JPS60231377A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS60231377A JPS60231377A JP8756984A JP8756984A JPS60231377A JP S60231377 A JPS60231377 A JP S60231377A JP 8756984 A JP8756984 A JP 8756984A JP 8756984 A JP8756984 A JP 8756984A JP S60231377 A JPS60231377 A JP S60231377A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- discharge
- cathode
- laser device
- oscillation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はガスレーザ装置に関するものである。
従来のガスレーザ装置では、同一の装置で連続発振すな
わちＣＷ発振もパルス発振も良好に得るために、電極の
うち陰極をＣＷ発振用とパルス発振用とにわけ、スイッ
チの切替によシ使いわける方法が提案されている。
わちＣＷ発振もパルス発振も良好に得るために、電極の
うち陰極をＣＷ発振用とパルス発振用とにわけ、スイッ
チの切替によシ使いわける方法が提案されている。
第１図にはこの種ガスレーザ装置の従来例が示されてい
る。同図に示されているように密閉容器１内にＣｏｔ
、Ｎｇ 、Ｈｅ等からなる混合ガスが負圧で充填され、
送風機２により強制循環されている。陰極３はＣＷ発振
用電極３ａとパルス発振用電極３ｂとからなシ、図中矢
印表示のガス流に対して上流、下流の関係ですなわち上
流側にＣＷ発振用電極３ａが下流側にパルス発振用電極
３ｂが配設されている。ＣＷ発振時には陽極４とＣＷ発
振用電極３ａとの間に直流電圧源５ａにより直流高電圧
が印加され、グロー放電が発生し、これによし励起され
たガス媒質内をレーザ光は全反射鏡６と出力鏡７との間
で往復反射を繰返し乍らその一部が出力として取シ出さ
れる。
る。同図に示されているように密閉容器１内にＣｏｔ
、Ｎｇ 、Ｈｅ等からなる混合ガスが負圧で充填され、
送風機２により強制循環されている。陰極３はＣＷ発振
用電極３ａとパルス発振用電極３ｂとからなシ、図中矢
印表示のガス流に対して上流、下流の関係ですなわち上
流側にＣＷ発振用電極３ａが下流側にパルス発振用電極
３ｂが配設されている。ＣＷ発振時には陽極４とＣＷ発
振用電極３ａとの間に直流電圧源５ａにより直流高電圧
が印加され、グロー放電が発生し、これによし励起され
たガス媒質内をレーザ光は全反射鏡６と出力鏡７との間
で往復反射を繰返し乍らその一部が出力として取シ出さ
れる。
ところでこのように構成されたガスレーザ装置では第２
図にも示されているように、ＣＷ発振動作の場合に下流
側のパルス発振用電極３ｂの放電面３ｂｏは、それ自身
が放電していないにもかかわらずグロー放電８に曝され
る。陰極３の放電面３ａｏ、３ｂｏ以外はすべて絶縁物
９で覆われているが、ＣＷ発振用電極３ａの放電面３ａ
（、に接する部分は高温のためその一部が劣化し、微小
劣化物が下流側のパルス発振用電極３ｂの放電面３ｂｏ
に付着する場合がある。このような状況が発生した後で
電極３ａ、３ｂおよび直流電圧源５ａ、５ｂを切替えて
、パルス発振動作を行なうとするとパルス発振用電極３
ｂの放電面ａｂｏが汚損・劣化しているのでグロー放電
が不安定になり、所期の性能が得られない。
図にも示されているように、ＣＷ発振動作の場合に下流
側のパルス発振用電極３ｂの放電面３ｂｏは、それ自身
が放電していないにもかかわらずグロー放電８に曝され
る。陰極３の放電面３ａｏ、３ｂｏ以外はすべて絶縁物
９で覆われているが、ＣＷ発振用電極３ａの放電面３ａ
（、に接する部分は高温のためその一部が劣化し、微小
劣化物が下流側のパルス発振用電極３ｂの放電面３ｂｏ
に付着する場合がある。このような状況が発生した後で
電極３ａ、３ｂおよび直流電圧源５ａ、５ｂを切替えて
、パルス発振動作を行なうとするとパルス発振用電極３
ｂの放電面ａｂｏが汚損・劣化しているのでグロー放電
が不安定になり、所期の性能が得られない。
本発明は以上の点に鑑みなされたものであり、陰極の劣
化低減を可能としたガスレーザ装置を提供することを目
的とするものである。
