JPS6024415A - 電−空変換器 - Google Patents
電−空変換器Info
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- JPS6024415A JPS6024415A JP13305983A JP13305983A JPS6024415A JP S6024415 A JPS6024415 A JP S6024415A JP 13305983 A JP13305983 A JP 13305983A JP 13305983 A JP13305983 A JP 13305983A JP S6024415 A JPS6024415 A JP S6024415A
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- Japan
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- voltage
- nozzle
- piezoelectric element
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/42—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using fluid means
- G01D5/44—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using fluid means using jets of fluid
- G01D5/46—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using fluid means using jets of fluid by deflecting or throttling the flow
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
この発明は、プロセス制御等に利用される電−突変換器
、特にノズルフラッパに圧電素子を用いた電−突変換器
に関する。
、特にノズルフラッパに圧電素子を用いた電−突変換器
に関する。
（ロ）背景
電−突変換器にはノズルフラッパに圧電素子を用いたも
のがある。この種の電−突変換器は従来、入力信号に応
じた一方向性（正極性）の直流電圧を圧電素子フラッパ
に印加し圧電素子フラッパを変位させるようにしている
が、連続して一方向性の直流電圧を印加すると圧電素子
は発生する歪の方向に遡性変形し、動作点がずれるとい
う欠点があった。そこでこの欠点を解消するため、この
出願の発明者等は、圧電素子フラッパに印加する制御電
圧を、入力信号の中位レベルで０■近辺とし、入力信号
が大、あるいは小になることに対応して正、負両極とな
るようにした電−突変換器を創出し、すでに出願した。
のがある。この種の電−突変換器は従来、入力信号に応
じた一方向性（正極性）の直流電圧を圧電素子フラッパ
に印加し圧電素子フラッパを変位させるようにしている
が、連続して一方向性の直流電圧を印加すると圧電素子
は発生する歪の方向に遡性変形し、動作点がずれるとい
う欠点があった。そこでこの欠点を解消するため、この
出願の発明者等は、圧電素子フラッパに印加する制御電
圧を、入力信号の中位レベルで０■近辺とし、入力信号
が大、あるいは小になることに対応して正、負両極とな
るようにした電−突変換器を創出し、すでに出願した。
この先願に係る電−突変換器は印加電圧に応じて変位す
る圧電素子と、一定の直流電圧を出力し、この直流電圧
を前記圧電素子に印加する第１の直流電圧源と、入力電
気信号に応じて変化し、かつ入力電気信号が予定変化範
囲の中位レベルの時前記第１の直流電圧源の出力直流電
圧と略同値となる直流電圧を出力し、この出力直流電圧
を前記第１の直流電圧源よりの直流電圧と相殺する態様
で前記圧電素子に印加する第２の直流電圧源と、前記圧
電素子の変位部をフラッパとし、給気圧を受け背圧を導
出するノズルと、この背圧を出力圧に変換するパイロッ
ト弁と、前記出力圧を電気信号に変換する回路と、この
変換回路で変換された電気信号を前記第２の直流電圧源
の入力側に加え、前記入力電気信号と平衡させる帰還回
