JPS6025140U - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPS6025140U JPS6025140U JP11694983U JP11694983U JPS6025140U JP S6025140 U JPS6025140 U JP S6025140U JP 11694983 U JP11694983 U JP 11694983U JP 11694983 U JP11694983 U JP 11694983U JP S6025140 U JPS6025140 U JP S6025140U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- temperature
- semiconductor manufacturing
- furnace
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の半導体製造装置の断面図、第２図は第１
図装置の動作時における温度分布図、第３図及び第４図
は第１図装置の欠点について説明するための要部拡大断
面図及び要部拡大側面図、第５図は本考案に係る半導体
製造装置の一実施例を示す断面図、第６図は第５図装置
の動作時における温度分布図である。 １・・・・・・炉芯管、５，５・・・・・・ヒータ、ａ
、ｂ。 ｃ、 ｄ、 ｅ・・・・・・ゾーン、Ｔｉ、Ｔ２・・・
・・・熱処理温度（炉芯管中央のゾーン温度）、Ｔｏ・
・・・・・所定温度（炉芯管両端のゾーン温度。
図装置の動作時における温度分布図、第３図及び第４図
は第１図装置の欠点について説明するための要部拡大断
面図及び要部拡大側面図、第５図は本考案に係る半導体
製造装置の一実施例を示す断面図、第６図は第５図装置
の動作時における温度分布図である。 １・・・・・・炉芯管、５，５・・・・・・ヒータ、ａ
、ｂ。 ｃ、 ｄ、 ｅ・・・・・・ゾーン、Ｔｉ、Ｔ２・・・
・・・熱処理温度（炉芯管中央のゾーン温度）、Ｔｏ・
・・・・・所定温度（炉芯管両端のゾーン温度。
Claims (2)
- （１）炉芯管の外部の長手方向に沿って螺旋状に配設さ
れたヒータにより、該炉芯管の内部の被熱処理物を加熱
するものに於て、上記ヒータを炉芯管の長手方向に沿っ
て少なくとも５ゾーンに分割して各ゾーン毎に所定電圧
を印加することにより炉芯管中央及びその隣接のゾーン
を被熱処理物が均一な熱処理温度に加熱されるように温
度制御し、且つ上記炉芯管の両端のゾーンを室温よりも
高くかつ上記熱処理温度よりも低い所定温度に湿度制御
するようになしたことを特徴とする半導体製造装置。 - （２）上記炉芯管の両端のゾーン温度を、ランピング方
式における被熱処理物の火炉および出炉時の炉芯管中央
ゾーンの温度と等しく設定してなる実用新案登録請求の
範囲第（１）項記載の半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11694983U JPS6025140U (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11694983U JPS6025140U (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6025140U true JPS6025140U (ja) | 1985-02-20 |
Family
ID=30269398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11694983U Pending JPS6025140U (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6025140U (ja) |
-
1983
- 1983-07-26 JP JP11694983U patent/JPS6025140U/ja active Pending
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