JPS60224006A - 自動三次元測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は自動三次元測定機に関する。

［背景技術］ 従来、タッチ信号プローブを三次元的に移動させて被測
定物の形状を測定する三次元測定機が知られている。こ
のような三次元測定機は、一般的には、基台に支柱を前
後方向すなわちＹ軸方向移動自在に設けるとともに、こ
の支柱の上端間に横架された梁上にスライダを左右方向
すなわちＸ軸方向に移動自在に設け、このスライダに鉛
直方向すなわちＺ軸方向にＺスピンドルを移動自在に設
けている。これらの基台に対する支柱、支柱に対するス
ライダ、スライダに対するＺスピンドルは、この順序で
順次組み上げていく積重ね構造とされている。

従って、基台からＺスピンドルに至るまで順次強靭構造
としなければ精度的保証が困難となっている。これは、
各軸を自動駆動型とす”るいわゆる自動三次元測定機で
は、高重量負荷による駆動源の大馬力化、高イナーシャ
のための制御系の高級化あるいは高速送りの困難化など
の欠点要因となり、かつ、全体構造が大型化するため経
済的にも不利であるという欠点がある。

また、自動三次元測定機といっても、従来はタッチ信号
プローブは人手により交換しており、より完全な自動化
の行なえる自動三次元測定機が望まれている。

［発明の目的〕 本発明の目的は、送り機構を簡易化でき、全体構造を小
型化できるとともに、より自動化を進めた自動三次元測
定機を提供するにある。

［発明の構成コ 本発明は、基台に対しテーブルを可動型とする一方、大
型支柱は基台に固定し、かつ、自動化および小型化の実
効を期して夕・ンチ信号プローブの自動着脱を行えるプ
ローブ着脱機構をＺスピンドル内に設けるとともに、可
動テーブル上にプローブを複数保持可能なプローブスト
ッカを設けるという構成とし、これにより、可動部の小
型化に伴ない送り構造を小型化するとともに、プローブ
の着脱は被測定物の移動に必要なテーブル等の駆動機構
を利用することによってプローブ着脱機構には特別の送
りのための機械、制御回路等を必要としないようにして
技術的、経済的価値を大きなものとしたものである。

［実施例コ 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

全体構成を示す第１図および第２図において、天然石材
、セラミック等の６様部材からなる基台１０は、設置床
１上に水平に設置される。この基台１０は略凸字状に形
成されるとともに、この凸字状の基台ｌＯの上面中央に
は基台ｉｏと同様の６様部材からなりＹ軸方向の案内面
を形成する第１の案内部材１１がねじ止め固定され、さ
らに、この第１の案内部材１１の両側には同じく６様部
材からなる偏平な一対の第２の案内部材１２が一部を基
台１０の凸部上面から突出され−た状態で対称にねじ止
め固定されている。ここにおいて、本明細書におけるＸ
軸方向とは第２図中左右方向を、Ｙ軸方向とは同図中紙
面直交方向を、Ｙ軸方向とは同図中上下方向すなわち鉛
直方向を意味し、従って、これらのＸ、Ｙ、Ｚ軸はｘ、
Ｙ軸を水平面内の軸とし、Ｙ軸方向を鉛直方向とする互
いに直交する三軸とされている。

前記第１の案内部材１１の両側位置には、傾斜面を利用
した複数対例えば３対以上、実際には１６ないし３２対
程度の曲がり矯正手段４０が配置され、第１の案内部材
１１の両側に形成されたＸ軸方向移動規制用平行案内面
１８の真直度が出せるようになっている。

前記基台１０上には金属製のテーブル５０がＹ軸方向に
移動可能に設けられている。このテーブル５０の下面に
は、前記第１の案内部材１１の平行案内面１８に対抗さ
れるエアベアリング５１がブラケット５２を介して取付
けられるとともに、前記第２の案内部材１２の上下のＺ
軸方向移動規制用平行案内面２０のうち上方の案内面２
０に対抗される比較的大型のエアベアリング５３が設け
られ、更に、平行案内面２０の下側の案内面２０に対抗
されるエアベアリング５４がブラケット５５を介して取
付けられ、これらの各エアベアリング５１，５３．５４
によりテーブル５０は基台ｌＯ上をわずかな力で移動で
きるようにされ、かつ、第１の案内部材１１とエアベア
リング５１との作用によりＸ軸方向への移動が規制され
、また、第２の案内部材１２とエアベアリング５３゜５
４との作用によりＹ軸方向の移動が規制され、Ｙ軸方向
にのみ真直に移動できるようになっている。

