JPS60242129A - 搬送・収納装置 - Google Patents
搬送・収納装置Info
- Publication number
- JPS60242129A JPS60242129A JP9753984A JP9753984A JPS60242129A JP S60242129 A JPS60242129 A JP S60242129A JP 9753984 A JP9753984 A JP 9753984A JP 9753984 A JP9753984 A JP 9753984A JP S60242129 A JPS60242129 A JP S60242129A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- tool
- storage device
- guide part
- belt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G65/00—Loading or unloading
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Stacking Of Articles And Auxiliary Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は半導体装置等の製造段階において、各種処理工
程間においてウェハー等を搬送し収納具に収納する搬送
・収納装置に関するものである。
程間においてウェハー等を搬送し収納具に収納する搬送
・収納装置に関するものである。
従来この種装置は、ウェハーを水平に搬送し収納具に収
納していたため、次のような欠点があった。即ち第３図
に示すように、セツティング不良のため収納具ｌのガイ
ド部２１がベルト上面２０より若干高い場合には、ウェ
ハー３がガイド部２１にのり上げ収納具途中でウェハー
３が止ってしまい、収納具後方に設置された光反射式等
のウェハー検知センサ２２に検知されず、このため収納
具エレベータ−の上昇信号が得られなくなり各種処理工
程間のシーケンスが全て停止してしまう。また上記欠点
を回避するためウェハー検知センサ２２を収納具前方に
設置した場合には、ウェハーか収納具に完全に収納され
ない状態のままで収納具エレベータ−が上昇するため、
ウェハーが他部材と当り、ウェハーか破損する恐れがあ
る。
納していたため、次のような欠点があった。即ち第３図
に示すように、セツティング不良のため収納具ｌのガイ
ド部２１がベルト上面２０より若干高い場合には、ウェ
ハー３がガイド部２１にのり上げ収納具途中でウェハー
３が止ってしまい、収納具後方に設置された光反射式等
のウェハー検知センサ２２に検知されず、このため収納
具エレベータ−の上昇信号が得られなくなり各種処理工
程間のシーケンスが全て停止してしまう。また上記欠点
を回避するためウェハー検知センサ２２を収納具前方に
設置した場合には、ウェハーか収納具に完全に収納され
ない状態のままで収納具エレベータ−が上昇するため、
ウェハーが他部材と当り、ウェハーか破損する恐れがあ
る。
本発明の目的は、これらの欠点を克服し、ウェハーを収
納具へ確実・完全に受け渡すことができる搬送・収納装
置を提供することにある。
納具へ確実・完全に受け渡すことができる搬送・収納装
置を提供することにある。
即ち本発明の後述する実施例は、ウェハー収納具及びウ
ェハー搬送手段からなるウェハー搬送・収納装置におい
て、少くとも前記収納具を所定の角度に傾斜させること
により、搬送手段から収納具へのウェハーの受け渡しを
確実・完全にし、ウェハー収納の信頼性を向上するよう
にした搬送・収納装置である。
ェハー搬送手段からなるウェハー搬送・収納装置におい
て、少くとも前記収納具を所定の角度に傾斜させること
により、搬送手段から収納具へのウェハーの受け渡しを
確実・完全にし、ウェハー収納の信頼性を向上するよう
にした搬送・収納装置である。
以下、本発明の実施例について添付図面を参照して説明
する。第１図は本発明の一実施例を示す説明図、第２図
は本発明の他の実施例を示す説明図である。
する。第１図は本発明の一実施例を示す説明図、第２図
は本発明の他の実施例を示す説明図である。
第１図において、１は収納具でその内部に搬送ベルｌ−
４で搬送されるウェハー３を受け取るカイト部２１と、
ウェハー３を検知する光反射式のウェハー検知センサ２
２を備えている。２は収納具ｌをｙ１降するエレベータ
−でモータ５．キャ６，７゜送りねじ８を介して駆動さ
れる。ここで、収納具ｌ従ってガイド部２１と搬送ベル
ト４は傾斜角θをつけて設置されており、この傾斜角０
は、ウェハー３と搬送ベルト４との摩擦係数をｐｂ、ウ
ェハー３とガイド部２１との摩擦係数をｇｃ としたと
き、ｐ、、ｂ ＞ ｔａｎＯ＞ ｐ−ｃの関係に設定さ
れている。
４で搬送されるウェハー３を受け取るカイト部２１と、
ウェハー３を検知する光反射式のウェハー検知センサ２
２を備えている。２は収納具ｌをｙ１降するエレベータ
−でモータ５．キャ６，７゜送りねじ８を介して駆動さ
れる。ここで、収納具ｌ従ってガイド部２１と搬送ベル
ト４は傾斜角θをつけて設置されており、この傾斜角０
は、ウェハー３と搬送ベルト４との摩擦係数をｐｂ、ウ
ェハー３とガイド部２１との摩擦係数をｇｃ としたと
き、ｐ、、ｂ ＞ ｔａｎＯ＞ ｐ−ｃの関係に設定さ
れている。
このような構成において、ウェハー３は搬送ヘルド４」
二では摩擦力によりヘルド４上に保持されながら搬送さ
れるが、収納具１のガイド部２１上に受け渡された時点
ですべりを起し、ガイド部２１」二をすべって収納具ｌ
内に完全に収納される。そしてウェハー３が収納される
とウェハー検知センサ２２が検知し、エレベータ−２が
」二昇駆動される。
二では摩擦力によりヘルド４上に保持されながら搬送さ
れるが、収納具１のガイド部２１上に受け渡された時点
ですべりを起し、ガイド部２１」二をすべって収納具ｌ
内に完全に収納される。そしてウェハー３が収納される
とウェハー検知センサ２２が検知し、エレベータ−２が
」二昇駆動される。
なお、」−記説明においては、収納具１の傾斜角Ｏ１と
搬送ベルト４の傾斜角θ２が同一である場合について述
べたが、前記傾斜角θ１，０２か夫々ｔａｎθ１く舊ｃ
、 ｔａｎＯ２＜ｕＬｂの関係にある範囲においてお互
