JPS60245738A - 強靭炭化硅素焼結体の製法 - Google Patents
強靭炭化硅素焼結体の製法Info
- Publication number
- JPS60245738A JPS60245738A JP59102215A JP10221584A JPS60245738A JP S60245738 A JPS60245738 A JP S60245738A JP 59102215 A JP59102215 A JP 59102215A JP 10221584 A JP10221584 A JP 10221584A JP S60245738 A JPS60245738 A JP S60245738A
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- Japan
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- sintered body
- metal
- tough
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は炭化ケイ素焼結体、特に耐熱構造部材として利
用するに適した強靭性の炭化ケイ素焼結体の製法に関す
る。
用するに適した強靭性の炭化ケイ素焼結体の製法に関す
る。
炭化ケイ素焼結体は耐熱性、耐酸化性、高温強度が大き
いため、耐熱構造部品としての幅広い応用が期待されて
いる。しかしながら、靭性が小さいために構造材として
の信頼性が低いという欠点があシ、この欠点が実用上の
ネックとなっている。
いため、耐熱構造部品としての幅広い応用が期待されて
いる。しかしながら、靭性が小さいために構造材として
の信頼性が低いという欠点があシ、この欠点が実用上の
ネックとなっている。
この欠点をなくすために、炭化ケイ素焼結体に高強度、
強靭性の金属を加えて靭性を高めようとする試みもなさ
れている。しかしながら、そのような従来の試みでは、
例えば特開昭５５−３７４１４号に見られるように、Ｃ
ｒ ＊ Ｆｅ ＊ Ｃｏ ｒ Ｎｌなどのような高強度
、強靭性金属の添加量が少なすぎ、また、焼結助剤とし
てホウ素系化合物が用いられていて、焼結時に金属とホ
ウ素系化合物が反応するため、金属添加量を増すと焼結
密度があがシにくくなることから、得られるセラミック
スの密度、強度、破壊靭性値を充分には大きくできない
という欠点があった。
強靭性の金属を加えて靭性を高めようとする試みもなさ
れている。しかしながら、そのような従来の試みでは、
例えば特開昭５５−３７４１４号に見られるように、Ｃ
ｒ ＊ Ｆｅ ＊ Ｃｏ ｒ Ｎｌなどのような高強度
、強靭性金属の添加量が少なすぎ、また、焼結助剤とし
てホウ素系化合物が用いられていて、焼結時に金属とホ
ウ素系化合物が反応するため、金属添加量を増すと焼結
密度があがシにくくなることから、得られるセラミック
スの密度、強度、破壊靭性値を充分には大きくできない
という欠点があった。
本発明の目的は、構造用部品として用いるのに適した、
高温強度及び破壊靭性値が大きく、構造材としての信頼
性の高い炭「ヒケイ素焼結体の製法を提供するにある。
高温強度及び破壊靭性値が大きく、構造材としての信頼
性の高い炭「ヒケイ素焼結体の製法を提供するにある。
本発明の強靭炭化ケイ素焼結体の製法は、炭ｆヒケイ素
を主体とし、これに周期律表１［ａ’、■ａ。
を主体とし、これに周期律表１［ａ’、■ａ。
Ｖ ａ ｒ Ｖｌ ａ ＊■ａ、■族及び希土類元素の
うちから選ばれた１種以上の金属６〜３０ ｖａｔ％と
、Ａｔ又はＡｔ化合物をｆｉｔに換算して０．２〜２０
ｖｏｔ％を混合し、焼成することを特徴としている。
うちから選ばれた１種以上の金属６〜３０ ｖａｔ％と
、Ａｔ又はＡｔ化合物をｆｉｔに換算して０．２〜２０
