JPS60262084A - 放射線一次元アレイセンサ特性測定装置 - Google Patents
放射線一次元アレイセンサ特性測定装置Info
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- JPS60262084A JPS60262084A JP11789884A JP11789884A JPS60262084A JP S60262084 A JPS60262084 A JP S60262084A JP 11789884 A JP11789884 A JP 11789884A JP 11789884 A JP11789884 A JP 11789884A JP S60262084 A JPS60262084 A JP S60262084A
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- JP
- Japan
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- radiation
- sensor
- array sensor
- chopper
- signal
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- Pending
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- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—HANDLING OF PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
- G21K1/04—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers
- G21K1/043—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers changing time structure of beams by mechanical means, e.g. choppers, spinning filter wheels
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/29—Measurement performed on radiation beams, e.g. position or section of the beam; Measurement of spatial distribution of radiation
- G01T1/2914—Measurement of spatial distribution of radiation
- G01T1/2921—Static instruments for imaging the distribution of radioactivity in one or two dimensions; Radio-isotope cameras
- G01T1/2928—Static instruments for imaging the distribution of radioactivity in one or two dimensions; Radio-isotope cameras using solid state detectors
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—HANDLING OF PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
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- G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
- G21K1/04—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
′ 本発明は’）Ｃ＠ ｗンピエータトモグラフィ等に
用いられる一次元アレイセンサの性能測定装置に関する
。
用いられる一次元アレイセンサの性能測定装置に関する
。
〈従来技術〉
第３図は、例えば高純度ｎ型シリコンを用いた従来例の
放射線−次元アレイセンサ（以下、センナという）の特
性測定装置を示す構成図である。
放射線−次元アレイセンサ（以下、センナという）の特
性測定装置を示す構成図である。
“第３図において、１はＸ線等の放射線源であシ、□
放射線２は鉛板３に設けられた直径１ｍｍ程度のビーン
ホール４を通過してビーム状となりセンサ５を照射する
。センサ゛５は厚□さ１＝程度の・型シリ・ン板の一面
全面にアル□°ミ電極６が設けられ、表面する金電極と
