JPS60249065A - 抵抗測定用プロ−ブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ＋８）　発明の技術分野 本発明は微少な値の表面抵抗を精度よく測定できる抵抗
測定用プローブに関する。

（ｂｌ　技術の背景 陰極線管（ＣＲＴ）を筐体に設置した電子機器等に於い
ては、その陰極線管や陰極線管を動作させるためのＩＣ
等の電子部品が搭載されているプリント基板より発生す
るノイズを除去するために、筐体の内部に導電性の塗料
を塗布し、この導電性塗料より形成された導電性塗膜を
接地する方法が取られている。ところでこの導電性塗料
は所定の厚さに均一に塗布しないと、ノイズが充分除去
できず、この塗布された厚さを検知する方法として、塗
布膜の表面抵抗の値を測定してこの値をもとにして塗布
膜の厚さを検知している。

（Ｃ１従来技術と問題点 従来、このような導電性塗膜の表面抵抗を測定する方法
としては、互いに平行で、互いに所定の間隔を隔てた４
本の電極端子を導電性塗膜の表面に加圧接触させ、この
４本の端子のうちの外側の２本の端子間に直流電流を印
加した状態で、４本の端子のうちの内側の２本の端子間
に於ける電位差を測定することで導電性塗膜の表面抵抗
を測定する、いわゆる四探針測定法と称する方法を用い
て測定していた。然し、このような方法では電極端子を
導電性塗膜に接触させる時の接触圧によって測定値が変
動し、特に導電性塗膜のように表面抵抗が１Ω／口のよ
うに低い値の時には再現性良く、表面抵抗を測定するこ
とが困難であった。

（ｄ＋　発明の目的 本発明は上記した問題点を除去するもので、被測定物に
一定の圧力で測定用電極が接触するようにし、表面抵抗
の値の小さい被測定物でも精度良（表面抵抗が測定でき
るようにした、新規な抵抗−測定用プローブの提供を目
的とするものである。

（ｅｌ　発明の構成 上記目的は、所定の間隔を隔てて、互いに平行な一対の
測定用電極を設けた基台と、該基台上に設置され周囲に
スプリングが巻きつけられた支柱と、該支柱の近傍に設
置され、前記スプリングの押圧力を制御するストッパー
と、該スプリングを押圧する加圧部材とよりなる本発明
♂狙抗測定用プローブによって達成される。

ｆｆ）　発明の実施例 以下図面を用いて本発明の一実施例につき詳細に説明す
る。

第１図は本発明の抵抗測定用プローブの第１の実施例を
示す平面図、第２図は第１図をｒ−ｕ線に沿って切断し
た断面図、第３図は本発明の抵抗測定用プローブの第２
の実施例を示す平面図、第４図は第３図を１−１１線に
沿って切断した断面図、第５図は本発明の抵抗測定用プ
ローブの第３の実施例を示す平面図、第６図は第５図を
Ｉ−ｎ線に沿って切断した断面図である。

第１図、および第２図に示すように本発明の抵抗測定用
プローブは、平板状で絶縁性のアクリル樹脂よりなる基
台１の下部に所定の間隔を隔てて互いに長さが等しく、
かつ平行な一対の銅片に金メッキを施された電極２がネ
ジ３によって対向配置されている。そしてこの電極の被
測定物と接触する先端部Ａは、切削加工して被測定物と
の接触面積を小さくしておく。またこの基台１には、垂
直方向にアクリル樹脂よりなる円柱状の支柱４が接着剤
等により固着され、その周囲にはスプリング５が巻きつ
けられて設置されている。またこのスプリング５の周囲
には、このスプリング５を錠状に引っ掛＆Ｊて押圧する
突出部６を有し、この支柱４の周囲のスプリング５に沿
って移動し、かつ内部が中空の円筒状のアクリル樹脂よ
りなるストッパー７が設けられている。またこの支柱４
と加圧部材を兼ねた円筒状のス）７パー７の上には、押
さえナツト８がネジ９によって取りつけられている。そ
してこのストッパー７を加圧してその先端部Ｂが基台１
に押圧されて接触した時点で電極２に加えられる加圧力
が停止し、電極が一定の加圧力で被測定物に接触するよ
うになる。

このような本発明の抵抗測定用プローブを用いて導電性
塗膜の表面抵抗を測定する場合に付いて述べると、まず
抵抗測定用電極２を導電性塗膜を塗布した筐体の所定の
部分の導電性塗膜上に接触させる。次いで円筒状のスト
ッパー７を下方に押し下げ、ストッパー７の先端部Ｂが
基台ｌの上に接触した時点でネジ３に接続されている導
線１０に連なる抵抗針の値を測定してこの抵抗値を読む
ことで、電極端子２の長さを一辺とした単位正方形光た
りの面積に対する表面抵抗が測定できる。