ｖｏｔ％を混合し、焼成することを特徴としている。
本発明者らが種々検討した結果、炭化ケイ素に高強度・
強靭性の金属を添加して焼結する際、焼結助剤としてＡ
ｔ又はＡｔ化合物を用いると、金属添加量Ｋかかわらず
充分に焼結して高強度となシ、かつ、添加した金属の効
果で破壊靭性値が向上することが判明した。
強靭性の金属を添加して焼結する際、焼結助剤としてＡ
ｔ又はＡｔ化合物を用いると、金属添加量Ｋかかわらず
充分に焼結して高強度となシ、かつ、添加した金属の効
果で破壊靭性値が向上することが判明した。
添加する金属は、高強度、強靭性の金属である必要があ
シ、具体的には周期律表ｍ ａ ＊ ＩＶＩ’、■ａ＋
ＶＩ ａ ｔ■ａ、■族または希土類元素の使用が必要
である。これらの金属は比較的融点が高く、シたがって
、それ自身高強度、強靭な機械的性質を持つこと、およ
び、焼結時に炭化ケイ素と反応して機械的強度の大きな
炭化物やケイ化物を生成することから、炭化ケイ素の破
壊靭性向上に大きな効果を持つ。
シ、具体的には周期律表ｍ ａ ＊ ＩＶＩ’、■ａ＋
ＶＩ ａ ｔ■ａ、■族または希土類元素の使用が必要
である。これらの金属は比較的融点が高く、シたがって
、それ自身高強度、強靭な機械的性質を持つこと、およ
び、焼結時に炭化ケイ素と反応して機械的強度の大きな
炭化物やケイ化物を生成することから、炭化ケイ素の破
壊靭性向上に大きな効果を持つ。
添加した金属の大部分または全部は焼結時に炭化ケイ素
と反応して、炭化物またはケイ１ヒ物を生成する。主に
炭化物を生成する金属としてはＣｒ。
と反応して、炭化物またはケイ１ヒ物を生成する。主に
炭化物を生成する金属としてはＣｒ。
Ｎｌ） ｒ Ｔａ 、 Ｔｉ ＋ Ｚｒ ＋ Ｈｆ ＋
Ｗなど、また主にケイ化物を生成する金属としてはＭ
Ｏｒ Ｍｎ 、 Ｆｅ ＊ ＣａｎＮｉ ｒ Ｐｔ ｒ
Ｃｅなど、また条件によって炭化物となったシケイ化
物となったシする金属としてはＬａなどがある。
Ｗなど、また主にケイ化物を生成する金属としてはＭ
Ｏｒ Ｍｎ 、 Ｆｅ ＊ ＣａｎＮｉ ｒ Ｐｔ ｒ
Ｃｅなど、また条件によって炭化物となったシケイ化
物となったシする金属としてはＬａなどがある。
これらの金属のうちでは、Ｏｒ、ＴＬ Ｚｒ ｒ Ｈｆ
＊ Ｎｂ＋Ｔａ、Ｗのように主に炭化物を形成する金
属を用いるのが特に好ましい。この場合、一部の炭化ケ
イ素は金属と反応して金属ケイ素を放出するが、この金
属ケイ素は焼結時液相となって、添加したＡｔ又はＡｔ
（ヒ合物の焼結助剤としての効果を助け、炭（５ケイ素
焼結体の密度、強度、破壊靭性値を特に大きくする効果
がある。なお、過剰の金属ケイ素は焼結時に揮散するた
めに、一般に破壊靭性値や高温強度が炭化ケイ素に比べ
て劣る金属ケイ素が焼結体中に大量に残留して、機械的
特性を損う恐れはない。破壊靭性値向上の効果は、ＴＩ
、Ｗを用いた時に最も太き（、Ｎｂ、Ｔａ１Ｔｉを用い
た場合には、大きな破壊靭性値と共に耐酸化性のすぐれ
た高信頼性の炭化ケイ素焼結体が得られることがわかっ
た。
＊ Ｎｂ＋Ｔａ、Ｗのように主に炭化物を形成する金
属を用いるのが特に好ましい。この場合、一部の炭化ケ
イ素は金属と反応して金属ケイ素を放出するが、この金
属ケイ素は焼結時液相となって、添加したＡｔ又はＡｔ
（ヒ合物の焼結助剤としての効果を助け、炭（５ケイ素
焼結体の密度、強度、破壊靭性値を特に大きくする効果
がある。なお、過剰の金属ケイ素は焼結時に揮散するた
めに、一般に破壊靭性値や高温強度が炭化ケイ素に比べ
て劣る金属ケイ素が焼結体中に大量に残留して、機械的
特性を損う恐れはない。破壊靭性値向上の効果は、ＴＩ
、Ｗを用いた時に最も太き（、Ｎｂ、Ｔａ１Ｔｉを用い
た場合には、大きな破壊靭性値と共に耐酸化性のすぐれ
た高信頼性の炭化ケイ素焼結体が得られることがわかっ
た。