化低減を可能としたガスレーザ装置を提供することを目
的とするものである。
〔発明の概要〕
すなわち本発明は密閉容器内に混合ガスを循環し、前記
密閉容器内に連続発振用電極およびパルス発振用電極を
有する陰極と陽極とを配置し、これらの両極間でグロー
放電するガスレーザ装置において、前記陰極の内側と外
側とに絶縁物を介して放電面を設け、これらの放電面の
一方を前記パルス発振用電極の放電面に、他方を前記連
続発振用電極の放電面に形成したことを特徴とするもの
であシ、これによって連続発振用電極およびパルス発振
用電極の放電面が同軸上の径方向に配設されるようにな
る。
密閉容器内に連続発振用電極およびパルス発振用電極を
有する陰極と陽極とを配置し、これらの両極間でグロー
放電するガスレーザ装置において、前記陰極の内側と外
側とに絶縁物を介して放電面を設け、これらの放電面の
一方を前記パルス発振用電極の放電面に、他方を前記連
続発振用電極の放電面に形成したことを特徴とするもの
であシ、これによって連続発振用電極およびパルス発振
用電極の放電面が同軸上の径方向に配設されるようにな
る。
以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明する。第
３図および第４図には本発明の一実施例が示されている
。なお従来と同じ部品には同じ符号を付したので説明を
省略する。本実施例では陰極３Ａの内側と外側とに絶縁
物９を介して放電面３ａｏ 、３ｂｏを設け、これらの
放電面３ａ、）。
３図および第４図には本発明の一実施例が示されている
。なお従来と同じ部品には同じ符号を付したので説明を
省略する。本実施例では陰極３Ａの内側と外側とに絶縁
物９を介して放電面３ａｏ 、３ｂｏを設け、これらの
放電面３ａ、）。
３ｂＯの一方をパルス発振用電極３ａの放電面３ａ（、
に、他方をＣＷ発振用電極３ｂの放電面３ｂｏに形成し
た。そして内側にパルス発振用電極３ｂを、外側にＣＷ
発振用電極３ａを配設した。
に、他方をＣＷ発振用電極３ｂの放電面３ｂｏに形成し
た。そして内側にパルス発振用電極３ｂを、外側にＣＷ
発振用電極３ａを配設した。
このようにすることによりＣＷ発振用電極３ａおよびパ
ルス発振用電極３ｂの放電面３ａ６，３ｂ。
ルス発振用電極３ｂの放電面３ａ６，３ｂ。
が同軸上の径方向に配設されるようになって、陰極３Ａ
の劣化低減を可能としたガスレーザ装置を得ることがで
きる。
の劣化低減を可能としたガスレーザ装置を得ることがで
きる。
すなわち陰極３Ａを最内周に放電面３ｂｏを有するパル
ス発振用電極３ｂと、これと同軸状で、かつパルス発振
用電極３ｂのそれより直径が大きな放電面３ａｏを有す
るＣＷ発振用電極３ａとで形成した。そしてこれらの放
電面３ａ６．３ｂ。
ス発振用電極３ｂと、これと同軸状で、かつパルス発振
用電極３ｂのそれより直径が大きな放電面３ａｏを有す
るＣＷ発振用電極３ａとで形成した。そしてこれらの放
電面３ａ６．３ｂ。
のみを残して絶縁物９で被覆した。なお同図において１
０はリード、１１は支えである。このようにすることに
より放電面３ａ（１，３ｂｏは同一ガス流に曝されるこ
とがなく、従ってＣＷ発振用電極３ａ、パルス発振用電
極３ｂのいずれか一方を放電させても他方はその放電に
曝されることがなくなって、放電面３ａ６，３ｂｏが他
の電極の劣化物で汚損されることがなくなシ、陰極３Ａ
の劣化を低減することができ、長期間運転しても安定し
たグロー放電が維持できる。なお内側にパルス発振用電
極３ｂを配設したが、これはパルス電圧を印加する前に
直流電圧を印加してバイヤス電流を流し、グロー放電を
形成しておくのに内側の方が小さい電流ですむからであ
る。
０はリード、１１は支えである。このようにすることに
より放電面３ａ（１，３ｂｏは同一ガス流に曝されるこ
とがなく、従ってＣＷ発振用電極３ａ、パルス発振用電
極３ｂのいずれか一方を放電させても他方はその放電に
曝されることがなくなって、放電面３ａ６，３ｂｏが他
の電極の劣化物で汚損されることがなくなシ、陰極３Ａ
の劣化を低減することができ、長期間運転しても安定し
たグロー放電が維持できる。なお内側にパルス発振用電
極３ｂを配設したが、これはパルス電圧を印加する前に
直流電圧を印加してバイヤス電流を流し、グロー放電を
形成しておくのに内側の方が小さい電流ですむからであ
る。
第５図には本発明の他の実施例が示されている。
本実施例ではＣＷ発振用電極３ａとパルス発振用電極３
