JPS6025857B2 - 電子銃 - Google Patents
電子銃Info
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- JPS6025857B2 JPS6025857B2 JP54060813A JP6081379A JPS6025857B2 JP S6025857 B2 JPS6025857 B2 JP S6025857B2 JP 54060813 A JP54060813 A JP 54060813A JP 6081379 A JP6081379 A JP 6081379A JP S6025857 B2 JPS6025857 B2 JP S6025857B2
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- electron gun
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- Expired
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/067—Replacing parts of guns; Mutual adjustment of electrodes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は高温加熱陰極を用いた電子銃に関し長期間の
使用によっても電子放出部則ち陰極先端位置が変位しな
い特長を有するものであって、従って長期間電極位置を
調節しなくとも安定な電子ビームが得られるものである
。
使用によっても電子放出部則ち陰極先端位置が変位しな
い特長を有するものであって、従って長期間電極位置を
調節しなくとも安定な電子ビームが得られるものである
。
電子銃を構成する陰極には希±頚棚化物特に六棚化ラン
タンが使用されており、これを支持する装置には種々な
構造のものが提案されている。
タンが使用されており、これを支持する装置には種々な
構造のものが提案されている。
その代表的な例は第１図に示すような装置あって六棚化
ランタン陰極１の両側に発熱用兼支持体となる熱分解黒
鉛２を接触せしめ更にその外部から一対の電極を構成す
る導電部村３，４によって圧嬢挟持してなるものである
。而してこの構造のものは陰極１をウェーネルト円筒５
の開口６の中心に位置させるため陰極基台７をその周囲
の調節ネジ８によって調節してあるが発熱部材が発生す
る熱は当然導軍部材にも伝達されて該都材に塑性変形を
生ぜしめ長時間使用するうちに陰極の先端位置が左右ど
ちらかにずれてしまう欠点がある。本発明は一対の導軍
部材が相対臆して陰極を挟持するのではなく、陰極及び
発熱体を支持する中心電極の周囲に絶縁体を介して同Ｄ
円筒状の外部電極を配設した構造の電子銃を提供するも
のであってこの装置によれば陰極は垂直方向つまり軸心
方向には変位しても該鞄心をはずれて偏在することはな
いから長期間安定な電子ビームを維持することができる
のである。本発明の実施例装置の構成を第２図によって
説明する。
ランタン陰極１の両側に発熱用兼支持体となる熱分解黒
鉛２を接触せしめ更にその外部から一対の電極を構成す
る導電部村３，４によって圧嬢挟持してなるものである
。而してこの構造のものは陰極１をウェーネルト円筒５
の開口６の中心に位置させるため陰極基台７をその周囲
の調節ネジ８によって調節してあるが発熱部材が発生す
る熱は当然導軍部材にも伝達されて該都材に塑性変形を
生ぜしめ長時間使用するうちに陰極の先端位置が左右ど
ちらかにずれてしまう欠点がある。本発明は一対の導軍
部材が相対臆して陰極を挟持するのではなく、陰極及び
発熱体を支持する中心電極の周囲に絶縁体を介して同Ｄ
円筒状の外部電極を配設した構造の電子銃を提供するも
のであってこの装置によれば陰極は垂直方向つまり軸心
方向には変位しても該鞄心をはずれて偏在することはな
いから長期間安定な電子ビームを維持することができる
のである。本発明の実施例装置の構成を第２図によって
説明する。
１は六棚化ランタン陰極であってその様部は発熱体２２
内に鉄入されている。発熱体２２は電気的及び熱的に異
万性ある熱分解黒鉛であって、その層状構造が図におい
ては水平方行になるように配設するのがよい。
内に鉄入されている。発熱体２２は電気的及び熱的に異
万性ある熱分解黒鉛であって、その層状構造が図におい
ては水平方行になるように配設するのがよい。
２３は高融点金属製の中心電極であって発熱体の底面に
接触してこれを支持すると共に十分な寸法精度を有する
筒状絶縁体２６内に欧合因緩され、更に導電性のスプリ
ング２４によって常時上方に弾圧されている。
接触してこれを支持すると共に十分な寸法精度を有する
筒状絶縁体２６内に欧合因緩され、更に導電性のスプリ
ング２４によって常時上方に弾圧されている。
即ち、スプリング２４は、調節ネジ３８によって導電性
摺動台座３９を介してその弾圧力が調整されるように構
成されている。２７はこのスプリングの押圧力に対抗し
て発熱体２２の上面を固定する円環状の耐熱性金属板で
あってその外周部２８は外周電極３１の上面部３２にス
ポット溶接等により固定され、中心孔３０内に陰極が円
板と非接触状態を保って突出し且つ該円環の内周部は発
熱体２２の上面に接触して発熱体従って陰極の空間上の
位置を規定すると共に中心電極２３と外周電極３１との
間の電流通路を形成している。
摺動台座３９を介してその弾圧力が調整されるように構
成されている。２７はこのスプリングの押圧力に対抗し
て発熱体２２の上面を固定する円環状の耐熱性金属板で
あってその外周部２８は外周電極３１の上面部３２にス
ポット溶接等により固定され、中心孔３０内に陰極が円
板と非接触状態を保って突出し且つ該円環の内周部は発
熱体２２の上面に接触して発熱体従って陰極の空間上の
位置を規定すると共に中心電極２３と外周電極３１との
間の電流通路を形成している。
外周電極の基部フランジ３５はカップリング３４により
基台７に固設した円筒台座３５に締着されている。本発
明装置は上記のように構成されていて、中心電極、就中
陰極チップを中心として絶縁体２６及び外周電極３１等
