JPH01154104A - 複合干渉フイルタ - Google Patents
複合干渉フイルタInfo
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- JPH01154104A JPH01154104A JP31376387A JP31376387A JPH01154104A JP H01154104 A JPH01154104 A JP H01154104A JP 31376387 A JP31376387 A JP 31376387A JP 31376387 A JP31376387 A JP 31376387A JP H01154104 A JPH01154104 A JP H01154104A
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- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 abstract description 3
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 1
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 1
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 1
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical group [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、分光特性が異なった複数の干渉フィルタを並
設した複合干渉フィルタに関するものである。
設した複合干渉フィルタに関するものである。
複写機の色調節装置やカラーセンサー等には、分光特性
が異なったフィルタを並設してなる複合フィルタが用い
られている。例えは、特公昭44−2542号公報には
、2枚の複合フィルタを用いて色調節を行う装置が記載
されている。これらの複合フィルタは、中央のエリアが
透明となっており、その両側のエリアが三原色のうちの
二色を “透過するフィルタ部となっている。そして、
三原色のうち一色は2枚の複合フィルタに共通に用いら
れている。この2枚の複合フィルタを光軸と直交する方
向にスライドさせ、その挿入位置を調節することにより
、透過光の色を連続的に調節することができる。
が異なったフィルタを並設してなる複合フィルタが用い
られている。例えは、特公昭44−2542号公報には
、2枚の複合フィルタを用いて色調節を行う装置が記載
されている。これらの複合フィルタは、中央のエリアが
透明となっており、その両側のエリアが三原色のうちの
二色を “透過するフィルタ部となっている。そして、
三原色のうち一色は2枚の複合フィルタに共通に用いら
れている。この2枚の複合フィルタを光軸と直交する方
向にスライドさせ、その挿入位置を調節することにより
、透過光の色を連続的に調節することができる。
フィルタには、着色フィルタと干渉フィルタとがある。
この着色フィルタとしては、有機染料や顔料の色材をゼ
ラチンや透明なプラスチックに混大したもの、金属の酸
化物やコロイドで着色した色ガラスがある。干渉フィル
タは、ガラス等の透明基板に誘電体や金属を蒸着して複
数の薄膜を層設したものであり、膜厚を調節することに
より、薄膜内での光の干渉を利用して特定な波長域の光
だけを通過させる。この干渉フィルタは、分光特性を任
意に設定することができ、また高い透過率を得ることが
できるという利点がある。
ラチンや透明なプラスチックに混大したもの、金属の酸
化物やコロイドで着色した色ガラスがある。干渉フィル
タは、ガラス等の透明基板に誘電体や金属を蒸着して複
数の薄膜を層設したものであり、膜厚を調節することに
より、薄膜内での光の干渉を利用して特定な波長域の光
だけを通過させる。この干渉フィルタは、分光特性を任
意に設定することができ、また高い透過率を得ることが
できるという利点がある。
前述した特公昭44−2542号公報に示す複合フィル
タは、干渉フィルタで構成することができる。この場合
には、透明基板を三個のエリアに分割し、各エリアに分
光特性が異なった蒸着膜を形成すればよい。しかし、こ
の場合には、蒸着するエリア以外をマスクで覆うことが
必要であるため、3回のマスキングと3回の蒸着が必要
となり、作製がかなり面倒であるという問題がある。ま
た、複合干渉フィルタの作製途中において蒸着失敗が起
こると、全体が駄目になってしまうため、二色の干渉フ
ィルタを所望の分光特性に仕上げることが極めて困難で
あった。
タは、干渉フィルタで構成することができる。この場合
には、透明基板を三個のエリアに分割し、各エリアに分
光特性が異なった蒸着膜を形成すればよい。しかし、こ
の場合には、蒸着するエリア以外をマスクで覆うことが
必要であるため、3回のマスキングと3回の蒸着が必要
となり、作製がかなり面倒であるという問題がある。ま
た、複合干渉フィルタの作製途中において蒸着失敗が起
こると、全体が駄目になってしまうため、二色の干渉フ
ィルタを所望の分光特性に仕上げることが極めて困難で
あった。
本発明は、分光特性の精度が高く、かつ製作が簡単な複