これらの金属の添加量としては６〜３０ ｖｏＬ ％の
範囲が望ましい。添加量がこの範囲よシ少いと破壊靭性
値の向上に充分な効果がなく、この範囲よシ多いと、一
般に焼結性が悪くなり、強度や耐酸化性が低下しやすい
。また、高温強度を特に高くするためには焼結体中の炭
化ケイ素の含有量は７０ ｖｏＬ ４以上であることが
望ましい。
範囲が望ましい。添加量がこの範囲よシ少いと破壊靭性
値の向上に充分な効果がなく、この範囲よシ多いと、一
般に焼結性が悪くなり、強度や耐酸化性が低下しやすい
。また、高温強度を特に高くするためには焼結体中の炭
化ケイ素の含有量は７０ ｖｏＬ ４以上であることが
望ましい。
さらに、金属としてケイ化物を作シやすい金属を用いる
場合には、炭化ケイ素と金属の反応の結果炭素が生成し
、これが焼結体中に残留して、焼結体の密度低下と強度
低下をまねく恐れがある。
場合には、炭化ケイ素と金属の反応の結果炭素が生成し
、これが焼結体中に残留して、焼結体の密度低下と強度
低下をまねく恐れがある。
この欠点を除くためには、この種の金属の添加量ｆｃ１
０ ｖｏ１％以下にすれば良い。
０ ｖｏ１％以下にすれば良い。
なお、金属を加えて焼結することにょシ炭化ケイ、素焼
細体の破壊靭性値が向上する理由としては、下記のこと
が考えられる。
細体の破壊靭性値が向上する理由としては、下記のこと
が考えられる。
（１）焼結時に金属が炭ｆヒケイ素と反応して、炭化物
やケイ化物を生成するため、生成した炭化物やケイ化物
と炭化ケイ素の粒子間の密着性が良好なこと、 （２）生成した炭化物やケイ化物の強度が大きいこと、 （３）生成した炭化物やケイ化物の機械的性質が炭化ケ
イ素とは異るため、及び上記（１） 、 （２）のため
、クラックの進展が生成した炭化物やケイ化物に阻止さ
れて、破壊に要するエネルギーすなわち破壊靭性値が大
きいこと、 （４）未反応のまま焼結体中に残留する金属がある場合
には、金属自身が高強度、強靭性であるために、焼結体
の強度と破壊靭性値が向上すること。
やケイ化物を生成するため、生成した炭化物やケイ化物
と炭化ケイ素の粒子間の密着性が良好なこと、 （２）生成した炭化物やケイ化物の強度が大きいこと、 （３）生成した炭化物やケイ化物の機械的性質が炭化ケ
イ素とは異るため、及び上記（１） 、 （２）のため
、クラックの進展が生成した炭化物やケイ化物に阻止さ
れて、破壊に要するエネルギーすなわち破壊靭性値が大
きいこと、 （４）未反応のまま焼結体中に残留する金属がある場合
には、金属自身が高強度、強靭性であるために、焼結体
の強度と破壊靭性値が向上すること。
上記（３） 、 （４）の理由から、添加する金属の粒
径は焼結体の焼結性を損わない範囲で大きいほど望まし
く、具体的には炭化ケイ素の粒径の３０倍以上である場
合に特に大きな破壊靭性値が得られる。
径は焼結体の焼結性を損わない範囲で大きいほど望まし
く、具体的には炭化ケイ素の粒径の３０倍以上である場
合に特に大きな破壊靭性値が得られる。
なお、炭化ケイ素の粒径としては一般に用いられる０２
〜５μｍ程度でよい。
〜５μｍ程度でよい。
焼結助剤のｌｔまたはＡｔ化合物の添加量はｌｔに換算
して０．２〜２０ ｖｏＡ ｑ６の範囲内であることが
望ましい。添加量がこの範囲よシ少いと焼結性が不充分
となり、多いと焼結体の高温強度が低下する。なお、Ａ
ｔ化合物としてはＡｔの酸化物、炭化物、窒化物、ケイ
化物、および加熱した時にＡｔや上記化合物に変化する
化合物などを用いることができる。
して０．２〜２０ ｖｏＡ ｑ６の範囲内であることが
望ましい。添加量がこの範囲よシ少いと焼結性が不充分
となり、多いと焼結体の高温強度が低下する。なお、Ａ
ｔ化合物としてはＡｔの酸化物、炭化物、窒化物、ケイ
化物、および加熱した時にＡｔや上記化合物に変化する
化合物などを用いることができる。
