JPS6022836B2 - 酸化物圧電材料 - Google Patents
酸化物圧電材料Info
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- JPS6022836B2 JPS6022836B2 JP53102856A JP10285678A JPS6022836B2 JP S6022836 B2 JPS6022836 B2 JP S6022836B2 JP 53102856 A JP53102856 A JP 53102856A JP 10285678 A JP10285678 A JP 10285678A JP S6022836 B2 JPS6022836 B2 JP S6022836B2
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- Japan
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- piezoelectric material
- ratio
- polarization
- oxide piezoelectric
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は酸化物圧電材料に係り、特に（１−ａ）ＰｂＴ
ｉ０３−．Ｐｂ（Ｃｏｌ′２ＷＩ／２）０３二成分基本
組成からなる酸化物圧電材料の改良に関する。
ｉ０３−．Ｐｂ（Ｃｏｌ′２ＷＩ／２）０３二成分基本
組成からなる酸化物圧電材料の改良に関する。
周知のように庄電材料は超音波用振動素子、メカニカル
フィルターなどのトランスデユーサ用素子、セラミック
フィルター、セラミック共振子用素子、振動計、加速計
などの素子として広い分野で利用されている。このよう
な利用に対してＰｂＴｉ０３−ＰｂＺｒ０３二元系酸化
物圧電材料について改良を加えたものが開発されている
。例えば上記ＰｂＴｉ０３‐Ｐ舷の３二元系にＢｉ２０
３，Ｃｒ２０３，Ｍｈ０２，Ｚｎ○などの添加物を加え
て圧電特性の改善を図ることが試みられている。またＰ
ｂＴｉ０３−職の３−Ｐｂ（Ｍが増〉。３三元系の曲材
料も開発されている。
フィルターなどのトランスデユーサ用素子、セラミック
フィルター、セラミック共振子用素子、振動計、加速計
などの素子として広い分野で利用されている。このよう
な利用に対してＰｂＴｉ０３−ＰｂＺｒ０３二元系酸化
物圧電材料について改良を加えたものが開発されている
。例えば上記ＰｂＴｉ０３‐Ｐ舷の３二元系にＢｉ２０
３，Ｃｒ２０３，Ｍｈ０２，Ｚｎ○などの添加物を加え
て圧電特性の改善を図ることが試みられている。またＰ
ｂＴｉ０３−職の３−Ｐｂ（Ｍが増〉。３三元系の曲材
料も開発されている。
しかしながらこれらの圧電材料は強議電性キュリー温度
が３００ｑｏ程度で、それ以上の温度下で使用し得なか
った。また上記圧電材料の誘電率は１００の茎度で、高
周波領域での応用には適さない。他方、誘電率が１５０
〜２５０と小さい値を持つＰｂＴｉ０３系材料も報告さ
れているが、凝結後に起るひび割れのため直径２仇吻以
上の大型競緒体を得ることができず、分極条件も２００
℃において印加電圧６０ＫＶ／弧と非常に厳しいために
、製品の歩止りが低い等の欠点がそれぞれ存在した。さ
らに従来の嫌結されたＰｂＴｉＱ系酸化物圧電材料にお
いては機械的強度が経時変化により急激に減少し、崩壊
し易くなるため、信頼性に欠けるという欠点があった。
本発明の目的は、以上の問題点を解決し、キュリー温度
が高くて３００３０以上の高温でも安定に使用でき、か
つ数ＭＨｚ以上の高周波領域の用途に適し、さらに従来