合干渉フィルタを提供することを目的とするものである
。
合干渉フィルタを提供することを目的とするものである
。
〔問題点を解決するための手段]
上記目的を達成するために、本発明は、異なった分光特
性を有する少なくとも2枚の干渉フィルタを、透光性を
有する支持体上に接合するとともに、各干渉フィルタの
端面を鏡面に仕上げて接触させたことを特徴とするもの
である。
性を有する少なくとも2枚の干渉フィルタを、透光性を
有する支持体上に接合するとともに、各干渉フィルタの
端面を鏡面に仕上げて接触させたことを特徴とするもの
である。
本発明の複合干渉フィルタは、それぞれ独立に作製した
干渉フィルタを支持体上に接合したものであるから、従
来のようなマスキングが不要となる。また、分光特性が
良好なものだけを選択して用いることができるため、分
光特性の精度が良好な複合干渉フィルタを作製すること
ができ、また良品率も高めることができる。更に、各干
渉フィルタの端面同士を鏡面に仕上げて接触させたから
、この部分において光の散乱を防止することができる。
干渉フィルタを支持体上に接合したものであるから、従
来のようなマスキングが不要となる。また、分光特性が
良好なものだけを選択して用いることができるため、分
光特性の精度が良好な複合干渉フィルタを作製すること
ができ、また良品率も高めることができる。更に、各干
渉フィルタの端面同士を鏡面に仕上げて接触させたから
、この部分において光の散乱を防止することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施例について詳細に説
明する。
明する。
第1図において、支持体10は横長な板状をしており、
透明なガラス又はプラスチックで作られている。この支
持体10の下面には、複数の薄膜からなる反射防止膜1
0aが層設されている。この反射防止膜10aは、沸化
マグネシウムや酸化ジルコン等を真空蒸着することで形
成する。
透明なガラス又はプラスチックで作られている。この支
持体10の下面には、複数の薄膜からなる反射防止膜1
0aが層設されている。この反射防止膜10aは、沸化
マグネシウムや酸化ジルコン等を真空蒸着することで形
成する。
シアン色干渉フィルタ11は、透明なガラス又はプラス
チックで作った透明基板11aの上に、青光と緑光とを
透過し、それ以外を反射する蒸着膜11bが層設されて
いる。この蒸着膜11bは、金属又は誘電体を複数回蒸
着することによって形成した複数の薄膜から構成されて
おり、蒸着膜内での光の干渉によって特定な波長域の光
を透過する。この透過光の波長域は、薄膜の膜厚を調節
することで自由に設定することができる。誘電体を蒸着
する場合には、例えば酸化チタンと酸化シリコンが用い
られ、これらを交互に透明基板11aに蒸着する。
チックで作った透明基板11aの上に、青光と緑光とを
透過し、それ以外を反射する蒸着膜11bが層設されて
いる。この蒸着膜11bは、金属又は誘電体を複数回蒸
着することによって形成した複数の薄膜から構成されて
おり、蒸着膜内での光の干渉によって特定な波長域の光
を透過する。この透過光の波長域は、薄膜の膜厚を調節
することで自由に設定することができる。誘電体を蒸着
する場合には、例えば酸化チタンと酸化シリコンが用い
られ、これらを交互に透明基板11aに蒸着する。
NDフィルタ12は、透明基板12aと、この上面に蒸
着された蒸着膜12bとから構成され、白色光の透過率
を調節する。イエロー色干渉フィルタ13は、透明基板
13aと、この上面に蒸着された蒸着膜13bとで構成
され、赤光と緑光とを透過する。
着された蒸着膜12bとから構成され、白色光の透過率
を調節する。イエロー色干渉フィルタ13は、透明基板
13aと、この上面に蒸着された蒸着膜13bとで構成
され、赤光と緑光とを透過する。
前記フィルタ11〜13は、それぞれ別個に作製され、
そして同じ種類のものが同時に複数個作製される。これ
らの中から分光特性が良好なものを選び出し、透明な接
着剤を介して支持体10上に接合すれは、複合干渉フィ
ルタ14となる。
そして同じ種類のものが同時に複数個作製される。これ
らの中から分光特性が良好なものを選び出し、透明な接
着剤を介して支持体10上に接合すれは、複合干渉フィ
ルタ14となる。
前記フィルタ11〜13の端面同士を密着させるために
、フィルタ11〜13の端面が鏡面に仕上げられている
。これは、原板から透明基板を切り取った後に、端面を
研磨することで鏡面に仕上げることができる。この研磨
後に前述したように真空蒸着を行えばよい。この端面の
仕上がりは、凹凸の高さが可視光の波長(4000〜7
000人)以下となるようにするのがよい。望ましくは
、端面の間の距離が例えば6328人の波長の光の1/
2波長以下となるように仕上げるのよい。
、フィルタ11〜13の端面が鏡面に仕上げられている
。これは、原板から透明基板を切り取った後に、端面を
研磨することで鏡面に仕上げることができる。この研磨
後に前述したように真空蒸着を行えばよい。この端面の
仕上がりは、凹凸の高さが可視光の波長(4000〜7
000人)以下となるようにするのがよい。望ましくは
、端面の間の距離が例えば6328人の波長の光の1/
2波長以下となるように仕上げるのよい。
第2図は干渉フィルタ11とNDフィルタ12との端面
の密着状態を示すものである。鏡面に仕上げた端面に水