このような本発明の抵抗測定用プローブを用い、導電性
塗膜のような被測定物の表面抵抗を測定すれば、被測定
物に接触する電極の加圧力が常に一定となり再現性良く
表面抵抗が測定できる。また測定用電極の長さを予め精
度良く形成し、この電極の長さを予め高精度に測定して
おけば、この電極間に挟まれた面積の被測定物の表面抵
抗を直ちに測定することが可能となる。

また本実施例の他に更に電極の被測定物に対する加圧力
を一定にできるような本発明の第２の実施例について、
第３図の平面図と、第３図を１−■［線に沿って切断し
た第４図の断面図を用いて説明する。

第３図、第４図に示すように本実施例が第１の実施例と
異なる点は、スプリング５に沿って下方に押し下げられ
る錠状のストッパー１１を円筒形状でなく平板状に形成
し、このストッパー１１の先端部Ｂが、基台１の両側端
部Ｃ，Ｄに沿って移動し、直接被測定物の表面に接触す
るようにした点にある。このようにすれば、直接ストッ
パー１１が被測定物に接触するので、第１の実施例のよ
うにストッパーの先ｒ４　Ｂが基台１に接触しても更に
電極２を被測定物に押圧するような恐れがなくなり、被
測定物に対して一定の接触圧で電極２が被測定物に接触
することとなり、より表面抵抗の測定値が高信頼度な値
となる。

また本発明の抵抗測定用プローブの第３の実施例を第５
図の平面図、および第５図を■−■線に沿って切断した
第６図の断面図、および第５図をＩｆｆ−ＩＶ線に沿っ
て切断した第７図の断面図を用いて説明する。図示する
ように第２の実施例に対して本実施例に於いては、スト
ッパー２１を市販の頭部が平坦な平ネジとした点にある
。そしてこのストソバ−２１を、支柱４の周囲に設けら
れているスプリング５を、押圧しながら支柱４に沿って
移動する円筒状の加圧部材２２に固着させる。このよう
にすると、特別にスプリング５を引っ掛けるための錠状
の突出部を有する複雑なストッパーを必要とせず、第１
．第２の実施例に比して構造が簡単で、かつ低コストの
抵抗測定用プローブが得られる。

またこの第１．第２．第３の実施例に用いた電極２の先
端部に導電性ゴムを接着すれば、例えば曲面状を呈して
いるような筐体の内部に塗布された導電性塗布膜に沿っ
て電極が接触することになるので、このような形状を有
する塗布膜の表面抵抗を測定する場合には特に有効であ
る。

（ｇ）　発明の効果 以上述べたように本発明の抵抗測定用プローブによれば
、被測定部に電極が一定の加圧力で接触するので、微少
な表面抵抗を有する被測定物の表面抵抗を精度良く測定
することが可能となり、陰極線管を設置している筐体に
塗布されている導電性塗膜の表面抵抗の測定等に本発明
の抵抗測定用プローブを用いれば極めて有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の抵抗測定用プローブの第１の実施例を
示す平面図、第２図は第１図をＩ−ＩＩ線に沿って切断
した断面図、第３図は本発明の抵抗　ｌ測定用プローブ
の第２の実施例を示す平面図、第４図は第３図をＩ−Ｉ
Ｉ線に沿って切断した断面図、第５図は本発明の抵抗測
定用プローブの第３の実施例を示す平面図、第６図は第
５図をＩ−ＩＩ線に沿って切断した断面図、第７図は第
５図を■−■線に沿って切断した断面図である。 図に於いて、１は基台、２は電極、３，９はネジ、４．
２２は支柱、５はスプリング、６は突出部、７．１１゜
２１はストッパー、８はナンド、１０はリード線を示す
。 第１図　第２図 ニー 第５°　第６図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）　所定の間隔を隔てて、互いに平行な一対の測定
   用電極を設けた基台と、該基台上に設置され周囲にスプ
   リングが巻きつけられた支柱と、該支柱の近傍に設置さ
   れ、前記スプリングの押圧力を制御するストッパーと、
   該スプリングを押圧する加圧部材とよりなることを特徴
   とする抵抗測定用プローブ。
2. （２）　前記ストッパーがスプリングの周囲に設けられ
   、該ストッパーの先端部が、基台に接触することを特徴
   とする特許請求の範囲第（１１項に記載の抵抗測定用プ
   ローブ。
3. （３）前記ストッパーが基台の側端部に設けられ、該ス
   トッパーの先端部が被測定物に接触することを特徴とす
   る特許請求の範囲第（１）項に記載の抵抗測定用プロー
   ブ。