JPS60247238A - 感光性組成物 - Google Patents

感光性組成物

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JPS60247238A
JPS60247238A JP10168584A JP10168584A JPS60247238A JP S60247238 A JPS60247238 A JP S60247238A JP 10168584 A JP10168584 A JP 10168584A JP 10168584 A JP10168584 A JP 10168584A JP S60247238 A JPS60247238 A JP S60247238A
Authority
JP
Japan
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diazonium salt
photosensitive composition
film
salt
aromatic diazonium
Prior art date
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Pending
Application number
JP10168584A
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English (en)
Inventor
Hajime Morishita
森下 ▲はじめ▼
Saburo Nonogaki
野々垣 三郎
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication of JPS60247238A publication Critical patent/JPS60247238A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/016Diazonium salts or compounds

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、光学像に従った粉体塗布層像の形成に用いら
れる感光性組成物に係り、特にカラーブラウン管のけい
光面製作等に使用される光粘着膜を形成するための、高
感度の感光性組成物に関する。
〔発明の背景〕
カラーブラウン管の画面部分(フェースプレート)の内
面には、赤、緑、青それぞれの発光をする3種類のけい
光体が、ドツト(Dot)あるいはストライプ(S t
r4pe)状に塗布されている。このけい光体塗布層を
形成する従来の方法は。
(1)まず、フェースプレートの内面に、第1色目のけ
い光体と感光性樹脂との混合物を塗布し。
乾燥して塗膜を形成する。
(2)つぎに、−に記の塗膜にシャドウマスク(Sha
dow Mask)の孔を通して紫外線を照射する。
このときの紫外線照射位置は、そのけい光体を発光させ
るための電子ビームが射突する位置、すなわち、そのけ
い光体が固着されるべき位置に相当する。この紫外線照
射を受けた部分の感光性樹脂は不溶化し、それによって
、その部分の塗膜が不溶化する。
(3)ついで、塗膜を溶媒で洗い、不溶化した部分のみ
をフェースプレート内面に残留させ、その他の部分は溶
解し除去する。
(4)つぎに、第2色目のけい光体と感光性樹脂との混
合物を塗布し、上述の第1色目の塗膜形成と同じ方法で
、第2色目のけい光体塗膜をつくり。
さらに、同じ方法によって、第3色目のけい光体塗膜を
形成し、カラーブラウン管のフェースプレート面に3種
類のけい光体塗布層を完成させる。
以上の説明から明らかなごとく、カラーブラウン管のけ
い光面製作工程は複雑であり、多数回の湿式塗布、水洗
、乾燥の繰返しを必要とするので、。
