JPS63218584A - セラミツクス焼結体 - Google Patents
セラミツクス焼結体Info
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- JPS63218584A JPS63218584A JP62050477A JP5047787A JPS63218584A JP S63218584 A JPS63218584 A JP S63218584A JP 62050477 A JP62050477 A JP 62050477A JP 5047787 A JP5047787 A JP 5047787A JP S63218584 A JPS63218584 A JP S63218584A
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- ceramic sintered
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
本発明は、高温においても機械的強度に優れた窒化ケイ
素を主成分とするセラミックス焼結体に関する。
素を主成分とするセラミックス焼結体に関する。
（従来の技術）
窒化ケイ素を主成分とするセラミックス焼結体は、１９
００℃までの優れた耐熱性を有し、かつ低い熱膨張係数
のため、耐熱衝撃抵抗性にも優れている等の緒特性をも
つことからガスタービン翼、自動車部品用部材等を始め
各種の高強度耐熱部品に応用が試みられている。また溶
融金属に対する耐食性が優れていることがら耐溶湯材料
としての応用面も実用化されている。
００℃までの優れた耐熱性を有し、かつ低い熱膨張係数
のため、耐熱衝撃抵抗性にも優れている等の緒特性をも
つことからガスタービン翼、自動車部品用部材等を始め
各種の高強度耐熱部品に応用が試みられている。また溶
融金属に対する耐食性が優れていることがら耐溶湯材料
としての応用面も実用化されている。
ところで、窒化ケイ素自身は焼結性が極めて悪く、従来
より各種の焼結方法が試みられている。
より各種の焼結方法が試みられている。
このような窒化ケイ素を主成分とするセラミックス焼結
体の製造方法としては、現在のところ添加物による緻密
化焼結、窒化反応を利用する反応焼結に大別できる。こ
れらの焼結方法のうち、前者の添加物による緻密化焼結
は、窒化ケイ素より低融点の金属化合物を添加すること
により粒界に液相を形成し、この液相により粒子の再配
列を容易にして緻密質な窒化ケイ素焼結体を得る方法で
ある。このような焼結の助剤として働く添加物としては
、Ｍｇ、ＡＪ！、、Ｙ、Ｓｃ、Ｌａ、Ｃｅの酸化物が知
られており、単独またはこれらの組合せにより使用され
ている。これらの焼結助剤のうちでも、酸化イツトリウ
ム−酸化アルミニウム系がよく用いられている。この酸
化イツトリウム−酸化アルミニウム系は、これらに窒化
アルミニウムを加えて使用したり、さらに酸化チタンや
酸化マグネシウムのような金Ｒ酸化物を加えて使用され
ている。
体の製造方法としては、現在のところ添加物による緻密
化焼結、窒化反応を利用する反応焼結に大別できる。こ
れらの焼結方法のうち、前者の添加物による緻密化焼結
は、窒化ケイ素より低融点の金属化合物を添加すること
により粒界に液相を形成し、この液相により粒子の再配
列を容易にして緻密質な窒化ケイ素焼結体を得る方法で
ある。このような焼結の助剤として働く添加物としては
、Ｍｇ、ＡＪ！、、Ｙ、Ｓｃ、Ｌａ、Ｃｅの酸化物が知
られており、単独またはこれらの組合せにより使用され
ている。これらの焼結助剤のうちでも、酸化イツトリウ
ム−酸化アルミニウム系がよく用いられている。この酸
化イツトリウム−酸化アルミニウム系は、これらに窒化
アルミニウムを加えて使用したり、さらに酸化チタンや
酸化マグネシウムのような金Ｒ酸化物を加えて使用され
ている。
（発明が解決しようとする問題点）
ところで、上述したように焼結助剤を使用した窒化ケイ
素の焼結方法は、いったん液相を形成し、この液相によ
り粒子の再配列を容易にして緻密質な窒化ケイ素焼結体
を得る方法であるが、この液相は焼結後も粒界に一部ガ
ラス相として残存する。そして、このガラス相のような
低融点化合物の残存量が多いと、高温においてこの粒界
