28 | Seagate Technology, Inc. | Integrated laser cleaning and inspection system for rigid thin film media for magnetic recording application |
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