のＰｂＴｉ０３系圧電材料に比較してはるかに分極操作
の容易で、また経時特性に優れた酸化物圧電材料を提供
するものである。
が３００ｑｏ程度で、それ以上の温度下で使用し得なか
った。また上記圧電材料の誘電率は１００の茎度で、高
周波領域での応用には適さない。他方、誘電率が１５０
〜２５０と小さい値を持つＰｂＴｉ０３系材料も報告さ
れているが、凝結後に起るひび割れのため直径２仇吻以
上の大型競緒体を得ることができず、分極条件も２００
℃において印加電圧６０ＫＶ／弧と非常に厳しいために
、製品の歩止りが低い等の欠点がそれぞれ存在した。さ
らに従来の嫌結されたＰｂＴｉＱ系酸化物圧電材料にお
いては機械的強度が経時変化により急激に減少し、崩壊
し易くなるため、信頼性に欠けるという欠点があった。
本発明の目的は、以上の問題点を解決し、キュリー温度
が高くて３００３０以上の高温でも安定に使用でき、か
つ数ＭＨｚ以上の高周波領域の用途に適し、さらに従来
のＰｂＴｉ０３系圧電材料に比較してはるかに分極操作
の容易で、また経時特性に優れた酸化物圧電材料を提供
するものである。
本発明は（ＰｂｒａＭｅａ）〔（ＣＯｌ／２ＷＩ／２）
ｘＴｉ，−Ｘ〕０３の組成からなり、かつ （Ｐｑ‐ａＭｅａ）０／〔（Ｃｏｌ／２ＷＩ／２）ｘＴ
ｉ，〜〕０２（以下Ａ／Ｂという）を０．斑＜Ａ／Ｂ＜
１．００とした酸化物圧電材料であり、さらに副成分と
して、Ｍｈ○，Ｎｉ○およびＦｅ２Ｑの少なくとも一種
を０．０５〜２．の重量％含有せしめることにより信頼
性を向上させるというものである。
ｘＴｉ，−Ｘ〕０３の組成からなり、かつ （Ｐｑ‐ａＭｅａ）０／〔（Ｃｏｌ／２ＷＩ／２）ｘＴ
ｉ，〜〕０２（以下Ａ／Ｂという）を０．斑＜Ａ／Ｂ＜
１．００とした酸化物圧電材料であり、さらに副成分と
して、Ｍｈ○，Ｎｉ○およびＦｅ２Ｑの少なくとも一種
を０．０５〜２．の重量％含有せしめることにより信頼
性を向上させるというものである。
このような本発明の酸化物圧電材料は一般的には粉末冶
金的方法によって容易に製造することができる。例えば
、Ｐｂ０，Ｔｉ０２，Ｃｏｏ，Ｗ０３およびＭｅ０（Ｍ
ｅは母，ＳｒまたはＣａ）などの原料酸化物を所定の割
合に正確に秤取し、これらをボールミルなどによって混
合する。なお、この際用いる原料は加熱によって酸化物
に転ずる化合物例えば水酸化物、炭酸塩、シュウ酸塩な
どであってもよい。次いで前記混合物を例えば６００〜
９００ｏｏ程度の温度で予備焼成し、さらにボールミル
などによって粉砕して調製粉末とする。
金的方法によって容易に製造することができる。例えば
、Ｐｂ０，Ｔｉ０２，Ｃｏｏ，Ｗ０３およびＭｅ０（Ｍ
ｅは母，ＳｒまたはＣａ）などの原料酸化物を所定の割
合に正確に秤取し、これらをボールミルなどによって混
合する。なお、この際用いる原料は加熱によって酸化物
に転ずる化合物例えば水酸化物、炭酸塩、シュウ酸塩な
どであってもよい。次いで前記混合物を例えば６００〜
９００ｏｏ程度の温度で予備焼成し、さらにボールミル
などによって粉砕して調製粉末とする。
しかる後この調製粉末に水あるいはポリビニルアルコー
ルなどの粘結剤を添加配合して、０．５〜幻ｏｎ／の程
度の圧力で加圧成形した後、１０００〜１２５０午０程
度の温度で焼成する。この焼成において一つの組成分た
るＰｂ○の−部が蒸発燈散する恐れもあるので焼成は閉
炉内で行ない、また最高温度での保持は一般に０．５〜
３時間程度で充分である。さらに、本発明の限定理由に
ついて詳述する。
ルなどの粘結剤を添加配合して、０．５〜幻ｏｎ／の程
度の圧力で加圧成形した後、１０００〜１２５０午０程
度の温度で焼成する。この焼成において一つの組成分た
