JPS60224014A - 三次元測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は三次元測定機に関する。

Ｅ背景技術Ｊ 従来、タッチ信号プローブを三次元的に移動させて被測
定物の形状を測定する三次元測定機が知られ、その移動
を自動的に行なえるようにしたいわゆるＣＮＣ三次元測
定機も普及しつつある。この自動化の実効を期するには
、各種タッチ信号プローブを自動的に交換できるように
することが必要になる。

従来、タッチ信号プローブの交換は、人手で行なわれる
のが一般であり、自動化する場合も測定機本体とは独立
したプローブ自動着脱装置を設置するものであった。ま
た、タッチ信号プローブを保持するＺ輛構造物的にプロ
ーブ自動着脱装置を設置すいることも考えられている。

いずれにしても、複数のタッチ信号プａ−ブの供給をど
のようにして行なうかが、自動化の実効を期す上で重要
であり、効率のよい供給構造が望まれている。

［発明の目的］ 本発明の目的は、三次元測定機のＺ軸構造物に複数のタ
ッチ信号プローブを供給するにあたり、能率のよい供給
が可能な手段を有する三次元測定機を提供するにある。

［発明の構成］ 本発明は、基台に対しテーブルを可動型とする一方、大
型支柱は基台に固定し、かつ、自動化の実効を期して可
動テーブル上にプローブを複数保持可能なプローブスト
ッカを設け、このプローブストッカには一側を開放され
たプローブ保持用切欠部を形成するとともに、タッチ信
号プローブには前記切欠部周縁に係止可能なフランジ部
を設け、るという構成とし、これにより、可動部の小型
化に伴ない送り構造を小型化するとともに、プローブス
トッカの切欠部とタッチ信号プローブのフランジ部との
係合という構成でプローブの着脱は被測定物の移動に必
要なテーブル等の駆動機構を利用できてプローブ着脱の
ための特別の送りのための機械、制御回路等を必要とし
ないようにし、更に、プローブストッカ上に載置された
複数のタッチ信号プローブは測定機本体の測定精度と同
一精度でプローブ自動着脱機構に供給できるようにし、
従って、プローブ自動着脱装置の設計も極めて容易にで
きて技術的、経済的価値を大きなものとしたものである
。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

全体構成を示す第１図および第２図において、天然石材
、セラミック等の６様部材からなる基台１０は設置床１
上に水平に設置され、この基台ｌＯは略凸字状に形成さ
れるとともに、この凸字状の基台１０の上面中央には基
台ｌＯと同様の６様部材からなりＹ軸方向の案内面を形
成する第１の案内部材１１がねじ止め固定され、更に、
この第１の案内部材１１の両側には同しく６様部材から
なる偏平な一対の第２の案内部材１２が一部を基台１０
の凸部上面から突出された状態で対称にねじ止め固定さ
れている。ここにおいて、本明細書におけるＸ軸方向と
は第２図中左右方向を、Ｙ軸方向とは同図中紙面直交方
向を、Ｘ軸方向とは同図中上下方向即ち鉛直方向を意味
し、従って、これらのｘ、ｙ、ｚ軸はＸ、Ｙ軸を水平面
内の軸とし、Ｘ軸方向を鉛直方向とする互いに直交する
三軸とされている。

前記基台ｌＯ上には金属製のテーブル５０がＹ軸方向に
移動可能に設けられている。このテーブル５０の下面に
は、前記第１の案内部材１１の平行案内面１８に対抗さ
れるエアベアリング５１がブラケット５２を介して取付
けられるとともに、前記第２の案内部材１２の上下の平
行案内面２０に対向されるエアベアリング５３およびブ
ラダ、−。

ト５５を介したエアベアリング５４が夫々取付けられ、
これらの各エアベアリング５１，５３．５４によりテー
ブル５０は基台ｌＯ上をわずかな力で移動できるように
され、かつ、第１の案内部材１１とエアベアリング５１
との作用によりＸ軸方向への移動が規制され、また、第
２の案内部材１２とエアベアリング５３．５４との作用
によりＸ軸方向の移動が規制され、Ｙ軸方向にのみ真直
に移動できるようになっている。