その工程の簡単化はきわめて望ましいことである。
そのために2本発明者らは、先に、従来技術に比べて著
しく簡単な工程で、カラーブラウン管けい光面を形成す
る方法として、特開昭53−126861を提案した。
この方法は、(1)光照射によって分解し、その結果生
成する物質が吸湿性であり、雰囲気中の水分を吸収して
粘着性が生じる芳香族ジアゾニウム塩を含む感光性組成
物を、カラーブラウン管のフェースプレートの内面に塗
布して薄層となし、(2)その薄層に、所定の波長の光
によって図形状の露光を行ない、露光部に粘着性を生ぜ
しめ、(3)露光後の薄層に、所定のけい光体の粉体粒
子を接触せしめ、粘着性が生じた薄層に。
所定のけい光体の粉体粒子を受容(被着)せしめ3− ることを特徴とするものである。この方法によると、第
2色目および第3色目のけい光体の塗布は。
所定波長の光による露光と、けい光体粉体粒子の接触受
容を繰返すのみでよく、露光によって粘着性を生じる塗
膜を一度形成させるだけで、あとは何種類のけい光体の
パターン(P attern)でも形成させることが可
能である。しかしながら、この方法に使用する感光性組
成物の光感度が、従来用いられている感光性樹脂に比べ
てやや低いために。
所定のけい光体塗布層を完成させるまでに多少時間がか
かり、したがって、それだけ生産能率が低下するという
欠点があった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、短
時間に効率よく、光学像に従ったけい光体の粉体塗布層
像を、カラーブラウン管のけい光面等に形成するための
、高感度光粘着膜を生ずる感光性組成物を提供するにあ
る。
〔発明の概要〕
本発明による高感度の感光性組成物(以下、高4− 感度組成物と略称)は、下記の一般式で表わされる。塩
化p−ジアゾ−N、N−ジメチルアニリン塩化亜鉛複塩
1モルに対して、臭化カリウムおよび臭化ナトリウムを
1種以上2合計量で0.5〜1.5モル含有させたもの
である。
本発明の高感度組成物を溶解した溶液を9回転塗布して
形成した感光膜はジアゾニウム塩化合物の微細結晶粒で
覆われている。このジアゾニウム塩化合物の微細結晶は
、オリジナルの一般式(1)で表わされる。塩化p−ジ
アゾ−N、N−ジメチルアニリン塩化亜鉛複塩ではなく
、複塩構造が異なった。下記の一般式(U)で表わされ
るジアゾニウム塩に変化しているものと考えられる。
この一般式(IT)で表わされるジアゾニウム塩の微細
結晶は、紫外光をよく吸収し、光分解し易い特性をもっ
ているものと考えられる。
本発明における一般式(1)で示されるジアゾニウム塩
に対する。臭化カルラム(KBr)または臭化ナトリウ
ム(NaBr)およびその混合物の添加量は、上記ジア
ゾニウム塩1モルに対して。
0.5〜1.5モルが好ましく、0.5モル未満では、
感光膜の増感の効果が少なく露光時間が長くなる。
また、KBrまたはN a B rの添加量が1.5モ
ルを超えると、感光膜に過剰のKBrまたはNaBrが
析出し、そのために光粘着膜が濁り光の透過性が悪くな
るので好ましくない。最も好ましい範囲は。
一般式(I)で示されるジアゾニウム塩に対して。
はぼ同モル程度である。
また2本発明における高感度組成物として、一般式(1
)で表わされるジアゾニウム塩の他に。
他の芳香族ジアゾニウム塩、たとえば、芳香族ジアゾニ
ウムホウフッ化水素酸塩、芳香族ジアゾニウム硫酸塩、
芳香族ジアゾニウムスルフォン酸塩。
および芳香族ジアゾニウム・塩化亜鉛複塩等の1種類以
上を、上記一般式(I)のジアゾニウム塩に対して2合
計量で5〜50重量%含有させたものを用いてもよい。
この場合、他の芳香族ジアゾニウム塩の添加量が5重量
%未満では感度向上(増感)の効果が少なく、50重量
%を超えると感光膜の結晶性が悪くなり、他の芳香族ジ
アゾニウム塩が非結晶状態の光粘着膜をつくり、この状