本発明の焼結体の製造方法においては、炭化ケイ素に周
期律表１［ａ、■ａ、Ｖａ・■ａ・■ａ・■族及び希土
類元素のうちから選ばれた１程以上の金属６〜３０ ｖ
ｏｔ％と、Ａｔ又はＡｔ化合物をＡｔに換算して０．２
〜２０ｖｏ１．％を粉末状態で混合し、加圧し寿から最
高温度１９００〜２３００℃に昇温後、最高温度に保持
することなく、直ちに冷却するのが望ましい。また、こ
のときの昇降温速度は１０〜ｂ い。このような方法を用いると、 （１）焼結体中に未反応の金属が残留する可能性が大き
いこと、 （２）焼結時に反応した炭化物やケイｒヒ物同志が凝集
する恐れが少く、炭化ケイ素中に金属の炭化物やケイ化
物が良く分散した構造の焼結体が得られやすいこと、 の理由から、大きな破壊靭性値を持った焼結体が得られ
やすい利点がおる。
期律表１［ａ、■ａ、Ｖａ・■ａ・■ａ・■族及び希土
類元素のうちから選ばれた１程以上の金属６〜３０ ｖ
ｏｔ％と、Ａｔ又はＡｔ化合物をＡｔに換算して０．２
〜２０ｖｏ１．％を粉末状態で混合し、加圧し寿から最
高温度１９００〜２３００℃に昇温後、最高温度に保持
することなく、直ちに冷却するのが望ましい。また、こ
のときの昇降温速度は１０〜ｂ い。このような方法を用いると、 （１）焼結体中に未反応の金属が残留する可能性が大き
いこと、 （２）焼結時に反応した炭化物やケイｒヒ物同志が凝集
する恐れが少く、炭化ケイ素中に金属の炭化物やケイ化
物が良く分散した構造の焼結体が得られやすいこと、 の理由から、大きな破壊靭性値を持った焼結体が得られ
やすい利点がおる。
以下、本発明の実施例を比較例と共に説明する。
実施例１
粒径０．５μｍのＳｌＣ粉末を主体とし、これに粒径１
〜２ ＡｍのＡｔ、 ＡｔＮ又はＡｔ２０３粉末、及び
粒径１５〜３０μｍのＴｉ又はＷ粉末を第１表の割合に
配合した。これにバインダとしてシリコーンｔ５ｖｏｔ
％加え、らいかい機を用いて混合後、１６メツシユのふ
るいを用いて整粒した。次にこれを金型に入れ、成形圧
５００ ｋｇ／ｃｍで６０φｘｉｏｔの円板状に成形し
、成形体を黒鉛製の金型に入れて、ホットプレス焼結し
た。この際、加圧力は３００ ｋｙ／ｃｍ２とし、昇温
速度２０〜ｂ２０５０〜２２００℃まで昇温し、直ちに
同じ速度で冷却する温度プロフィルを用いた。得られた
焼結体から３咽Ｘ４ｗＸ４５ｍの柱状試料を作製し、そ
の試料の１０００℃における４点曲げ強度、空気中１１
００℃で１００ｈ熱処理後の１０００℃における曲げ強
度、および試料表面にビッカース硬度計を用いて圧痕を
設け、圧痕の面積と曲げ強度を用いて計算した破壊靭性
値（Ｋ１．）の大きさを第１表に示す。なお、Ｋ２．の
計算には下式を用いた。
〜２ ＡｍのＡｔ、 ＡｔＮ又はＡｔ２０３粉末、及び
粒径１５〜３０μｍのＴｉ又はＷ粉末を第１表の割合に
配合した。これにバインダとしてシリコーンｔ５ｖｏｔ
％加え、らいかい機を用いて混合後、１６メツシユのふ
るいを用いて整粒した。次にこれを金型に入れ、成形圧
５００ ｋｇ／ｃｍで６０φｘｉｏｔの円板状に成形し
、成形体を黒鉛製の金型に入れて、ホットプレス焼結し
た。この際、加圧力は３００ ｋｙ／ｃｍ２とし、昇温
速度２０〜ｂ２０５０〜２２００℃まで昇温し、直ちに
同じ速度で冷却する温度プロフィルを用いた。得られた
焼結体から３咽Ｘ４ｗＸ４５ｍの柱状試料を作製し、そ
の試料の１０００℃における４点曲げ強度、空気中１１
００℃で１００ｈ熱処理後の１０００℃における曲げ強
度、および試料表面にビッカース硬度計を用いて圧痕を
設け、圧痕の面積と曲げ強度を用いて計算した破壊靭性
値（Ｋ１．）の大きさを第１表に示す。なお、Ｋ２．の
計算には下式を用いた。
ここで、σは曲げ強度、Ｓは圧痕の面積である。
第１表に見られるように、本発明のＳｉＣ焼結体のに！
ｃは比較例に較べて、ＫＩＣまたはに１ｃと曲げ強度が
