JPS60263904A - カラ−固体撮像素子用色フイルタ−の製法 - Google Patents
カラ−固体撮像素子用色フイルタ−の製法Info
- Publication number
- JPS60263904A JPS60263904A JP59119765A JP11976584A JPS60263904A JP S60263904 A JPS60263904 A JP S60263904A JP 59119765 A JP59119765 A JP 59119765A JP 11976584 A JP11976584 A JP 11976584A JP S60263904 A JPS60263904 A JP S60263904A
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- JP
- Japan
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- color
- filter
- glass substrate
- base
- metal
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は新規なカラー固体撮像素子用色フィルターの製
法に関するものである。より詳しくは耐熱性が非常に優
れ、信頼性、安定性の高いカラー固体撮像素子用の色フ
ィルターを得ることのできる新規なカラー固体撮像素子
用色フィルターの製法を提供しようとするものである。
法に関するものである。より詳しくは耐熱性が非常に優
れ、信頼性、安定性の高いカラー固体撮像素子用の色フ
ィルターを得ることのできる新規なカラー固体撮像素子
用色フィルターの製法を提供しようとするものである。
用いる色フィルターは、一般にガラス基板上にゼラチン
等の着色性有機材料膜を塗布形成し、フォトレジスト形
成技術を駆使してその有機材料膜を部分的に染めるとい
う処理を繰返すことにより三原色のフィルターにす゛る
という方法で製造されている。
等の着色性有機材料膜を塗布形成し、フォトレジスト形
成技術を駆使してその有機材料膜を部分的に染めるとい
う処理を繰返すことにより三原色のフィルターにす゛る
という方法で製造されている。
ところで、このような色フィルターは有機材料からなる
ので当然のことながら耐熱性が低く、又、劣化し易くフ
ィルター特性の経時変化が生じるという問題点があった
。そのため、耐熱性に優れ、信頼性、安定性の優れたカ
ラー固体撮像素子用ＲＧＢ色フィルターの開発が望まれ
ていた。
ので当然のことながら耐熱性が低く、又、劣化し易くフ
ィルター特性の経時変化が生じるという問題点があった
。そのため、耐熱性に優れ、信頼性、安定性の優れたカ
ラー固体撮像素子用ＲＧＢ色フィルターの開発が望まれ
ていた。
発明の目的
しかして、本発明は、耐熱性が非常に優れ、信頼性、安
定性の高いカラー固体撮像素子用の色フィルタ、−を得
ることのできる新規なカラー固体撮像素子用色フィルタ
ーの製法を提供しようとするものである。
定性の高いカラー固体撮像素子用の色フィルタ、−を得
ることのできる新規なカラー固体撮像素子用色フィルタ
ーの製法を提供しようとするものである。
発明の４！１要
上記目的を達成する本発明カラー固体撮像素子用色フィ
ルターの製法は、ガラス基板表面の異なる領域に該ガラ
スに溶融して異なる色の光を透過する特性を備える複数
種の金属膜を形成し、その後カラス基板表面に高エネル
ギービームを照射することにより各金属膜及びガラス基
板を溶融させて各金属膜がガラス基板内に溶は込むよう
にすることを特徴とする。
ルターの製法は、ガラス基板表面の異なる領域に該ガラ
スに溶融して異なる色の光を透過する特性を備える複数
種の金属膜を形成し、その後カラス基板表面に高エネル
ギービームを照射することにより各金属膜及びガラス基
板を溶融させて各金属膜がガラス基板内に溶は込むよう
にすることを特徴とする。
実施例
以下に、本発明カラー固体撮像素子用色フィルターの製
法を添付図面に示した実施例に従って説明する。
法を添付図面に示した実施例に従って説明する。
第１図（Ａ）乃至（Ｃ）は本発明カラー固体撮像素子用
色フィルターの製法の実施の一例を工程順に示すもので
ある。
色フィルターの製法の実施の一例を工程順に示すもので
ある。
（Ａ）同図（Ａ）に示すように、ガラス基板１表面の三