また、基台ｌＯとテーブル５０との間には、テーブル５
０をＹ軸方向に駆動するＹ軸方向駆動機構６０が設けら
れている。このＹ軸方向駆動機構６０は、第３図に示さ
れるように、基台ｌＯにブラケット６１を介して固定さ
れたモータ６２を備え、このモータ６２により駆動され
る送りねじ軸６４に螺合されたナツト部材６６がブラケ
ット６５を介してテーブル５０に固定され、送りねじ軸
６４の回転に伴ないナツト部材６６を介してテーブル５
０が送りねじ軸６４の軸方向に移動されるようになって
いる。この際、送りねじ軸６４は第１の案内部材１１の
溝ｚｌ内に配置されている。また、テーブル５０の送り
量は、図示しないＹ軸方向変位検出手段により計測され
るようになっている。

第２図において、前記基台１０の両側面には夫々支柱９
０が固定されている。これらの支柱９０は夫々鉄等の金
属から形成されるとともに、これらの支柱９０の上端間
には前記基台ｌＯと同様な６様部材からなる非移動体側
構造体としての梁１００が横架固定されている。この梁
１００の上には、スライダ１１０がＸ軸方向移動自在に
支持されるとともに、このスライダ１１０はモータ１２
２、送りねじ軸１２４、ナツト部材１２９等からなるＸ
軸方向駆動機構１２０によりＸ軸方向に自動送りされ、
かつ、その移動量は図示しないＸ軸方向変位検出手段に
より計測されるようになっている。

前記スライダ１１０は、第４図に示されるように、前記
梁ｌＯＯを囲むように設けられるとともに梁ｌＯＯの四
角の各面に対向して夫々エアベアリング１１１を有する
Ｘ軸方向案内用軸受箱１１２と、このＸ軸方向案内用軸
受箱１１２の前面に取付けられるとともに内部に平面四
角形状に配置されたエアベアリング１１３を有する上下
一対のＸ軸方向案内用軸受箱１１４と、これらのＸ軸方
向案内用軸受箱１１４内にＺ軸方向移動自在に挿入され
たＺ軸構造物１８０と、前記Ｘ軸方向案内用軸受箱１１
２上に立設された支持フレームｌ１５に支持されたＺ軸
方向駆動機構１１０と、前記支持フレーム１１５の上端
部に設けられるとともに前記Ｚ軸方向駆動機構１４０の
自由回転を阻止して前記Ｚ軸構造物１８０の落下を防止
するロック装置１６０とを備えている。

前記Ｚ軸方向駆動機構１４０は、前記支持フレーム１１
５に支持されたモータ１４１を備え、このモータ１４１
によりタイミングベルト１４２を介して送りねじ軸１４
５を回転駆動できるようになっている。この送りねじ軸
１４５にはナツト部材１４６が螺合されるとともに、こ
のナツト部材１４６は一対のローラ１４８および支持フ
レーム１１５に固定された案内レール１４７により回動
不能に軸方向に案内されるようになっており、更に、こ
のナツト部材１４６に固定された連結板１４９を前記Ｚ
軸構造物１８０の上端部に固定されたブラケット１５２
により軸方向移動不可能かつ半径方向移動可能に挟持す
ることによってナツト部材１４６の軸方向の動きを２軸
構造物１８０に伝達できるようになっている。この際、
送りねじ軸１４５の曲がり、偏心等による影響は、連結
板１４９とブラケット１５２との間の半径方向の滑りに
より吸収され、Ｚ軸構造物１８０にはナツト部材１４６
のＺ軸方向の動きだけが伝達されるようになっている。

前記Ｚ軸構造物１８０は、四角筒からなりＺ軸部材とし
ての中空の筐体１８１を備えるとともに、この筐体１８
１内にエアバランス機構１９０およびプローブ着脱機構
２００を備えている。このエアバランス機構１９０は、
筐体１８１に固定されるとともに下端を開放されたシリ
ンダ１９１と、このシリンダ１９１内に収納されるとと
もに前記支持フレーム１１５にピストンロッド１９４を
介して支持されたピストン１９２とを備えて構成され、
このピストン１９２とシリンダ１９１の上部との間に圧
縮空気を供給することにより、この圧縮空気の作用でＺ
軸構造物１８０の自重を支持してＺ軸構造物１８０の自
重による送りねじ軸１４５側への荷重の軽減が図られて
いる。また、Ｚ＃Ｉ構造物１８０のＺ軸方向の移動量は
図示しないＺ軸方向変位検出手段により検出されるよう
になっている。