また、基台１０とテーブル５０との間には、テーブル５
０をＹ軸方向に駆動するＹ軸方向駆動機構６０が設けら
れている。このＹ軸方向駆動機構６０は、第３図に示さ
れるように、基台ｌＯにブラケット６１を介して固定さ
れたモータ６２と、このモータ６２の出力軸に連結され
たポールねじ軸からなる送りねじ軸６４と、この送りね
じ軸６４に移動可能に螺合されるととも−にブラケット
６５を介してテーブル５０に固定されたナツト部材６６
と、を備えて構成され、モータ６２の駆動によりテーブ
ル５０をＹ軸方向に駆動できるようになっている。この
際、送りねじ軸６４は第１の案内部材１１の溝２１内に
配置されている。また、前記モータ６２によるテーブル
５０の送り量は、図示しないスケールおよび検出部から
なるＹ軸方向移動量計測手段により計測されるようにな
っている。

第２図において、前記基台ｉｏの両側面には夫々支柱９
０が固定されている。これらの支柱９０は夫々鉄等の金
属から形成されるとともに、これらの支柱９０の上端間
には前記基台１０と同様材料からなる非移動体側構造体
としての梁１００が横架固定されている。この梁ｌＯＯ
上には、スライダ１１０がＸ軸方向移動自在に支持され
るとともに、このスライダ１１０はモータ１２２、送り
ねじ軸１２４、ナ・ント部材１２９等からなるＸ軸方向
駆動機構１２０によりＸ軸方向に自動送りされるように
なっている。

前記スライダ１１０は、第４図に示されるように、前記
梁ｌＯＯを囲むように設けられるとともに梁ｌ・００の
四角の各面に対向して夫々エアベアリング１１１を有す
るＸ軸方向案内用軸受箱１１２と、このＸ軸方向案内用
軸受箱１１２の前面に取付けられるとともに内部に四角
形状に配置されたエアベアリング１１３を有する上下一
対のＸ軸方向案内用軸受箱１１４と、これらのＸ軸方向
案内用軸受箱１１４内にＸ軸方向移動自在に挿入された
Ｚ軸構造物１８０と、前記Ｘ軸方向案内用軸受箱１１２
上に立設された支持フレーム１１５に支持されたＺ軸方
向駆動機構１４０と、前記支持フレーム１１５の上端部
に設けられるとともに前記Ｚ軸方向駆動機構１４０の自
由回転を阻止して前記Ｚ軸構造物１８０の落下を防止す
るロック装置１６０とを備えている。

前記Ｚ軸方向駆動機構１４０は、前記支持フレーム１１
５に支持されたモータ１４１と、このモータ１４１によ
りタイミングベルト１４２を介して回転駆動された比較
的大きな例え−ば４　ｍ　ｍ以上のねじピッチを有する
送りねじ軸１４５と、この送りねじ軸１４．５に軸方向
移動可能に支持されたナツト部材１４６と、このナツト
部材１４６に回転自在に支持されるとともに前記支持フ
レーム１１５の第４図中手前側の壁面（図示せず）に取
付けられたガイドレール１４７の両側壁を挟持するよう
に当接されガイドレール１４７に沿ってナツト部材１４
６をＺ軸方向移動容易かつ回動不能に案内する一対のロ
ーラ１４８と、前記ナツト部材１４６に固定された連結
板１４９と、この連結板１４９の突出端上下面に軸方向
移動不可能かつ、半径方向移動容易に連結されるととも
に前記Ｚ軸構造物１８０の上端部に固定されたブラケッ
ト１５２と、から構成され、前記モータ１４１の駆動に
よりブラケット１５２を介してＺ軸構造物１８０をＺ軸
方向に駆動できるようになっている。この際、送りねじ
軸１４５の曲がり、偏心等による影響は、連結板１４９
に対し送りねじ軸１４５の軸方向移動不可能かつ半径方
向移動可能にされた部分で吸収され、Ｚ軸構造物１８０
にはナツト部材１４６のＺ軸方向の動きだけが伝達され
るようになっている。