路とで構成されている。
る圧電素子と、一定の直流電圧を出力し、この直流電圧
を前記圧電素子に印加する第１の直流電圧源と、入力電
気信号に応じて変化し、かつ入力電気信号が予定変化範
囲の中位レベルの時前記第１の直流電圧源の出力直流電
圧と略同値となる直流電圧を出力し、この出力直流電圧
を前記第１の直流電圧源よりの直流電圧と相殺する態様
で前記圧電素子に印加する第２の直流電圧源と、前記圧
電素子の変位部をフラッパとし、給気圧を受け背圧を導
出するノズルと、この背圧を出力圧に変換するパイロッ
ト弁と、前記出力圧を電気信号に変換する回路と、この
変換回路で変換された電気信号を前記第２の直流電圧源
の入力側に加え、前記入力電気信号と平衡させる帰還回
路とで構成されている。
しかしながら、この電−突変換器では入力電気信号が中
位レベル（５０％）の時、圧電素子フラッパの変位がＯ
となるように構成するものであるから、入力電気信号が
無い時と、入力電気信号が５０％程度の時との区別がで
きない。すなわ°ち入力電気信号断時に、出力空気圧が
Ｏｋｇ ／ ｃＪとならずに、迷走してしまうという問
題がある。
位レベル（５０％）の時、圧電素子フラッパの変位がＯ
となるように構成するものであるから、入力電気信号が
無い時と、入力電気信号が５０％程度の時との区別がで
きない。すなわ°ち入力電気信号断時に、出力空気圧が
Ｏｋｇ ／ ｃＪとならずに、迷走してしまうという問
題がある。
（ハ）目的
この発明の目的は、上記問題点を解消し、万一人力電気
信号が断した場合でも、出力空気圧が迷走せず、確実に
Ｏｋｇ ／ ｃａとなし得る電−突変換器を提供するこ
とである。
信号が断した場合でも、出力空気圧が迷走せず、確実に
Ｏｋｇ ／ ｃａとなし得る電−突変換器を提供するこ
とである。
（ニ）構成
上記目的を達成するためにこの発明の電−突変換器は、
上記した先願の電−突変換器の構成要素に加えて、ノズ
ルを固着部に弾性的に支持し、ノズル背圧を受けて変位
するダイヤフラム等のノズル保持手段と、出力圧が予定
範囲となるノズル背圧よりもやや低いノズル背圧で前記
ノズＪし保持手段が当接するスト・ツバと、第１の直流
電圧源の電圧を電源断後も所定時間保持し、前記第１の
直流電圧源と同態様の電圧を圧電素子に印加する電圧保
持手段とを備え、入力信号が予定範囲で入力される時は
、前記ノズル背圧で前記ノズル保持手段を前記ストッパ
に当接させた状態で制御動作をなし、電源人力断時は、
前記電圧保持手段の電圧印加により、フラッパをノズル
から遠ざけ、前記ノズル保持手段を前記スト・ツバから
離隔せしめ、出力圧をＯ方向に移動制御するようにして
いる。
上記した先願の電−突変換器の構成要素に加えて、ノズ
ルを固着部に弾性的に支持し、ノズル背圧を受けて変位
するダイヤフラム等のノズル保持手段と、出力圧が予定
範囲となるノズル背圧よりもやや低いノズル背圧で前記
ノズＪし保持手段が当接するスト・ツバと、第１の直流
電圧源の電圧を電源断後も所定時間保持し、前記第１の
直流電圧源と同態様の電圧を圧電素子に印加する電圧保
持手段とを備え、入力信号が予定範囲で入力される時は
、前記ノズル背圧で前記ノズル保持手段を前記ストッパ
に当接させた状態で制御動作をなし、電源人力断時は、
前記電圧保持手段の電圧印加により、フラッパをノズル
から遠ざけ、前記ノズル保持手段を前記スト・ツバから
離隔せしめ、出力圧をＯ方向に移動制御するようにして
いる。
（ホ）実施例
以下、図面に示す実施例により、この発明をさらに詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は、この発明の１実施例を示す電−突変換器の回
路図である。同図において入力電流１ｉがツェナダイオ
ードｚ１とボリウムＶＲを流れ、ボリウムＶＲの入力抵
抗Ｒｉには入力電流■ｉＧこ比例した電圧ｅｉが得られ
、この電圧ｅｉと・ツェナダイオードＺ２の電圧が抵抗
Ｒ２とＲ３で加算され、マイクロパワーの演算増幅器１
０反転入力端に加えられるようになっている。この演算
増幅器１の出力電圧ＥＯが、発振回路９に加えられ、発
振回路９は出力電圧ＥＯにより振幅変調を受しすて発振
する。すなわち発振回路９は出力電圧ＥＯ２したがって
入力電流Ｉｔに応じた振幅の発振信号を出力する。発振
回路９の発振出力信号は全波整流回路１１で整流され、