ｂとを軸方向に密接するようにして陰極３Ｂを構成した
。従って両電極３ａ、３ｂは見掛上はガス流に対して上
流・下流の位置関係にあるが、両者間を絶縁物９で充填
し、かつ両者の放電面３ａ（１，３ｂｏの直径を変えて
形成したので、放電面３ａ、）、３ｂｏは同一ガス流に
曝されることがなくなって、前述の場合と同様な作用効
果を奏することができる。
ｂとを軸方向に密接するようにして陰極３Ｂを構成した
。従って両電極３ａ、３ｂは見掛上はガス流に対して上
流・下流の位置関係にあるが、両者間を絶縁物９で充填
し、かつ両者の放電面３ａ（１，３ｂｏの直径を変えて
形成したので、放電面３ａ、）、３ｂｏは同一ガス流に
曝されることがなくなって、前述の場合と同様な作用効
果を奏することができる。
上述のように本発明は連続発振用電極およびパルス発振
用電極の放電面が同一ガス流に曝されることがなくなっ
て、一方の電極の放電面が他方の電極の放電によって劣
化することがなくなシ、陰極の劣化低減を可能としたガ
スレーザ装置を得ることができる。
用電極の放電面が同一ガス流に曝されることがなくなっ
て、一方の電極の放電面が他方の電極の放電によって劣
化することがなくなシ、陰極の劣化低減を可能としたガ
スレーザ装置を得ることができる。
第１図は従来のガスレーザ装置の構成図、第２図は第１
図の陰極部を示す断面図、第３図は本発明のガスレーザ
装置の一実施例の陰極部の断面図、第４図は第３図の平
面図、第５図は本発明のガスレーザ装置の他の実施例の
陰極部の断面図である。 １・・・密閉容器、２・・・送風機、３Ａ、３Ｂ・・・
陰極、３ａ・・・連続発振用電極、３ａｏ・・・連続発
振用電極の放電面、３ｂ・・・パルス発振用電極、３ｂ
ｏ・・・パルス発振用電極の放電面、４・・・陽極、５
ａ、５ｂ・・・直流高圧源、６・・・全反射鏡、７・・
・出力鏡、８・・・（ほか１名） 茅１目 ５＾ 第２ 固 尊５ 目 ５（
図の陰極部を示す断面図、第３図は本発明のガスレーザ
装置の一実施例の陰極部の断面図、第４図は第３図の平
面図、第５図は本発明のガスレーザ装置の他の実施例の
陰極部の断面図である。 １・・・密閉容器、２・・・送風機、３Ａ、３Ｂ・・・
陰極、３ａ・・・連続発振用電極、３ａｏ・・・連続発
振用電極の放電面、３ｂ・・・パルス発振用電極、３ｂ
ｏ・・・パルス発振用電極の放電面、４・・・陽極、５
ａ、５ｂ・・・直流高圧源、６・・・全反射鏡、７・・
・出力鏡、８・・・（ほか１名） 茅１目 ５＾ 第２ 固 尊５ 目 ５（
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、密閉容器内に混合ガスを循環し、前記密閉容器内に
連続発振用電極およびパルス発振用電極を有する陰極と
陽極とを配置し、これらの両極間でグロー放電するガス
レーザ装置において、前記陰極の内側と外側とに絶縁物
を介して放電面を設け、これらの放電面の一方を前記パ
ルス発振用電極の放電面に、他方を前記連続発振用電極
の放電面に形成したことを特徴とするガスレーザ装置。 ２、前記内側に前記パルス発振用電極が、前記外側に前
記連続発振用電極が配設されたものである特許請求の範
囲第１項記載のガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8756984A JPS60231377A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8756984A JPS60231377A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60231377A true JPS60231377A (ja) | 1985-11-16 |
Family
ID=13918627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8756984A Pending JPS60231377A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60231377A (ja) |
-
1984
- 1984-04-28 JP JP8756984A patent/JPS60231377A/ja active Pending
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