に存在する低融点化合物より破壊が起こるという難点が
あった。
素の焼結方法は、いったん液相を形成し、この液相によ
り粒子の再配列を容易にして緻密質な窒化ケイ素焼結体
を得る方法であるが、この液相は焼結後も粒界に一部ガ
ラス相として残存する。そして、このガラス相のような
低融点化合物の残存量が多いと、高温においてこの粒界
に存在する低融点化合物より破壊が起こるという難点が
あった。
このように従来の焼結助剤を使用して製造した窒１ヒケ
イ素を主成分とするセラミックス焼結体は、高温強度お
よび硬度の点で必ずしも十分に満足できるものではなく
、さらにこれらの点の改善された窒化ケイ素焼結体が強
く望まれている。
イ素を主成分とするセラミックス焼結体は、高温強度お
よび硬度の点で必ずしも十分に満足できるものではなく
、さらにこれらの点の改善された窒化ケイ素焼結体が強
く望まれている。
本発明はこのような難点を解消するためになされたもの
で、高温強度および硬度の著しく改善された窒化ケイ素
を主成分とするセラミックス焼結体を提供することを目
的とする。
で、高温強度および硬度の著しく改善された窒化ケイ素
を主成分とするセラミックス焼結体を提供することを目
的とする。
［発明の構成コ
（問題点を解決するための手段）
本発明のセラミックス焼結体は、焼結助剤として希土類
酸化物０．５〜１０重量％、窒化アルミニウム０．５〜
１０重量％およびマグネシウム、コバルトまたはニッケ
ルの酸化物またはケイ化物、クロムの酸化物、炭化物ま
たはケイ化物、モリブデンまたはタングステンの炭化！
ｌ１７１またはケイ化物、ジルコニウムの酸化物、炭化
物、ケイ化物またはホウ化物、チタンの酸化物、炭化物
、ケイ化物、窒化物またはホウ化物からなる群より選ば
れた少なくとも １種０．５〜１０重量％を含み、残部
が窒化ケイ素からなるセラミックス混合物を成形、焼成
してなること、および焼結助剤として希土類酸化物０．
５〜１０重量％、窒化アルミニウム０．５〜１０重量％
、マグネシウム、コバルトまたはニッケルの酸化物また
はケイ化物、クロムの酸化物、炭化物またはケイ化物、
モリブデンまたはタングステンの炭化物ｔ、たはグイ化
物、ジルコニウムの酸化物、炭化物、ケイ化物またはホ
ウ化物、チタンの酸化物、炭化物、ケイ化物、窒化物ま
たはホウ化物からなる群より選ばれた少なくとも １種
０．５〜１０重量％およびハフニウム、ニオブまたはタ
ンタルの酸化物、炭化物またはケイ化物からなる群より
より選ばれた少なくとも１種０．５〜１０重量％を含み
、残部が窒化ケイ素からなるセラミックス混合物を成形
、焼成してなることを特徴としている。
酸化物０．５〜１０重量％、窒化アルミニウム０．５〜
１０重量％およびマグネシウム、コバルトまたはニッケ
ルの酸化物またはケイ化物、クロムの酸化物、炭化物ま
たはケイ化物、モリブデンまたはタングステンの炭化！
ｌ１７１またはケイ化物、ジルコニウムの酸化物、炭化
物、ケイ化物またはホウ化物、チタンの酸化物、炭化物
、ケイ化物、窒化物またはホウ化物からなる群より選ば
れた少なくとも １種０．５〜１０重量％を含み、残部
が窒化ケイ素からなるセラミックス混合物を成形、焼成
してなること、および焼結助剤として希土類酸化物０．
５〜１０重量％、窒化アルミニウム０．５〜１０重量％
、マグネシウム、コバルトまたはニッケルの酸化物また
はケイ化物、クロムの酸化物、炭化物またはケイ化物、
モリブデンまたはタングステンの炭化物ｔ、たはグイ化
物、ジルコニウムの酸化物、炭化物、ケイ化物またはホ
ウ化物、チタンの酸化物、炭化物、ケイ化物、窒化物ま
たはホウ化物からなる群より選ばれた少なくとも １種
０．５〜１０重量％およびハフニウム、ニオブまたはタ
ンタルの酸化物、炭化物またはケイ化物からなる群より
より選ばれた少なくとも１種０．５〜１０重量％を含み
、残部が窒化ケイ素からなるセラミックス混合物を成形
、焼成してなることを特徴としている。
本発明に使用する窒化ケイ素は、平均粒径が１μｍ以下
で、その構成相がα相８０％以上のものが好ましい。平
均粒径は微細なものほど焼結性が高くなり好ましく、１
μｍ以下の範囲で焼結助剤を均一に分散させる効果が大
きい。
で、その構成相がα相８０％以上のものが好ましい。平