放電抵抗Ｒｂの両端に＋Ｅ２の直流電圧が導出されるよ
うになってし）る。
路図である。同図において入力電流１ｉがツェナダイオ
ードｚ１とボリウムＶＲを流れ、ボリウムＶＲの入力抵
抗Ｒｉには入力電流■ｉＧこ比例した電圧ｅｉが得られ
、この電圧ｅｉと・ツェナダイオードＺ２の電圧が抵抗
Ｒ２とＲ３で加算され、マイクロパワーの演算増幅器１
０反転入力端に加えられるようになっている。この演算
増幅器１の出力電圧ＥＯが、発振回路９に加えられ、発
振回路９は出力電圧ＥＯにより振幅変調を受しすて発振
する。すなわち発振回路９は出力電圧ＥＯ２したがって
入力電流Ｉｔに応じた振幅の発振信号を出力する。発振
回路９の発振出力信号は全波整流回路１１で整流され、
放電抵抗Ｒｂの両端に＋Ｅ２の直流電圧が導出されるよ
うになってし）る。
この整流回路１１の出力直流電圧Ｅ２は圧電素子フラッ
パ２の金属板２ａに加えられる。
パ２の金属板２ａに加えられる。
また入力電流ＴｉがツェナダイオードＺ１、ボリウムＶ
Ｒに流される状態下では、＋■の電圧が発振回路８に供
給され、発振回路８は一定の振幅の発振信号を出力する
。発振回路８の発振出力信号は全波整流回路ＩＯで整流
され、その出力電圧Ｅ１で放電抵抗Ｒａを通してコンデ
ンサＣａを充電するようになっている。この整流回路１
０の出力直流電圧Ｅ１は、圧電素子フラッパ２の圧電素
子２ｂ、２Ｃに加えられる。上記直流電圧Ｅ１、Ｅ２は
いずれも正極性の電圧であるが、圧電素子フラッパ２に
は互いに逆極性に加えられており、両電圧が相殺される
態様、すなわちＥ２−Ｅｌの電圧ＥＯ’が印加されるよ
うになっている。そして直流電圧Ｅ２は入力電流に応じ
てＯから２Ｅ１まで変化するように構成され、５０％に
対応する入力電流の場合には、Ｅ２＝Ｅ１となりこの場
合にはＥＯ′はＯとなる。圧電素子フラッパ２は印加電
圧Ｅ Ｏ’に応じて変位する。Ｅ Ｏ’が負極性（Ｅ２
〈Ｅｌ）の場合には後述するノズル３から遠ざかるよう
に、逆に正極性（Ｅ２＞Ｅｌ）の場合にはノズル３に近
づく方向にそれぞれ変位する。しかしＥＯ’−０（Ｅ２
＝８１）の場合には変位しない。
Ｒに流される状態下では、＋■の電圧が発振回路８に供
給され、発振回路８は一定の振幅の発振信号を出力する
。発振回路８の発振出力信号は全波整流回路ＩＯで整流
され、その出力電圧Ｅ１で放電抵抗Ｒａを通してコンデ
ンサＣａを充電するようになっている。この整流回路１
０の出力直流電圧Ｅ１は、圧電素子フラッパ２の圧電素
子２ｂ、２Ｃに加えられる。上記直流電圧Ｅ１、Ｅ２は
いずれも正極性の電圧であるが、圧電素子フラッパ２に
は互いに逆極性に加えられており、両電圧が相殺される
態様、すなわちＥ２−Ｅｌの電圧ＥＯ’が印加されるよ
うになっている。そして直流電圧Ｅ２は入力電流に応じ
てＯから２Ｅ１まで変化するように構成され、５０％に
対応する入力電流の場合には、Ｅ２＝Ｅ１となりこの場
合にはＥＯ′はＯとなる。圧電素子フラッパ２は印加電
圧Ｅ Ｏ’に応じて変位する。Ｅ Ｏ’が負極性（Ｅ２
〈Ｅｌ）の場合には後述するノズル３から遠ざかるよう
に、逆に正極性（Ｅ２＞Ｅｌ）の場合にはノズル３に近
づく方向にそれぞれ変位する。しかしＥＯ’−０（Ｅ２
＝８１）の場合には変位しない。
一方、空気圧系は、ノズル３の噴気口が圧電素子フラッ
パ２に対面し、給気圧を受けるとともにその背圧をパイ
ロット弁４で圧力増幅して出力圧として導出するととも
に、その出力圧を定電流源５、圧力セン共６よりなる電
空変換回路に加え、出力圧を電圧信号に変換するように
なっている。
パ２に対面し、給気圧を受けるとともにその背圧をパイ
ロット弁４で圧力増幅して出力圧として導出するととも
に、その出力圧を定電流源５、圧力セン共６よりなる電
空変換回路に加え、出力圧を電圧信号に変換するように
なっている。
圧電素子フラッパ２は、第２図に示すように、素板形セ
ミツク超音波振動子２ｂ、２Ｃを薄い金属板２ａの両面
に接合したものである。分極の方向は板の厚み方向（矢
符Ａ）であり、電圧印加による伸縮方向は板の長手方向
（矢符Ｂ）、変位方向は厚み方向（矢符Ｃ）である。印
加電圧とフラッパの先端変位の関係は２０μｍ／ＩＯＶ
のものが使用されている。
ミツク超音波振動子２ｂ、２Ｃを薄い金属板２ａの両面
に接合したものである。分極の方向は板の厚み方向（矢
