JPS60234189A - 高気密性流体継手 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ガスケットを退縮するおそれを解消した袋ナ
ツト締め流体継手に関するものである。

近年技術革新のハイスピード化に伴い、超ＬＳＩとか超
々ＬＳＩにみられるように、飛躍的に大規模な集積回路
を製造する必要性が生じてきている。このような大規模
集積回路を製造するには、半導体化合物のガリウム砒素
のような超Ｗｊ　ｒｌガス流体の使用や、超高真空化に
於ける高純度の被膜形成の必要性があることから、その
半導体ｇＡ造装置には必然的に高度の気密性が要求され
てきている。しかして、このような装置の流路形成要素
を連結するには、全てを爆接によるのは不可能であり、
メカニカルに結合し、しかも優れた気圧ＪｔＩ＋を有す
る流体継手がなければ装置を完成さ廿ることは出来ない
。このような］１的に使用する継手としては、信頼性が
高いという理由で主として列国製のものが使用されてお
り、各種のものがあるが、その代表的なものとしては第
７図に示すような、２つのスリーブｌ、２をガスケット
３を介して連結してなり、この連結給料けをスリーブｌ
に嵌着させた外周にねじ部を形成したグランド４に、他
方のスリーブ２に嵌装させたナツト５を螺合させること
によって行なう流体継手が挙げられる。

しかして、上記流体継手は、ガスケットの有効圧縮敲を
ナツトの締付は回転数で表示しているが、この回転数は
ガスケットの設定位置とか材質等によって、実際の作業
上に於いては一定とならないケースが生じる。その為、
リークタイトを気にする余り、過給をすることになり、
その結果ガスケットが損傷したり破断したりするが、こ
のようにガスケットが損傷すると、例えそれが僅かのも
のであっても、接触部の平面性が損われることになって
、気密性が悪化する欠点があった。

木発明者は、この点に着目し、鋭意研究の結果、前記ポ
デーと前記スリーブとの当接面に、それぞれ嵌合凹部と
嵌合凸部とを、嵌合凹部の端面が嵌合凸部の段部と当接
してガスケットが有効弾性圧縮１４ｊ以−１；圧縮され
ないように設けることにより、１−記欠点が解消できる
ことを見出し、本発明に到達した。

次に、本発明の実施例を図面に基すいて説明する。

第１図に於いて、１１はポデーであり、１２はスリーブ
であり、１３は袋ナツトであり、袋ナラ）１３はスリー
ブ１２に嵌装されている。

前記ポデー１１はその中心に透孔な有し、一端外周には
、ねじ部１４が設けられており、更にねじ部と連設して
、外周には外形多角形の突起２５をもっている。前記ね
じ部１４に袋ナツト１３を螺合させることによって、ス
リーブ１２をガスケット１５を介してポデー１１に給料
けている。

スリーブ１２はその中心に透孔な有し、その先端外周に
は、帰環状部１６が設けられており、該帰環状部の袋ナ
ツトに圧接される面には、第３図に示すようにベアリン
グの作用をする多数の小球１７を嵌合させたリング状溝
１８が設けられている。

ボディ１１のねじ１４側の端面には環状の四部２１を設
け、スリーブ１２のガスケット１５に当接する面には該
凹部２１に嵌合する凸部２２を設けている。この嵌合凹
部と嵌合凸部とは、ポデーヒスリーブのいずれに設けて
もよいのは、勿論である。

ガスケツ）１５は、この四部２１に１良人され、凸部２
２で圧接される。この四部２１の深さと、凸部２２の高
さとは、ガスケットを有効弾性圧縮Ｕまで圧接した時、
凸部２２の段部２３がポデーの端面２４に１トるように
設定しておく。

１−記実施例に於いては、スリーブ１２と袋ナツト１３
との間に回動手段が設けられている。このような回動手
段を設けることは、本発明に於いては必ずしも必要では
ないが、このように回動手段を設けると、袋ナラ）１３
をポデーのねじ部１４と螺合させる際、スリーブ１２に
回転トルクがかかつても、袋ナツト１３とスリーブ１２
とは空転し、スリーブ１２には成る程度以上の力はかか
らないので、スリーブの回転に伴うガスケットの損傷と
か、スリーブに連結した管のねじれ等のおそれは解消さ
れる。第４図は回動手段の他の例を示すもので、断面り
字状のリング２８とスリーブの帰環状部１６の管側の面
との間に小球１７が介装されている。この場合に、スリ
ーブの管２９にはリング２８を係！トするための突起若
しくは溝を設けてもよい。

