JPS60244802A - 距離計測装置 - Google Patents
距離計測装置Info
- Publication number
- JPS60244802A JPS60244802A JP10061784A JP10061784A JPS60244802A JP S60244802 A JPS60244802 A JP S60244802A JP 10061784 A JP10061784 A JP 10061784A JP 10061784 A JP10061784 A JP 10061784A JP S60244802 A JPS60244802 A JP S60244802A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- photodetector
- measuring device
- distance measuring
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、光学的に非接触で物体までの距離な計測す
る距離計測装置に関するものである。
る距離計測装置に関するものである。
従来、この種の装置として第１図に示す工５なものがあ
る。図に於いて、（１目ば光源、（２１は光源ニジ放射
される光束を集束する投光レンズ、（３）ハ被計測物体
、（４１は被計測物体の表面に照射された光源（１１↓
りの放射光のスポラ）Ｙ結像する受光レンズ、（５）は
受光レンズ（４）に工す結像された光スポットの位置に
対応した電気信号を送出する光検出器。
る。図に於いて、（１目ば光源、（２１は光源ニジ放射
される光束を集束する投光レンズ、（３）ハ被計測物体
、（４１は被計測物体の表面に照射された光源（１１↓
りの放射光のスポラ）Ｙ結像する受光レンズ、（５）は
受光レンズ（４）に工す結像された光スポットの位置に
対応した電気信号を送出する光検出器。
（６）は光検出器（５）からの電気信号ケ入力して所定
の演算を行い距離に応じた出力？発生する処理回路であ
る。
の演算を行い距離に応じた出力？発生する処理回路であ
る。
次に動作について説明する。光源（１）によって放射さ
れる光束は、投光レンズ（２）にエリ集束さ第１．適当
な大きさの光スポットとなって被計測物体（１）の表面
に照射される。受光レンズ（４）は、この被計測物体表
面上の光スボツｈ’４光検串器（５１０＋受９光面上に
結像せしめる。また、光検出器（５目ま一受光面上での
光スポットの位置に応じた’ｆｆ１ｆ気信号ケ発生する
光電変換素子で、例えばＰＳＤ （′ＰＯ５１ｔｉｏｎ
５ｅｎｓｉｔｉｖｅＤｅｔｅｃｔｏｒ）と呼ばわる素
子であれば、光スポットの位置Ｐに応じてｉｈ、ｉｌＢ
なる電流が発生し、番人 ”＝ｉｋ＋ｉＢ ・・・・・・・・・（１）またＣゴ、 番Ｂ Ｐ、 ＝□ ・・・・・・・・・（２１８Ａ 十 寡Ｂ に工り、受光面の各端部からの光スポットの位置が演算
できる、また、 ｉ）、−１Ｂ Ｐｓ−□ ・・・・・・・・・（３１ ｔｌ ＋番Ｂ からは、受光面の中央からの光スポットの位置が演算で
きる。被計測物体（１）の変位りは、受光面上での光ス
ポットの動きｔに変換されるので、上式（１）〜（６）
のいずれかの結果に変換係数ケ掛ければ。
れる光束は、投光レンズ（２）にエリ集束さ第１．適当
な大きさの光スポットとなって被計測物体（１）の表面
に照射される。受光レンズ（４）は、この被計測物体表
面上の光スボツｈ’４光検串器（５１０＋受９光面上に
結像せしめる。また、光検出器（５目ま一受光面上での
光スポットの位置に応じた’ｆｆ１ｆ気信号ケ発生する
光電変換素子で、例えばＰＳＤ （′ＰＯ５１ｔｉｏｎ
５ｅｎｓｉｔｉｖｅＤｅｔｅｃｔｏｒ）と呼ばわる素
子であれば、光スポットの位置Ｐに応じてｉｈ、ｉｌＢ
なる電流が発生し、番人 ”＝ｉｋ＋ｉＢ ・・・・・・・・・（１）またＣゴ、 番Ｂ Ｐ、 ＝□ ・・・・・・・・・（２１８Ａ 十 寡Ｂ に工り、受光面の各端部からの光スポットの位置が演算
できる、また、 ｉ）、−１Ｂ Ｐｓ−□ ・・・・・・・・・（３１ ｔｌ ＋番Ｂ からは、受光面の中央からの光スポットの位置が演算で
きる。被計測物体（１）の変位りは、受光面上での光ス
ポットの動きｔに変換されるので、上式（１）〜（６）
のいずれかの結果に変換係数ケ掛ければ。
被計測物体（１１までの距離に対応した出力が得られ。
変換係数は光学系の設置条件から算出するか、実際の装
置ケ用いて実験的にめ、処理回路（６）は上記演算？笑
行し結果を外部に出力する。
置ケ用いて実験的にめ、処理回路（６）は上記演算？笑
行し結果を外部に出力する。
従来の装置は以上のよ５に構成されているので。
測距精度な向上するには変換係数な大ぎくしなければな
らず、長焦点の受光レンズを用いたり、投受光系の設置
角度θ？大きくする等の対策が必要で装置を小形化にす
ることかできない欠点があった。
らず、長焦点の受光レンズを用いたり、投受光系の設置
角度θ？大きくする等の対策が必要で装置を小形化にす
ることかできない欠点があった。
〔発明のｍｙ）
本発明は、上δピのＬうな従来のものの欠点を除去する
ためになされたもので、受光系に反射鏡を加えることに
エリ、測距精度を犠牲にせず装置の小形化が可能な距離
測定装置７７ｗ提供するものである。
ためになされたもので、受光系に反射鏡を加えることに
エリ、測距精度を犠牲にせず装置の小形化が可能な距離
測定装置７７ｗ提供するものである。
以下１本発明の一実施例１図に基づいて説明する６第２
図に於いて、（７Ｊは受光レンズ（４１による光スポッ
トの結像光路を曲げる反射鏡である。
図に於いて、（７Ｊは受光レンズ（４１による光スポッ
トの結像光路を曲げる反射鏡である。
この発明による装置のｒＢＪ作として、光源（１）工り
の放射光束が投光レンズ（２１によね、被計測物体（３
）の表面上に適当な大ぎさの光スポットとして照射され
、受光レンズ（４１にエリ、この光スポットの像が結像
されるのは従来の装置と全く同じである。
の放射光束が投光レンズ（２１によね、被計測物体（３
）の表面上に適当な大ぎさの光スポットとして照射され
、受光レンズ（４１にエリ、この光スポットの像が結像
されるのは従来の装置と全く同じである。