１−程度゛の間隔をおいて設けられ′ている。センサ５
の裏面に設けられたアルミ電極６はアースに落され、表
面の金電極７ａ〜７ｃのそれぞれにはコンパ□−夕８が
リード線９を介して接続されている。 □ 上記構成において、放射線源１からの放射線が鉛板３の
ピンホール４を通過してビーム状となりセンサ５の金電
極を照射すると放射線照射により生じた電子−正孔対の
うち、空乏層および拡散領によシミ極に運ばれて、この
部分に照射され′る放射線の強さを電流信号として外部
に取り出すことができる。センサ５からの電流信号はり
−ドｌ１９を介してＩ／Ｖコンバータ８で電圧信号に変
換されて検出される。
ホール４を通過してビーム状となりセンサ５を照射する
。センサ゛５は厚□さ１＝程度の・型シリ・ン板の一面
全面にアル□°ミ電極６が設けられ、表面する金電極と
１−程度゛の間隔をおいて設けられ′ている。センサ５
の裏面に設けられたアルミ電極６はアースに落され、表
面の金電極７ａ〜７ｃのそれぞれにはコンパ□−夕８が
リード線９を介して接続されている。 □ 上記構成において、放射線源１からの放射線が鉛板３の
ピンホール４を通過してビーム状となりセンサ５の金電
極を照射すると放射線照射により生じた電子−正孔対の
うち、空乏層および拡散領によシミ極に運ばれて、この
部分に照射され′る放射線の強さを電流信号として外部
に取り出すことができる。センサ５からの電流信号はり
−ドｌ１９を介してＩ／Ｖコンバータ８で電圧信号に変
換されて検出される。
軸にピンホール４から照射されるビームの位置を、縦軸
にそのビームの位置におけるセンサ５の出力信号の強さ
をリニア表示したものである。なお、゛第４図における
矢印７ａ〜７Ｃは金電極の幅を示し、８は隣接する金電
極間の間隔を示す。Ｉ／Ｖコンバータ８からの出力は、
ビームρ直径が１ｍｍ程度な □のでビームの位置が電
極７ａの端面から１鵬程度移動する間に最高出力輪に達
し、約１鴫の間そのピークを保りた後出力が下がりはじ
め、ビームが電極から完全に離れた時点で零レベルとな
る。この場合各金電極間の一点鎖線で囲んだＥ部はり四
ストークの状態となる。第４図において最高量カレー
ベルとクロストークレベルの出力差Ｈ／ｈはおよそ４倍
程度である。
にそのビームの位置におけるセンサ５の出力信号の強さ
をリニア表示したものである。なお、゛第４図における
矢印７ａ〜７Ｃは金電極の幅を示し、８は隣接する金電
極間の間隔を示す。Ｉ／Ｖコンバータ８からの出力は、
ビームρ直径が１ｍｍ程度な □のでビームの位置が電
極７ａの端面から１鵬程度移動する間に最高出力輪に達
し、約１鴫の間そのピークを保りた後出力が下がりはじ
め、ビームが電極から完全に離れた時点で零レベルとな
る。この場合各金電極間の一点鎖線で囲んだＥ部はり四
ストークの状態となる。第４図において最高量カレー
ベルとクロストークレベルの出力差Ｈ／ｈはおよそ４倍
程度である。
センサの特性を測定するためには最高出力レベルとクロ
ストごフレペルの出力差をできるだけ大きくした方が望
ましいが、上記構成の測定装置においては″、■放射線
の形状をペンシルビームとしているためこの直径をあま
り小さくすることかできない（照射面積が小さく々ると
出力が小さくなる）。■信号の読み出しがＤＣモードで
ある。■従ってＳ／Ｎ比の問題からビームをより小さく
することができず、場所分解能が悪く、信号のダイナミ
、クレレジも狭いという欠点があった。
ストごフレペルの出力差をできるだけ大きくした方が望
ましいが、上記構成の測定装置においては″、■放射線
の形状をペンシルビームとしているためこの直径をあま
り小さくすることかできない（照射面積が小さく々ると
出力が小さくなる）。■信号の読み出しがＤＣモードで
ある。■従ってＳ／Ｎ比の問題からビームをより小さく
することができず、場所分解能が悪く、信号のダイナミ
、クレレジも狭いという欠点があった。
ので、センサの場所分解能および信号の８７Ｎ比の向上
を社かった測定装置を提供することを目的とする。
を社かった測定装置を提供することを目的とする。
〈発明の構成〉
この目的を達成する本発明の構成は、放射線源からの放
射線をセンサに照射し、前記セ／すの性能を測定する装
置において、前記放射線源と前記センナとの間に前記放
射線を断続的Ｋｌｌ蔽するテ ）曹、パーと、前記テ■
、パーを通過した放射線を絞角方向に一定の５ピ、テで
移動させる移動手段を設叶九ことを構成上の特、徴とす
るものである。
射線をセンサに照射し、前記セ／すの性能を測定する装
置において、前記放射線源と前記センナとの間に前記放
射線を断続的Ｋｌｌ蔽するテ ）曹、パーと、前記テ■
、パーを通過した放射線を絞角方向に一定の５ピ、テで
移動させる移動手段を設叶九ことを構成上の特、徴とす
るものである。
第１図は本発明の一１！！施例を示す構成図である。
第１図において、１はＸ＠轡の放射線源であ′る。