態の膜は未露光においても、粉体(けい光体)を若干付
着する性質を持つので好ましくなく、さらに好ましい範
囲は10〜20重量%である。
また、さらに本発明において、高感度組成物の溶液の粘
度を調整し、感光膜の塗布性を改善するために、水溶性
の高分子化合物9例えばアラビアゴム、ポリビニルアル
コール、ポリアクリルアミド、ポリ(N−ビニルピロリ
ドン)およびアクリルアミド−ジアセトンアクリルアミ
ド共重合体等の1種以上を、一般式(1)で表わされる
ジアゾニウム塩に対して9合計量で5〜50重量%添加
させてもよい。この場合、水溶性高分子化合物の添7− 加量が5重量%未満では、感光膜の塗布性の改善が望め
ず、また50重量%を超えると、膜の結晶性が悪くなる
ので好ましくなく、より好ましい範囲は5〜20重量%
である。
第1図に本発明の高感度組成物によって、ガラス基板上
に形成した光粘着膜の紫外吸収スペクトルを示す。図に
おいて、横軸は紫外光の波長(nm)で、縦軸は光学密
度(log (照射光強さ/膜を通過した光の強さ)〕
を表わす。第1図の曲線1は。
ガラス基板のみ9曲線2は、一般式(1)で表わされる
ジアゾニウム塩のみの紫外吸収スペクトルであり9曲線
3は9本発明による一般式(1)で表わされるジアゾニ
ウム塩に対して、約30重量%のKBrを加えたもので
9曲線4は2本発明による一般式(1)で示されるジア
ゾニウム塩と、これに対して約25重量%の他の芳香族
ジアゾニウム塩(塩化5−ジアゾ−2−メトキシ−N、
N−ジメチルアニリン塩化亜鉛複塩)を加えた。混合ジ
アゾニウム塩と、上記一般式(1)のジアゾニウム塩に
対して約30重量%のKBrを添加した場合=8− の紫外吸収スペクトルを示す。第1図から明らかなごと
<、KBrを添加した本発明による光粘着膜は、非常に
高い紫外光の吸収率を示しており。
光分解し易いことを示している。
一般に、ジアゾニウム塩は紫外光の主に365nmの波
長の光を吸収して光分解する。したがって。
この波長の光吸収の減少速度を測定することによって、
ジアゾニウム塩の光分解の速さを測定し。
感度向上(増感)の度合を知ることができる。第2図は
1本発明の高感度組成物によって形成された感光膜の光
分解の速さを示すグラフで、横軸は露光時l′!!1(
分)で、縦軸に365nmの光透過率(%)を示したも
のである。第2図における曲線5は。
一般式(1)で表わされるジアゾニウム塩のみの場合で
2曲線6は9本発明による一般式(1)のジアゾニウム
塩に対して、KBrを約30重量%添加したもの2曲線
7は9曲線6のKBrO代りにN a B rを約30
重量%加えたものであり9曲線8は。
第1図の曲線4の成分、すなわち、混合ジアゾニウム塩
の場合における露光時間(分)と光透過率(%)の関係
を示す。
第2図から明らかなごとく9本発明のKBrまたはNa
Brを加えた。一般式(1)で表わされるジアゾニウム
塩による感光膜は、それを加えない感光膜に比べて、速
く光の透過率が高くなり、ジアゾニウム塩が速く分解さ
れていることがわかる。
また、一般式(I)で表わされるジアゾニウム塩に他の
芳香族ジアゾニウム塩(塩化5−ジアゾ−の場合には、
第1図の曲線4に示すごとく、紫外光の吸収波長幅が広
くなり、かつ第2図の曲線8で示すごとく、ジアゾニウ
ム塩の分解速さが早くなり、単一のジアゾニウム塩の場
合よりも増感の効果があることを示している。
なお2本発明者らは、KBr、NaBr以外の他の臭化
塩(L i B r 、 N H4B r等)について
は1図形状粉体塗布膜に適しなかったことを実験の結果
確認している。
〔発明の実施例〕
つぎに1本発明に関する一実施例をあげ、さらに詳細に
説明する。
(実施例1) 下記組成1の水溶液を、ガラス基板上に回転塗布法によ
って塗布し、赤外線加熱によって乾燥して、厚さ約0.