いに差違があっても、同様の効果がイ１）られることは
明らかである。
搬送ベルト４の傾斜角θ２が同一である場合について述
べたが、前記傾斜角θ１，０２か夫々ｔａｎθ１く舊ｃ
、 ｔａｎＯ２＜ｕＬｂの関係にある範囲においてお互
いに差違があっても、同様の効果がイ１）られることは
明らかである。
第２図は他の実施例であるか、図において、エレベータ
２上にはカム回転軸１１を介して収納具ｌを傾動する収
納具傾斜用カムＩＯか設けられている。収納具ｌは通常
は水平状態に保持されている。
２上にはカム回転軸１１を介して収納具ｌを傾動する収
納具傾斜用カムＩＯか設けられている。収納具ｌは通常
は水平状態に保持されている。
このような構成において、ウェハー３がベルト４−にを
搬送されてきて収納具１のカイト部２１」二に到達する
と、収納具ｌの前方に配置されているウェハー検知セン
サ２２で検知され、これによりエレベータ−２か」−昇
すると同時にカム回転軸１１が回転を始め、収納具傾斜
用カムｌＯが収納具１を傾斜角θで傾ける。この結果、
ウェハー３は収納具１の後方まですべって移行し、完全
に収納具ｌ内に収納される。
搬送されてきて収納具１のカイト部２１」二に到達する
と、収納具ｌの前方に配置されているウェハー検知セン
サ２２で検知され、これによりエレベータ−２か」−昇
すると同時にカム回転軸１１が回転を始め、収納具傾斜
用カムｌＯが収納具１を傾斜角θで傾ける。この結果、
ウェハー３は収納具１の後方まですべって移行し、完全
に収納具ｌ内に収納される。
なお、これまでの説明においては、半導体製造装置にお
けるウェハー搬送・収納装置について述へたが、本発明
を他の小型製品等の製造工程間の搬送・収納装置に用い
ても同様の効果が得られることは明らかである。
けるウェハー搬送・収納装置について述へたが、本発明
を他の小型製品等の製造工程間の搬送・収納装置に用い
ても同様の効果が得られることは明らかである。
以］二説明したように、本発明はウェハー収納具及びウ
ェハー搬送ベルトを所定の傾斜角度で設置するという簡
単な方法でウェハーを確実・完全に収納具内に収納する
ことができる利点があり、またこれにより、搬送中のウ
ェハーの破損が防止されることはもとより、収納ウェハ
ーの検知不能に基づく各種処理工程間のシーケンス停止
が防止される利点がある。
ェハー搬送ベルトを所定の傾斜角度で設置するという簡
単な方法でウェハーを確実・完全に収納具内に収納する
ことができる利点があり、またこれにより、搬送中のウ
ェハーの破損が防止されることはもとより、収納ウェハ
ーの検知不能に基づく各種処理工程間のシーケンス停止
が防止される利点がある。
第１図は本発明の一実施例を示す説明図、第２図は本発
明の他の実施例を示す説明図、第３図は従来例における
ウェハーの収納具への受け渡し状態を示す説明図である
。 １、ウェハー収納具 ２、エレベータ ３、ウェハー ４、搬送ベルト ５、モーター ６．７．キヤ ８、送りねし １０、カム １１、カム回転軸 ２０、搬送ベルト」二面部 ２１、ウェハー収納具ｌのガイド部 ２２、ウェハー検知センサ 第１図 第３図
明の他の実施例を示す説明図、第３図は従来例における
ウェハーの収納具への受け渡し状態を示す説明図である
。 １、ウェハー収納具 ２、エレベータ ３、ウェハー ４、搬送ベルト ５、モーター ６．７．キヤ ８、送りねし １０、カム １１、カム回転軸 ２０、搬送ベルト」二面部 ２１、ウェハー収納具ｌのガイド部 ２２、ウェハー検知センサ 第１図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ウェハー収納具及びウェハー搬送手段からなる搬送
・収納装置において、前記収納具と搬送手段或いは前記
収納具を傾斜させることを特徴とする搬送・収納装置。 ２、前記搬送手段はベルトで構成され、その傾斜角θは
、ウェハーと搬送ベルトとの摩擦係数を８Ｌｂ、ウェハ
ーとウェハー収納具との摩擦係数をｇｃとしたとき、ｐ
ｂ ＞ ｔａｎＯ＞ ＩＬｃの関係に設定されることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の搬送・収納装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9753984A JPS60242129A (ja) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | 搬送・収納装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9753984A JPS60242129A (ja) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | 搬送・収納装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60242129A true JPS60242129A (ja) | 1985-12-02 |
Family
ID=14195048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9753984A Pending JPS60242129A (ja) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | 搬送・収納装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60242129A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06316332A (ja) * | 1993-05-06 | 1994-11-15 | Kao Corp | 物品の集荷方法及び装置 |
-
1984
- 1984-05-17 JP JP9753984A patent/JPS60242129A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06316332A (ja) * | 1993-05-06 | 1994-11-15 | Kao Corp | 物品の集荷方法及び装置 |
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