均粒径は微細なものほど焼結性が高くなり好ましく、１
μｍ以下の範囲で焼結助剤を均一に分散させる効果が大
きい。
本発明に使用する希土類酸化物としては、例えば酸化イ
ツトリウム、酸化セシウム、酸化ネオジウム等が例示さ
れ、これらの単体または混合物として用いられる。なお
、これらの希土類酸化物としては、加熱により酸化物と
なる希土類化合物も適用できる。これらのうち特に酸化
イツトリウムは得られる焼結体の結晶粒を長柱状にし、
高靭性化や高硬度化に寄与するなめ好ましい、そして、
これらの希土類酸化物とマグネシウム、コバルトまたは
ニッケルの酸化物またはケイ化物、クロムの酸化物、炭
化物またはケイ化物、モリブデンまたはタングステンの
炭化物またはケイ化物、ジルコニウムまたはチタンの酸
化物、炭化物、ケイ化物またはホウ化物からなる群より
選ばれた少なくとも １Ｍの金属化合物成分（加熱によ
り酸化物、ケイ化物、炭化物、ホウ化物となる化合物を
含む）は共に焼結促進剤として機能し、また焼結後には
粒界に高融点の化合物として残存する。希土類酸化物の
添加量は全セラミックス混合物中の０．５〜１０重量％
、特に好ましくは１〜７．５重量％の範囲であり、また
上記した他の金属化合物の添加量は全セラミックス混合
物中の０．５〜１０重景％重量に好ましくは１〜７．５
重量％の範囲であり、この範囲内で得られる焼結体の機
械的強度および耐熱衝撃性が特に優れているからである
。なお、ジルコニウムの酸化物を使用する場合には、安
定化剤として含まれている酸化イツトリウムの量も考慮
する。
ツトリウム、酸化セシウム、酸化ネオジウム等が例示さ
れ、これらの単体または混合物として用いられる。なお
、これらの希土類酸化物としては、加熱により酸化物と
なる希土類化合物も適用できる。これらのうち特に酸化
イツトリウムは得られる焼結体の結晶粒を長柱状にし、
高靭性化や高硬度化に寄与するなめ好ましい、そして、
これらの希土類酸化物とマグネシウム、コバルトまたは
ニッケルの酸化物またはケイ化物、クロムの酸化物、炭
化物またはケイ化物、モリブデンまたはタングステンの
炭化物またはケイ化物、ジルコニウムまたはチタンの酸
化物、炭化物、ケイ化物またはホウ化物からなる群より
選ばれた少なくとも １Ｍの金属化合物成分（加熱によ
り酸化物、ケイ化物、炭化物、ホウ化物となる化合物を
含む）は共に焼結促進剤として機能し、また焼結後には
粒界に高融点の化合物として残存する。希土類酸化物の
添加量は全セラミックス混合物中の０．５〜１０重量％
、特に好ましくは１〜７．５重量％の範囲であり、また
上記した他の金属化合物の添加量は全セラミックス混合
物中の０．５〜１０重景％重量に好ましくは１〜７．５
重量％の範囲であり、この範囲内で得られる焼結体の機
械的強度および耐熱衝撃性が特に優れているからである
。なお、ジルコニウムの酸化物を使用する場合には、安
定化剤として含まれている酸化イツトリウムの量も考慮
する。
本発明における他の添加成分である窒化アルミニウムは
、形成された液相の再結晶化に寄与するものであり、こ
れにより高温における機械的強度が増加するとともに、
焼結促進にも寄与するものであるが、余り多くてもそれ
以上の効果が見られないので全セラミックス混合物中の
０．５〜１０重量％の範囲より選ばれ、特に好ましくは
１〜７．５重量％の範囲である。
、形成された液相の再結晶化に寄与するものであり、こ
れにより高温における機械的強度が増加するとともに、
焼結促進にも寄与するものであるが、余り多くてもそれ
以上の効果が見られないので全セラミックス混合物中の
０．５〜１０重量％の範囲より選ばれ、特に好ましくは
１〜７．５重量％の範囲である。
そして、本発明の窒化ケイ素を主成分とするセラミック
ス焼結体には、前述した焼結助剤の伯にハフニウム、ニ
オブまたはタンタルの酸化物、炭化物またはケイ化物よ
り選ばれた少なくとも １種の金属化合物を全セラミッ
クス混合物中に０．５〜１０重景％重量に好ましくは１
〜７．５重量％の範囲で添加してもよく、これらにより
さらに高温強度に優れたものとなる。
ス焼結体には、前述した焼結助剤の伯にハフニウム、ニ
オブまたはタンタルの酸化物、炭化物またはケイ化物よ
り選ばれた少なくとも １種の金属化合物を全セラミッ
クス混合物中に０．５〜１０重景％重量に好ましくは１
