JPS60250221A - 色欠陥検査装置 - Google Patents
色欠陥検査装置Info
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- JPS60250221A JPS60250221A JP10709484A JP10709484A JPS60250221A JP S60250221 A JPS60250221 A JP S60250221A JP 10709484 A JP10709484 A JP 10709484A JP 10709484 A JP10709484 A JP 10709484A JP S60250221 A JPS60250221 A JP S60250221A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明け、シート状物体の色の欠陥を検査する色欠陥検
査装置に関する。
査装置に関する。
背景技術
第１図は、従来の色欠陥検査装置の構成図である。光源
１から出たキセノン光やノ〜ロゲン光などの光は１回転
ミラー４および放物面鏡３により。
１から出たキセノン光やノ〜ロゲン光などの光は１回転
ミラー４および放物面鏡３により。
シート状の被検査物６に垂直に等速で走査する。
被検査物６で４５°方向に乱反射さ力た光は、光ファイ
バ束７で受光さね、積分球９に導かねる。積分球９け赤
のフィルタ８．青のフィルタ１１．緑のフィルタ１０に
Ｉす、光を３原色光に分解し。
バ束７で受光さね、積分球９に導かねる。積分球９け赤
のフィルタ８．青のフィルタ１１．緑のフィルタ１０に
Ｉす、光を３原色光に分解し。
その３原色光は光電変換素子１５，１３．１２によって
電気信号に変換さねる。処理回路】４け。
電気信号に変換さねる。処理回路】４け。
光電変換素子１５，１３．１２によって変換された電気
信号を受信し１色の利足を行なっていく。
信号を受信し１色の利足を行なっていく。
処理回路１４＃−ｔ、スタート信号発生用の光電変換素
子５によってスタート前作に入る。光電変換素子５け、
光源１からの光を受光したときスタート信号を発生する
。
子５によってスタート前作に入る。光電変換素子５け、
光源１からの光を受光したときスタート信号を発生する
。
光電変換素子１５，１３．１２の各受光量は。
回転ミラー４の各面のよとわ具合の違いや、光ファイバ
束７の伝送ロスのばらつきなどにより、投光スポットの
位置によって第２図に示すように受光量の変動が起こる
。したがってこの受光量の変リν１１こより、誤検出の
恐れが発生する。
束７の伝送ロスのばらつきなどにより、投光スポットの
位置によって第２図に示すように受光量の変動が起こる
。したがってこの受光量の変リν１１こより、誤検出の
恐れが発生する。
そこで検出さ力る場所による反射光量のむら全なくする
ために、被検出物６を検査する前に、補正板を用い、光
量が場所によって一定ｌこなるような比例係数をサンプ
リング点毎に記憶させ、被検査物６を検査するときにけ
、各測定点毎に受光貴重こ比例係数をかけた値の比較に
より色の判別を行なうことができる。しかしその比例係
数をめるための割り算回路や比例係数をかけるための電
算回路など高速で複雑な演算回路と、大きな容量のメモ
リが必要となり、高価格にもなる。
ために、被検出物６を検査する前に、補正板を用い、光
量が場所によって一定ｌこなるような比例係数をサンプ
リング点毎に記憶させ、被検査物６を検査するときにけ
、各測定点毎に受光貴重こ比例係数をかけた値の比較に
より色の判別を行なうことができる。しかしその比例係
数をめるための割り算回路や比例係数をかけるための電
算回路など高速で複雑な演算回路と、大きな容量のメモ
リが必要となり、高価格にもなる。
目的
本発明の目的は、上述の技術的課題全解決し。
検出場所による光量のむらを補正ケ行なうのに簡単な構
成で、低価格ケ実現することができる色欠陥検査装置を
提供することである。
成で、低価格ケ実現することができる色欠陥検査装置を
提供することである。
実施例
第３図は１本発明の一実施例のブロック図である。光源
３１から出た光は、光量の調整を行なう光シヤツタ群３
２を通り、レンズ系３３によって細い平行ビームに絞ら
ね１回転ミラー３７１ど照射される。回転ミラー３７に
よって走査さ力た光け。
３１から出た光は、光量の調整を行なう光シヤツタ群３
２を通り、レンズ系３３によって細い平行ビームに絞ら
ね１回転ミラー３７１ど照射される。回転ミラー３７に
よって走査さ力た光け。
放射面＠３６によって被検査物４４１こ垂直に照射され
