JPS60247075A - 真空ポンプ装置 - Google Patents
真空ポンプ装置Info
- Publication number
- JPS60247075A JPS60247075A JP10051084A JP10051084A JPS60247075A JP S60247075 A JPS60247075 A JP S60247075A JP 10051084 A JP10051084 A JP 10051084A JP 10051084 A JP10051084 A JP 10051084A JP S60247075 A JPS60247075 A JP S60247075A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- pump element
- rotor
- casing
- suction port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は真空ポンプ装置に係り、特に半導体製造装置、
核融合装置などのクリーンな超高真空を得るのに好適な
真空ポンプ装置に関する。
核融合装置などのクリーンな超高真空を得るのに好適な
真空ポンプ装置に関する。
従来の真空ポンプ装置は、第１図に示すようにターボ分
子ポンプ１と、該ターボ分子ポンプ１の吐出側に接続さ
れるロータリポンプ等の粗引ポンプ２とから構成されて
いる。ターボ分子ポンプ１は、一方に超高真空容器に接
続する吸込口３を、他方に吐出口４を有するケーシング
５と、そのケーシング５内に配設されるロータ６と、そ
のロータ６の外周に設けられる動翼７と、ケーシング５
内面に設けられる静翼８と、ロータ軸６Ａを回転させる
駆動モータ９とを備え、動翼７と静Ｘ８とを交互に配置
させた構成となっていて、ロータ６および動翼７の回転
により吸込口３から低真空側の吐出口４に気体分子を運
ぶことによって、超高真空が得られるようになっている
。またターボ分子ポンプ１の吐出口４にはクイックカッ
プリング１０Ａを介してフレキシブルチューブ１１の一
端が接続され、そのフレキシブルチューブ１１の他端に
前記粗引ポンプ２がクイックカップリング１０Ｂを介し
て接続されている。また粗引ポンプ２からの油の逆流に
よりターボ分子ポンプ１あるいは超高真空容器が汚染さ
れるのを防ぐため、粗引ポンプ２とフレキシブルチュー
ブ１１との間にトラップ１２を介在させている。尚、図
中１３はロータ軸６Ａを支承する軸受を示す。
子ポンプ１と、該ターボ分子ポンプ１の吐出側に接続さ
れるロータリポンプ等の粗引ポンプ２とから構成されて
いる。ターボ分子ポンプ１は、一方に超高真空容器に接
続する吸込口３を、他方に吐出口４を有するケーシング
５と、そのケーシング５内に配設されるロータ６と、そ
のロータ６の外周に設けられる動翼７と、ケーシング５
内面に設けられる静翼８と、ロータ軸６Ａを回転させる
駆動モータ９とを備え、動翼７と静Ｘ８とを交互に配置
させた構成となっていて、ロータ６および動翼７の回転
により吸込口３から低真空側の吐出口４に気体分子を運
ぶことによって、超高真空が得られるようになっている
。またターボ分子ポンプ１の吐出口４にはクイックカッ
プリング１０Ａを介してフレキシブルチューブ１１の一
端が接続され、そのフレキシブルチューブ１１の他端に
前記粗引ポンプ２がクイックカップリング１０Ｂを介し
て接続されている。また粗引ポンプ２からの油の逆流に
よりターボ分子ポンプ１あるいは超高真空容器が汚染さ
れるのを防ぐため、粗引ポンプ２とフレキシブルチュー
ブ１１との間にトラップ１２を介在させている。尚、図
中１３はロータ軸６Ａを支承する軸受を示す。
しかし、前述した真空ポンプ装置においては、次のよう
な問題がある。
な問題がある。
（１）ターボ分子ポンプ１とは別に粗引ポンプ２を備え
る必要があるため、設置スペースが大きくなる。
る必要があるため、設置スペースが大きくなる。
（２）粗引ポンプ２を稼動させて一定の真空条件になっ
て始めてターボ分子ポンプ１の稼動が許されるなど、細
かい運転条件が必要となる。
て始めてターボ分子ポンプ１の稼動が許されるなど、細
かい運転条件が必要となる。
（３）油を使用する粗引ポンプ２を用いているので、ク
リーンな超高真空を得がたい。
リーンな超高真空を得がたい。
（４）ターボ分子ポンプＩおよび粗引ポンプ２をそれぞ
れ駆動する駆動源が必要となると共に、電源系統もそれ
ぞれ必要となる。