放射組１からの放射線２は、例えばＦ方向に回転するチ
＊ ｙ バー ｉａＫよ）、断続的に速断され、チ四ツ
バ−１８の後方に設けら、れ、九遮蔽板１２のスリ。
＊ ｙ バー ｉａＫよ）、断続的に速断され、チ四ツ
バ−１８の後方に設けら、れ、九遮蔽板１２のスリ。
ト１１を通過して、例えば１１０−１、長さ１５ｍｍ
Ｉｉ度用いられ、放射線を受け表い面には例えば金電極
２０がハホ全面に形成され、放射線を受ける面には幅１
ｍｍ ＋長さ１５ｍｍ程度のアルミ電極１４ａ 〜１４
ｃがｏ、３ｍｍ和度の間隔をおいて設けられている。細
条ビームがアルミ電極１４ａ〜１４ｃを照射すると従来
例と同様の原理によりセンナに電流が発生する。
Ｉｉ度用いられ、放射線を受け表い面には例えば金電極
２０がハホ全面に形成され、放射線を受ける面には幅１
ｍｍ ＋長さ１５ｍｍ程度のアルミ電極１４ａ 〜１４
ｃがｏ、３ｍｍ和度の間隔をおいて設けられている。細
条ビームがアルミ電極１４ａ〜１４ｃを照射すると従来
例と同様の原理によりセンナに電流が発生する。
１５はセンサ１３を載置して移動させる移動手段で、コ
ンヒ、−夕１７からの指令により例えば１ステ。
ンヒ、−夕１７からの指令により例えば１ステ。
フ” ０．０５ｍｍ １１ 度の一定ピッチで、かつ、
センナへの放射線の照射方向と直角に矢印Ｇ方向。に移
動すピ為−夕１７へ送出する。コンピュータ１７はビー
ムが照射されているセンサ１３の位置とスペクトラムア
ナライザ１６かもの、出力信号に基づいて演算を行ない
、その位置と出力信号との関係をグラフ等で表示する。
センナへの放射線の照射方向と直角に矢印Ｇ方向。に移
動すピ為−夕１７へ送出する。コンピュータ１７はビー
ムが照射されているセンサ１３の位置とスペクトラムア
ナライザ１６かもの、出力信号に基づいて演算を行ない
、その位置と出力信号との関係をグラフ等で表示する。
上記構成によれば遮蔽板１２の通過孔をスリ、トとした
ので全体、の長さを長くして照射面積を小さくすること
なくその幅を狭くすることができ、また、センナを一定
のピ、テで移動させるようＫしたので等測的に極細いビ
ームで緻密にスキャンしながら信号を得ることになシ、
セン、すの分離特性測定の分解能を上げることができ、
さらに、放射線がチ冒ツバ−１８によシ断続して、即ち
交流モードとしてセンサ１３に照射するようにしたので
信号を広いレンジでとらえる。ことができる。
ので全体、の長さを長くして照射面積を小さくすること
なくその幅を狭くすることができ、また、センナを一定
のピ、テで移動させるようＫしたので等測的に極細いビ
ームで緻密にスキャンしながら信号を得ることになシ、
セン、すの分離特性測定の分解能を上げることができ、
さらに、放射線がチ冒ツバ−１８によシ断続して、即ち
交流モードとしてセンサ１３に照射するようにしたので
信号を広いレンジでとらえる。ことができる。
第２図は上記構成の装置により検出した電極１４ａおよ
び１４ｂにおける出力信号のセンナ感度の照射部位依存
性を示すもので、横軸にスリ、トからのビームの位置を
、縦軸にそめビームの位置におけるセンサの出力信号の
強さをデシベル（ｄＢ）表示したものである。第２図に
おいて、矢印１４ａ。
び１４ｂにおける出力信号のセンナ感度の照射部位依存
性を示すもので、横軸にスリ、トからのビームの位置を
、縦軸にそめビームの位置におけるセンサの出力信号の
強さをデシベル（ｄＢ）表示したものである。第２図に
おいて、矢印１４ａ。
１４ｂの範囲はアルミ電極の幅（１薗）を、８は電極間
の間隔（０，３ｍｍ ）を示している。本図によれば出
力信号はビームが電極の手前０．２５ｆＩＩｍ近傍に位
置した時点から急激に立上がり、電極を通過する直前か
ら急激に立下がっている。本例においては、電極１４ａ
と１４ｂ間においてりμストークしているに点近傍の出
力信号ｈ１のレベルは１５デシベル程度であシ、電極１
４ａ、１４ｂの中央付近での最高出力レベルＭｌは５０
デシベル程度である。従って、その出力差は３５ｄＢと
なり、リニア出力に換算するとおよそ５６倍の出力差と
なる。
の間隔（０，３ｍｍ ）を示している。本図によれば出
力信号はビームが電極の手前０．２５ｆＩＩｍ近傍に位
置した時点から急激に立上がり、電極を通過する直前か
ら急激に立下がっている。本例においては、電極１４ａ
と１４ｂ間においてりμストークしているに点近傍の出
力信号ｈ１のレベルは１５デシベル程度であシ、電極１
４ａ、１４ｂの中央付近での最高出力レベルＭｌは５０
デシベル程度である。従って、その出力差は３５ｄＢと
なり、リニア出力に換算するとおよそ５６倍の出力差と
なる。
〈発明の効果〉
−以上、実施例と共に具体的に説明したように、本発明
によれば、場所分解能および信号のＳ／Ｎ比の向上をは
かった測定装置を実現することができる。
によれば、場所分解能および信号のＳ／Ｎ比の向上をは