る。被検査物４４で乱反射した光を、入射光に対して４
５の位置においた光ファイバ４３で受光し、積分球４２
まで導く。積分球４２１こけ赤。
る。被検査物４４で乱反射した光を、入射光に対して４
５の位置においた光ファイバ４３で受光し、積分球４２
まで導く。積分球４２１こけ赤。
緑、青の各フィルタ４］ａ、４ｎａ、３９ａが取り付け
られでおり、その各フィルタ４］ａ、４０ａ、：’１９
ａを通過した光は光電変換素子４】、４０．３９により
電気信号にそ力ぞ力変換される。
られでおり、その各フィルタ４］ａ、４０ａ、：’１９
ａを通過した光は光電変換素子４】、４０．３９により
電気信号にそ力ぞ力変換される。
判定処理回路４５では、光電変換素子４１，４０゜３９
の各出力信号と予め設定された基準信号とを比較し、被
検査物４４の色欠陥を検知する。
の各出力信号と予め設定された基準信号とを比較し、被
検査物４４の色欠陥を検知する。
以下、詳しく動作を説明する。キセノン光やハロゲン光
などケ受光する光源３１からの光は、光シヤツタ群３２
を通過しに後、レンズ系３３ｆ集光さね、平行ビームに
なる。光シヤツタ群３２１こけ、たとえば第４図に示す
ように電子シャッタ３２ａ？マトリクス状に配したもの
ケ用い、遮へい面積を電気的に制御することにより光量
を変化させるようにしておく。電子シャッタ３２ａけ、
第５図に示すようにシャツタ枠５２と電子シャッタ部５
１とを有する。その電子シャッタ部５１け。
などケ受光する光源３１からの光は、光シヤツタ群３２
を通過しに後、レンズ系３３ｆ集光さね、平行ビームに
なる。光シヤツタ群３２１こけ、たとえば第４図に示す
ように電子シャッタ３２ａ？マトリクス状に配したもの
ケ用い、遮へい面積を電気的に制御することにより光量
を変化させるようにしておく。電子シャッタ３２ａけ、
第５図に示すようにシャツタ枠５２と電子シャッタ部５
１とを有する。その電子シャッタ部５１け。
たとえば第６図に示すようにＢ Ｌ Ｚ Ｔ （Ｐｅａ
ｄＬａｎｔｈａｎｕｍ Ｚｉｒｃｏｎａｔｅ Ｔｉｔａ
ｎａｔｅ ） ８２に電圧を与えると偏光板８］、８３
の偏光角が９０に変わり、光音透過させるような構造に
なっている。またＢＬＺＴ８２に電圧が印加さね、てい
ないときけ。
ｄＬａｎｔｈａｎｕｍ Ｚｉｒｃｏｎａｔｅ Ｔｉｔａ
ｎａｔｅ ） ８２に電圧を与えると偏光板８］、８３
の偏光角が９０に変わり、光音透過させるような構造に
なっている。またＢＬＺＴ８２に電圧が印加さね、てい
ないときけ。
偏光板８１．８３の偏光角が予め定められた角度、のま
まで光音透過させない。
まで光音透過させない。
第３図に戻って、レンズ系３３を通過した光は。
回転ミラー３７と放物面鏡３６とを通過させることによ
り、被検査物４４に等速で垂直スキャンされる。スター
ト信号発生用の光電素子３（５ａけ。
り、被検査物４４に等速で垂直スキャンされる。スター
ト信号発生用の光電素子３（５ａけ。
前記スキャンの始まりを示すスタート信号を発生し、そ
のスタート信号をアドレス信号発生回路３５に与える。
のスタート信号をアドレス信号発生回路３５に与える。
アドレス信号発生回路３５け、前記スキャンの始まりケ
示す被検査物４４の位置に対応するアドレス信号全シャ
ッタ制御回路３４に与える。つまり判定処理回路４５け
、スキャンの始まりを示すスタート信号と、予め？めた
基準クロック信号とにより、投光ビームがどの位置に存
在しているかを知ることができる。
示す被検査物４４の位置に対応するアドレス信号全シャ
ッタ制御回路３４に与える。つまり判定処理回路４５け
、スキャンの始まりを示すスタート信号と、予め？めた
基準クロック信号とにより、投光ビームがどの位置に存
在しているかを知ることができる。
投光スポット位置の違いＳこよる光量変動をなくするた
めに、まず標準板、たとえば白色拡散板を検査領域ｉζ
置く。ここでたとえば赤の光電変換素子４］の出力電圧
？予め測定しておいて、光量変動が電圧変動となって現
わ力る。したがって光量変動がなくなるように前記電圧
の値に応じて開閉するシャッタのアドレスを予めチェッ
クしておき。
めに、まず標準板、たとえば白色拡散板を検査領域ｉζ
置く。ここでたとえば赤の光電変換素子４］の出力電圧
？予め測定しておいて、光量変動が電圧変動となって現
わ力る。したがって光量変動がなくなるように前記電圧
の値に応じて開閉するシャッタのアドレスを予めチェッ
クしておき。
その開閉情報を投光スポット位置に対応させてメモリＭ
にストアしておく。シャッタの数は、光量質＃を押える
程度によって増減すわばよ一〇このようなメモリＭの動
作をｓ８図を参照して説明する。判定処理回路４５内に