前記Ｚ軸構造物１８０は、第５図に示されるように、前
記四角筒からなるＺ軸部材としての中空の筐体１８１を
備え、この筐体１８１内には、上部にエアバランス機構
１９０が設けられるとともに、下部にＺスピンドル２２
０が固定されている。この２スピンドル２２０は、プロ
ーブ取付部としてのテーパ状の孔２１９を有するととも
に、内部にプローブ支持手段としての下部が中空のホー
ルホルダ２２６を軸方向移動可能に収納している。この
ポールホルダ２２６は、その下端部に半径方向移動可能
かつ落下防止された複数のポール２２５を備えるととも
に、駆動棒としてのピストンロッド２３２により上下動
されるようになっている。このピストン口ｙｈ’２３２
は多段にピストン２３３を備え、これらのピストン２３
３は、仕切壁２３４を有する押出し手段としてのアクチ
ェータ２３５内に収納されて直列な多段の受圧面を有す
るようにされている。また、ピストンロッド２３２は、
引込み手段としての皿ばね２２８により常時上方、即ち
、ポールホルダ２２６を常時小径のガイド孔２２１内に
引込む方向にｎ勢されている。このポールホルタ２２６
のガイド孔２２１内への引込み時には、このガイド孔２
２１の作用によりポール２２５がポールホルタ２２６の
内方に突出され、このポール２２５によりプローブホル
タ２５０の上端のプルスタ、　ｌ”　２５１を係止でき
るようになっている。一方、アクチェータ２３５の作動
により、ピストンロット２３２が皿ばね２２８に抗して
下方に押圧されたときは、ポールホルタ２２６が小径の
ガイド孔２２１内から押出され、プローブホルダ２５０
のチャックを解除できるようになっている。また、この
ピストンロッド２３２の動きは、ドッグ２３６及び一対
の検出器２３７からなる軸方向位置検出手段２３８によ
り検出される。

前記Ｚスピンドル２２０は、その下面にプローブホルダ
２５０の位置決め用突部２３９を有するとともに、電気
接点としての固定ピン２４３を有し、この固定ピン２４
３によりプローブホルダ２５０ひいてはこのホルダ２５
０に取付けられるタッチ信号プローブ２７０或いは２８
ｏ（第６゜７図参照）と電気的導通がとれるようになっ
ている。

なお、前記押出し手段としてのアクチェータ２３５、引
込み手段としての皿ばね２２８およびプローブ支持手段
としてのポールホルタ２２６によりプローブ着脱機構２
００が構成され、このプローブ着脱機構２００により、
プローブ取付部としてのＺスピンドル２２０の孔２１９
にタッチ信号プローブ２７０．２８０のプローブホルダ
２５０が着脱されるようになっている。

前記プローブホルダ２５０は、第６図および第７図に示
されるように、上端にプルスタッド２５１を有するとと
もに下端にフランジ部２５２を有しかつ途中にテーパ面
２５３を有する上部部材２５４およびこの上部部材２５
４の下面に固定される下部部材２５５からなるホルダ本
体２５６と。

前記上部部材２５４のフランジ部２５２に設けられ前記
プローブ着脱機構２００の下端部に設けられた突部２３
９と保合可能にされ突部２３９と共に位置決め手段を形
成する溝状の係合凹部２５７と、前記下部部材２５５の
下端部内に絶縁スリーブ２５８を介して挿入固定される
とともに下部内部に雌ねじ２５９を有する導電スリーブ
２６０と、この導電スリーブ２６０内に絶縁ブッンユ２
６１を介して軸方向移動自在に収納されるとともにばね
２６２により常時突出する方向に付勢される導電ピン２
６３と、前記フランジ部２５２に絶縁ブツシュ２６５を
介して取付けられるとともに前記プローブ着脱機構２０
０の下端部に設けられたピン２４１に接触して電気的導
通を図りかつ前記導電ピン２６３に電気的に接続された
接点ピン２６６と、前記フランジ部２５２の下面に形成
されたピン孔２６８および係合溝２６９と、から構成さ
れ、このプローブホルダ２５０の下部の雌ねじ２５９に
は、下端部に夫々測定子２７１或いは２８１を有しかつ
上部に雄ねじ２７２或いは２８２を有する形状の異なる
タッチ信号プローブ２７０或いは２８０がねじ込み固定
されるようになっている。この際、タッチ信号プローブ
２８０は、前記測定子２８１を有する回動部２８３を備
え、この回動部２８３の部分が雄ねじ２８２を有する本
体２８４に対して回動かっその回動位置で固定可能にな
るようにされている。