前記Ｚ軸構造物１８０は、四角筒からなりＺ軸部材とし
ての中空の筐体１８１を備えるとともに、この筐体１８
１内にエアバランス機構１９０およびプローブ着脱機構
２００を備えている。このエアバランス機構１９０は、
筐体１８１に固定されるとともに下端を開放されたシリ
ンダ１９１と、このシリンダ１９１内に収納されるとと
もに前記支持フレーム１１５にピストンロッド１９４を
介して支持されたピストン１９２とを備えて構成され、
このピストン１９２とシリンダ１９１の上部との間に圧
縮空気を供給することにより、この圧縮空気の作用でＺ
軸構造物１８０の重量を支持してＺ軸構造物１８０の自
重による送りねじ軸１４５側への負荷の軽減が図られて
いる。また、筐体１８１とフレーム１１５との間には図
示しないスケールと検出器よりなるＺ方向移動検出手段
が設けられ、この検出手段により、Ｚ軸構造物１８０の
Ｚ軸方向の移動量が検出される゛ようになっている。

前記Ｚ軸構造物１８０は、第５図に示されるように、前
記四角筒からなるＺ軸部材としての中空の筐体１８１を
備え、この筐体１８１内には、上部にエアバランス機構
１９０が設けられるとともに、下部にＺスピンドル２２
０が固定されている。このＺスピンドル２２０はプロー
ブ取付部としてのテーパ状の孔２１９を有するとともに
、内部にプローブ支持手段としての下部が中空のボール
ホルダ２２６を軸方向移動可能に収納している。このポ
ールホルダ２２６は、その下端部に半径方向移動可能か
つ落下防止された複数のボール２２５を備えるとともに
、駆動棒としてのピストンロッド２３２により上下動さ
れるようになっている。このピストンロッド２３２は多
段にピストン２３３を備え、これらのピストン２３３は
仕切壁２３４を有する押出し手段としての７クチエータ
２３５内に収納されて直列な多段の受圧面を有するよう
にされている。また、ピストンロッド２３２は、引込み
手段としての皿ばね２２８により常時上方、即ち、ポー
ルホルダ２２６を常時小径のガイド孔２２１内に引込む
方向に付勢されている。このポールホルダ２２６のガイ
ド孔２２１内への引込み時にはこのガイド孔２２１の作
用によりボール２２５がポールホルダ２２６の内方に突
出され、このボール２２５によりプローブホルダ２５０
の上端に設けられたプルスタッド２５１を係止できるよ
うになっている。一方、アクチェータ２３５の作動によ
り、ピストンロッド２３２が皿ばね２２８に抗して下方
に押圧されたときは、ポールホルダ２２６が小径のガイ
ド孔２２１内がら押出され、プローブホルダ２５０のチ
ャックを解除できるようになっている。また、このピス
トンロッド２３２の動きは、ドッグ２３６及び一対の検
出器２３７からなる軸方向位置検出手段２３８により検
出されるようになっている。

前記Ｚスピンドル２２０は、その下面にプローブホルダ
２５０の位置決め用突部２３９を有するとともに、電気
接点としての固定ピン２４３を有し、この固定ピン２４
３によりプローブホルダ２５０ひいてはこのホルダ２５
０に取付けられるタッチ信号プローブ２７０或いは２８
０（第６゜７図参照）と電気的導通がとれるようになっ
ている。

なお、前記押出し手段としてのアクチェータ２３５、引
込み手段としての皿ばね２２８およびプローブ支持手段
としてのポールホルダ２２６によりプローブ着脱機構２
００が構成され、このプローブ着脱機構２００により、
プローブ取付部としてのＺスピンドル２２０の孔２１９
にタッチ信号プローブ２７０，２８０のプローブホルダ
２５０が着脱されるようになっている。

前記プローブホルダ２５０は、第６図および第７図に示
されるように、上端にプルスタッド２５１を有するとと
もに途中にフランジ部２５２およびテーパ面２５３を有
するホルダ本体２５６を備え、このホルダ本体２５６の
下端部には、下端部に夫々測定子２７１或いは２８１を
有しかつ上部に雄ねじ２７２或いは２８２を有する形状
の異なるタッチ信号プローブ２７０或いは２８０がねじ
込み固定されるようになっている。この際、タッチ信号
プローブ２８０は、前記測定子２８１を有する回動部２
８３を備え、この回動部２８３の部分が雄ねじ２８２を
有する本体２８４に対して回動かつその回動位置で固定
可能になるようにされている。

