JPH0333492A - 2段乾式一次ポンプ - Google Patents
2段乾式一次ポンプInfo
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- JPH0333492A JPH0333492A JP2146044A JP14604490A JPH0333492A JP H0333492 A JPH0333492 A JP H0333492A JP 2146044 A JP2146044 A JP 2146044A JP 14604490 A JP14604490 A JP 14604490A JP H0333492 A JPH0333492 A JP H0333492A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/02—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for several pumps connected in series or in parallel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
- Details And Applications Of Rotary Liquid Pumps (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は2段乾式一次ボンブに関する。
免呪曵宜遣
各段が一般にベーンポンプからm或されている2段乾式
一次ポンプは知られている。油潤滑式ベーンポンプに比
べて乾式ベーンポンプでは排出されるべき包囲部分内へ
の油蒸気の移行が避けられるが、主な欠点はポンプの急
速な摩耗と加速的な性能劣化を引き起こす大きな乾燥摩
擦が存在することである。
一次ポンプは知られている。油潤滑式ベーンポンプに比
べて乾式ベーンポンプでは排出されるべき包囲部分内へ
の油蒸気の移行が避けられるが、主な欠点はポンプの急
速な摩耗と加速的な性能劣化を引き起こす大きな乾燥摩
擦が存在することである。
一段からなるスクリュー型乾式−次ポンプも知られてい
る。定常状態ではこのようなポンプは約10−2mba
rの限界吸入圧力から大気圧まで流体をくみ出すことが
できる。該ポンプはスクリュー間に接触がなく、従って
摩擦がなくポンプの信頼性を非常に高めるという利点を
有する。しかしながら圧力が1On+barを越えるポ
ンプの部分では、該ポンプは高動力を吸収し、吸収され
た動力は主に、熱として放逸される。従ってこの高圧力
(10mbarを越える圧力)の区域で作動するスクリ
ューの部分はかなり加熱されて内部の隙間とは相客れな
い大幅な不斉膨張を生じる。2つのスクリュー間の隙間
を大きくなると、特にくみ出し処理量と限界圧力に関し
てはこのような条件下でもはや性能が確保されないので
満足の行く解決方法にはならない。
る。定常状態ではこのようなポンプは約10−2mba
rの限界吸入圧力から大気圧まで流体をくみ出すことが
できる。該ポンプはスクリュー間に接触がなく、従って
摩擦がなくポンプの信頼性を非常に高めるという利点を
有する。しかしながら圧力が1On+barを越えるポ
ンプの部分では、該ポンプは高動力を吸収し、吸収され
た動力は主に、熱として放逸される。従ってこの高圧力
(10mbarを越える圧力)の区域で作動するスクリ
ューの部分はかなり加熱されて内部の隙間とは相客れな
い大幅な不斉膨張を生じる。2つのスクリュー間の隙間
を大きくなると、特にくみ出し処理量と限界圧力に関し
てはこのような条件下でもはや性能が確保されないので
満足の行く解決方法にはならない。
本発明の目的はこの問題の解決方法を提供する。
即ち定常状態で、約10−2mbarの又はそれより低
い限界圧力から流体を吸°込み且つ該流体を大気圧で搬
送させる一方で5017時〜数千m37時の幅広いくみ
出し速度範囲を提供することができる乾式−次ポンプを
製造することである。
い限界圧力から流体を吸°込み且つ該流体を大気圧で搬
送させる一方で5017時〜数千m37時の幅広いくみ
出し速度範囲を提供することができる乾式−次ポンプを
製造することである。
亀豐立叉1
本発明は、スクリューポンプの加熱を制限するようにス
クリューポンプの搬送圧力を制限し、且つ熱に散逸され
る如き圧縮エネルギを第2段階に振り向けることのでき
る粘性及び/又は乱流(turbulent)同伴ポン
プからなる第2段を加えることにある。従ってスクリュ
ーポンプは高圧力で作動し且つ大幅に膨張する部分をも
はや含まない。
クリューポンプの搬送圧力を制限し、且つ熱に散逸され
る如き圧縮エネルギを第2段階に振り向けることのでき
る粘性及び/又は乱流(turbulent)同伴ポン