符Ａ）であり、電圧印加による伸縮方向は板の長手方向
（矢符Ｂ）、変位方向は厚み方向（矢符Ｃ）である。印
加電圧とフラッパの先端変位の関係は２０μｍ／ＩＯＶ
のものが使用されている。
なお、ノズル３はダイヤフラム１２を介して固着部１３
に支持されている。ダイヤフラム１２はノズル背圧によ
って、圧電素子フラッパ２の方に変位を受けるようにな
っている。しかしダイヤフラム１２と圧電素子フラッパ
２間にはストッパ１４が設けられ、出力空気圧が０．２
〜１．０ ｋｇ／ｃＩＩＩとなるノズル背圧（略０．４
〜０．５ ｋｇ／ｃＪ）よりも少し低い圧力で、ダイヤ
フラム１２がストッパ１４に当たり、それ以上は圧電素
子フラ・ツバ２に近づく方向には変位しないようになっ
ている。無変位時のダイヤフラム１２とストッパ１１の
間隔は８０μｍ程度である。
に支持されている。ダイヤフラム１２はノズル背圧によ
って、圧電素子フラッパ２の方に変位を受けるようにな
っている。しかしダイヤフラム１２と圧電素子フラッパ
２間にはストッパ１４が設けられ、出力空気圧が０．２
〜１．０ ｋｇ／ｃＩＩＩとなるノズル背圧（略０．４
〜０．５ ｋｇ／ｃＪ）よりも少し低い圧力で、ダイヤ
フラム１２がストッパ１４に当たり、それ以上は圧電素
子フラ・ツバ２に近づく方向には変位しないようになっ
ている。無変位時のダイヤフラム１２とストッパ１１の
間隔は８０μｍ程度である。
また圧力センサ６よりの電圧信号は、差動増幅器７を経
て演算増幅器１の非反転入力端に帰還される。そして演
算増幅器１の出力電圧ＥＯが、入力信号電圧と差動増幅
器７から帰還される電圧が等しくなるように変化し、こ
の出力電圧ＥＯにより圧電素子フラッパ２の変位を制御
し、入力電流ＩＩに比例した出力空気圧を得るようにな
っている。
て演算増幅器１の非反転入力端に帰還される。そして演
算増幅器１の出力電圧ＥＯが、入力信号電圧と差動増幅
器７から帰還される電圧が等しくなるように変化し、こ
の出力電圧ＥＯにより圧電素子フラッパ２の変位を制御
し、入力電流ＩＩに比例した出力空気圧を得るようにな
っている。
以上のように構成される電−突変換器において、入力電
流Ｉｔが流れると、圧電素子フラッパ２に印加される電
圧は最高値まで上昇し、圧電素子フラッパ２はノズル３
に近づく方向に変化しノズル背圧は上昇する。ノズル背
圧が上昇すると、それにつれて出力圧も上昇し、またダ
イヤフラム１２も圧電素子フラッパ２に近づく方向に変
位する。
流Ｉｔが流れると、圧電素子フラッパ２に印加される電
圧は最高値まで上昇し、圧電素子フラッパ２はノズル３
に近づく方向に変化しノズル背圧は上昇する。ノズル背
圧が上昇すると、それにつれて出力圧も上昇し、またダ
イヤフラム１２も圧電素子フラッパ２に近づく方向に変
位する。
そしてノズル背圧が、出力空気圧が０．２〜１．０ｋｇ
／ ｃｎＴとなる直前の値となると、ダイヤフラム１２
はストッパ１４に当たり、その後は変位しなくなる。後
は入力信号電圧ｅｉと、出力圧が圧力センサ６、差動増
幅器７を経て帰還される電圧が等しくなるように、演算
増幅器１の出力電圧ＥＯが変化し、圧電素子フラッパ２
とノズル３の空隙が調整される。すなわち入力信号に応
じた出力空気圧信号が導出される。
／ ｃｎＴとなる直前の値となると、ダイヤフラム１２
はストッパ１４に当たり、その後は変位しなくなる。後
は入力信号電圧ｅｉと、出力圧が圧力センサ６、差動増
幅器７を経て帰還される電圧が等しくなるように、演算
増幅器１の出力電圧ＥＯが変化し、圧電素子フラッパ２
とノズル３の空隙が調整される。すなわち入力信号に応
じた出力空気圧信号が導出される。
もし電源が断し、入力電流１ｉがＯとなると、演算増幅
器１の出力ＥＯはＯとなり、したがって全波整流回路１
１の出力電圧Ｅ２もＯとなり、圧電素子フラッパ２には
、コンデンサＣａに充電された負極性の電圧Ｅｌが印加
されることになり、圧電素子フラッパ２はノズル３から
遠ざかる方向に変位する。この変位によりノズル背圧が
低下する。ノズル背圧が低下すると、これまでストッパ
１４に当接していたダイヤフラム１２も、ストッパ１４
から遠ざかるように変位し、したがって圧電素子フラッ
パ２とノズル３とはさらに離れ、ノズル背圧も低下する
。このため入力電流の断から比較旧早い時間に、出力圧
はＯｋｇ ／ ｃＪに強制される。
器１の出力ＥＯはＯとなり、したがって全波整流回路１