〜７．５重量％の範囲で添加してもよく、これらにより
さらに高温強度に優れたものとなる。
これらの焼結助剤として添加する成分は、その合計量で
全セラミックス混合物中の４〜２０重量％の範囲である
ことが好ましく、その添加量が４重量％未満では液相焼
結促進の効果が十分に得られず、また２０重量％を超え
ると窒化ケイ素本来の特性を損する可能性がある。
全セラミックス混合物中の４〜２０重量％の範囲である
ことが好ましく、その添加量が４重量％未満では液相焼
結促進の効果が十分に得られず、また２０重量％を超え
ると窒化ケイ素本来の特性を損する可能性がある。
本発明は上記各組成分を所定範囲内の組成比で含む混合
物をまず所要の形状に成形し、不活性雰囲気中１６００
℃〜１９００℃の温度で焼結する。なお、この焼結はい
わゆる常圧焼結法によっても緻密質で、高温強度に優れ
、高硬度の窒化ケイ素系焼結体が得られるが、その他の
焼結法、例えば雰囲気加圧焼結法、ホットプレス法、熱
間静水圧焼結法（ＨＩＰ）等、またはこれらの組合せに
よっても同様の性能を備えた焼結体が得られる。
物をまず所要の形状に成形し、不活性雰囲気中１６００
℃〜１９００℃の温度で焼結する。なお、この焼結はい
わゆる常圧焼結法によっても緻密質で、高温強度に優れ
、高硬度の窒化ケイ素系焼結体が得られるが、その他の
焼結法、例えば雰囲気加圧焼結法、ホットプレス法、熱
間静水圧焼結法（ＨＩＰ）等、またはこれらの組合せに
よっても同様の性能を備えた焼結体が得られる。
（作 用）
本発明の窒化ケイ素を主成分とするセラミックス焼結体
の構成相は、その添加成分および添加量によって異なる
が、代表的には第１表に示すとおりであり、各々結晶粒
界には高融点の化合物が形成され、ガラス相のような低
融点化合物の残穿量は極めて少なくなる。
の構成相は、その添加成分および添加量によって異なる
が、代表的には第１表に示すとおりであり、各々結晶粒
界には高融点の化合物が形成され、ガラス相のような低
融点化合物の残穿量は極めて少なくなる。
（実施例）
以下本発明を実施例によって説明する。
実施例１
平均粒径０．８μｍの窒化ケイ素（α相９５％）粉末８
８重量％、平均粒径０．９μｍの酸化イツトリウム粉末
５重量％、平均粒径１．０μＩの窒化アルミニウム粉末
５型景％、平均粒径０．５μｍの酸化マグネシウム粉末
２重量％をボールミルにて約２４時間混合を行ない原料
粉末を調整した９次いで、この原料粉末１００重量部に
対してバインダを５重量部添加配合し、約１１０００ｔ
／ ｃｉの成形圧で長さ５０ｎ×幅５０ｎ×厚さＩｎ
の棒状成形体を形成し、次いで窒素ガス雰囲気中におい
て、７００℃、１時間で脱脂を行なった後、窒素ガス雰
囲気中において、１７５０℃、２時間の条件で常圧焼結
を行ない窒化ケイ素を主成分とするセラミックス焼結体
を作製した。
８重量％、平均粒径０．９μｍの酸化イツトリウム粉末
５重量％、平均粒径１．０μＩの窒化アルミニウム粉末
５型景％、平均粒径０．５μｍの酸化マグネシウム粉末
２重量％をボールミルにて約２４時間混合を行ない原料
粉末を調整した９次いで、この原料粉末１００重量部に
対してバインダを５重量部添加配合し、約１１０００ｔ
／ ｃｉの成形圧で長さ５０ｎ×幅５０ｎ×厚さＩｎ
の棒状成形体を形成し、次いで窒素ガス雰囲気中におい
て、７００℃、１時間で脱脂を行なった後、窒素ガス雰
囲気中において、１７５０℃、２時間の条件で常圧焼結
を行ない窒化ケイ素を主成分とするセラミックス焼結体
を作製した。
このようにして得たセラミックス焼結体を用いて、常温
および１２００℃における抗折強度と硬度をそれぞれ測
定したところ、その結果は第２表に示すとおりであった
。
および１２００℃における抗折強度と硬度をそれぞれ測
定したところ、その結果は第２表に示すとおりであった
。
なお、表中の比較例１は本発明との比較のために掲げた
ものであり、実施例１で使用した窒化ケイ素粉末、酸化
イツトリウム粉末および酸化マグネシウム粉末を各々９
３重量％、５ｆｃ、１％、２重量％で含有する原料粉末
を用いて、実施例１と同一条件で作製したセラミックス
焼結体である。
ものであり、実施例１で使用した窒化ケイ素粉末、酸化
イツトリウム粉末および酸化マグネシウム粉末を各々９