原色のフィルターを形成すべき各領域上に形成すべきフ
ィルターの色と対応する金属膜２ｒ、２ｇ、２ｂを形成
する。この形成は例えば、蒸着技術とフォトエツチング
技術を駆使して行なわれる。
原色のフィルターを形成すべき各領域上に形成すべきフ
ィルターの色と対応する金属膜２ｒ、２ｇ、２ｂを形成
する。この形成は例えば、蒸着技術とフォトエツチング
技術を駆使して行なわれる。
金属膜２ｒはガラスに溶は込むと赤い光を透過するフィ
ルター特性を備える金属材料、例えば金Ａｕからなる。
ルター特性を備える金属材料、例えば金Ａｕからなる。
金１ｔｇ膜２ｇはガラスに溶は込むと緑色の光のみを透
過するフィルター特性を備える金属材料１例えば、クロ
ムＣｒからなる。そして、金属膜２ｂはガラスに溶は込
むと青色の光を透過するフィルター特性を備える金属材
料、例えばコバルトＣＯあるいは銅Ｃｕからなる。
過するフィルター特性を備える金属材料１例えば、クロ
ムＣｒからなる。そして、金属膜２ｂはガラスに溶は込
むと青色の光を透過するフィルター特性を備える金属材
料、例えばコバルトＣＯあるいは銅Ｃｕからなる。
（Ｂ）次に、高エネルギービームをガラス基板１表面に
照射して第１図（Ｂ）に示すように金属膜２ｒ、２ｇ、
２ｂ及びガラス基板１表面を溶解状態にし、金属１１！
２２ｒ、２ｇ、２ｂをガラス基板１表面に溶は込ませる
。すると、ガラス基板１表面部に赤・、緑、青のフィル
ター領域３ｒ、３ｇ、３ｂか形成される。
照射して第１図（Ｂ）に示すように金属膜２ｒ、２ｇ、
２ｂ及びガラス基板１表面を溶解状態にし、金属１１！
２２ｒ、２ｇ、２ｂをガラス基板１表面に溶は込ませる
。すると、ガラス基板１表面部に赤・、緑、青のフィル
ター領域３ｒ、３ｇ、３ｂか形成される。
上記高エネルギービームの具体例として電子ビームある
いはレーザービームが挙げられる。ちなみに、電子ビー
ムを照射して金属膜２及びガラス基板１を溶融させえる
ときは５ｋＶｍＡのエネルギーか必要である。又、レー
ザービームを使用する場合には表面反射を防止する必要
があり、そのため反射防止膜をガラス基板１表面上に堆
積させる等の処理をすることが望ましい。
いはレーザービームが挙げられる。ちなみに、電子ビー
ムを照射して金属膜２及びガラス基板１を溶融させえる
ときは５ｋＶｍＡのエネルギーか必要である。又、レー
ザービームを使用する場合には表面反射を防止する必要
があり、そのため反射防止膜をガラス基板１表面上に堆
積させる等の処理をすることが望ましい。
電子ビーム等高エネルギービームの照射はビームで金属
膜形成部上を繰返し走査することにより行い、ガラス基
板１に表面上に全面的に高エネルギービームを照射する
必要はない。尚、高工２ルギービーム照射技術としてス
トライプ状のビームを照射する技術があり、本実施例の
ように各フィルター領域３ｒ、３ｇ、３ｂがストライプ
状であるものにその技術は有効である。しかし、各フィ
ルター領域がドツト状である色フィルターの製造にも本
発明を適用することができるものであることはいうまで
もない。
膜形成部上を繰返し走査することにより行い、ガラス基
板１に表面上に全面的に高エネルギービームを照射する
必要はない。尚、高工２ルギービーム照射技術としてス
トライプ状のビームを照射する技術があり、本実施例の
ように各フィルター領域３ｒ、３ｇ、３ｂがストライプ
状であるものにその技術は有効である。しかし、各フィ
ルター領域がドツト状である色フィルターの製造にも本
発明を適用することができるものであることはいうまで
もない。
上述したように高エネルギービームの照射により金属膜
２ｒ、２ｇ、２ｂ及びガラス基板１表面を溶融状態にし
て金Ｃｕ、クロムＣｒ、そしてコバルトＣｏあるいは銅
ＣＵをカラス基板１表面に溶は込ますと、それ等の金属
がイオン化されてガラス内に存在する状態になり、特定
の波長の光のみを透過する特性、即ち色フィルター特性
を備えるに至る。
２ｒ、２ｇ、２ｂ及びガラス基板１表面を溶融状態にし
て金Ｃｕ、クロムＣｒ、そしてコバルトＣｏあるいは銅
ＣＵをカラス基板１表面に溶は込ますと、それ等の金属
がイオン化されてガラス内に存在する状態になり、特定
の波長の光のみを透過する特性、即ち色フィルター特性
を備えるに至る。
ちなみに、金Ａｕをガラス内に溶は込ませて得たフィル
ター領域の光透過特性を第２図に示す。
ター領域の光透過特性を第２図に示す。
この例では照射する高エネルギービームとして電子ビー