るＰｂ○の−部が蒸発燈散する恐れもあるので焼成は閉
炉内で行ない、また最高温度での保持は一般に０．５〜
３時間程度で充分である。さらに、本発明の限定理由に
ついて詳述する。
まず、（Ｐｑ‐ａＭｅａ）〔（Ｃｏｌ′２ＷＩ／２）ｘ
Ｔｉ，−ｘ〕０３の基本組成において、ｘ＝０．０１〜
０．２０と限定した理由は、ｘ＜０．０１では焼続性が
悪く繊密な磁器が得られず、ｘ＞０．２０ではキュリー
温度が４００℃以下に低下し３０び０以上の高温で安定
して使用できない上に、誘電率も２５０以上となって高
周波領域における使用が困難となるからである。次にＭ
ｅとして示される舷，ＳｒおよびＣａの少なくとも一種
によるＰｂの置換量を０．５〜２０原子％と限定したの
は、０．５原子％より少なくてはＰｂＴｉ０３系圧電材
料の分極を容易にし、また磁器の焼結を容易にするとい
う置換の効果がほとんど現れないからであり、２０原子
％より多くてはキュリー温度が３５０午０以下となり高
温での使用が困難となるからである。
Ｔｉ，−ｘ〕０３の基本組成において、ｘ＝０．０１〜
０．２０と限定した理由は、ｘ＜０．０１では焼続性が
悪く繊密な磁器が得られず、ｘ＞０．２０ではキュリー
温度が４００℃以下に低下し３０び０以上の高温で安定
して使用できない上に、誘電率も２５０以上となって高
周波領域における使用が困難となるからである。次にＭ
ｅとして示される舷，ＳｒおよびＣａの少なくとも一種
によるＰｂの置換量を０．５〜２０原子％と限定したの
は、０．５原子％より少なくてはＰｂＴｉ０３系圧電材
料の分極を容易にし、また磁器の焼結を容易にするとい
う置換の効果がほとんど現れないからであり、２０原子
％より多くてはキュリー温度が３５０午０以下となり高
温での使用が困難となるからである。
さらに、副成分としてのＮｍ○，Ｎｉ○およびＦｅ２Ｑ
の少なくとも一種の添加含有量を、０．０５〜２．の重
量％と限定したのは０．０５重量％より少なくては、Ｐ
ｂＴｉ０３系セラミックの温度特性および経時特性を改
善するという。
の少なくとも一種の添加含有量を、０．０５〜２．の重
量％と限定したのは０．０５重量％より少なくては、Ｐ
ｂＴｉ０３系セラミックの温度特性および経時特性を改
善するという。
これら副成分の効果を示さず、２．の重量％より多くて
はセラミックの暁縞性が悪くなるからである。また（Ｐ
ｂ‐ａＭｅａ）０／〔（Ｃｏｌ／２ＷＩ／２）ｘＴｉ，
★〕０２を０．９８びくＡ／Ｂ＜１．０００と限定した
のはＡ／Ｂ比が０．９８０以下では暁結性が悪く充分な
密度が得られず暁結後数日間で崩壊するためである。
はセラミックの暁縞性が悪くなるからである。また（Ｐ
ｂ‐ａＭｅａ）０／〔（Ｃｏｌ／２ＷＩ／２）ｘＴｉ，
★〕０２を０．９８びくＡ／Ｂ＜１．０００と限定した
のはＡ／Ｂ比が０．９８０以下では暁結性が悪く充分な
密度が得られず暁結後数日間で崩壊するためである。
又、Ａ／Ｂ比が１．０００以上では分極時に過大な電流
が流れ、充分な結合係数Ｋｔ，Ｋｐ（％）を得る事が出
来ない。又、分極後において数週間でねｎ８（％）の急
激な増加が起り最終的には崩壊を起すためである。Ａ／
Ｂ比を０．吸０〜１．０００とする事により、暁絹性に
優れ、分極が容易で経時特性の優れたセラミクスを得る
事が出来る。このために従来のＰｂＴｉ０３系セラミッ
クに比較して、特に機械的強度の経時特性を示すｔａｎ
６を大幅に改善することができる。かくして、本発明に
より次に掲げるような効果を得ることができる。
が流れ、充分な結合係数Ｋｔ，Ｋｐ（％）を得る事が出
来ない。又、分極後において数週間でねｎ８（％）の急
激な増加が起り最終的には崩壊を起すためである。Ａ／