おけるアナログ／デジタル変換回路７１Ｖ′ｉ、光電変
換素子４１からの赤のＲ信号とアドレス信号発生回路３
５からのアドレス信号と全受信し、各デジタル信号に変
換し、比較回路７２で比較する。メモリＭＩＣおいて、
縦方向は投光スポット位置に対応したアドレスゲ示し、
横方向は電子シャッタの番号に対応するビット数を示す
。被検査物４４を走行させるときには、投光スポットの
位置に応じたメモリＭの内容を引き出し、その内容に応
じて光シャンタ群３２分駆勅させる。たとえば投光スポ
ットの位置がメモリＭのアドレス３１こ対応している場
合は。
にストアしておく。シャッタの数は、光量質＃を押える
程度によって増減すわばよ一〇このようなメモリＭの動
作をｓ８図を参照して説明する。判定処理回路４５内に
おけるアナログ／デジタル変換回路７１Ｖ′ｉ、光電変
換素子４１からの赤のＲ信号とアドレス信号発生回路３
５からのアドレス信号と全受信し、各デジタル信号に変
換し、比較回路７２で比較する。メモリＭＩＣおいて、
縦方向は投光スポット位置に対応したアドレスゲ示し、
横方向は電子シャッタの番号に対応するビット数を示す
。被検査物４４を走行させるときには、投光スポットの
位置に応じたメモリＭの内容を引き出し、その内容に応
じて光シャンタ群３２分駆勅させる。たとえば投光スポ
ットの位置がメモリＭのアドレス３１こ対応している場
合は。
そのアドレスの内容を引き出し、その内容に応じて光シ
ャンタ群３２の各電子シャッタ部を駆動させる。
ャンタ群３２の各電子シャッタ部を駆動させる。
したがって投光スポット位置８こよる光量むらがなくな
るので５基準色信号と検査色信号とを比較することによ
り、確実な色欠陥検査を行なうことができる。シャッタ
制御回路３４け、光電変換素子４１，４０．３９の各出
力信号を受信し、アドレス信号発生回路３５からのアド
レス信号によって指定される光シヤツタ群３２の電子シ
ャッタ部Ｉ１１させる。
るので５基準色信号と検査色信号とを比較することによ
り、確実な色欠陥検査を行なうことができる。シャッタ
制御回路３４け、光電変換素子４１，４０．３９の各出
力信号を受信し、アドレス信号発生回路３５からのアド
レス信号によって指定される光シヤツタ群３２の電子シ
ャッタ部Ｉ１１させる。
第７図は、光シヤツタ群３２の他の実施例である。光源
６】からの光は、電子シャンタロ１〜６ｎにそれぞ力与
えられる。電子シャッタ６１〜６ｎを通過した光は、光
ファイバ６０により集めら力、レンズ系６Ａ？ｒ−通過
する。この光ファイバ６０を設けることにより、光の集
光度を増力口させることができる。
６】からの光は、電子シャンタロ１〜６ｎにそれぞ力与
えられる。電子シャッタ６１〜６ｎを通過した光は、光
ファイバ６０により集めら力、レンズ系６Ａ？ｒ−通過
する。この光ファイバ６０を設けることにより、光の集
光度を増力口させることができる。
効果
以上のように本発明２こより、ば、光量むらケなくする
乗算、除算などケ行なう複雑な演算処理回路が不要にな
り、低価格を実現することができる。
乗算、除算などケ行なう複雑な演算処理回路が不要にな
り、低価格を実現することができる。
また本発明により、被検査物の色欠陥？正確に検出する
ことができる。
ことができる。
第１図は従来の色欠陥検査装置の構成図、第２図は第１
図における光量の変ｄＪ ｋ説明するためのグラフ、第
３図は本発明の一実施例のブロック図、第４図は第３図
の光シャッタ群３２付近の拡大図。 第５図は光シャッタ群３２カシャッタの構成ケ説明する
ための図、第６図は光シヤツタ群３２の電子シャッタ３
２ａの原理？説明するための図、第７図は光シャッタ群
３２付近の他の実施例の構成図、第８図は判定処理回路
４５に含まれるメモリＭ？説明するためのブロック図で
ある。 ３１・・・光源、３２・・・光シヤツタ群、３３，６Ａ
・・・レンズ系、３４・・・シャッタ制御回路、３５・
・・アドレス信号発生回路、３６・・・放物面鏡、３６
ａ・・・スタート信号発生素子、３９ａ・・・青色フィ
ルタ。 ４０ａ・・・緑色フィルタ、４１ａ・・・赤色フィルタ
。 ３９．４０，４］・・・光電変換素子、４３．６０・・
・光フイルバ、４４・・・被検査物、４５・・・判定処
理回路、Ｍ・・・メモリ 代理人 弁理士 西教圭一部 −ＩＩＡ− 小ギ（ロ）叫 手続補正書 昭和５９年 ９月２５日 特願昭５９−１０７０９４ ２、発明の名称 色欠陥検査装置 ３、補正をする者 事件との関係 出願人 住所 名称（５Ｂ３）松下電工株式会社 代表者 ４、代理人 住 所 大阪市西区西本町１丁目１３番３８号 新興産