第１図および第２図において、前記テーブル５０上には
、プローブストッカ２９０が設けられている。このプロ
ーブストッカ２９０は、第８図ないし第１１図に示され
るように、テーブル５ｏの一端即ち後端側に固定された
保持台２９１と、この保持台２９１の上部に固定される
とともにテーブル５０の他端側即ち前端側に向って開口
された切欠部２９２を有しテーブル５０と所定間隔を隔
てられた複数の保持板２９３と、この保持板２９３の上
面において前記切欠部２９２の両側位置に突設され前記
プローブホルダ２５０のフランジ部２５２の下面に形成
されたピン孔２６８および係合溝２６９に係合可能にさ
れこれらのピン孔２６８および係合溝２６９と共にプロ
ーブ姿勢維持手段を構成するピン２９４およびピン２９
５と、前記保持板２９３の切欠部２９２の両脇位置に設
けられ前記プローブホルダ２５０のフランジ部２５２の
下面を支持する絶縁材からなる一対のフランジ置き台２
９６と、この一対のフランジ置き台２９６の切欠部内に
位置されるとともに前記プローブホルダ２５０の載置の
有無を検出するリードスイッチ等からなる検出器２９７
と、前記保持板２９３の下面において切欠部２９２の両
側に夫々固定されたブラダｙ　）　２９８に一端な回動
自在に支持されるとともに他端をブラダ・ント２９８に
設けられた揺動規制ピン２９９により所定角度揺動可能
にされその内側面を夫々切欠部２９２の内方に突出され
た挟持体３００と、この挟持体３００と前記ブラケット
２９８との間に介装され前記挟持体３００を切欠部２９
２の内方に向って突出するよう付勢する板ばね３０１と
から構成され、このプローブストッカ２９０の保持板２
９３上には前記プローブホルダ２５０が位置調整されて
夫々載置されている。この際、各プローブホルタ２５０
は板ばね３０１により付勢された挟持体３００の作用に
より保持板２９３から落下するのを防止されている。

なお、第１図中符号３１０は、簡略図示されているが、
表示部３１１を有するとともに図示しないプリンタ、Ｃ
ＲＴ等の周辺機器を有し、更に、内部に演算機能、記憶
機能等を持つ計算機システムを有し、所定のプログラム
に従って各部の動きを制御する制御装置、符号３２０は
テーブル５０上に載置された被測定物、符号２６はＹ軸
方向駆動機構６０を防塵する蛇腹カバー、符号２７はサ
イドカバーである。また、前記プローブ着脱機構２００
とプローブストッカ２９０とにより、プローブ自動着脱
装置が構成されている。

次に、本実施例の作用につき説明する。

テーブル５０上に固定されたプローブストッカ２９０の
保持板２９３上に所定の形状のタッチ信号プローブ２７
０或いは２８０を取付もすだプローブホルダ２５０をセ
ットし、力）つ、テーブル５０上に被測定物３２０を載
置固定する。この状態で、制御装置３１０により所定の
指令を与えると、この指令によりＹ軸方向駆動機構６０
のモータ６２が駆動されて力・ンプリンタ６３、送りね
じ軸６４等を介してテーブル５０力く第１図中左前方に
移動され、プローブスト・アカ２９０力く丁度Ｚ軸構造
物１８０の下方に位置するようにされる。一方、Ｙ軸方
向駆動機構６０の駆動とともに、Ｘ軸方向駆動機構１２
０のモータ１２２力く駆動され、スライダ１１０がＸ軸
方向に移動されてＺ軸構造物１８０がプローブスト・ア
カ２θ０上に載置された所定のプローブホルダ２５０の
直上位置に移動されて停止される。

この状態で、スライダ１１０内にあるＸ軸方向駆動機構
１４０のモータ１４１が作動されてＺ軸構造物１８０が
下降Ｓれ、Ｚ軸構造物１８０の内部に収納されたＺスピ
ンドル２２０のプローブ取付部としての孔２１９にブロ
ーブホルり２５０力く収納されるようになる。この際、
第５図において、アクチェータ２３５が作動され、駆動
棒としてのピストン２３２を皿ばね２２８に抗して押し
下げているため、ポールホルダ２２６はガイド孔２２１
から外れポール２２５がフリーの状態にあり、このため
、プローブホルダ２５０の上端のプルスタット’　２５
１がポールホルダ２２６内に容易に挿入されることなる
。