れ駆動する駆動源が必要となると共に、電源系統もそれ
ぞれ必要となる。
（５）ロータリ・ポンプ等の粗引ポンプ２は振動を発生
するので、ターボ分子ポンプ１を半導体製造装置など振
動をきらうものに使用する場合には、ターボ分子ポンプ
１に振動が伝わらないようにしなければならない。
するので、ターボ分子ポンプ１を半導体製造装置など振
動をきらうものに使用する場合には、ターボ分子ポンプ
１に振動が伝わらないようにしなければならない。
本発明の目的は、一つのケーシング内に、分子流領域、
中間流領域、粘性流領域の真空排気をそれぞれ行うポン
プ要素を配設して超高真空から大気圧までの排気を行え
るようにして、設置スペースの減少、細かい運転条件の
廃止を図れると共に、クリーンな超高真空を得られ、ま
た各ポンプ要素のロータ駆動軸を一軸となすことで、一
つの駆動源で済み、しかも防振対策を施すことなく振動
をきらう半導体製造装置などに使用できる真空ポンプ装
置を提供することにある。
中間流領域、粘性流領域の真空排気をそれぞれ行うポン
プ要素を配設して超高真空から大気圧までの排気を行え
るようにして、設置スペースの減少、細かい運転条件の
廃止を図れると共に、クリーンな超高真空を得られ、ま
た各ポンプ要素のロータ駆動軸を一軸となすことで、一
つの駆動源で済み、しかも防振対策を施すことなく振動
をきらう半導体製造装置などに使用できる真空ポンプ装
置を提供することにある。
この目的を達成するために、本発明は、一方に吸込口を
、他方に吐出口を有するケーシング内に。
、他方に吐出口を有するケーシング内に。
第１ポンプ要素、第２ポンプ要素および第３ポンプ要素
を設け、第１ポンプ要素を吸込口寄りに、第２ポンプ要
素を第１ポンプ要素の吐出側に、第３ポンプ要素を第２
ポンプ要素の吐出側にそれぞれ配置し、前記第１ポンプ
要素を、動翼とｆ！ｐ翼とを交互に配置したターボ分子
ポンプで構成し、前記第２ポンプ要素を、ねじ付外筒お
よび該外筒内で回転するロータまたは外筒および該外筒
内で回転するねじ付ロータを備えるシールポンプで構成
し、゛前記第３ポンプ要素を、一対のスクリュウロータ
を備える容積形圧縮ポンプで構成し、これら各ポンプの
ロータ駆動軸を一軸となすことで、超高真空から大気圧
までの排気を行えるようにしたものである。
を設け、第１ポンプ要素を吸込口寄りに、第２ポンプ要
素を第１ポンプ要素の吐出側に、第３ポンプ要素を第２
ポンプ要素の吐出側にそれぞれ配置し、前記第１ポンプ
要素を、動翼とｆ！ｐ翼とを交互に配置したターボ分子
ポンプで構成し、前記第２ポンプ要素を、ねじ付外筒お
よび該外筒内で回転するロータまたは外筒および該外筒
内で回転するねじ付ロータを備えるシールポンプで構成
し、゛前記第３ポンプ要素を、一対のスクリュウロータ
を備える容積形圧縮ポンプで構成し、これら各ポンプの
ロータ駆動軸を一軸となすことで、超高真空から大気圧
までの排気を行えるようにしたものである。
以下、本発明の一実施例を第２図により説明する。第２
図は本発明による真空ポンプ装置の断面図を示し、２１
は一方に吸込口２２を、他方に吐出口２３を有するケー
シングで、このケーシング２１内には第１ポンプ要素２
４、第２ポンプ要素２５および第３ポンプ要素２６が設
けられている。
図は本発明による真空ポンプ装置の断面図を示し、２１
は一方に吸込口２２を、他方に吐出口２３を有するケー
シングで、このケーシング２１内には第１ポンプ要素２
４、第２ポンプ要素２５および第３ポンプ要素２６が設
けられている。
第１ポンプ要素２４には吸込口２２寄りに、第２ポンプ
要素２５は第１ポンプ要素２４の吐出側に、第３ポンプ
要素２６は第２ポンプ要素２５の吐出側にそれぞれ配置
されている。
要素２５は第１ポンプ要素２４の吐出側に、第３ポンプ
要素２６は第２ポンプ要素２５の吐出側にそれぞれ配置
されている。
前記第１ポンプ要素シ４は、筒状のロータ２７の外周に
設けた複数の動翼２８とケーシング２１の内周に設けた
複数の静翼２９とを交互に配置して成るターボ分子ポン
プで構成されている。
設けた複数の動翼２８とケーシング２１の内周に設けた
複数の静翼２９とを交互に配置して成るターボ分子ポン
プで構成されている。
前記第２ポンプ要素２５は、ケーシング２１内に設けた
ねじ付外筒３０および該外筒３ｏ内で回転するロータ３
１を備えて成るシールポンプで構成されている。
ねじ付外筒３０および該外筒３ｏ内で回転するロータ３
１を備えて成るシールポンプで構成されている。
前記第３ポンプ要素２６は、スクリュウ形の雄ロータ３