１の出力電圧Ｅ２もＯとなり、圧電素子フラッパ２には
、コンデンサＣａに充電された負極性の電圧Ｅｌが印加
されることになり、圧電素子フラッパ２はノズル３から
遠ざかる方向に変位する。この変位によりノズル背圧が
低下する。ノズル背圧が低下すると、これまでストッパ
１４に当接していたダイヤフラム１２も、ストッパ１４
から遠ざかるように変位し、したがって圧電素子フラッ
パ２とノズル３とはさらに離れ、ノズル背圧も低下する
。このため入力電流の断から比較旧早い時間に、出力圧
はＯｋｇ ／ ｃＪに強制される。
なおコンデンサＣａの電荷が放電し尽くシ（例：断から
終３０分）でも、電流人力Ｉｔが再び加えられるまでは
、出力空気圧はＯｋｇ ／ ｃ＋Ａであり、したがって
信号入力断中は出力空気圧が迷走することはない。
終３０分）でも、電流人力Ｉｔが再び加えられるまでは
、出力空気圧はＯｋｇ ／ ｃ＋Ａであり、したがって
信号入力断中は出力空気圧が迷走することはない。
また上記実施例において、ノズルはダイヤフラムにより
固着部に支持されているが、ダイヤフラムに代えてベロ
ーズを用いてもよい。
固着部に支持されているが、ダイヤフラムに代えてベロ
ーズを用いてもよい。
（へ）効果
この発明の電−突変換器によれば、入力信号断時に、圧
電素子フラッパをノズルより遠ざけるように変位させ、
ノズル背圧を下げ、ノズル背圧の低下で、ダイヤフラム
等の変位により、さらにノズルと圧電素子フラッパを遠
ざけ、ノズル背圧を下げるものであるから、出力空気圧
を確実にＯｋｇ／ Ｃａとすることができる。
電素子フラッパをノズルより遠ざけるように変位させ、
ノズル背圧を下げ、ノズル背圧の低下で、ダイヤフラム
等の変位により、さらにノズルと圧電素子フラッパを遠
ざけ、ノズル背圧を下げるものであるから、出力空気圧
を確実にＯｋｇ／ Ｃａとすることができる。
また電源断時には、第１の直流電圧源の電圧を保持する
回路手段を備えるので、バンクアンプ用の電池は不要で
ある。
回路手段を備えるので、バンクアンプ用の電池は不要で
ある。
第１図は、この発明の１実施例を示す電−突変換器の回
路図、第２図は同型−空変換器の圧電素子フラッパを示
す図であって、第２図（ａ）はその平面図、第２図（ｂ
）はその断面図である：１：演算演算器、 ２：圧電素
子フラッパ、３：ノズル、 ４：バイロソト弁、 ５：定電流源、 ６：圧力センサ、 ７：差動増幅器、 ８・９：発振回路、１０・１１：整
流回路、１２：ダイヤフラム、１３：固着部、 １４：
ストソバ、 Ｃａ：コンデンサ 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人 弁理士 中 村 茂 信
路図、第２図は同型−空変換器の圧電素子フラッパを示
す図であって、第２図（ａ）はその平面図、第２図（ｂ
）はその断面図である：１：演算演算器、 ２：圧電素
子フラッパ、３：ノズル、 ４：バイロソト弁、 ５：定電流源、 ６：圧力センサ、 ７：差動増幅器、 ８・９：発振回路、１０・１１：整
流回路、１２：ダイヤフラム、１３：固着部、 １４：
ストソバ、 Ｃａ：コンデンサ 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人 弁理士 中 村 茂 信
Claims (1)
- （１）印加電圧に応じて変位する圧電素子と、一定の直
流電圧を出力し、この直流電圧を前記圧電素子に印加す
る第１の直流電圧源と、入力電気信号に応じて変化し、
かつ入力電気信号が予定変化範囲の中位レベルの時前記
第１の直流電圧源の出力直流電圧と略同値となる直流電
圧を出力し、この出力直流電圧を前記第１の直流電圧源
よりの直流電圧と相殺する態様で前記圧電素子に印加す
る第２の直流電圧源と、前記圧電素子の変位部をフラッ
パとし、給気圧を受け背圧を導出するノズルと、この背
圧を出力圧に変換するパイロット弁と、前記出力圧を電
気信号に変換する回路と、この変換回路で変換された電
気信号を前記第２の直流電圧源の入力側に加え、前記入
力電気信号と平衡させる帰還回路とよりなる電−突変換
器において、前記ノズルを固着部に弾性的に支持し、ノ
ズル背圧を受けて変位するノズル保持手段と、出力圧が
予定範囲となるノズル背圧よりもやや低いノズル背圧で
前記ダイヤフラムが当接するストッパと、前記第１の直