次いで、アクチェータ２３５の作動を解除すると、皿ば
ね２２８の作用によりピストンロッド２３２が上昇され
るため、ポールホルダ２２６によりプルスタッド２５１
が引込まれ、プローブホルタ２５０のテーパ面２５３が
孔２１９に係合され、かつ、プローブ着脱機構２００の
下端部に形成された突部２３９がプローブホルダ２５０
の係合凹部２５７へ挿入され、更にプローブ着脱機構２
００の固定ピン２４３がプローブホルダ２５０の接点ピ
ン２６６に接触され電気的な導通がなされる。

このようにして、プローブ着脱機構２００へのプローブ
ホルダ２５０の取付けが調整された後、前記Ｙ軸方向駆
動機構６０、Ｘ軸方向駆動機構１２０およびＺ軸方向駆
動機構１４０を制御装置３１０の指令により駆動し、Ｚ
軸構造物１８０の下端に取付けられたタッチ信号プロー
ブ２８０の測定子２８１を被測定物３２０の所定位置に
接触させ、その接触時における測定子２８１のＸ、Ｙ。

Ｚ軸方向の位置を制御装置３１０で記憶し、順次この測
定子２８１による被測定物３２０への接触点の測定を行
って被測定物３２０の計測を終了する。この被測定物３
２０の測定にあたり、タッチ信号プローブ２８０を取換
える必要があるときは、前述と同様にしてＺ軸構造物１
８０をプローブストッカ２９０の上方位置に位置させ、
プローブストッカ２９０上に載置された所定のプローブ
ホルダ２５０をＺ軸構造物１８０に取付けることにより
行うことができる。この際、使用済のプローブホルダ２
５０は、プローブストッカ２９０の切欠部２９２の内、
空いている個所に戻すこととなるが、この戻し作業は、
空いている切欠部２９２の位置にＺ軸構造物１８０を位
置させた後、アクチェータ２３５を作動させ、皿ばね２
２８に抗してピストン２３２を下降させ、ポールホルタ
２２６によるプルスタッド２５１の把持を開放し、この
開放状態のままＺ軸構造物１８０を上昇させればよい。

上述のような本実施例によれば次のような効果がある。

すなわち、本実施例は、テーブル５０を可動としたから
、重量の大きい支柱９０等を動かす必要がなく、その駆
動機構すなわちＹ軸方向駆動機構６０を小さな動力とし
てよく、かつ、慣性も小さくなるからテーブル５０の停
止位置も正確にできる。また、Ｚ軸構造物１８０内には
プローブ着脱機構２００を設けるとともに、テーブル５
０上にプローブストッカ２９０を設け、かつ、テーブル
５０を移動させる構造としたから、タッチ信号プローブ
２７０．２８０の自動取換えの機能を小型かつ簡易に達
成することができる。また、複数のタイプのタッチ信号
プローブ２７０．２８０を予じめプローブホルダ２５０
に取付けてプローブストッカ２９０上に姿勢調整のうえ
用意しであるから、タッチ信号プローブ２７０．２８０
の交換作業はタッチ信号プローブ２７０．２８０による
一点の測定動作と同程度の時間で行なうことができ、タ
ッチ信号プローブ２７０．２８０を取換えながらの作業
を極めて迅速に行なえる。この際、タッチ信号プローブ
２７０．２８０の取換え毎に、図示しない原点位置にタ
ッチ信号プローブ２７０．２８０を接触させて原点チェ
フクを行なっても良く、このように交換毎に原点チｘ　
’７りをすれば、より測定精度を向上できる。また、プ
ローブ着脱機構２００におけるピストン口・ンド２３２
の駆動源は、複数の受圧面を有するアクチェータ２３５
により行なったから、一般の工場に配設されている比較
的低圧の圧縮空気を用いて、プローブホルタ２５０の保
持を行なっている皿ばね２２８を強力なばね力としても
、十分に皿ばね２２８のばね力に打勝ってピストンロッ
ド２３２を駆動することができ、プローブホルタ２５０
の取付けを確実に行なうことができる。また、Ｚスピン
ドル２２０とプローブホルダ２５０とは、突部２３９と
係合凹部２５７とにより位置決めされるから、Ｚスピン
ドル２２０に対するの取付位置を正確に設定することが
できる。また、プローブホルダ２５０のプローブストッ
カ２９０への設置時には、ピン孔２６８および係合溝２
６９とピン２９４および２９５とにより位置決めされる
から、その設置位置を正確に行なうことができる。更に
、基台１０および梁１００は６様部材で構成されている
から、経時変化による精度低下を有効に防止できる。