また、前記プローブホルダ２５０のフランジ部２５２の
上面には、前記Ｚスピンドル２２０の下端部に設けられ
た突部２３９に係合可能にされ突部２３９と共に位置決
め手段を構成する溝状の係合凹部２５７が設けられると
ともに、前記Ｚスピンドル２２０の下端部に設けられた
固定ピン２４３に当接される接点ピン２６６（第７図参
照）が設けられている。また、フランジ部２５２の下面
には、ピン孔２５８および係合溝２６９が形成されてい
る。

第１図および第２図において、前記テーブル５０上には
、プローブストッカ２９０が設けられている。このプロ
ーブストッカ２９０は、第８図に示されるように、テー
ブル５０の一端、即ち後端側に固定された保持台２９１
と、この保持台２９１の上部に固定されるとともにテー
ブル５０の他端側即ち前端側に向って開口され、かつ、
テーブル５０と所定間隔離された切欠部２９２を有する
複数の保持板２９３と、この保持板２９３の上面におい
て前記切欠部２９２の両側位置に突設され前記プローブ
ホルダ２５０のフランジ部２５２の下面に形成されたビ
ン孔２６８および係合溝２６９に係合可能にされこれら
のビン孔２６８および係合溝２６９と共にプローブ姿勢
維持手段を構成するピン２９４およびピン２９５と、か
ら構成され、このプローブストッカ２９０の保持板２９
３上には前記プローブホルダ２５０が位置調整されて夫
々載置されている。

なお、第１図中符号３１０は、簡略図示されているが、
表示部３１１を有するとともに図示しないプリンタ、Ｃ
ＲＴ等の周辺機器を有し、更に、内部に演算機能、記憶
機能等を持つ計算機システムを有し、所定のプログラム
に従って各部の動きを制御する制御装置、符号３２０は
テーブル５゜上に載置された被測定物、符号２６はＹ軸
方向駆動機構６０を防塵する蛇腹カバー、符号２７はサ
イドカバーである。また、前記プローブ着脱機構２００
とプローブストッカ２９０とにより、プローブ自動着脱
装置が構成されている。

次に、本実施例の作用につき説明する。

テーブル５０上に固定されたプローブストッカ２ｊＯの
保持板２９３の各切欠溝２９２に所定の形状のタッチ信
号プローブ２７０或いは２８０を取付けたプローブホル
ダ２５０をセットし、がっ、テーブル５０上に被測定物
３２０を載置固定する。この状態で、制御装置３１０に
より所定の指令を与えると、この指令によりＹ軸方向駆
動機構６０のモータ６２が駆動されて送りねじ軸６４等
を介してテーブル５０が第１図中左前方に移動され、プ
ローブストッカ２９０が丁度Ｚ軸構造物１８０の下方に
位置するようにされる。一方、Ｙ軸方向駆動機構６０の
駆動とともに、Ｘ軸方向駆動機構１２０のモータ１２２
が駆動され、スライダ１１０がＸ軸方向に移動されてＺ
軸構造物１８０かプローブストッカ２９０上に載置され
た所定のプローブホルダ２５０の直上位置に移動されて
停止される。

この状態で、スライダ１１０内にあるＸ軸方向駆動機構
１４０のモータ１４１が作動されてＺ軸構造物１８０が
下齢され、Ｚ軸構造物１８０の内部に収納されたＺスピ
ンドル２２０のプローブ取付部としての孔２１９にプロ
ーブホルダ２５０が収納されるようになる。この際、第
５図において、アクチェータ２３５が予め作動されてお
り、駆動棒としてのピストンロッド２３２を皿ばね２２
８に抗して押し下げているため、ポールホルダ２２６は
ガイド孔２２１から外れボール２２５がフリーの状態に
あり、このため、プローブホルダ２５０の上端のプルス
タッド２５１がボールホルダ２２６内に容易に挿入され
ることなる。

次いで、アクチェータ２３５の作動を解除すると、皿ば
ね２２８の作用によりピストンロッド２３２が上昇され
るため、ポールホルダ２２６によりプルスタッド２５１
が引込まれ、プローブホルダ２５０のテーパ面２５３が
孔２１９に係合され、かつ、プローブ着脱機構２００の
下端部に形成された突部２３９がプローブホルダ２５０
の係合凹部２５７へ挿入され、更にプローブ着脱機構２
００の固定ピン２４３がプローブホルダ２５０の接点ピ
ン２６６に接触され電気的な導通がなされる。