しかしながら、この発明による装置では、受光レンズ【
４）と光検出器（５１の間に反射鏡（７１が設けられ、
受光レンズ（４）による光スポットの結像光路な曲げて
いる、反射鏡（７）は面積度の保たれた平面鏡であるの
で前′記変換係数には全く影響ケ与えず、光検出器（５
１の設置位置が変更されるのみである。この光検出器（
５）の設置位置は、従来利用されていなかった装置内の
スペースに収納できるので、結果として装置の横幅Ｗ４
減少させることができて装置の小形化が実現する。
４）と光検出器（５１の間に反射鏡（７１が設けられ、
受光レンズ（４）による光スポットの結像光路な曲げて
いる、反射鏡（７）は面積度の保たれた平面鏡であるの
で前′記変換係数には全く影響ケ与えず、光検出器（５
１の設置位置が変更されるのみである。この光検出器（
５）の設置位置は、従来利用されていなかった装置内の
スペースに収納できるので、結果として装置の横幅Ｗ４
減少させることができて装置の小形化が実現する。
この他、処理回路（６）Ｉこよる演算ｍ＋作等は従来装
置と同じである。
置と同じである。
なお、上記実施例では、反射鏡（７１ヲ受光レンズ（４
）より光検出器（５）側に設置したものを示したが、第
３図に示すように１反射鏡（ハは受光レンズ（４）工り
も被計測物体側に設置してもよく、上記実施例と同様の
効果ケ奏する。また、上記実施例では光検出器（５）に
ＰＳＤ ’Ｙ用いるものを示したが、光検出器（５１は
受光面上の光スポットの位置に対応した電気的出カケ発
生するものであわばよく、例えばフォトダイオードアレ
イ？用いてもよい。
）より光検出器（５）側に設置したものを示したが、第
３図に示すように１反射鏡（ハは受光レンズ（４）工り
も被計測物体側に設置してもよく、上記実施例と同様の
効果ケ奏する。また、上記実施例では光検出器（５）に
ＰＳＤ ’Ｙ用いるものを示したが、光検出器（５１は
受光面上の光スポットの位置に対応した電気的出カケ発
生するものであわばよく、例えばフォトダイオードアレ
イ？用いてもよい。
以上のように、本発明によれば結像系の一部に反射鏡ケ
加え、受光レンズや光検出器の設置位置を変えられる工
）構成したので、装置が小形化て・き、適用範囲の広い
距離計測装置が得られる効果がある。
加え、受光レンズや光検出器の設置位置を変えられる工
）構成したので、装置が小形化て・き、適用範囲の広い
距離計測装置が得られる効果がある。
第１図は、従来の距離計測装置ケ示す構成図、第２図は
、この発明め一実施例による距離計測装置を示す構成図
、第６図はこの発明の他の実施例？示す図である。図に
おいて、（１）は光源、（３）は被計測物体、 （４１
は受光レンズ、 （５１は光検出器、Ｃ７）は反射鏡を
示す。 なお、図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第１図 第２図 第３図 手続補正書（自発） 昭和５９年 ７月３０日 特許庁長官殿 １、事件の表示 特願昭 ５９−１００６１７号２、発
明の名称 距離計測装置 ３、補正をする者 ４、代理人 ６、補正の内容 明細書第４頁第２行〜第３行の「必要で装置を」を「必
要で、これらの対策をとれば光学系の設置範囲が広が９
装置を」と補正する。
、この発明め一実施例による距離計測装置を示す構成図
、第６図はこの発明の他の実施例？示す図である。図に
おいて、（１）は光源、（３）は被計測物体、 （４１
は受光レンズ、 （５１は光検出器、Ｃ７）は反射鏡を
示す。 なお、図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第１図 第２図 第３図 手続補正書（自発） 昭和５９年 ７月３０日 特許庁長官殿 １、事件の表示 特願昭 ５９−１００６１７号２、発
明の名称 距離計測装置 ３、補正をする者 ４、代理人 ６、補正の内容 明細書第４頁第２行〜第３行の「必要で装置を」を「必
要で、これらの対策をとれば光学系の設置範囲が広が９
装置を」と補正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光源からの光な被計測物体に照射し、該被計測物体
表面上の光のスポット？受光レンズにて光検出器の受光
面上に結像せしめ、該光検出器より発生する電気信号に
エリ被計測物体までの距離？演算出力する距離計測装置
に於いて、前記光スポットの結像系の中に反射鏡ケ設は
前記受光レンズと光検出器の設置位置を可変にしたこと
を特徴とする距離計測装置。 ２、前記反射鏡な受光レンズと光検出器の間に設置し、
前記光検出器の位置だけを可変としたことな特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の距離計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10061784A JPS60244802A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 距離計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10061784A JPS60244802A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 距離計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60244802A true JPS60244802A (ja) | 1985-12-04 |
Family
ID=14278799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10061784A Pending JPS60244802A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 距離計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60244802A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63182875A (ja) * | 1987-01-24 | 1988-07-28 | Hamamatsu Photonics Kk | 距離検出装置 |