Ｂ比を０．吸０〜１．０００とする事により、暁絹性に
優れ、分極が容易で経時特性の優れたセラミクスを得る
事が出来る。このために従来のＰｂＴｉ０３系セラミッ
クに比較して、特に機械的強度の経時特性を示すｔａｎ
６を大幅に改善することができる。かくして、本発明に
より次に掲げるような効果を得ることができる。
第１に、ＰｂＴｉ０３はキュリー温度が５００３０付近
にあって有望な圧電材料とされていたが、競結性に難点
があるため実用性がなかったのに較べ、本発明ではＰｂ
（Ｃｏｌ／２ＷＩ／２）０３を特に一方の成分として用
いており、またＰｂの一部をＢａ，Ｂｒ，Ｃａ等で置換
しているために、これらが一方では鉱化剤的に働き暁結
を容易化ならしめている。
にあって有望な圧電材料とされていたが、競結性に難点
があるため実用性がなかったのに較べ、本発明ではＰｂ
（Ｃｏｌ／２ＷＩ／２）０３を特に一方の成分として用
いており、またＰｂの一部をＢａ，Ｂｒ，Ｃａ等で置換
しているために、これらが一方では鉱化剤的に働き暁結
を容易化ならしめている。
この競結の容易化は結局隣結温度を低下せしめることに
なり、組成の一部を成すＰｂｏの蒸発輝散を抑制し、も
って最終的に繊密な圧電材料が容易に得られることにな
る。第２に、Ｐｂの一部をＢｃ，ＳｒおよびＣａの少な
くとも一種で置換することにより、分極が困難であった
ＰｂＴｉ０３系セラミックの分極を容易にすることがで
きる。
なり、組成の一部を成すＰｂｏの蒸発輝散を抑制し、も
って最終的に繊密な圧電材料が容易に得られることにな
る。第２に、Ｐｂの一部をＢｃ，ＳｒおよびＣａの少な
くとも一種で置換することにより、分極が困難であった
ＰｂＴｉ０３系セラミックの分極を容易にすることがで
きる。
すなわち、従来のＰｂＴｉＱ系セラミミックは、分極条
件として１８０〜２００ｑｏの高温で６０〜８皿Ｖ／伽
の電圧を必要としたが、本発明の圧電材料は８０〜１０
０ｑｏ，４０〜６船Ｖ／功という緩和された条件で充分
に分極することができる。第３に、Ｍｎ○，Ｎｊ０およ
びＦｅ２０３の少なくとも一種を添加含有せしめること
により、従来のＰｂＴｉ０３系セラミックに比較して温
度特性および経時特性を改善することができる。
件として１８０〜２００ｑｏの高温で６０〜８皿Ｖ／伽
の電圧を必要としたが、本発明の圧電材料は８０〜１０
０ｑｏ，４０〜６船Ｖ／功という緩和された条件で充分
に分極することができる。第３に、Ｍｎ○，Ｎｊ０およ
びＦｅ２０３の少なくとも一種を添加含有せしめること
により、従来のＰｂＴｉ０３系セラミックに比較して温
度特性および経時特性を改善することができる。
第４にＡ／Ｂ比を調整する事により、分極後長時間にわ
たる経時特性が著しく改善される。
たる経時特性が著しく改善される。
次に、本発明の実施例について記載する。鱗結された試
料を２００×１．仇肋ｔに研磨し、両面に銀電極を焼き
付け１００ｑｏ，６皿Ｖ／肌の条件で分極した後、Ｐｒ
比．ＩＲＥＶｏｌ．１３７（’４９）１３７８〜１３９
５などに示された標準回路方法によって庄電特性を各々
測定した。
料を２００×１．仇肋ｔに研磨し、両面に銀電極を焼き
付け１００ｑｏ，６皿Ｖ／肌の条件で分極した後、Ｐｒ
比．ＩＲＥＶｏｌ．１３７（’４９）１３７８〜１３９
５などに示された標準回路方法によって庄電特性を各々
測定した。
これらの測定結果を、それら髭結体の組成比とともに第
１表に示す。なお、第１表において、Ａ／Ｂ比は（Ｐｂ
，‐ａＭｅａ）○と〔（Ｃｏｌ／２ＷＩ／２）ｘＴｉ，
へ〕０２との比を、Ｆ．Ｔは焼成温度（℃）を、Ｄは比
重（２３℃で測定）をごは誘電率（ＩＫＨｚ／Ｓ，２ｙ
ｏで測定）を、Ｋｔは電気機械結合係数（％）を、Ｑｍ