なお、本発明の実施にあたり、Ｚスピンドル２２０は回
転可能とし、これをカーピックカップリング等で多数角
度位置設定可能に設けてもよい。

更に、プローブストッカ２９０の保持板２９３は一枚板
とし、これに複数の切欠部２９２を設けてもよく、かつ
、この切欠部２９２の開口方向はいずれの方向でもよい
。また、切欠部２９２の良縁に設けられる挟持体３００
は必ずしも設けなくてよいが、設ければテーブル５０の
移動時等にプローブホルダ２５０が落下することを有利
に防止できる。更に、かプローブ着脱機構２００におけ
るプルスタッド２５１の支持部即ちポールホルダ２２６
は、前記構造に限らず、電磁石で支持するもの、コレッ
トチャックで支持するもの等でもよい。また、プローブ
着脱機構２００におけるプルスタッｌ”　２５１の支持
方法は、前記実施例のように常時挟持しているものに限
らず、一旦、引込み完了後は、プローブホルダ２５０の
テーパ面２５３とＺスピンドル２２０のテーパ孔２１９
とで保持するものであってもよい。更に、また、プロー
ブ着脱機構２００は、Ｚ軸構造物１８０中に設けるもの
に限らず、その外部に設けるものであってもよく、かつ
、その構造も前記実施例の構造に限定されない。また、
ｘ、ｙ、ｚ直交二軸のうちＸ軸は必ずしも鉛直である必
要はなく、Ｘ軸が鉛直であってもよく、この場合はＺス
ピンドル２２０は水平に配置されることとなる。更に１
本発明におけるタッチ信号プローブとは、タッチ信号プ
ローブ２７０，２８０そのものに限らず、プローブホル
ダ２５０は取付けられたものをも含む概念である。

［発明の効果］ 上述のように本発明によれば、三次元測定機のＸ軸構造
物に複数のタッチ信号プローブを供給するにあたり、能
率のよい供給が可能な手段を有する三次元測定機を提供
できるという効果かある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の全体構成を示す斜視図、第
２図はその正面図、第３図はＹ軸方向駆動機構の拡大側
面図、第４図はスライダの一部を切欠いた拡大側面図、
第５図はプローブ着脱機構の拡大断面図、第６図はプロ
ーブボルダの拡大断面図、第７図は第６図の平面図、第
８図はプローブストッカの拡大平面図、第９図は第８図
の要部の一部を切欠いた拡大平面図、第１０図はその一
部を切欠いた拡大正面図、第１１図は第８図を下　”方
から見た拡大断面図である。 ｌＯ・・・基台、６０・・・Ｙ軸方向駆動機構、１００
・・・梁、１１０・・・スライダ、１２０・・・Ｘ軸方
向駆動機構、１４０・・・Ｘ軸方向駆動機構、１８０・
・・Ｘ軸構造物、２００・・・プローブ着脱機構、２１
９・・・プローブ取付部としての孔、２２０・・・Ｚス
ピンドル、２５０・・・プローブホルダ、２５２・・・
フランジ部、２７０．２８０・・・タッチ信号プローブ
、２７１．２８１・・・測定子、２９０・・・プローブ
ストッカ、２９１・・・保持台、２９２・・・切欠部、
２９３・・・保持板、３２０・・・被測定物。 代理人　弁理士　木下　実三 （ほか１名） 第３図 ）−５０ −■ 第７図 ２５０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）互いに直交するｘ、ｙ、ｚ三軸のうちＹ軸を水平
   面内の軸とするとき、基台に対しテーブルをＹ軸方向に
   自動送り可能かつＺスピンドルの先端に取付けたタッチ
   信号プローブとテーブル上の被測定物とを三次元的に相
   対移動可能に形成し、前記テーブルには一側を開放され
   た複数のプローブ保持用切欠部を有するプローブストッ
   カを設け、前記タッチ信号プローブにはプローブストッ
   カの切欠部周縁に係止可能なフランジ部を設けたことを
   特徴とするｙ−′三次元測定機。 （２、特許請求の範囲第１項において、前記Ｚ軸は鉛直
   方向の軸とされるとともに、前記プローブストッカの切
   欠部を有する保持板はテーブル上面と一定の間隙をもっ
   てテーブル上のＹ軸方向一端側に固定され、かつ、この
   保持板の切欠部はテーブルのＹ軸方向の他端側に向って
   開放されていることを特徴とする三次元測定機。