プからなる第2段を加えることにある。従ってスクリュ
ーポンプは高圧力で作動し且つ大幅に膨張する部分をも
はや含まない。
更にはスクリューポンプの作動する圧力範囲(10−2
111bar〜lombar)では分子の平均自由通路
は比較的高いので、このポンプはより大きな内部の隙間
で作動し得る。このようなより大きい内部隙間によりス
クリューポンプのコストを低く抑えることができ、それ
により一次ポンプのコスト全体が低く抑えられる。
111bar〜lombar)では分子の平均自由通路
は比較的高いので、このポンプはより大きな内部の隙間
で作動し得る。このようなより大きい内部隙間によりス
クリューポンプのコストを低く抑えることができ、それ
により一次ポンプのコスト全体が低く抑えられる。
従って本発明は単一の共通ステータ内においてその低圧
端部でのスクリューポンプと、その高圧端部での流体同
伴ポンプと、スクリューポンプと同伴ポンプとの間の連
通を提供する連結ダクトとを備えている2段乾式一次ポ
ンプを提供する。
端部でのスクリューポンプと、その高圧端部での流体同
伴ポンプと、スクリューポンプと同伴ポンプとの間の連
通を提供する連結ダクトとを備えている2段乾式一次ポ
ンプを提供する。
第1の実施例では連結ダクトは排出バルブを備えたバイ
パスを介してスクリューポンプの吸込み端部、即ち一次
ポンプの吸込み端部に連通している。
パスを介してスクリューポンプの吸込み端部、即ち一次
ポンプの吸込み端部に連通している。
第2の実施例では連結ダクトは排出バルブを備えたバイ
パスを介して同伴ポンプの搬送端部、即ち一次ポンプの
搬送端部に連通している。
パスを介して同伴ポンプの搬送端部、即ち一次ポンプの
搬送端部に連通している。
好ましくは一次ポンプはこれらの実施例の両方を包含し
ている。
ている。
排出されるべき包囲部分の形態、寸法、隙間及び容積並
びに減圧所要時間に応じて段は異なる回転速度を有し得
る。単一モータがスクリューポンプと同伴ポンプとを同
時に駆動し得るか又は2つのモータがスクリューポンプ
と同伴ポンプとを個別に駆動し得る。特に圧力調整が必
要とされない実施例では独立した駆動が回転速度を個別
に変動させるのに役立ち、それによりくみ出し速度が変
動させられる。
びに減圧所要時間に応じて段は異なる回転速度を有し得
る。単一モータがスクリューポンプと同伴ポンプとを同
時に駆動し得るか又は2つのモータがスクリューポンプ
と同伴ポンプとを個別に駆動し得る。特に圧力調整が必
要とされない実施例では独立した駆動が回転速度を個別
に変動させるのに役立ち、それによりくみ出し速度が変
動させられる。
1つ又は複数のモータは従来型モータであるか又は真空
中にロータを有するモータであり得る。
中にロータを有するモータであり得る。
添付図面を参照して本発明の2つの実施!r3様を実施
例として説明する。
例として説明する。
第1図では一次ボンブはステータを構成する本体1と、
吸込み口4と、搬送出口5と、乾式スクリューポンプ1
0により構成される低圧段と、流体同伴ポンプ(flu
id entrainment pump)2Gにより
構成される高圧段とを含んでいる0本体1はアセンブリ
の温度を安定化させるために液体(水、油+−0,>を
送給するのに役立つ冷却チャネル2を含み得る。
吸込み口4と、搬送出口5と、乾式スクリューポンプ1
0により構成される低圧段と、流体同伴ポンプ(flu
id entrainment pump)2Gにより
構成される高圧段とを含んでいる0本体1はアセンブリ
の温度を安定化させるために液体(水、油+−0,>を
送給するのに役立つ冷却チャネル2を含み得る。
周辺媒体との熱交換は強制又は自然対流であり得る。
ポンプ10は、それぞれのシャフト13.14に装着さ
れ且つ2つの歯車41.44を介して同時に駆動される
2つの協働スクリュー11.12を含んでいる。
れ且つ2つの歯車41.44を介して同時に駆動される
2つの協働スクリュー11.12を含んでいる。
該歯車41は電気モータ50により駆動される。両方の
歯車41.44はオイルボックス3内に装着され、該オ
イルボックスは、本体1に固定されているか又は該本体
と一体式であり且つ2つのシール48.49により吸込
み口4から密封されている。2つのシャフト13.14
はそれぞれの対のベアリング42と43及び45と46
内で回転している。更にシャフト13は、該シャフトの
他方端部で連結ダクト30の高さに位置する他のベアリ
ング47内で回転する。
歯車41.44はオイルボックス3内に装着され、該オ
イルボックスは、本体1に固定されているか又は該本体
と一体式であり且つ2つのシール48.49により吸込
み口4から密封されている。2つのシャフト13.14