３重量％、５ｆｃ、１％、２重量％で含有する原料粉末
を用いて、実施例１と同一条件で作製したセラミックス
焼結体である。
第 ２ 表
なお、表中の抗折強度値は３点曲げ強度試験によるもの
で試料サイズ４ｍｍ ：ｘ ３ｎ Ｘ ４０ｎ、試＠条
件はクロスヘッドスピード０．５ｎ／分、スパン３０Ｕ
、各温度での測定は４回行ないその平均値で示した。
で試料サイズ４ｍｍ ：ｘ ３ｎ Ｘ ４０ｎ、試＠条
件はクロスヘッドスピード０．５ｎ／分、スパン３０Ｕ
、各温度での測定は４回行ないその平均値で示した。
実施例２〜１０
実施例１で使用した窒化ケイ素粉末、酸化イツトリウム
粉末、窒化アルミニウム粉末および酸化マグネシウム粉
末または平均粒径０．８μｍのケイ化マグネシウム粉末
を各々第３表に示す組成比で各々実施例と同一条件で混
合して原料粉末を調合し、第３表に示す条件で焼結を行
ないセラミックス焼結体を各々作製した。
粉末、窒化アルミニウム粉末および酸化マグネシウム粉
末または平均粒径０．８μｍのケイ化マグネシウム粉末
を各々第３表に示す組成比で各々実施例と同一条件で混
合して原料粉末を調合し、第３表に示す条件で焼結を行
ないセラミックス焼結体を各々作製した。
このようにして得たセラミックス焼結体を用いて、実施
例１と同一条件で抗折強度および硬度を測定した。その
結果も合せて第３表に示す。
例１と同一条件で抗折強度および硬度を測定した。その
結果も合せて第３表に示す。
なお、表中の組成を表わす数値は重量％を示す（以下同
じ）。
じ）。
（以下余白）
実施例１１〜２０
実施例１で使用した窒化ケイ素粉末、酸化イツトリウム
粉末および窒化アルミニウム粉末と、第４表に示す金属
化合物を第４表に示す組成比により各々実施例１と同一
条件で混合して原料粉末を調整し、第４表に示す条件で
焼結を行ないセラミックス焼結体を各々作製した。
粉末および窒化アルミニウム粉末と、第４表に示す金属
化合物を第４表に示す組成比により各々実施例１と同一
条件で混合して原料粉末を調整し、第４表に示す条件で
焼結を行ないセラミックス焼結体を各々作製した。
このようにして得たセラミックス焼結体を用いて、実施
例１と同一条件で抗折強度および硬度を測定した。その
結果も合せて第４表に示す。
例１と同一条件で抗折強度および硬度を測定した。その
結果も合せて第４表に示す。
（以下余白）
実施例２１〜３０
実施例１で使用した窒化ケイ素粉末、酸化イツトリウム
粉末および窒化アルミニウム粉末と、第５表に示す金属
化合物を第５表に示す組成比により各々実施例１と同一
条件で混合して原料粉末を調整し、第５表に示す条件で
焼結を行ないセラミックス焼結体を各々作製した。
粉末および窒化アルミニウム粉末と、第５表に示す金属
化合物を第５表に示す組成比により各々実施例１と同一
条件で混合して原料粉末を調整し、第５表に示す条件で
焼結を行ないセラミックス焼結体を各々作製した。
このようにして得たセラミックス焼結体を用いて、実施
例１と同一条件で抗折強度および硬度を測定した。その
結果も合せて第５表に示す。
例１と同一条件で抗折強度および硬度を測定した。その
結果も合せて第５表に示す。
（以下余白）
第５表
傘１：甲均粒径１μ園 １１２：平均粒径１μ−幸３：
’ｌ’にノ秋任１μ−電４ ： ！ｌ’Ｊ−眉ｔ↑１
μ■実施例３１〜４０ 実施例１で使用した窒化ケイ素粉末、酸化イツトリウム
粉末および窒化アルミニウム粉末と、第６表に示す金属
化合物を第６表に示す組成比により各々実施例１と同一
条件で混合して原料粉末を調整し、第６表に示す条件で
焼結を行ないセラミックス焼結体を各々作製した。
’ｌ’にノ秋任１μ−電４ ： ！ｌ’Ｊ−眉ｔ↑１
μ■実施例３１〜４０ 実施例１で使用した窒化ケイ素粉末、酸化イツトリウム
粉末および窒化アルミニウム粉末と、第６表に示す金属
化合物を第６表に示す組成比により各々実施例１と同一
条件で混合して原料粉末を調整し、第６表に示す条件で
焼結を行ないセラミックス焼結体を各々作製した。
このようにして得たセラミックス焼結体を用いて、実施
例１と同一条件で抗折強度および硬度を測定した。その
結果も合せて第６表に示す。
例１と同一条件で抗折強度および硬度を測定した。その
結果も合せて第６表に示す。
（以下余白）
１１１Ｆｉｌｌｌ
実施例４１〜５０