大きいこと、酸化後の曲げ強度およびに１ｃはＴｉ添加
試料で特に大きいこと、がわかる。また、試料＆３と扁
１２の組織を調べた結果、ＳＩＣの粒子集合体中に炭化
チタン又は炭化タングステンの粒子が分散し、かつ、Ｓ
ＩＣの粒界にＡｔヲ含む粒界相が存在することがわか−
）た。一方、ＳｉＣにＡｔＮのみを加えた比較例ではこ
のような粒界相は存在しなかった。したがって、これら
の炭化物粒子及び粒界相によってに１ｃが増加している
ものと考えられる。
ｃは比較例に較べて、ＫＩＣまたはに１ｃと曲げ強度が
大きいこと、酸化後の曲げ強度およびに１ｃはＴｉ添加
試料で特に大きいこと、がわかる。また、試料＆３と扁
１２の組織を調べた結果、ＳＩＣの粒子集合体中に炭化
チタン又は炭化タングステンの粒子が分散し、かつ、Ｓ
ＩＣの粒界にＡｔヲ含む粒界相が存在することがわか−
）た。一方、ＳｉＣにＡｔＮのみを加えた比較例ではこ
のような粒界相は存在しなかった。したがって、これら
の炭化物粒子及び粒界相によってに１ｃが増加している
ものと考えられる。
実施例２
実施例１と同じ粒径のＳｔＣ粉末を主体として実施例１
と同様な方法で、第２表に示す試料を作製し、１ｏｏｏ
℃における曲げ強度、１１００℃で１００ｈ酸化後の１
０００℃における曲げ強度、及びＫｌｃを測定した。な
お、焼成の最高温度はＮｉ 、 Ｇｏなどのような比較
的低融点の金属を用いた場合は１９００〜２０５０℃、
比較的高融点の金属では２０５０〜２２００℃とした。
と同様な方法で、第２表に示す試料を作製し、１ｏｏｏ
℃における曲げ強度、１１００℃で１００ｈ酸化後の１
０００℃における曲げ強度、及びＫｌｃを測定した。な
お、焼成の最高温度はＮｉ 、 Ｇｏなどのような比較
的低融点の金属を用いた場合は１９００〜２０５０℃、
比較的高融点の金属では２０５０〜２２００℃とした。
本実施例においても、比較例よシもに工。や曲げ強度が
大きかった。また、ＫｌｃはＮｂ 、 Ｔａ ｒ Ｚｒ
。
大きかった。また、ＫｌｃはＮｂ 、 Ｔａ ｒ Ｚｒ
。
Ｈｆ添加試料で特に大きく、このうちではＮｂ、Ｔａ添
加試料が酸（ヒ後の曲げ強度が大きい結果が得られた。
加試料が酸（ヒ後の曲げ強度が大きい結果が得られた。
実施例３
実施例１と同様な方法で、粒径０．５又は３μｍのｓｉ
ｃに粒径２μｍのＡｔＮ ３ ｖｏｔ％及び粒径を種々
違えたＴｉを８ ｖｏＬ％加えて、２１００℃で焼成し
た。得られた試料のに、。を第３表に示す。
ｃに粒径２μｍのＡｔＮ ３ ｖｏｔ％及び粒径を種々
違えたＴｉを８ ｖｏＬ％加えて、２１００℃で焼成し
た。得られた試料のに、。を第３表に示す。
第３表に見られるように、ＫｌｏはＴｉの粒径としてＳ
ｉＣの粒径の３０倍以上の時に特に大きくなることがわ
かる。
ｉＣの粒径の３０倍以上の時に特に大きくなることがわ
かる。
また、第３表の試料Ａ３とＡ７の組成を用い、焼成条件
のみを２０５０℃で１ｈ保持する方法によシ焼結した試
料のに１ｃは、それぞれｌ Ｑ ＭＮ／ｍ”’およびＩ
Ｌ ＭＮ／ｍ”’であった。したがって、第３表のよ
うに、焼成時にに高温度で保持しない方法で焼成した方
が大きなに１ｃが得られることがわか壊靭性値及び強度
が大きい！徴を持つ炭化ケイ素焼結体が得られ、この焼
結体は高信頼性の耐熱構造部材として適用することがで
きる長所がある。
のみを２０５０℃で１ｈ保持する方法によシ焼結した試
料のに１ｃは、それぞれｌ Ｑ ＭＮ／ｍ”’およびＩ
Ｌ ＭＮ／ｍ”’であった。したがって、第３表のよ
うに、焼成時にに高温度で保持しない方法で焼成した方
が大きなに１ｃが得られることがわか壊靭性値及び強度
が大きい！徴を持つ炭化ケイ素焼結体が得られ、この焼
結体は高信頼性の耐熱構造部材として適用することがで
きる長所がある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 炭化ケイ素を主体とし、これに周期律表 ｍ ａ