かった測定装置を実現することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す測定装置の構成図、第
２図は本発明の測定装置によりセンナの特性を測定した
結果を示す説明図、第５図は従来例の測定装置を示す構
４成図、第４図は従来例の測定装置によシセンサの特性
を測定した結果を示す図である。 １・・・放射線源、１０・・・放射線、１１・・・ス’
ｊｙ）、１２・・・遮蔽板、１３・・・−次元アレイセ
ンサ、１５・・・移動手段。
２図は本発明の測定装置によりセンナの特性を測定した
結果を示す説明図、第５図は従来例の測定装置を示す構
４成図、第４図は従来例の測定装置によシセンサの特性
を測定した結果を示す図である。 １・・・放射線源、１０・・・放射線、１１・・・ス’
ｊｙ）、１２・・・遮蔽板、１３・・・−次元アレイセ
ンサ、１５・・・移動手段。
Claims (1)
- 放射線源からの放射線を一次元アレイセンサに照射し、
前記−次元アレイセンサの性能を測定する装置において
、前記放射線源゛と前記−次元アレイセンサとの間に前
記放射線を断″続的゛に遮蔽するレイ卆ンサを前記放射
線に対して直□角方向に一定のピッチで移動させる移動
手段゛を設けたことを特徴とする放射線−次元アレイセ
ンサ特性測定装置〇
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11789884A JPS60262084A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 放射線一次元アレイセンサ特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11789884A JPS60262084A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 放射線一次元アレイセンサ特性測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60262084A true JPS60262084A (ja) | 1985-12-25 |
Family
ID=14722936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11789884A Pending JPS60262084A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 放射線一次元アレイセンサ特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60262084A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996027195A1 (en) * | 1995-03-01 | 1996-09-06 | British Technology Group Limited | An x-ray beam attenuator |
| KR100654205B1 (ko) | 2004-04-05 | 2006-12-06 | 후지 샤신 필름 가부시기가이샤 | 감도 분포를 측정하는 측정 방법 및 장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55116227A (en) * | 1979-03-02 | 1980-09-06 | Nec Corp | Light chopper |
| JPS58124925A (ja) * | 1982-01-22 | 1983-07-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像素子の感度分布測定装置 |
-
1984
- 1984-06-08 JP JP11789884A patent/JPS60262084A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55116227A (en) * | 1979-03-02 | 1980-09-06 | Nec Corp | Light chopper |
| JPS58124925A (ja) * | 1982-01-22 | 1983-07-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像素子の感度分布測定装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR100654205B1 (ko) | 2004-04-05 | 2006-12-06 | 후지 샤신 필름 가부시기가이샤 | 감도 분포를 측정하는 측정 방법 및 장치 |
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