実施例１で使用した窒化ケイ素粉末、酸化イツトリウム
粉末および窒化アルミニウム粉末と、第７表に示す金属
化合物を第７表に示す組成比により各々実施例１と同一
条件で混合して原料粉末を調整し、第７表に示す条件で
焼結を行ないセラミックス焼結体を各々作製した。
粉末および窒化アルミニウム粉末と、第７表に示す金属
化合物を第７表に示す組成比により各々実施例１と同一
条件で混合して原料粉末を調整し、第７表に示す条件で
焼結を行ないセラミックス焼結体を各々作製した。
このようにして得たセラミックス焼結体を用いて、実施
例１と同一条件で抗折強度および硬度を測定した。その
結果も合せて第７表に示す。
例１と同一条件で抗折強度および硬度を測定した。その
結果も合せて第７表に示す。
（以下余白）
＋＋５：平均粒ｔ！０８μｍ
実施例５１〜６０
実施例１で使用した窒化ケイ素粉末、酸化イツトリウム
粉、末および窒化アルミニウム粉末と、第８表に示す金
属化合物を第８表に示す組成比により各々実施例１と同
一条件で混合して原料粉末を調整し、第８表に示す条件
で焼結を行ないセラミックス焼結体を各々作製しな。
粉、末および窒化アルミニウム粉末と、第８表に示す金
属化合物を第８表に示す組成比により各々実施例１と同
一条件で混合して原料粉末を調整し、第８表に示す条件
で焼結を行ないセラミックス焼結体を各々作製しな。
このようにして得たセラミックス焼結体を用いて、実施
例１と同一条件で抗折強度および硬度を測定した。その
結果も合せて第８表に示す。
例１と同一条件で抗折強度および硬度を測定した。その
結果も合せて第８表に示す。
（以下余白）
−５：重均粒径０７μｍ 傘６：平均粒径０．８μ−傘
７：平均粒径１μｍ 中８：平均粒径１μ膳−９：平均
Ｆｉ２径Ｏ，Ｓμ麿 傘１０：平均粒窪Ｏ，Ｓμ駿［
発明の効果コ 以上説明したように本発明のセラミックス焼結体によれ
ば、高温においても機械的強度に優れており、かつ高硬
度であり、各種高強度耐熱部材に好適である。
７：平均粒径１μｍ 中８：平均粒径１μ膳−９：平均
Ｆｉ２径Ｏ，Ｓμ麿 傘１０：平均粒窪Ｏ，Ｓμ駿［
発明の効果コ 以上説明したように本発明のセラミックス焼結体によれ
ば、高温においても機械的強度に優れており、かつ高硬
度であり、各種高強度耐熱部材に好適である。
Claims (8)
- （１）焼結助剤として希土類酸化物０．５〜１０重量％
、窒化アルミニウム０．５〜１０重量％およびマグネシ
ウム、コバルトまたはニッケルの酸化物またはケイ化物
、クロムの酸化物、炭化物またはケイ化物、モリブデン
またはタングステンの炭化物またはケイ化物、ジルコニ
ウムの酸化物、炭化物、ケイ化物またはホウ化物、チタ
ンの酸化物、炭化物、ケイ化物、窒化物またはホウ化物
からなる群より選ばれた少なくとも１種０．５〜１０重
量％を含み、残部が窒化ケイ素からなるセラミックス混
合物を成形、焼成してなることを特徴とするセラミック
ス焼結体。 - （２）焼結助剤の総添加量は、セラミックス混合物中の
４〜２０重量％の範囲である特許請求の範囲第１項記載
のセラミックス焼結体。 - （３）希土類酸化物が酸化イットリウムである特許請求
の範囲第１項または第２項記載のセラミックス焼結体。 - （４）窒化ケイ素の平均粒径が１μｍ以下である特許請
求の範囲第１項ないし第３項のいずれか１項記載のセラ
ミックス焼結体。 - （５）焼結助剤として希土類酸化物０．５〜１０重量％
、窒化アルミニウム０．５〜１０重量％、マグネシウム
、コバルトまたはニッケルの酸化物またはケイ化物、ク
ロムの酸化物、炭化物またはケイ化物、モリブデンまた
はタングステンの炭化物またはケイ化物、ジルコニウム
の酸化物、炭化物、ケイ化物またはホウ化物、チタンの
酸化物、炭化物、ケイ化物、窒化物またはホウ化物から
なる群より選ばれた少なくとも１種０．５〜１０重量％
およびハフニウム、ニオブまたはタンタルの酸化物、炭
化物またはケイ化物からなる群よりより選ばれた少なく
とも１種０．５〜１０重量％を含み、残部が窒化ケイ素
からなるセラミックス混合物を成形、焼成してなること
を特徴とするセラミックス焼結体。 - （６）焼結助剤の総添加量は、セラミックス混合物中の
４〜２０重量％の範囲である特許請求の範囲第５項記載