| JPS63315907A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-23 | Hamamatsu Photonics Kk | 距離検出装置 |
| JPH0630745U (ja) * | 1993-07-12 | 1994-04-22 | ミミー電子有限会社 | 気圧計又は気圧高度計 |
| JP2010048575A (ja) * | 2008-08-19 | 2010-03-04 | Sharp Corp | 光学式測距センサおよびそれを搭載した機器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51131648A (en) * | 1975-05-13 | 1976-11-16 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Optical height measuring apparatus |
| JPS5616802A (en) * | 1979-04-30 | 1981-02-18 | Settsu Torasuto:Kk | Method and unit for measuring electro-optically dimension,position and form of object |
-
1984
- 1984-05-21 JP JP10061784A patent/JPS60244802A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51131648A (en) * | 1975-05-13 | 1976-11-16 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Optical height measuring apparatus |
| JPS5616802A (en) * | 1979-04-30 | 1981-02-18 | Settsu Torasuto:Kk | Method and unit for measuring electro-optically dimension,position and form of object |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63182875A (ja) * | 1987-01-24 | 1988-07-28 | Hamamatsu Photonics Kk | 距離検出装置 |
| JPS63315907A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-23 | Hamamatsu Photonics Kk | 距離検出装置 |
| JPH0630745U (ja) * | 1993-07-12 | 1994-04-22 | ミミー電子有限会社 | 気圧計又は気圧高度計 |
| JP2010048575A (ja) * | 2008-08-19 | 2010-03-04 | Sharp Corp | 光学式測距センサおよびそれを搭載した機器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4589773A (en) | Position detecting system | |
| US7487069B2 (en) | Method for generating a control output for a position control loop | |
| JPS5852514A (ja) | 光源−観測面間距離測定装置 | |
| JPS60244802A (ja) | 距離計測装置 | |
| JPS6269111A (ja) | 反射型傾き検出素子 | |
| US4888491A (en) | Device for measuring angular deviation of flat plate | |
| JPS6281519A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPH02186546A (ja) | 走査タイミング信号発生装置及び方法 | |
| JPS6281520A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPS63108981A (ja) | 距離計測装置 | |
| JPH038691B2 (ja) | ||
| JP2008224622A (ja) | 光量分布測定方法 | |
| JP2900940B2 (ja) | ３次元形状測定用光学システム | |
| JPS6281515A (ja) | 傾き測定装置 | |
| JPH03107709A (ja) | 光学的測定装置 | |
| JPS614915A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPS6281521A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPH0778429B2 (ja) | 測距装置 | |
| KR970004476B1 (ko) | 웨이퍼 정렬시스템의 웨이퍼 수평상태 자동측정장치 | |
| RU1796901C (ru) | Устройство дл бесконтактного измерени профил деталей | |
| JP4595697B2 (ja) | 反射型光ギャップセンサ | |
| JPS60230003A (ja) | 距離計測装置 | |
| JPS614914A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPS6264904A (ja) | 形状測定装置 | |
| JPH0412212A (ja) | 櫛形光投光器及びこれを用いた表面形状測定装置 |