が全て同心的に且つ密接して配設されているから陰極は
各部材の熱膨張によって垂直方向に変位することはあっ
ても水平方向に変化することはなくウェーネルト閉口６
の中心からはずれることはないので電子ビームを長時間
安定して放出しうるのである。更に、本発明装置は陰極
及び発熱体を支持する中心電極の位置を規定する絶縁体
が円筒台座内に鉄着垂設されている構造であるから陰極
の位置が自動的に規定されると共に陰極の位置が所定位
檀に装着された後に外周電極が前記絶縁体に鉄合しカッ
プリングによって前記台座に螺着されるのでこれによっ
て陰極位置が変化するおそれはなく、従って製作及び調
整が容易にできる効果がある。なお、本発明における発
熱体は、熱分解黒鉛に限らず高い異方性を有する黒鉛物
質は勿論のこと他の発熱材料でも適用できる。
基台７に固設した円筒台座３５に締着されている。本発
明装置は上記のように構成されていて、中心電極、就中
陰極チップを中心として絶縁体２６及び外周電極３１等
が全て同心的に且つ密接して配設されているから陰極は
各部材の熱膨張によって垂直方向に変位することはあっ
ても水平方向に変化することはなくウェーネルト閉口６
の中心からはずれることはないので電子ビームを長時間
安定して放出しうるのである。更に、本発明装置は陰極
及び発熱体を支持する中心電極の位置を規定する絶縁体
が円筒台座内に鉄着垂設されている構造であるから陰極
の位置が自動的に規定されると共に陰極の位置が所定位
檀に装着された後に外周電極が前記絶縁体に鉄合しカッ
プリングによって前記台座に螺着されるのでこれによっ
て陰極位置が変化するおそれはなく、従って製作及び調
整が容易にできる効果がある。なお、本発明における発
熱体は、熱分解黒鉛に限らず高い異方性を有する黒鉛物
質は勿論のこと他の発熱材料でも適用できる。
また発熱体を押圧する円環状金属板２７と外周電極３１
とは一体物即ち中心関口を有するキャップ状部村であっ
てよい。
とは一体物即ち中心関口を有するキャップ状部村であっ
てよい。
第１図は従来装置の断面図、第２図は本発明装置の断面
図。 ２２は発熱体、２３は中心電極、２７は円環状金属板、
３１は外周電極。 第１図 第２図
図。 ２２は発熱体、２３は中心電極、２７は円環状金属板、
３１は外周電極。 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 陰極を接合した発熱体を支持する中心電極が筒状絶
縁体内に嵌合重設され、該絶縁体の外周には外周電極が
嵌着されると共に該外周電極に固着した円環状金属板の
内周部の下面に前記発熱体の上面を接触させ、更に前記
中心電極がスプリング常時上方に弾圧さていることを特
徴とする電子銃。 ２ スプリングの下端が導電性摺動台座に接し、調節ネ
ジによつて弾圧力を調節できるように構成された前記第
１項記載の電子銃。 ３ 円環状金属板と外周電極とが一体物である第１項又
は第２項記載の電子銃。 ４ 中心電極を囲む絶縁体及び外周電極が円筒体で構成
された互いに密接して配設されてなる第１項乃至第３項
記載のいずれかの電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54060813A JPS6025857B2 (ja) | 1979-05-17 | 1979-05-17 | 電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54060813A JPS6025857B2 (ja) | 1979-05-17 | 1979-05-17 | 電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55151738A JPS55151738A (en) | 1980-11-26 |
| JPS6025857B2 true JPS6025857B2 (ja) | 1985-06-20 |
Family
ID=13153156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54060813A Expired JPS6025857B2 (ja) | 1979-05-17 | 1979-05-17 | 電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6025857B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2414856B (en) * | 2004-06-03 | 2008-11-12 | Nanobeam Ltd | Charged particle gun |
| US8159118B2 (en) | 2005-11-02 | 2012-04-17 | United Technologies Corporation | Electron gun |
| DE102010049062A1 (de) * | 2010-10-20 | 2012-04-26 | Volodymyr Granovskyy | Einrichtung zur visuellen Kontrolle der Positionsjustierung der Kathode einer elektronischen Kanone für ein Elektronenmikroskop (Rastermikroskop) |
| UA113827C2 (xx) | 2016-09-07 | 2017-03-10 | Аксіальна електронна гармата | |
| CN107452578B (zh) * | 2017-09-04 | 2018-06-22 | 国家纳米科学中心 | 一种灯丝定位系统及灯丝定位方法 |
-
1979
- 1979-05-17 JP JP54060813A patent/JPS6025857B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55151738A (en) | 1980-11-26 |
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