のセラミックス焼結体。 - （７）希土類酸化物が酸化イットリウムである特許請求
の範囲第５項または第６項記載のセラミックス焼結体。 - （８）窒化ケイ素の平均粒径が１μｍ以下である特許請
求の範囲第ラ項ないし第７項のいずれか１項記載のセラ
ミックス焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62050477A JPS63218584A (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | セラミツクス焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62050477A JPS63218584A (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | セラミツクス焼結体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63218584A true JPS63218584A (ja) | 1988-09-12 |
Family
ID=12859980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62050477A Pending JPS63218584A (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | セラミツクス焼結体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63218584A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990000531A1 (fr) * | 1988-07-08 | 1990-01-25 | Nippon Tungsten Co., Ltd. | Corps fritte du type a nitrure de silicium et procede de production d'un tel corps |
| JPH05105517A (ja) * | 1991-10-21 | 1993-04-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化ケイ素系焼結体 |
| JPH05148028A (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化ケイ素系焼結体の製造法 |
| JPH05155663A (ja) * | 1991-12-05 | 1993-06-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化ケイ素系焼結体 |
| JPH06271357A (ja) * | 1993-03-23 | 1994-09-27 | Ngk Insulators Ltd | 窒化珪素焼結体、その製造方法、窒化珪素粉末及びその製造方法 |
Citations (4)
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| JPS59190269A (ja) * | 1983-04-11 | 1984-10-29 | 東芝タンガロイ株式会社 | 窒化ケイ素焼結体 |
| JPS61151066A (ja) * | 1984-12-22 | 1986-07-09 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
| JPS6230666A (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-09 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 高靭性窒化ケイ素焼結体及びその製造方法 |
-
1987
- 1987-03-05 JP JP62050477A patent/JPS63218584A/ja active Pending
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