２、雌ロータ３３を備えた容積形圧縮ポ。
２、雌ロータ３３を備えた容積形圧縮ポ。
ンプで構成されている。
そして、これら各ポンプのロータ駆動軸は一本の駆動軸
３４で共用され、該ロータ駆動軸３４はケーシング２１
側壁に設置した端板モータ３５により高速で回転させら
れるようになっている。またロータ駆動軸３４の一方は
ターボ分子ポンプ２４のロータ内側に設けた磁気軸受３
６Ａで支持され、他方は容積形圧縮ポンプ２６の雄ロー
タ近傍に設けた磁気軸受３６Ｂで支持されている。また
容積形圧縮ポンプ２６の雌ロータ３３の軸も磁気軸受２
７Ａ、３７Ｂで支持されている。尚、図中３８はタイミ
ングギヤを示す。
３４で共用され、該ロータ駆動軸３４はケーシング２１
側壁に設置した端板モータ３５により高速で回転させら
れるようになっている。またロータ駆動軸３４の一方は
ターボ分子ポンプ２４のロータ内側に設けた磁気軸受３
６Ａで支持され、他方は容積形圧縮ポンプ２６の雄ロー
タ近傍に設けた磁気軸受３６Ｂで支持されている。また
容積形圧縮ポンプ２６の雌ロータ３３の軸も磁気軸受２
７Ａ、３７Ｂで支持されている。尚、図中３８はタイミ
ングギヤを示す。
次に本発明の作用について説明する。
端板モータ３５によりロータ駆動軸３４が回転させられ
ると、ターボ分子ポンプ２４、シールポンプ２５および
容積形圧縮ポンプ２６の各ロータが同時に回転する。タ
ーボ分子ポンプ２４部の分子流領域においては動翼２８
と静翼２９との作用でガス分子が吸込口２２からシール
ポンプ２５側へ高い圧縮比をもって移行する。その圧力
としては、１０”Ｔｏｒｒ程度から］、 ０−３Ｔ ｏ
ｒｒ程度となる。次いでシールポンプ２５部の中間流領
域では、該シールポンプ２５の作用で１０−３Ｔｏｒｒ
からＩＴｏｒｒ程度の圧力となり、粘性流領域では容積
形圧縮ポンプ２６により粗引きされ吐出口２３から大気
へ排出される。
ると、ターボ分子ポンプ２４、シールポンプ２５および
容積形圧縮ポンプ２６の各ロータが同時に回転する。タ
ーボ分子ポンプ２４部の分子流領域においては動翼２８
と静翼２９との作用でガス分子が吸込口２２からシール
ポンプ２５側へ高い圧縮比をもって移行する。その圧力
としては、１０”Ｔｏｒｒ程度から］、 ０−３Ｔ ｏ
ｒｒ程度となる。次いでシールポンプ２５部の中間流領
域では、該シールポンプ２５の作用で１０−３Ｔｏｒｒ
からＩＴｏｒｒ程度の圧力となり、粘性流領域では容積
形圧縮ポンプ２６により粗引きされ吐出口２３から大気
へ排出される。
第３図は本発明の他の実施例を示し、第２図と異なるの
は、ターボ分子ポンプ２４のロータ内側にロータ駆動軸
３４の駆動モータ３９を設置し、かつロータ駆動軸３４
の他方および雌ロータ軸の他方を球面軸受４０で支持し
た点にある。この実施例では、第２図に示したスラスト
軸受およびラジアル軸受の磁気軸受３６Ｂ、３７Ｂを不
要にでき、よりコンバク１〜なものとなりコスト低減も
図れる。
は、ターボ分子ポンプ２４のロータ内側にロータ駆動軸
３４の駆動モータ３９を設置し、かつロータ駆動軸３４
の他方および雌ロータ軸の他方を球面軸受４０で支持し
た点にある。この実施例では、第２図に示したスラスト
軸受およびラジアル軸受の磁気軸受３６Ｂ、３７Ｂを不
要にでき、よりコンバク１〜なものとなりコスト低減も
図れる。
尚、前述した実施例はいずれもシールポンプ２５におい
て、ねじ付外筒３０内でロータ３１を回転さぜる構造例
を示したが、外筒内でねじ付ロータを回転させる構造と
しても同様の効果が得られることは勿論である。
て、ねじ付外筒３０内でロータ３１を回転さぜる構造例
を示したが、外筒内でねじ付ロータを回転させる構造と
しても同様の効果が得られることは勿論である。
以上説明したように、本発明によれば、一つのケーシン
グ内に、分子流領域、中間流領域、粘性流領域の真空排
気をそれぞれ行うポンプ要素を配設して超高真空から大
気圧までの排気を行えるので、設置スペースの減少、細
かい運転条件の廃止を図れると共に、クリーンな超高真
空を得ることができる。また各ポンプ要素のロータ駆動
軸を一軸となしたことで、一つの駆動源で済む効果があ
る。
グ内に、分子流領域、中間流領域、粘性流領域の真空排
気をそれぞれ行うポンプ要素を配設して超高真空から大
気圧までの排気を行えるので、設置スペースの減少、細
かい運転条件の廃止を図れると共に、クリーンな超高真
空を得ることができる。また各ポンプ要素のロータ駆動
軸を一軸となしたことで、一つの駆動源で済む効果があ