ｔ Ｎ ａ、 Ｖ ａｉ ＶＩ ａ、■ａ１■族及び希
土類元素のうちから選ばれた１種以上の金属６〜３０ｖ
ｏｔ％およびＡｔ又はＡｔ化合物をＡｔに換算して０．
２〜２０ ｖｏＬ％を混合し、焼結することを特徴とす
る強靭炭（Ｉｌ：ケイ素焼結体の製法２、金属が、焼結
時に炭化ケイ素と反応して、主に炭化物を形成する金属
である特許請求の範囲第１項記載の強靭炭化ケイ素焼結
体の製法。 ３、 金属が、Ｃｒ 、 Ｎｂ ＃ Ｔａ 、 Ｔｉ
ｒ Ｚｒ ＃ ＨｆまたはＷである特許請求の範囲第２
項記載の強靭炭化ケイ素焼結体の製法。 ４、金属の粒径が、炭化ケイ素の原料粉末の粒径の３０
倍以上の大きさである特許請求の範囲第１項、第２項ま
たは第３項記載の強靭炭化ケイ素焼結体の製法。 ５、焼結は、加圧下において最高温度１９００℃〜２２
００℃に昇温後、直ちに冷却することによって行う特許
請求の範囲第１項ないし第４項のいずれかに記載の強靭
性炭化ケイ素焼結体の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59102215A JPH0717972B2 (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 強靭炭化硅素焼結体の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59102215A JPH0717972B2 (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 強靭炭化硅素焼結体の製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60245738A true JPS60245738A (ja) | 1985-12-05 |
| JPH0717972B2 JPH0717972B2 (ja) | 1995-03-01 |
Family
ID=14321437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59102215A Expired - Lifetime JPH0717972B2 (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 強靭炭化硅素焼結体の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0717972B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5537414A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-15 | Hitachi Ltd | Manufacture of silicon carbide sintered body |
-
1984
- 1984-05-21 JP JP59102215A patent/JPH0717972B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5537414A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-15 | Hitachi Ltd | Manufacture of silicon carbide sintered body |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0717972B2 (ja) | 1995-03-01 |
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