を付けてから加熱することにより、端面同士をオプチカ
ルコンタクトの状態にしである。
の密着状態を示すものである。鏡面に仕上げた端面に水
を付けてから加熱することにより、端面同士をオプチカ
ルコンタクトの状態にしである。
第3図は本発明と比較するために、従来の端部の接合状
態を示すものである。この第3図では、カッターで切断
したままの干渉フィルタ11とNDフィルタ12との端
面を合わせ、その間に透明な接着剤16を充填した状態
を示している。このような接合を行うと、この間に入射
した画像形成のための光が散乱し、ゴーストや像のボケ
の原因となる。
態を示すものである。この第3図では、カッターで切断
したままの干渉フィルタ11とNDフィルタ12との端
面を合わせ、その間に透明な接着剤16を充填した状態
を示している。このような接合を行うと、この間に入射
した画像形成のための光が散乱し、ゴーストや像のボケ
の原因となる。
第4図は本発明の複合干渉フィルタを用いた色調節装置
を示すものである。レンズの前群20と後群21との間
に、複合干渉フィルタ22.絞り板23.複合干渉フィ
ルタ24とが順番に配置されている。複合干渉フィルタ
22は、中心部がNDフィルタであり、その両側がマゼ
ンタ色干渉フィルタMとイエロー色干渉フィルタYにな
っている。また、複合干渉フィルタ24は、中心部がN
Dフィルタであり、その両側がマゼンタ色干渉フィルタ
Mとシアン色干渉フィルタCになっている。
を示すものである。レンズの前群20と後群21との間
に、複合干渉フィルタ22.絞り板23.複合干渉フィ
ルタ24とが順番に配置されている。複合干渉フィルタ
22は、中心部がNDフィルタであり、その両側がマゼ
ンタ色干渉フィルタMとイエロー色干渉フィルタYにな
っている。また、複合干渉フィルタ24は、中心部がN
Dフィルタであり、その両側がマゼンタ色干渉フィルタ
Mとシアン色干渉フィルタCになっている。
これらの2枚の複合干渉フィルタ22.24を光軸25
に対して直交する方向にスライドすることにより、マゼ
ンタ、イエロー、シアンのいずれか2つの光量を調節す
ることができる。
に対して直交する方向にスライドすることにより、マゼ
ンタ、イエロー、シアンのいずれか2つの光量を調節す
ることができる。
前記実施例の複合干渉フィルタは矩形状をしているが、
用途に応じて任意の形状にすることができる。例えは、
カラーセンサーに用いる場合に−は、複数の干渉フィル
タを正方形1円形に並べ、その背後に複数の測光エリア
を形成したセンサー基板を配置する。また、同じ分光特
性を有する多数の干渉フィルタをライン状に配列し、長
いライン状干渉フィルタとすることもできる。更に、三
原色のライン状干渉フィルタを作り、これを横に並べて
三本の帯状の複合干渉フィルタとすることも可能である
。この実施例では、NDフィルタか単なる白板ガラスで
もよく、この場合表面と反射防止膜をコートするのがよ
い。
用途に応じて任意の形状にすることができる。例えは、
カラーセンサーに用いる場合に−は、複数の干渉フィル
タを正方形1円形に並べ、その背後に複数の測光エリア
を形成したセンサー基板を配置する。また、同じ分光特
性を有する多数の干渉フィルタをライン状に配列し、長
いライン状干渉フィルタとすることもできる。更に、三
原色のライン状干渉フィルタを作り、これを横に並べて
三本の帯状の複合干渉フィルタとすることも可能である
。この実施例では、NDフィルタか単なる白板ガラスで
もよく、この場合表面と反射防止膜をコートするのがよ
い。
前記実施例の干渉フィルタは透明基板の片面にのみ蒸着
膜が形成されているが、これは両面であってもよい。こ
の場合には、一方の蒸着膜により透過光の長波長側を規
制し、他方の蒸着膜で短波長側を規制し、それにより分
光特性の精度を高めることができる。また、着色フィル
タと干渉フィルタとを接合し、これら°を支持体に接着
することで、任意の分光特性を得ることもできる。
膜が形成されているが、これは両面であってもよい。こ
の場合には、一方の蒸着膜により透過光の長波長側を規
制し、他方の蒸着膜で短波長側を規制し、それにより分
光特性の精度を高めることができる。また、着色フィル
タと干渉フィルタとを接合し、これら°を支持体に接着
することで、任意の分光特性を得ることもできる。
以上詳細に説明したように、本発明の複合干渉フィルタ
は、別個に作製した複数の干渉フィルタを支持体に接合
するとともに、端面同士を鏡面状態で接合したから、作
製が簡単であるとともに、端面の接合部分において光が
散乱するのを防止することができる。更に、分光特性が
良好な干渉フィルタを選んで用いることができるため、
精度のよい複合干渉フィルタを作製することができると
ともに、従来のような製作失敗が起こることがない。更
にまた、蒸着膜の形成後は、従来のように真空状態にお
かれることがないため、分光特性の変化が少ない。
は、別個に作製した複数の干渉フィルタを支持体に接合
するとともに、端面同士を鏡面状態で接合したから、作
製が簡単であるとともに、端面の接合部分において光が
散乱するのを防止することができる。更に、分光特性が
良好な干渉フィルタを選んで用いることができるため、
精度のよい複合干渉フィルタを作製することができると
ともに、従来のような製作失敗が起こることがない。更
にまた、蒸着膜の形成後は、従来のように真空状態にお