る。
第１図は従来の真空ポンプ装置を示す断面図、第２図は
本発明の真空ポンプ装置の一実施例を示す断面図、第３
図は本発明の他の実施例を示す断面図である。 ２１・・・ケーシング、２２・・・吸込口、２３・・・
吐出口、２４・・・第１ポンプ要素（ターボ分子ポンプ
）、２５・・・第２ポンプ要素（長−ルポンプ）、２６
・・・第３ポンプ要素（容積形圧縮ポンプ）、２７・・
・ロータ、２８・・・動翼、２９・・・静翼、３ｏ・・
・ねじ付外筒、３１・・・ロータ、３２・・・雄ロータ
、３３・・・雌ロータ、３４・・ロータ駆動軸。 代理人 弁理士 高橋明夫 ＄ｒ 口 ？− Ａ 茅 ２ｍ 第 ３１２］
本発明の真空ポンプ装置の一実施例を示す断面図、第３
図は本発明の他の実施例を示す断面図である。 ２１・・・ケーシング、２２・・・吸込口、２３・・・
吐出口、２４・・・第１ポンプ要素（ターボ分子ポンプ
）、２５・・・第２ポンプ要素（長−ルポンプ）、２６
・・・第３ポンプ要素（容積形圧縮ポンプ）、２７・・
・ロータ、２８・・・動翼、２９・・・静翼、３ｏ・・
・ねじ付外筒、３１・・・ロータ、３２・・・雄ロータ
、３３・・・雌ロータ、３４・・ロータ駆動軸。 代理人 弁理士 高橋明夫 ＄ｒ 口 ？− Ａ 茅 ２ｍ 第 ３１２］
Claims (1)
- 一方に吸込口を、他方に吐出口を有するケーシング内に
、第１ポンプ要素、第２ポンプ要素および第３ポンプ要
素を設け、第１ポンプ要素を吸込口寄りに、第２ポンプ
要素°を第１ポンプ要素の吐出側に、第３ポンプ要素を
第２ポンプ要素の吐出側にそれぞれ配置し、前記第１ポ
ンプ要素を、ロータの外周に設けた動翼とケーシングに
設けた静翼とを交互に配置して成るターボ分子ポンプで
構成し、前記第２ポンプ要素を、ケーシングに設けたね
じ付外筒および該外筒内で回転するロータまたはケーシ
ングに設けた外筒および該外筒内で回転するねじ付ロー
タを備えて成るシールポンプで構成し、前記第３ポンプ
要素を、一対のスクリュウロータを備えて成る容積形圧
縮ポンプで構成し、これら各ポンプのロータ駆動軸を一
軸としたことを特徴とする真空ポンプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10051084A JPS60247075A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 真空ポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10051084A JPS60247075A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 真空ポンプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60247075A true JPS60247075A (ja) | 1985-12-06 |
| JPH0419393B2 JPH0419393B2 (ja) | 1992-03-30 |
Family
ID=14275943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10051084A Granted JPS60247075A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 真空ポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60247075A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62291479A (ja) * | 1986-06-12 | 1987-12-18 | Hitachi Ltd | 真空排気装置 |
| JPH01277698A (ja) * | 1988-04-30 | 1989-11-08 | Nippon Ferrofluidics Kk | 複合型真空ポンプ |
| EP1347176A3 (en) * | 2002-03-20 | 2003-11-05 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump |
| JP2005147151A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Varian Spa | 振動減衰器を備えた真空ポンプ |