ムを用い、そのエネルギーを５ＫＶｍＡとした。この図
をＲＧＢフィルターの基本光透過特性を示す第３図と対
比してみると明らかなように赤色の光に対する光透過率
が高く、赤のフィルターとして利用できる。
ムを用い、そのエネルギーを５ＫＶｍＡとした。この図
をＲＧＢフィルターの基本光透過特性を示す第３図と対
比してみると明らかなように赤色の光に対する光透過率
が高く、赤のフィルターとして利用できる。
そして、ガラス内に溶は込ます金属を変えることにより
フィルター領域の光透過特性が異なる。
フィルター領域の光透過特性が異なる。
下記の９表はガラス内に溶は込ませる金属イオンとそれ
によって形成されるフィルター領域の色との対照表であ
る。
によって形成されるフィルター領域の色との対照表であ
る。
表
このように、本発明は、金属がガラス内に溶は込むとそ
の溶は込んだ領域が着色され、そして、着色の色の種類
が溶は込だ金属イオンの種類により変わるという原理を
カラー固体撮像素子用の色フィルターの製造に活かした
ものである。
の溶は込んだ領域が着色され、そして、着色の色の種類
が溶は込だ金属イオンの種類により変わるという原理を
カラー固体撮像素子用の色フィルターの製造に活かした
ものである。
（Ｃ）その後、ガラス基板１表面上から突出する不要の
金属１１！２２ｒ、２ｇ、２ｂをエツチング除去する。
金属１１！２２ｒ、２ｇ、２ｂをエツチング除去する。
これによって第１図（Ｃ）に示すような色フィルターが
得られる。
得られる。
そして、この色フィルターを図示しない固体撮像素子の
表面に接着することによりカラー固体撮像素子が得られ
る。
表面に接着することによりカラー固体撮像素子が得られ
る。
尚、このように色フィルターを固体撮像素子と別体のガ
ラス基板ｌにより形成し、その後そのガラス基板ｌを固
体撮像素子表面に接着するようにしても良いが、固体撮
像素子表面上にそれと一体的にガラス膜を形成し、これ
をガラス基板としてその表面に金属ｎりを形成し、高エ
ネルギービームを照射することにより色フィルターを形
成するようにして・も良い。
ラス基板ｌにより形成し、その後そのガラス基板ｌを固
体撮像素子表面に接着するようにしても良いが、固体撮
像素子表面上にそれと一体的にガラス膜を形成し、これ
をガラス基板としてその表面に金属ｎりを形成し、高エ
ネルギービームを照射することにより色フィルターを形
成するようにして・も良い。
尚、本明細書において金属とは一つの全１ｆ元素のみな
らすそれの化合物も含むものである。
らすそれの化合物も含むものである。
発明の効果
以上に述べたように、本発明カラー固体撮像素子用色フ
ィルターの製法は、ガラス基板表面の異なる領域に該ガ
ラスに溶融して異なる色の光を透過する特性を備える複
数種の金属膜を形成し、その後ガラス基板表面に高エネ
ルギービームを照射することにより各金属膜及びガラス
基板を溶融させて各金属膜がガラス基板内に溶は込むよ
うにすることを特徴とするものである。従って、本発明
によれば、金属をガラス内に溶は込ませることによりフ
ィルター領域を得るようにし、そして、ガラス内に溶は
込ませる金属を適宜に選ぶことにより任意の色フィルタ
ー特性を有するフィルター領域を得ることができる。依
って、色フィルターを有機材料を全く用いることなく無
機材料のみでつくることができ、耐熱性、信頼性、安定
性に優れたカラー固体撮像素子用の色フィルターを得る
ことができる。
ィルターの製法は、ガラス基板表面の異なる領域に該ガ
ラスに溶融して異なる色の光を透過する特性を備える複
数種の金属膜を形成し、その後ガラス基板表面に高エネ
ルギービームを照射することにより各金属膜及びガラス
基板を溶融させて各金属膜がガラス基板内に溶は込むよ
うにすることを特徴とするものである。従って、本発明
によれば、金属をガラス内に溶は込ませることによりフ
ィルター領域を得るようにし、そして、ガラス内に溶は
込ませる金属を適宜に選ぶことにより任意の色フィルタ
ー特性を有するフィルター領域を得ることができる。依
って、色フィルターを有機材料を全く用いることなく無
機材料のみでつくることができ、耐熱性、信頼性、安定
性に優れたカラー固体撮像素子用の色フィルターを得る
ことができる。
第１図（Ａ）乃至（Ｃ）は本発明カラー固体撮像素子用
色フィルターの製法の実施の一例を工程順に示す色フィ
ルターの切断斜視図、第２図は金をガラス内に溶は込ま