ビル国装置ＥＸ ０５２５−５９８５ ＩＮＴＡＰＴ
Ｊ国際ＦＡＸ ＧＩｒＩ＆ＧＩｌ （０６）５３８−０
２４７電話（０６）５３ Ｂ−０２６３（代表）６、補
正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ７、補正の内容 （１）明細ｔｉ、第３頁ＰＩＳ９行目〜第１０行目にお
いで１重訂回路」とあるを 「氷体回路」に訂正する。 （２）明細書第５頁１４行目において［ＢＬＺ、ＴＪと
あるを 「Ｐｉ、ＺＴＪに訂正する。 以上 ２−
図における光量の変ｄＪ ｋ説明するためのグラフ、第
３図は本発明の一実施例のブロック図、第４図は第３図
の光シャッタ群３２付近の拡大図。 第５図は光シャッタ群３２カシャッタの構成ケ説明する
ための図、第６図は光シヤツタ群３２の電子シャッタ３
２ａの原理？説明するための図、第７図は光シャッタ群
３２付近の他の実施例の構成図、第８図は判定処理回路
４５に含まれるメモリＭ？説明するためのブロック図で
ある。 ３１・・・光源、３２・・・光シヤツタ群、３３，６Ａ
・・・レンズ系、３４・・・シャッタ制御回路、３５・
・・アドレス信号発生回路、３６・・・放物面鏡、３６
ａ・・・スタート信号発生素子、３９ａ・・・青色フィ
ルタ。 ４０ａ・・・緑色フィルタ、４１ａ・・・赤色フィルタ
。 ３９．４０，４］・・・光電変換素子、４３．６０・・
・光フイルバ、４４・・・被検査物、４５・・・判定処
理回路、Ｍ・・・メモリ 代理人 弁理士 西教圭一部 −ＩＩＡ− 小ギ（ロ）叫 手続補正書 昭和５９年 ９月２５日 特願昭５９−１０７０９４ ２、発明の名称 色欠陥検査装置 ３、補正をする者 事件との関係 出願人 住所 名称（５Ｂ３）松下電工株式会社 代表者 ４、代理人 住 所 大阪市西区西本町１丁目１３番３８号 新興産
ビル国装置ＥＸ ０５２５−５９８５ ＩＮＴＡＰＴ
Ｊ国際ＦＡＸ ＧＩｒＩ＆ＧＩｌ （０６）５３８−０
２４７電話（０６）５３ Ｂ−０２６３（代表）６、補
正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ７、補正の内容 （１）明細ｔｉ、第３頁ＰＩＳ９行目〜第１０行目にお
いで１重訂回路」とあるを 「氷体回路」に訂正する。 （２）明細書第５頁１４行目において［ＢＬＺ、ＴＪと
あるを 「Ｐｉ、ＺＴＪに訂正する。 以上 ２−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光源からの光の光量全調整する光シヤツタ手段と、その
光シヤツタ手段を通過した光全集光し。 被検査物に照射するレンズ系と、その照射光に対する反
射光を集光し、その反射光の光量ラミ気信号に変換する
変換手段とを含み、前記被検査物の色欠陥を検出する色
欠陥検査装置において、前記照射光の被検査物の照射場
所による反射光の光量の変動を押えるように前記光シヤ
ツタ手段を制御する情報をストアするメモリを設けるこ
と全特徴とする色欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10709484A JPS60250221A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 色欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10709484A JPS60250221A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 色欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60250221A true JPS60250221A (ja) | 1985-12-10 |
Family
ID=14450303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10709484A Pending JPS60250221A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 色欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60250221A (ja) |
-
1984
- 1984-05-25 JP JP10709484A patent/JPS60250221A/ja active Pending
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