JPS60261033A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度磁気記録に適した垂直磁気記録用の磁気
記録媒体の製造方法に関する。

従来例の構成とその問題点 近年、短波長化と狭トラツク化による記録密度の向上は
目覚しく、光記録に近い面記録密度の実用化が基板の垂
直方向に磁化可能ないわゆる垂直磁化膜を利用すること
で期待されている。

特に軟磁性層と垂直磁化膜を積層したいわゆる２層媒体
を用い補助磁極励磁型垂直ヘッドにより記録再生を行う
ことで、０．５μｍ　以下の記録波長の記録再生の可能
性が実験的に確かめられているが、媒体の形成法に問題
がある。即ち、周知のようにスパッタリング法により形
成されたＮｉ−Ｆｅ。

Ｃｏ−Ｃｒの２層媒体は性能面では良好であるが、生産
性が著しく劣る。一方、真空蒸着法で形成された、Ｎｉ
−Ｆｅ、Ｃｏ−Ｃｒの２層媒体は、生産性で優位にある
が、性能面で不十分で、特に短波長での雑音がスパッタ
膜に劣るため改良が望まれている。

発明の目的 本発明は上記事情に鑑みなされたもので、真空蒸着法に
より垂直磁気記録に適する高性能な磁気記録媒体を製造
する方法の提供を目的とする。

発明の構成 本発明の製造は、高分子基板上に軟磁性層と垂直磁化膜
を積層する際、基板温度を同一にすることを特徴とし、
高密度記録再生時に雑音の少ない垂直磁気記録用媒体を
高速で得られるものである。

実施例の説明 以下、図面を参照しながら本発明を説明する。

第１図は、本発明の製法により得ることのできる磁気記
録媒体の拡大断面図で、第２図は本発明を実施するのに
用いた蒸着装置の要部構成図である。

第１図で１は高分子基板、２は軟磁性層、３は垂直磁化
膜、４は保護層である。

第２図で６は円筒状キャン、６は基板、７は送り出し軸
、８は巻取り軸、９は蒸発源Ａ、１ｏは蒸発源Ｂ、１１
はマスクで１２．１３は夫々スリットＡ、Ｂである。

１４は真空容器、１５は排気系である。

本発明の製法は、軟磁性層と垂直磁化膜の積層を同一基
板温度で行うことに特徴があり、好ましくは、ひとつの
円筒状キャン等の回転支持体に沿った状態の基板上に連
続して形成することが再現性も優れており、具体的な方
法として採用されるべきである。

それは、真空中での熱伝達は、大気中と異なり、真実接
触面積に依存するので、円筒状キャンを別々に用意して
、軟磁性層と垂直磁化膜を別々のキャンに沿った状態で
形成するようにした時、キャンの表面温度を同一にして
も、膜形成時の温度は同一にできないことの方が多いか
らである。

即ち真実接触面積を同一にすることは、高分子基板を巻
取りする機械装置、制御方式等を極力高精度にしても限
界があるのに、同一キャンで第２図のよ、うに、スリッ
ト１２で軟磁性層、１３で垂直磁化膜を形成すれば、望
む精度で同一温度で膜形成ができるのは、接触面積は、
スリット１２部で膜形成を受け、１３で膜形成を受ける
間はキャン表面と一定の接触状態にあるから変らないと
みなせるからである。

勿論、輻射熱や、潜熱等は、同一温度にする上で設計的
に範囲を決め、実験的に最良の条件に収れんさせていれ
ばよいものである。

本発明の方法によれば、垂直磁化膜と軟磁性層を真空蒸
着法で高速に形成しても、後述するように、雑音が少い
のは、磁歪の原因が積層時の温度差が全くないため、極
めて小さく無視できるためと推測される。

この効果は、従来予測し得なかったもので、均一性につ
いて、長手方向や幅方向にばかシ、考えが及んでしまっ
ていたためで、同一温度が厳密に制御された実験が行わ
れなかったためと思われるものである。

以下更に具体的に一実施例をあげ本発明の詳細な説明す
る。

（実施例） 第２図の装置で、円筒状キャンの直径１　ｍ　。

θ　は３３°、θ２は２了０とし、キャンの中心と、夫
々の蒸発源の中心、軟磁性層側（Ｓｌ）、垂直磁化膜側
（Ｓ２）の距離０８１＝９ｏｃｒｎ、０８２＝８３（７
）とし、入射角は夫々６度以内とした。

蒸着材料は、Ｎ１−Ｆｅ（Ｎｉ８０　ｗｔ％）　、Ｃｏ
−Ｃｒ（Ｃｒ　２０ｗ　ｔ％）合金を用い、真空度は１
×１Ｏ−６Ｔｏｒ　ｒ以下で、蒸発方法は電子ビーム加
熱とした。

得られた、テープのノイズレベルヲ、４　ＭＨ！　。

ｓＭＨｚで比較した。尚５ＭＨｚは記録波長０．３９μ
ｍに相当するものである。

比較テープは、直径５０（１）の円筒状キャンを２個有
し、それぞれのキャンの直下３ｏｃｒｎに電子ビーム蒸
発源を配した装置で、形成したものを用いた。尚キャン
の表面温度は、熱電対で較正したものである。

磁気特性は振動試料型磁束計で測定した。

製造条件と得られた緒特性を表にまとめて示した。

雑音レベルは各条件のテープを任意に１００　ｍ抽出し
て、最も高い値で比較した。

以下余白 表よシ明らかなように、磁気特性による差よりも本発明
品と比較例との差の方が大きく、本発明品は、雑音で改
良されており、信号出力の方は磁気特性を制御すること
で、比較例も本発明品も同一にできるから、機器設計上
要求される信号対雑音比では、いずれの場合も４ｄＢ以
上の改善がなされていることになる。

ちなみに、比較テープとして、スパッタリング法により
得た２層媒体は、本発明品より、約１ｄＢ雑音が高いだ
けで、特性的には遜色ないが、本発明を得る基板の送り
速度は、スパッタリング法による時の１８倍から２３倍
と高速であった。

発明の効果 本発明の製法は、軟磁性層と垂直磁化膜の形成を同一基
板温度で行うことで、得られる垂直磁気記録媒体の雑音
を改良できるもので、その実用的価値は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の製法で得られる磁気記録媒体の拡大断
面図、第２図は本発明の製法を実施するのに用いた蒸着
装置の要部構成図である。 ６・・・・円筒状キャン、９・・・・・蒸発源（軟磁性
層）、１ｏ・・・・・・蒸発源（垂直磁化膜）。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名笥１
図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 高分子基板上に軟磁性層と垂直磁化膜を積層する際、基
   板温度を同一にすることを特徴とする磁気記録媒体の製
   造方法。