このようにして、プローブ着脱機構２００へのプローブ
ホルダ２５０の取付けが調整された後、前記Ｙ軸方向駆
動機構６０、Ｘ軸方向駆動機構１２０およびＺ軸方内部
、動機構１４０を制御装置３１Ｏの指令により駆動し、
Ｚ軸構造物１８０の下端に取付けられたタッチ信号プロ
ーブ２８０の測定子２８１を被測定物３２０の所定位置
に接触させ、その接触時における測定子２８１のｘ、ｙ
。

Ｘ軸方向の位置を制御装置３１０で記憶、表示、必要に
応じてプリントアウトし、順次この測定子２８１による
被測定物３２０への接触点の測定を行って被測定物３２
０の計測を終了する。この被測定物３２０の測定にあた
り、タラ千′信号プローブ２８０を取換える必要がある
ときは、前述と同様にしてＺ軸構造物１８０をプローブ
ストッカ２９０の上方位置に位置させ、プローブストッ
カ２９０上に載置された所定のプローブホルダ２５０を
Ｚ軸構造物１８０に取付けることにより行うことができ
る。この際、使用済のプローブホルダ２５０は、プロー
ブストッカ２９０の切欠部２９２の内、空いている個所
に戻すこととなるが、この戻し作業は、空いている切欠
部２９２の位置にＺ軸構造物１８０を位置させた後、ア
クチェータ２３５を作動させ、皿ばね２２８に抗してピ
ストンロッド２３２を下降させ、ボールホルダ２２６に
よるプルスタッド２５１の把持を開放し、この開放状態
のままＺ軸構造物１８０を上昇させればよい。

上述のような本実施例によれば次のような効果がある。

すなわち、本実施例は、テーブル５ｏを可動としたから
、重量の大きい支柱９０等を動かす必要がなく、その駆
動機構すなわちＹ軸方向駆動機構６０を小さな動力とし
てよく、かつ、慣性も小さくなるからテーブル５０の停
止位置も正確にできる。また、テーブル５０は基台１０
上に設けられたＸ軸方向移動規制部材１１およびＺ軸方
向移動規制部材１２の夫々の平行二面により案内される
から、従来のＶ字型の案内溝と異なり、二方向とも夫々
独立して調整することができ、テーブル５０の案内精度
を高めることができる。また、Ｘ軸方向移動規制部材１
】は曲がり矯正手段４ｏにより平行案内面１８の真直度
を調整できるから、この点からも案内精度を向上させる
ことができる。

また、前記Ｘ軸方向移動規制部材１１およびＺ軸方向移
動規制部材１２は基台ｌｏと別体に形成されているため
、その案内面を加工するにあたり、比較的簡単にかつ精
度良く加工することができる。また、Ｚ軸構造物１８０
内にはプローブ着脱機構２００を設けるとともに、テー
ブル５ｏ上に７’ロープストツカ２９０を設け、かつ、
テーブル５０を移動させる構造としたから、タッチ信号
プローブ２７０．２８０の自動取換えの・機能を簡易に
達成することができる。また、複数のタイプのタッチ信
号プローブ２７０，２８０を予じめプローブホルダ２５
０に取付けてプローブスト−／力２９０上に姿勢調整の
うえ用意しであるから、タッチ信号プローブ２７０．２
８０の交換作業はタッチ信号プローブ２７０．２８０に
よる一点の測定動作と同程度の時間で行なうことができ
、タッチ信号プローブ２７０．２８０を取換えながらの
作業を極めて迅速に行なえる。この際、タッチ信号プロ
ーブ２７０．２８０の取換え毎に、図示しない原点位置
にタッチ信号プローブ２７０゜２８０を接触させて原点
チェックを行なっても良く、このように交換毎に原点チ
ェックをすれば、より測定精度を向上できる。また、Ｚ
軸構造物１８０内には、エアバランス機構１９０が設け
られているから、Ｚ軸構造物１８０の駆動操作力を極め
て小さくでき、このＺ軸構造物１８０を駆動するモータ
１４１を小型化でき、ひいてはスライダ１１０の小型化
および軽量化を図ることができる。また、Ｚ軸方向駆動
機構１４０の送りねじ軸１４５の偏心等による影響を連
結板１’４９とスラストベアリング１５０との作用によ
り吸収することができ、測定精度への悪影響を与えるこ
とを防止できる。また、プローブ着脱機構２００におけ
るピストンロッド２３２の駆動源は、複数の受圧面を有
するアクチェータ２３５により行なったから、一般の工
場に配設されている比較的低圧の圧縮空気を用いて、プ
ローブホルダ２５０の保持を行なっている皿ばね２２８
を強力なばねカとしても、十分に皿ばね２２８のばね力
に打勝ってピストンロッド２３２を駆動することができ
、プローブホルダ２５０の取付けを確実に行なうことが
できる。また、２スピンドル２２０とプローブボルダ２
５０とは、突部２３９と係合凹部２５７とにより位置決
めされるから、Ｚスピンドル２２０に対するの取付位置
を正確に設定することができる。また、プローブホルダ
２５０のプローブストフカ２９０への設置時には、ピン
孔２６８および係合溝２６９とピン２９４および２９５
とにより位置決めされるから、その設置位置を正確に行
なうことができる。