かれることがないため、分光特性の変化が少ない。
第1図は本発明の複合干渉フィルタの製造工程を示す説
明図である。 第2図は本発明の複合干渉フィルタにおける端面同士の
接合状態を示す断面図である。 第3図は接着剤を用いて端面同士を接合した状態を示す
断面図である。 第4図は複合干渉フィルタの利用例を示す断面図である
。 10・・・・支持体 11・・・・シアン色干渉フィルタ 12・・・・NDフィルタ 13・・・・イエロー色干渉フィルタ 14・・・・複合干渉フィルタ 16・・・・接着剤。 11b 12b
明図である。 第2図は本発明の複合干渉フィルタにおける端面同士の
接合状態を示す断面図である。 第3図は接着剤を用いて端面同士を接合した状態を示す
断面図である。 第4図は複合干渉フィルタの利用例を示す断面図である
。 10・・・・支持体 11・・・・シアン色干渉フィルタ 12・・・・NDフィルタ 13・・・・イエロー色干渉フィルタ 14・・・・複合干渉フィルタ 16・・・・接着剤。 11b 12b
Claims (4)
- (1)異なった分光特性を有する少なくとも2枚の干渉
フィルタを、透光性を有する支持体上に接合するととも
に、各干渉フィルタの端面を鏡面に仕上げて接触させた
ことを特徴する複合干渉フィルタ。 - (2)前記干渉フィルタは、透明な基板と、誘電体を蒸
着した蒸着膜とからなることを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の複合干渉フィルタ。 - (3)前記干渉フィルタの端面は、その凹凸が可視光の
波長以下であることを特徴とする特許請求の範囲第1項
又は第2項記載の複合干渉フィルタ。 - (4)隣接する二個の干渉フィルタの端面間の隙間は、
可視光の波長の1/2以下であることを特徴とする特許
請求の範囲第1項又は第2項記載の複合干渉フィルタ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31376387A JPH01154104A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | 複合干渉フイルタ |
| US07/668,331 US5073008A (en) | 1987-12-11 | 1991-03-14 | Multicolor interference filters with side surfaces to prevent entry of undesirable light |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31376387A JPH01154104A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | 複合干渉フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01154104A true JPH01154104A (ja) | 1989-06-16 |
Family
ID=18045231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31376387A Pending JPH01154104A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | 複合干渉フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01154104A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100367241B1 (ko) * | 1993-03-03 | 2003-04-07 | 텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 모놀리드식칼라휠 |
| JP2020056876A (ja) * | 2018-10-01 | 2020-04-09 | キヤノン電子株式会社 | 光学フィルタ、撮像装置、光学センサ |
| JP2020056875A (ja) * | 2018-10-01 | 2020-04-09 | キヤノン電子株式会社 | 光学フィルタ、撮像装置、光学センサ |
-
1987
- 1987-12-11 JP JP31376387A patent/JPH01154104A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100367241B1 (ko) * | 1993-03-03 | 2003-04-07 | 텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 모놀리드식칼라휠 |
| JP2020056876A (ja) * | 2018-10-01 | 2020-04-09 | キヤノン電子株式会社 | 光学フィルタ、撮像装置、光学センサ |
| JP2020056875A (ja) * | 2018-10-01 | 2020-04-09 | キヤノン電子株式会社 | 光学フィルタ、撮像装置、光学センサ |
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