流電圧源の電圧を電源断後も所定時間保持し、前記第１
の直流電圧源と同態様の電圧を前記圧電素子に印加する
電圧保持手段とを備え、前記入力信号が予定範囲で入力
される時は、前記ノズル背圧で前記ノズル保持手段を前
記ストッパに当接させた状態で、制御動作をなし、電源
人力断時は、前記電圧保持手段の電圧印加により、前記
フラッパを前記ノズルから遠ざけ、前記ノズル保持手段
をストッパから離隔せしめ、出力圧を０方向に移動制御
するようにした電−突変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13305983A JPS6024415A (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | 電−空変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13305983A JPS6024415A (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | 電−空変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6024415A true JPS6024415A (ja) | 1985-02-07 |
Family
ID=15095860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13305983A Pending JPS6024415A (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | 電−空変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6024415A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61184205A (ja) * | 1985-02-08 | 1986-08-16 | Shoketsu Kinzoku Kogyo Co Ltd | 電気信号−空気圧変換ユニット |
| JPS62274218A (ja) * | 1986-05-23 | 1987-11-28 | Yokogawa Electric Corp | 電空変換器 |
| JPS6320605A (ja) * | 1986-07-15 | 1988-01-28 | Kuroda Precision Ind Ltd | 空気圧レギユレ−タ |
| JPS6347809A (ja) * | 1986-08-18 | 1988-02-29 | Nippon Beeles- Kk | パルスポジシヨナ |
| JPS6472214A (en) * | 1987-09-12 | 1989-03-17 | Smc Corp | Vacuum pressure regulator |
-
1983
- 1983-07-20 JP JP13305983A patent/JPS6024415A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61184205A (ja) * | 1985-02-08 | 1986-08-16 | Shoketsu Kinzoku Kogyo Co Ltd | 電気信号−空気圧変換ユニット |
| JPS62274218A (ja) * | 1986-05-23 | 1987-11-28 | Yokogawa Electric Corp | 電空変換器 |
| JPS6320605A (ja) * | 1986-07-15 | 1988-01-28 | Kuroda Precision Ind Ltd | 空気圧レギユレ−タ |
| JPS6347809A (ja) * | 1986-08-18 | 1988-02-29 | Nippon Beeles- Kk | パルスポジシヨナ |
| JPS6472214A (en) * | 1987-09-12 | 1989-03-17 | Smc Corp | Vacuum pressure regulator |
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