せて得たフィルター領域の光透過特性図、第３図はＲＧ
Ｂフィルターの基本的光透過特性図である。 符号の説明 １・・・ガラス基板、 ２ｒ、２ｇ、２ｂ・・・金属膜 第２図 ４００ ５００ ６００ ７００ シ悶こ（シー （ｃｍ−１）
色フィルターの製法の実施の一例を工程順に示す色フィ
ルターの切断斜視図、第２図は金をガラス内に溶は込ま
せて得たフィルター領域の光透過特性図、第３図はＲＧ
Ｂフィルターの基本的光透過特性図である。 符号の説明 １・・・ガラス基板、 ２ｒ、２ｇ、２ｂ・・・金属膜 第２図 ４００ ５００ ６００ ７００ シ悶こ（シー （ｃｍ−１）
Claims (1)
- （１）ガラス基板表面の異なる領域に該ガラスに溶融し
て異なる色の光を透過する特性を備える複数種の金属膜
を形成し、その後カラス基板表面に高エネルギービーム
を照射することにより各金属膜及びカラス基板を溶融さ
せて各金属膜がガラス基板内に溶は込むようにすること
を特徴とするカラー固体撮像素子用色フィルターの製法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59119765A JPS60263904A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | カラ−固体撮像素子用色フイルタ−の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59119765A JPS60263904A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | カラ−固体撮像素子用色フイルタ−の製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60263904A true JPS60263904A (ja) | 1985-12-27 |
Family
ID=14769628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59119765A Pending JPS60263904A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | カラ−固体撮像素子用色フイルタ−の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60263904A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005093659A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55126487A (en) * | 1979-03-26 | 1980-09-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | Colored-picture forming method |
| JPS58168017A (ja) * | 1982-03-29 | 1983-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像素子 |
-
1984
- 1984-06-13 JP JP59119765A patent/JPS60263904A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55126487A (en) * | 1979-03-26 | 1980-09-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | Colored-picture forming method |
| JPS58168017A (ja) * | 1982-03-29 | 1983-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像素子 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005093659A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子 |
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