3陣の感光膜薄層を形成した。
この感光膜薄層の紫外吸収スペクトルを第1図の曲線3
に示す。図から明らかなどと<、KBrを加えないもの
に比べて格段に光学密度が高く。
11− それだけ光分解し易いことをものがたっている。
(実施例2) 実施例1における組成1の感光性組成液の代りに、下記
の組成2の水溶液を用い、実施例1とほぼ同じ条件で、
厚さ約0 、3 、の感光膜薄層を形成した。
この感光膜薄層の光分解速さを第2図の曲線7に示す。
図から明らかなどと(、NaBrを添加しない感光膜に
比べて、速く光透過率が高くなりジアゾニウム塩がそれ
だけ速く分解されていることがわかる。
一12= (実施例3) 実施例1の組成1の感光性組成液の代りに、下記組成3
の水溶液を用い、実施例1と同様の操作によって感光膜
薄層を形成した。
第1図曲線4から明らかなごと<、を一式(1)のジア
ゾニウム塩に、他の芳香族シア紗ニウム塩φ を適量加えることによって、感光膜の紫外光の吸収波長
幅が広くなり、かつ第2図曲線8で示すように、光透過
率が急激に上昇していることから。
単一のジアゾニウム塩の場合よりも、光分解し易く、光
分解速度も速くなって、感光膜の増感の効果があること
が窺える。
なお、第2図において感光膜の光透過率が露光初期にお
いて低下するものがあるのは、未分解の結晶性ジアゾニ
ウム塩が一時、非結晶性になるためと思われる。
また、第2図におけるそれぞれの感光膜について、露光
時間ゼロにおける光透過率を基準として。
それより10%増加した光透過率に相当する露光時間だ
け光照射して、得られた光粘着膜にけい光体を受容(被
着)せしめたところ、はぼ同量のけい光体を被着させる
ことができた。
なお、上記実施例1に示す組成1の高感度組成物を用い
て9本発明者らが特開昭53−126861号によって
提案している図形状粉体塗布層の形成方法にしたがって
、塗膜、露光、けい光体被着および余剰のけい光体の除
去操作を、青、緑、赤のけい光体についてそれぞれ行な
ったところ、すぐれた性能のカラーブラウン管のけい光
面を製作することができた。
〔発明の効果〕
以上詳細に説明したごとく9本発明による一般式(1)
で表わされるジアゾニウム塩、またはそれに適量の他の
ジアゾニウム塩を加えた混合ジアゾニウム塩に、所定量
のKBrまたはN a B rを含有させた高感度組成
物によって形成される感光膜は、紫外光を良く吸収し、
かつ感光膜中のジアゾニウム塩の光分解速度が大である
ために、短時間に効率よく光粘着膜を形成することがで
きるので。
光学像に従ったけい光粉体塗布層像の形成が容易であり
、特にカラーブラウン管の内面に良質のけい光面を高能
率で製作することが可能で、その生産性の向上をはかる
ことができ、実用上の効果は顕著である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の高感度組成物による感光膜の15− 紫外吸収スペクトルを示すグラフであり、第2図は本発
明の高感度組成物による感光膜の光分解速さを示すグラ
フである。 代理人弁理士 中 村 純之助 16−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、芳香族ジアゾニウム塩を含む感光性組成物において
    、上記芳香族ジアゾニウム塩として塩化p−ジアゾ−N
    、N−ジメチルアニリン塩化亜鉛複塩を含有し、さらに
    臭化カリウムおよび臭化ナトリウムの1種または2種を
    含有することを特徴とする感光性組成物。 2、芳香族ジアゾニウム塩を含む感光性組成物において
    、塩化p−ジアゾ−N、N−ジメチルアニリン塩化亜鉛
    複塩1モルに対して、臭化カリウムおよび臭化ナトリウ
    ムの1種または2種を9合計量で0.5〜1.5モル含
    有することを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の感
    光性組成物。 3、芳香族ジアゾニウム塩を含む感光性組成物において
    、上記芳香族ジアゾニウム塩は、塩化p−ジアゾ−N、
    N−ジメチルアニリン塩化亜鉛複塩のみからなることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載の感光性組成物。 4、芳香族ジアゾニウム塩を含む感光性組成物において
    、水溶性有機高分子化合物である。アラビアゴム、ポリ
    ビニルアルコール、ポリアクリルアミド、ポリ(N−ビ
    ニルピロリドン)およびアクリルアミド−ジアセトンア
    クリルアミド共重合体の1種または2種以上を、上記芳
    香族ジアゾニウム塩に対して2合計量で5〜50重量%
    含有することを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
    感光性組成物。
JP10168584A 1984-05-22 1984-05-22 感光性組成物 Pending JPS60247238A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USRE38256E1 (en) 1994-03-15 2003-09-23 Kabushiki Kaisha Toshiba Photosensitive composition
US6699951B2 (en) 2001-04-03 2004-03-02 Samsung Sdi Co., Ltd. Monomer and polymer for photoresist, photoresist composition, and phosphor layer composition for color cathode ray tube

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USRE38256E1 (en) 1994-03-15 2003-09-23 Kabushiki Kaisha Toshiba Photosensitive composition
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