は機械的品質係数を、Ｔｃはキュリー温度をそれぞれ示
す。またｔａｎ６変化率（％）は、ＩＫ世における分極
直後のねｎ６の値と１ぴ（肋）後のねｎ６の値により次
式より求めたものである。ｔａｎ ６ 変 化 率 （
％ ） 〔ｌｏ物の後のｔ狐６秋ｏ）〕−〔分極直後のｔ血６隊
。
１表に示す。なお、第１表において、Ａ／Ｂ比は（Ｐｂ
，‐ａＭｅａ）○と〔（Ｃｏｌ／２ＷＩ／２）ｘＴｉ，
へ〕０２との比を、Ｆ．Ｔは焼成温度（℃）を、Ｄは比
重（２３℃で測定）をごは誘電率（ＩＫＨｚ／Ｓ，２ｙ
ｏで測定）を、Ｋｔは電気機械結合係数（％）を、Ｑｍ
は機械的品質係数を、Ｔｃはキュリー温度をそれぞれ示
す。またｔａｎ６変化率（％）は、ＩＫ世における分極
直後のねｎ６の値と１ぴ（肋）後のねｎ６の値により次
式より求めたものである。ｔａｎ ６ 変 化 率 （
％ ） 〔ｌｏ物の後のｔ狐６秋ｏ）〕−〔分極直後のｔ血６隊
。
）分極直後のｔ血６ 秋ｏ）これらの試料中実施例８０
組成系でん伯比を変えたときの密度を第１図に示す。
組成系でん伯比を変えたときの密度を第１図に示す。
ん伯比が０．斑以上では充分な暁結密度を示すのに対し
、０．９乳〆下では暁結密度が充分でなく、数日後には
自然崩壊を起し、粉末化した。これらの結果によりＡ／
Ｂ比が０．総以下では充分な強度を持つセラミックスが
得られない事が確認された。又、充分に燐結した試料中
実施例５の組成系でＡ／Ｂ比を変えた参考試料について
分極後に電気機械結合係数Ｋｔ，Ｋｐの値を測定した結
果を第２図に示す。
、０．９乳〆下では暁結密度が充分でなく、数日後には
自然崩壊を起し、粉末化した。これらの結果によりＡ／
Ｂ比が０．総以下では充分な強度を持つセラミックスが
得られない事が確認された。又、充分に燐結した試料中
実施例５の組成系でＡ／Ｂ比を変えた参考試料について
分極後に電気機械結合係数Ｋｔ，Ｋｐの値を測定した結
果を第２図に示す。
Ａ／Ｂ比が０．９８＜Ａ／Ｂ＜１．００の範囲では充分
なＫｔ，Ｋｐを示すのに対して、Ａ／Ｂ比が１．０１以
上では急激にＫしＫｐが縮少している。第３図は実施例
５の組成系でＡ／Ｂ比を変えた試料のｔａｎ６（ＩＫ世
）と機械的品質係数Ｑｍを示す。ｔａｎ６はＡ／Ｂ比が
０．職＜Ａ／Ｂ＜１．００の組成で最少の値を示してい
る。Ｑｍ‘ま、Ａ／Ｂ比が０．９８＜Ａ／Ｂく１．００
では１５００以上であるのに対してＡ／Ｂ比が増加する
と急激に減少している。第４図は実施例５，６参考例７
，８のねｎ６の隆時特性を示す。図中、曲線ａは実施例
５を曲線ｂは実施例６を曲線ｃ，ｄは参考例７，８をそ
れぞれ示す。Ａ／Ｂ比が０．９８＜Ａ／Ｂ＜１．００の
試料ではｔａｎ６がほとんど変化しないのに対して、Ａ
／Ｂ比が１．０１以上の参考例７，８の試料では急激に
ｔａｎ６が上昇し、機械的強度が時間とともに低下した
事を示している。以上の実施例から明らかな様に本発明
に係る圧電材料は高温、高周波領域で使用出来、極めて
信頼性が高い材料である。
なＫｔ，Ｋｐを示すのに対して、Ａ／Ｂ比が１．０１以
上では急激にＫしＫｐが縮少している。第３図は実施例
５の組成系でＡ／Ｂ比を変えた試料のｔａｎ６（ＩＫ世
）と機械的品質係数Ｑｍを示す。ｔａｎ６はＡ／Ｂ比が
０．職＜Ａ／Ｂ＜１．００の組成で最少の値を示してい
る。Ｑｍ‘ま、Ａ／Ｂ比が０．９８＜Ａ／Ｂく１．００
では１５００以上であるのに対してＡ／Ｂ比が増加する
と急激に減少している。第４図は実施例５，６参考例７
，８のねｎ６の隆時特性を示す。図中、曲線ａは実施例
５を曲線ｂは実施例６を曲線ｃ，ｄは参考例７，８をそ
れぞれ示す。Ａ／Ｂ比が０．９８＜Ａ／Ｂ＜１．００の