はそれぞれの対のベアリング42と43及び45と46
内で回転している。更にシャフト13は、該シャフトの
他方端部で連結ダクト30の高さに位置する他のベアリ
ング47内で回転する。
ポンプ20は粘性及び/又は乱流同伴ポンプ、即ちくみ
出し効果がロータ/ステータアセンブリ21からの摩擦
により得られるポンプである。該アセンブリ21は、形
状が吸込み端部と搬送端部との間で変化し且つ高速で回
転する1つ以上のピッチ可変式螺旋溝を有する。ポンプ
20は図示する如く円筒形であるが、当然ながら例えば
ディスク形又は円錐形であってもよい。
出し効果がロータ/ステータアセンブリ21からの摩擦
により得られるポンプである。該アセンブリ21は、形
状が吸込み端部と搬送端部との間で変化し且つ高速で回
転する1つ以上のピッチ可変式螺旋溝を有する。ポンプ
20は図示する如く円筒形であるが、当然ながら例えば
ディスク形又は円錐形であってもよい。
第1図ではポンプ20のシャフト22は、モータ50が
両方のポンプ10.20を駆動するのに役立つようにス
クリュー12のシャフト14に機械的に接続されている
。シャフト22はベアリング23内で回転している。
両方のポンプ10.20を駆動するのに役立つようにス
クリュー12のシャフト14に機械的に接続されている
。シャフト22はベアリング23内で回転している。
一次ポンプは2つのバイパス60.70を含み、各バイ
パスは放出バルブ61.71を備えている。該バイパス
は過渡的段階中に流体流量を配分するのに役立つ。
パスは放出バルブ61.71を備えている。該バイパス
は過渡的段階中に流体流量を配分するのに役立つ。
バイパス60では低圧段によりくみ出された過剰ガスを
吸込み口4に再循環させることができ、方バイパス70
では過剰ガスを搬送出口5に再循環させることができる
。
吸込み口4に再循環させることができ、方バイパス70
では過剰ガスを搬送出口5に再循環させることができる
。
バルブ61.71は制御され得るか又は自動的であり得
る。該バルブはく図示する如き〉対応するスプリング8
2.72からの作用下で閉鎖し得るか又はスプリング自
体の重量の作用下で閉鎖し得る。しかしながらいずれの
場合も低圧段により搬送される流量が高圧段により吸込
まれる流量と両立し得るときにバルブは閉鎖されている
。
る。該バルブはく図示する如き〉対応するスプリング8
2.72からの作用下で閉鎖し得るか又はスプリング自
体の重量の作用下で閉鎖し得る。しかしながらいずれの
場合も低圧段により搬送される流量が高圧段により吸込
まれる流量と両立し得るときにバルブは閉鎖されている
。
第2図ではポンプ20は電気モータ80により別個に駆
動される。この場合ポンプ20のシャフト22はもはや
スクリュー12のシャフト14に接続されていないが、
その代わりに電気モータ80に接続されている。
動される。この場合ポンプ20のシャフト22はもはや
スクリュー12のシャフト14に接続されていないが、
その代わりに電気モータ80に接続されている。
第2図に示す配置によりポンプ20の回転速度はスクリ
ューポンプ10の回転速度とは異なり得る。
ューポンプ10の回転速度とは異なり得る。
従ってポンプ20の回転速度はポンプ10からの搬送速
度と圧力とに容易に適合され得る。この型の同伴ポンプ
では、第1段により高い圧縮比が得られるために容積処
理量が低い。
度と圧力とに容易に適合され得る。この型の同伴ポンプ
では、第1段により高い圧縮比が得られるために容積処
理量が低い。
このような−次ポンプは以下の如く作動する。
始動時、−即ち包囲部分が空にされつつあると低圧段か
らの出口で生じる過剰圧力によりバルブ61,71の両
方が開く。
らの出口で生じる過剰圧力によりバルブ61,71の両
方が開く。
高圧段の処理量が適切になるとすぐに、バルブ71は閉
じるがバルブ61は開いたままである。
じるがバルブ61は開いたままである。
低圧段の処理量が高圧段の処理量に適合するとすぐに、
バルブ61は閉じて一次ポンプが定常状態で作動する。
バルブ61は閉じて一次ポンプが定常状態で作動する。
第1図は単一モータを備えたポンプを示す図であり、第
2図は2つのモータを備えたポンプを示す図である。 1153本体、210.冷却チャネル、401.吸込み
口、5、、、@送出口、23,42,43,45,46
,47.、、ベアリング、41.44.、、歯車、50
,80.、、電気モータ、60.70.、、バイパス、
61,71.、、バルブ。 エヤ人 7◆力?pレシト
2図は2つのモータを備えたポンプを示す図である。 1153本体、210.冷却チャネル、401.吸込み
口、5、、、@送出口、23,42,43,45,46
,47.、、ベアリング、41.44.、、歯車、50