なお、本発明の実施にあたり、プローブ着脱機構２００
におけるプルスタッド２５１の支持部即ちポールホルダ
２２６は、前記構造に限らず、電磁石で支持するもの、
コレットチャックで支持するもの等でもよい。また、プ
ローブ着脱機構２００におけるプルスタッド２５１の支
持方法は、前記実施例のように常時挟持しているものに
限らず、一旦引込み完了後は、プローブホルダ２５０の
テーバ面２５３とＺスピンドル２２０のテーパ孔２１９
とで保持するものであってもよい・更に、各ｙ　、ｘ、
ｚ軸方向駆動機構６０，１２０゜１４０のモータ６２，
１２２，１４１は、ＡＣ。

ＤＣ，パルス電動機のみならず、エアモータ、油圧モー
タ等も含むものである。また、ｘ、ｙ、ｚ直交三軸のう
ちＸ軸は必ずしも鉛直である必要はなく、Ｘ軸が鉛直で
あってもよく、この場合はＺスピンドル２２０は水平に
配置されることとなる。更に、本発明におけるタッチ信
号プローブとは、タッチ信号プローブ２７０．２８０そ
のものに限らず、プローブホルダ２５０に取付けられた
ものをも含む概念である。

［発明の効果］ 上述のように本発明によれば、駆動部分の構造の小型、
簡易化ができるとともに、より自動化の進んだ自動三次
元測定機を提供できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の全体構成を示す斜視図、第
２図はその正面図、第３図はＹ軸方向駆動機構の拡大図
、第４図はスライダの一部を切欠いた拡大側面図、第５
図はプローブ着脱機構の拡大断面図、第６図はプローブ
ホルダの一部を切欠いた拡大正面図、第７図は第６図の
平面図、第８図はプローブストッカの拡大平面図である
。 ｌＯ・・・基台、６０・・・Ｙ軸方向駆動機構、１００
・・・梁、１１０・・・スライダ、１２０・・・Ｘ軸方
向駆動機構、１４０・・・Ｘ軸方向駆動機構、１８０・
・・Ｘ軸構造物、２００・・・プローブ着脱機構、２１
９・・・プローブ取付部としての孔、２２０・・・スピ
ンドル、２２６・・・ポールホルダ、２２８・・・引込
み手段としての皿ばね、２３５・・・押出し手段として
のアクチェータ、２５０・・・プローブホルダ、２７０
．２８０・・・タッチ信号プローブ、２７１，２８１・
・・測定子、２９０・・・プローブストッカ、３１０・
・・制御装、置、３２０・・・被測定物。 代理人　弁理士　木下　実三 （ほか１名） 第１図 第３図 一’）、、−５０ −」

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚ三軸のうちＹ軸を水平
   面内の軸とするとき、基台に対しテーブルをＹ軸方向に
   自動送り可能かつＺスピンドルをＸおよびＺ軸方向に自
   動送り可能に設け、Ｚスピンドルの先端に取付けたタッ
   チ信号プローブとテーブル上の被測定物とを三次元方向
   に相対移動できるよう形成された自動三次元測定機であ
   って、各タッチ信号プローブの取付部軸線を夫々Ｚ軸方
   向に向けて複数のタッチ信号プローブを起立保持するプ
   ローブストッカを前記テーブルに設け、かつ、前記Ｚス
   ピンドルの先端に設けられたタッチ信号プローブの取付
   は用の孔に突設可能にされ前記プローブストッカに保持
   されたタッチ信号プローブを支持して当該タッチ信号プ
   ローブをＺスピンドル先端の取付は用の孔内に引込んで
   取付は状態とするとともに、当該タッチ信号プローブを
   押圧して前記プローブストッカへ取外し状態とするプロ
   ーブ着脱機構を前記Ｚスピンドルに一体的に設けたこと
   を特徴とする自動三次元測定機。