試料ではｔａｎ６がほとんど変化しないのに対して、Ａ
／Ｂ比が１．０１以上の参考例７，８の試料では急激に
ｔａｎ６が上昇し、機械的強度が時間とともに低下した
事を示している。以上の実施例から明らかな様に本発明
に係る圧電材料は高温、高周波領域で使用出来、極めて
信頼性が高い材料である。
図面は本発明に係る酸化物圧電材料の特性例を示すもの
で第１図はＡ／Ｂ比と健縞密度を示す関係曲線図、第２
図はＡ／Ｂ比と電気機械結合係数を示す関係曲綾図、第
３図はＡ／Ｂ比とねｎ６および機械的品質係数Ｑｍを示
す関係曲線図、第４図はねｎ６の経時特性を示す関係曲
線図である。 第１図第２図 第３図 第４図
で第１図はＡ／Ｂ比と健縞密度を示す関係曲線図、第２
図はＡ／Ｂ比と電気機械結合係数を示す関係曲綾図、第
３図はＡ／Ｂ比とねｎ６および機械的品質係数Ｑｍを示
す関係曲線図、第４図はねｎ６の経時特性を示す関係曲
線図である。 第１図第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ （Ｐｂ＿１＿−＿ａＭｅ＿ａ）〔（ＣＯ１／２Ｗ１
／２）ｘＴｉ＿1−＿ｘ〕Ｏ＿３▲数式、化学式、表等
があります▼ の組成からなり、かつ （Ｐｂ＿１＿−＿ａＭｅ＿ａ）Ｏ／〔（Ｃｏ１／２Ｗ１
／２）ｘＴｉ＿１＿−＿ｘ〕Ｏ＿２（以下Ａ／Ｂという
が０．９８＜Ａ／Ｂ＜１．００であることを特徴とした
酸化物圧電材料。 ２ 特許請求の範囲第１項において、副成分としてＭｎ
Ｏ，ＮｉＯおよびＦｅ＿２Ｏ＿３の少なくとも一種を０
．０５〜２．０重量％含有することを特徴とした酸化物
圧電材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53102856A JPS6022836B2 (ja) | 1978-08-25 | 1978-08-25 | 酸化物圧電材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53102856A JPS6022836B2 (ja) | 1978-08-25 | 1978-08-25 | 酸化物圧電材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5543802A JPS5543802A (en) | 1980-03-27 |
| JPS6022836B2 true JPS6022836B2 (ja) | 1985-06-04 |
Family
ID=14338558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53102856A Expired JPS6022836B2 (ja) | 1978-08-25 | 1978-08-25 | 酸化物圧電材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6022836B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2694341B2 (ja) * | 1987-02-04 | 1997-12-24 | ハイドロノーティクス | 改良された耐酸化性膜およびその製造方法 |
-
1978
- 1978-08-25 JP JP53102856A patent/JPS6022836B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5543802A (en) | 1980-03-27 |
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