,80.、、電気モータ、60.70.、、バイパス、
61,71.、、バルブ。 エヤ人 7◆力?pレシト
Claims (6)
- (1)単一の共通ステータ内においてその低圧端部での
スクリューポンプと、その高圧端部での流体同伴ポンプ
と、スクリューポンプと同伴ポンプとの間の連通を提供
する連結ダクトとを備えていることを特徴とする2段乾
式一次ポンプ。 - (2)連結ダクトが、排出バルブを備えたバイパスを介
してスクリューポンプの吸込み端部に連通していること
を特徴とする請求項1に記載のポンプ。 - (3)連結ダクトが、排出バルブを備えたバイパスを介
して同伴ポンプの排出端部に連通していることを特徴と
する請求項1に記載のポンプ。 - (4)スクリューポンプと同伴ポンプとの両方を駆動す
る単一モータを含んでいることを特徴とする請求項1に
記載のポンプ。 - (5)スクリューポンプと同伴ポンプとのそれぞれを駆
動する2つの異なるモータを含んでいることを特徴とす
る請求項1に記載のポンプ。 - (6)冷却チャネルを含んでいることを特徴とする請求
項1に記載のポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8907392 | 1989-06-05 | ||
| FR8907392A FR2647853A1 (fr) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | Pompe primaire seche a deux etages |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0333492A true JPH0333492A (ja) | 1991-02-13 |
Family
ID=9382363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2146044A Pending JPH0333492A (ja) | 1989-06-05 | 1990-06-04 | 2段乾式一次ポンプ |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5040949A (ja) |
| EP (1) | EP0401741B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0333492A (ja) |
| AT (1) | ATE86364T1 (ja) |
| DE (1) | DE69000990T2 (ja) |
| ES (1) | ES2039997T3 (ja) |
| FR (1) | FR2647853A1 (ja) |
| RU (1) | RU1771514C (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2017520715A (ja) * | 2014-06-26 | 2017-07-27 | レイボルド ゲーエムベーハー | 真空ポンプシステム |
| CN110177947A (zh) * | 2017-01-20 | 2019-08-27 | 爱德华兹有限公司 | 多级真空增压泵联接件 |
| US11578722B2 (en) | 2017-01-20 | 2023-02-14 | Edwards Limited | Multi-stage vacuum booster pump coupling |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0545827Y2 (ja) * | 1988-06-24 | 1993-11-26 | ||
| JPH05195957A (ja) * | 1992-01-23 | 1993-08-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空ポンプ |
| JPH05209589A (ja) * | 1992-01-31 | 1993-08-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体回転装置 |
| JPH05272478A (ja) * | 1992-01-31 | 1993-10-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空ポンプ |
| KR100190310B1 (ko) * | 1992-09-03 | 1999-06-01 | 모리시따 요오이찌 | 진공배기장치 |
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