| EP2644893A3 (en) * | 2012-03-30 | 2017-08-23 | Ebara Corporation | Vacuum evacuation apparatus |
| CN107524579A (zh) * | 2017-09-26 | 2017-12-29 | 安徽万瑞冷电科技有限公司 | 一种低温泵 |
| CN115210472A (zh) * | 2020-03-31 | 2022-10-18 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵以及真空泵的配管构造部 |
| US12276283B2 (en) | 2015-07-23 | 2025-04-15 | Edwards Japan Limited | Integrated connector between first and second vacuum pumps creating a vapor phase region environment |
-
1984
- 1984-05-21 JP JP10051084A patent/JPS60247075A/ja active Granted
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62291479A (ja) * | 1986-06-12 | 1987-12-18 | Hitachi Ltd | 真空排気装置 |
| JPH01277698A (ja) * | 1988-04-30 | 1989-11-08 | Nippon Ferrofluidics Kk | 複合型真空ポンプ |
| EP1347176A3 (en) * | 2002-03-20 | 2003-11-05 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump |
| US7140846B2 (en) | 2002-03-20 | 2006-11-28 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump having main and sub pumps |
| JP2005147151A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Varian Spa | 振動減衰器を備えた真空ポンプ |
| EP2644893A3 (en) * | 2012-03-30 | 2017-08-23 | Ebara Corporation | Vacuum evacuation apparatus |
| US12276283B2 (en) | 2015-07-23 | 2025-04-15 | Edwards Japan Limited | Integrated connector between first and second vacuum pumps creating a vapor phase region environment |
| CN107524579A (zh) * | 2017-09-26 | 2017-12-29 | 安徽万瑞冷电科技有限公司 | 一种低温泵 |
| CN115210472A (zh) * | 2020-03-31 | 2022-10-18 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵以及真空泵的配管构造部 |
| US20230107183A1 (en) * | 2020-03-31 | 2023-04-06 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump and piping structural portion for vacuum pump |
| EP4130481A4 (en) * | 2020-03-31 | 2024-04-10 | Edwards Japan Limited | VACUUM PUMP AND VACUUM PUMP PIPING STRUCTURE |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0419393B2 (ja) | 1992-03-30 |
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