第６図に示す回動手段の別の例は、リング２８を断面コ
字状とし、このコ宇部で小球１７を挟持している。この
ような回動手段としては、−に記実施例に記載のような
小球を介在させる手段に限らず、気密性が保たれるなら
、例えば袋ナツトの内面にブシュを嵌め込む等の他の公
知の回動手段によってもよい。

前記スリーブの管端とポデーの管端とは、爆接によって
パイプに連結されるものであり、それによって２６．２
７間の流体通路は連通ずるものである。

上記実施例で使用したガスケット１５は、第４図に示す
ように、比較的細い螺旋状コイルバネの両端をつないで
円形にしたコイルスプリング１９を、金属製被覆材２０
で、外側の中心が空くように被覆することにより構成さ
れ工いる。コイルスプリングの材質としては１例えば、
ステンレス若しくはインコネル材等が、被覆材の材質と
しては、アルミニウム、ニッケル、銅、モネル等が好適
に使用される。

本発明に於いては、上記実施例に記載のガスケットに限
らず、従来のメタルＯリングやメタルＣリングを使用す
ることができるのは勿論である。

しかしながら、上記実施例で使用したガスケットを使用
すれば、このガスケットには、コイルスプリングが内装
されているので、メタルＯリングやメタルＣリングと比
較してはるかに弾性が強く、その為このガスケット１５
に圧力がかかるとその圧力に抗する強い反発力がはたら
くことから、高度の気密性が得られる。

このように上記実施例の流体継手は、特殊のガスケツＩ
・を使用しているので気密性に極めて優れているが、更
にシール面をロールバニシング処理することによって、
その気密性は、飛躍的に向上する。

例えば上記実施例の流体継手のシール面を３゜２Ｓ粗度
の旋削とし、これにロールバニシング処理を施せば、１
〜２秒間の加工時間で容易に１゜０５〜０．７５粗度の
鏡面が得られる。

このように処理した継手は、気密性が抜群によく、熟練
者でなくても、ヘリウムリークレ−１・で１００−１Ｏ
ａｔ・ｃｃ／ｓｅｃの高気密性の流体継手を容易に得る
ことが出来る。またこのバニシング処理によって、表面
硬度が向］二しくステンレスの場合母材硬度１８０ＨＢ
硬度のものが、３００ＨＢ以上の硬度となる）、その為
ガスケットに気密性劣化の原因となる微細線状傷が形成
され難くなり、取扱いに過大な注意も要さない等の利点
がｆＵられる以上述べた如く、本発明によればポデーと
スリーブとの当接面に、ガスケットが有効弾性圧縮是以
上圧接されないように段部な設けているので、ガスケッ
トの過給に伴うガスケットの損傷するおそれは熟練を要
することなく解消される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例を示す半断面図、第２図は、
ポデーとスリーブとの当接［ｎｌの拡大断面図、 第３図は、本発明のスリーブの斜視図、第４図は、本発
明のガスケットの一部切欠斜視図、 第５図及び第６図は、回動手段の他の実施例を示す断面
図、 第７図は従来の流体継手を示す断面図である。 図中、 １１−・・ポデー　、１２・・・スリーブ１３−・・袋
ナツト、１４拳・争ねじ部１５Φ・ガスケット、１６・
φ・帰環状部１９−・・コイルスプリング ２１・・・嵌合凸部、２２・・・嵌合凹部２３・・・段
部、　２４１１・・端面 特許出願人　有限会社　ニス　デー　シー代理人弁理士
　稲　垣　仁　義

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）管体の一端外周にねじ部を設けたポデーと、ガス
   ケットを介して該ポデーのねじ部側の透孔と当接連通す
   る先端外周に帰環状部を設けた管体からなるスリーブと
   、該スリーブに嵌装され前記ポデーのネジ部と螺合して
   前記ポデーと前記スリーブとを強固に締付ける袋ナツト
   とからなる流体継手に於いて、前記ポデーと前記スリー
   ブとの当接面には、それぞれ嵌合凹部と嵌合凸部とを、
   嵌合凹部の端面が嵌合凸部の段部と当接してガスケット
   が有効弾性圧縮量以上圧縮されないように設けたことを
   特徴とする袋ナツト締め流体継手。